一種超微型壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種超微型壓力傳感器，包括依次連接的主電路和輔助電路；主電路包括型號(hào)為AD693的超微型壓力傳感模塊U1，以及分別與超微型壓力傳感模塊U1連接的第一插針連接器P1和第二插針連接器P2；超微型壓力傳感模塊U1與輔助電路連接。本實(shí)用新型所述超微型壓力傳感器，可以克服現(xiàn)有技術(shù)中使用壽命短、成本高和可靠性低等缺陷，以實(shí)現(xiàn)使用壽命長(zhǎng)、成本低和可靠性高的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種超微型壓力傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及通信【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地，涉及一種超微型壓力傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002]無線傳感器的組成模塊封裝在一個(gè)外殼內(nèi)，在工作時(shí)它將由電池或振動(dòng)發(fā)電機(jī)提供電源，構(gòu)成無線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)，由隨機(jī)分布的集成有傳感器、數(shù)據(jù)處理單元和通信模塊的微型節(jié)點(diǎn)，通過自組織的方式構(gòu)成網(wǎng)絡(luò)。它可以采集設(shè)備的數(shù)字信號(hào)通過無線傳感器網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)奖O(jiān)控中心的無線網(wǎng)關(guān)，直接送入計(jì)算機(jī)，進(jìn)行分析處理。如果需要，無線傳感器也可以實(shí)時(shí)傳輸采集的整個(gè)時(shí)間歷程信號(hào)。監(jiān)控中心也可以通過網(wǎng)關(guān)把控制、參數(shù)設(shè)置等信息無線傳輸給節(jié)點(diǎn)。數(shù)據(jù)調(diào)理采集處理模塊把傳感器輸出的微弱信號(hào)經(jīng)過放大，濾波等調(diào)理電路后，送到模數(shù)轉(zhuǎn)換器，轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字信號(hào)，送到主處理器進(jìn)行數(shù)字信號(hào)處理，計(jì)算出傳感器的有效值、位移值等。
[0003]在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在使用壽命短、成本高和可靠性低等缺陷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于，針對(duì)上述問題，提出一種超微型壓力傳感器，以實(shí)現(xiàn)使用壽命長(zhǎng)、成本低和可靠性高的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種超微型壓力傳感器，包括依次連接的主電路和輔助電路；所述主電路包括型號(hào)為AD693的超微型壓力傳感模塊U1，以及分別與所述超微型壓力傳感模塊Ul連接的第一插針連接器Pl和第二插針連接器P2 ;所述超微型壓力傳感模塊Ul與輔助電路連接。這里，第一插針連接器和第二插針連接器用于將所有的P 口引出，作測(cè)試或連接器件之用途，不是功能原件。在實(shí)際設(shè)計(jì)中可以將其去掉，將P 口直連接口設(shè)備。放這個(gè)底座純粹是為了測(cè)試和實(shí)驗(yàn)之用途。如果是做測(cè)試板，就要放底座。
[0006]進(jìn)一步地，所述超微型壓力傳感模塊Ul，包括AD693，壓力傳感器，電阻Rl、R2、R3和R6，變阻器R4和R5 ;其中:
[0007]所述AD693的第I連接端和AD693的第20連接端，分別與壓力傳感器的第I連接端連接，AD693的第17連接端和AD693的第18連接端，分別與壓力傳感器的第2連接端和第4連接端連接；壓力傳感器的第3連接端，分別與AD693的第6連接端和AD693的第7連接端連接，還經(jīng)電阻R3后與變阻器R5的調(diào)節(jié)端連接，經(jīng)電阻R2后接AD693的第2連接端，以及徑電阻R6后接地；變阻器R5的第一連接端分別與變阻器R5的第二連接端、變阻器R4的調(diào)節(jié)端、變阻器R4的第二連接端、AD693的第12連接端、AD693的第14連接端、AD693的第19連接端和電阻Rl的第二連接端連接，電阻Rl的第一連接端接AD693的第2連接端；變阻器R4的第一連接端與AD693的第15連接端連接。
[0008]進(jìn)一步地，所述主電路，還包括一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第I連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第二連接端連接、另一端接地的第一電容C21，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端連接、另一端接地的第二電容C291，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第30連接端連接、另一端接地的第三電容C301，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第31連接端連接、另一端接地的第四電容C311，以及連接在超微型壓力傳感模塊Ul的第31連接端與第二插針連接器P2之間的第一電阻R311。
[0009]進(jìn)一步地，所述輔助電路，包括一端分別與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端連接、另一端分別接地的第四電容C191、第五電容C221、第六電容C251、第七電容C261和第八電容Cl，以及一端與第八電容Cl遠(yuǎn)離地的一端連接、另一端與直流電源VDD連接的第一電感LI ；
