本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體激光器的工作性能檢測技術(shù)，具體地說是一種半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)及測試方法，屬于半導(dǎo)體光電器件的制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體光電器件的制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對光器件的可靠性要求越來越高，因此在生產(chǎn)過程中對器件的可靠性測試就非常有必要了。其中現(xiàn)有技術(shù)中關(guān)于器件在高低溫的環(huán)境中工作的光功率穩(wěn)定性的測試方法，一直是采用高端的芯片篩選法和客戶終端的送樣檢測為主，傳統(tǒng)上這樣的檢測會出現(xiàn)很多不確定的影響因素，使得生產(chǎn)過程不能進(jìn)行有效的管控，同時(shí)還存在檢驗(yàn)的周期長和成本高等問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠方便、有效、迅速可靠進(jìn)行檢測，從而縮短檢驗(yàn)周期、降低檢驗(yàn)成本，同時(shí)對生產(chǎn)過程進(jìn)行有效管控的半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)及測試方法。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)，包括待測光器件以及用于放置待測光器件的高低溫循環(huán)箱，待測光器件與一個(gè)能夠?yàn)榇郎y光器件提供電流的電流源連接，待測光器件還與一個(gè)能夠測試其出光功率的光功率計(jì)連接，電流源和光功率計(jì)的輸出信號端均連接到一臺計(jì)算機(jī)上。

一種上述半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)的測試方法，包括以下步驟:

A:在常溫下用電流源給待測光器件加一個(gè)工作電流使出光功率為Po，測試其當(dāng)前的背光電流Imo并記錄；

B:在高溫下用電流源給待測光器件加一個(gè)工作電流使背光電流為Imo，測試其當(dāng)前的出光功率P1并記錄；

C:在低溫下用電流源給待測激光器加一個(gè)工作電流使背光電流為Imo，測試其當(dāng)前的出光功率P2并記錄；

D：使用計(jì)算機(jī)將記錄的測試數(shù)值利用公式TE=10LOG(Pi/Po)計(jì)算出各種溫度狀態(tài)下待測光器件的光功率變化；

E: 若計(jì)算機(jī)的計(jì)算值TE＞1.5dB表示該光器件不能滿足全溫工作范圍，若計(jì)算機(jī)的計(jì)算值TE≤1.5dB判定合格。

所述常溫為25℃。

所述高溫為85℃。

所述低溫為-40℃。

測試完成后使高低溫循環(huán)箱的溫度工作在25℃，打開高低溫循環(huán)箱的門取出光器件即可。

采用上述的結(jié)構(gòu)和方法后，可以方便、有效、迅速地進(jìn)行檢測，預(yù)先判定一個(gè)激光器的工作穩(wěn)定性和失效模式，從而大大縮短了檢驗(yàn)的周期和降低了檢驗(yàn)的成本，同時(shí)對生產(chǎn)過程進(jìn)行有效的管控，將產(chǎn)品成本降到最低，同時(shí)保障了客戶利益，其測試的方法簡單方便，測試系統(tǒng)搭建的成本低。

附圖說明

圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意簡圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式，對本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖所示，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)，其特征在于：包括待測光器件2以及用于放置待測光器件（激光器）2的高低溫循環(huán)箱1，待測光器件2與一個(gè)能夠?yàn)榇郎y光器件2提供電流的電流源3連接，待測光器件2還與一個(gè)能夠測試其出光功率的光功率計(jì)4連接，電流源3和光功率計(jì)4的輸出信號端均連接到一臺計(jì)算機(jī)5上。

本實(shí)施例半導(dǎo)體激光器的測試系統(tǒng)的測試方法中所指的高低溫工作環(huán)境是-40℃～85℃器件工作的光功率變化，其檢測方法的步驟如下:

A:在25℃常溫下用電流源3給待測光器件2加一個(gè)工作電流使待測光器件的出光功率為Po，用電流源3測試出光器件當(dāng)前的背光電流Imo并記錄；

B: 把待測光器件2放入高低溫循環(huán)箱1中，使高低循環(huán)箱溫度工作在85℃，在85℃高溫下用電流源3給待測光器件2加一個(gè)工作電流使背光電流為Imo，此時(shí)用光功率計(jì)4測試光器件當(dāng)前的出光功率P1并記錄；

C: 使高低循環(huán)箱溫度工作在-40℃，在-40℃低溫下用電流源3給待測激光器加一個(gè)工作電流使光器件的背光電流為Imo，此時(shí)用光功率計(jì)4測試光器件當(dāng)前的出光功率P2并記錄；

D：使用計(jì)算機(jī)5將記錄的測試數(shù)值利用公式TE=10LOG(Pi/Po)計(jì)算出各種溫度狀態(tài)下待測光器件2的光功率變化；公式中Pi為高溫或低溫時(shí)光器件的出光功率值，Po為常溫時(shí)光器件的出光功率值；

例如：高溫85℃下激光器的光功率變化TE=10LOG(P1/Po)；低溫-40℃下激光器的光功率變化TE=10LOG(P2/Po)。

E: 若計(jì)算機(jī)的計(jì)算值TE＞1.5dB表示該光器件2不能滿足-40℃～85℃的全溫工作范圍，若計(jì)算機(jī)的計(jì)算值TE≤1.5dB判定合格。

測試完成后使高低溫循環(huán)箱的溫度工作在25℃，打開高低溫循環(huán)箱的門取出光器件即可。