1.力平衡式諧振微機械陀螺，其特征在于：包括雙端音叉諧振器(1)、靜電梳齒驅(qū)動器(2)、質(zhì)量塊(3)、和靜電梳齒力平衡器(4)，結(jié)構(gòu)為軸對稱圖形，中間為質(zhì)量塊(3)，具有x和y兩個方向的自由度，其x方向上放置兩個固定于基底上的靜電梳齒驅(qū)動器(2)，其y方向上設(shè)置兩個固定于基底上的靜電梳齒力平衡器(4)和兩個雙端音叉諧振器(1)，質(zhì)量塊(3)受靜電梳齒驅(qū)動器(2)的靜電力驅(qū)動，沿x方向作振蕩運動，若存在沿z軸方向的外界輸入角速度信號，質(zhì)量塊將受到沿y方向的科氏力作用，靜電梳齒力平衡器(4)用于平衡此科氏力，使質(zhì)量塊在y方向上處于平衡位置，當(dāng)輸入角速度變化時，質(zhì)量塊(3)在y方向上出現(xiàn)周期變化的科氏力，并傳遞到相連的兩個雙端音叉諧振器(1)上，且大小相等方向相反，使其固有諧振頻率發(fā)生變化，測量其差動輸出可反饋調(diào)節(jié)靜電梳齒力平衡器(4)的驅(qū)動電壓，從而使質(zhì)量塊(3)在y方向上回到平衡位置，實現(xiàn)對輸入角速度的動態(tài)閉環(huán)檢測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力平衡式諧振微機械陀螺，其特征在于：所述的雙端音叉諧振器(1)能夠?qū)崿F(xiàn)諧振式檢測方式，它采用工作在簡諧振動狀態(tài)的兩根對稱的音叉梁，通過敏感音叉梁在軸向力作用下諧振頻率的變化實現(xiàn)對軸向力的測量，兩根音叉梁外側(cè)對稱放置驅(qū)動和拾振裝置使其工作在諧振狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力平衡式諧振微機械陀螺，其特征在于所述的靜電梳齒力平衡器(4)與靜電梳齒驅(qū)動器(2)具有相同的均布靜齒，與質(zhì)量塊(3)上分布的動齒構(gòu)成動、靜梳齒對結(jié)構(gòu)，在驅(qū)動電壓下產(chǎn)生靜電力，用于平衡陀螺敏感角速度產(chǎn)生的科氏力作用，使陀螺在此方向上處于平衡位置，有效地抑制了非線性的影響。