[0010]所述第五電容C221與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第22連接端連接；第六電容C251與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第25連接端連接；第七電容C261與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第26連接端連接。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述輔助電路，還包括依次連接在超微型壓力傳感模塊Ul的第23連接端與地之間的第九電容C231、第二電感L232、第三電感L233、第十電容C235和撥碼開關(guān)P3，連接在第九電容C231和第二電感L232的公共端與超微型壓力傳感模塊Ul的第24連接端之間的第四電感L241，以及，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第24連接端和第四電感L241的公共端連接、另一端接地的第i^一電容C241，一端與第二電感L232和第三電感L233的公共端連接、另一端接地的第十二電容C232，一端與第三電感L233和第十電容C235的公共端連接、另一端接地的第十三電容C233。
[0012]進(jìn)一步地，所述輔助電路，還包括一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第17端連接、另一端接地的第十四電容C171，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第18端連接、另一端接地的第十五電容C181，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第21端連接、另一端接地的第十六電容C211，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第20端連接、另一端接地的第十七電容C201，以及，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第27端連接、另一端接地的第二電阻R271。
[0013]進(jìn)一步地，所述輔助電路，還包括連接在第十七電容C201與超微型壓力傳感模塊Ul的第20端的公共端與第十六電容C211與超微型壓力傳感模塊Ul的第21端的公共端之間的第一晶振XI，以及，連接在第十四電容C171與超微型壓力傳感模塊Ul的第17端的公共端與第十五電容C181與超微型壓力傳感模塊Ul的第18端的公共端之間的第二晶振X2。
[0014]本實(shí)用新型各實(shí)施例的超微型壓力傳感器，由于包括依次連接的主電路和輔助電路；主電路包括型號(hào)為AD693的超微型壓力傳感模塊U1，以及分別與超微型壓力傳感模塊Ul連接的第一插針連接器Pl和第二插針連接器P2 ;超微型壓力傳感模塊Ul與輔助電路連接；可以用于任何地方管道或容器的壓力表接口，允許設(shè)置通知和警報(bào)，可以立即知道壓力是否高于或低于最佳范圍；從而可以克服現(xiàn)有技術(shù)中使用壽命短、成本高和可靠性低的缺陷，以實(shí)現(xiàn)使用壽命長(zhǎng)、成本低和可靠性高的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]本實(shí)用新型的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實(shí)施本實(shí)用新型而了解。
[0016]下面通過附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中:
[0018]圖1中(a)為本實(shí)用新型超微型壓力傳感器中主電路的結(jié)構(gòu)示意圖，(b)為Ul的管腳圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型超微型壓力傳感器中輔助電路的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，(a)為輔助電路第a、b、C、d信號(hào)的電路圖，(b)為輔助電路第e、f信號(hào)的電路圖，(C)為輔助電路第g、h、1、j、k信號(hào)的電路圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0021]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，如圖1和圖2所示，提供了一種超微型壓力傳感器，可以通過測(cè)量電池電壓在指定的時(shí)間間隔，以無線方式發(fā)送到后端，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電池系統(tǒng)的電壓讀數(shù)，從而確定電池健康狀態(tài)。
[0022]本實(shí)施例的超微型壓力傳感器，包括依次連接的主電路和輔助電路。
[0023]其中，上述主電路包括型號(hào)為AD693的超微型壓力傳感模塊U1，以及分別與超微型壓力傳感模塊Ul連接的第一插針連接器Pl和第二插針連接器P2 ;超微型壓力傳感模塊Ul與輔助電路連接。主電路，還包括一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第I連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第二連接端連接、另一端接地的第一電容C21，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端連接、另一端接地的第二電容C291，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第30連接端連接、另一端接地的第三電容C301，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第31連接端連接、另一端接地的第四電容C311，以及連接在超微型壓力傳感模塊Ul的第31連接端與第二插針連接器P2之間的第一電阻R311。
[0024]具體地，超微型壓力傳感模塊Ul，包括AD693，壓力傳感器，電阻Rl、R2、R3和R6，變阻器R4和R5 ;其中:AD693的第I連接端和AD693的第20連接端，分別與壓力傳感器的第I連接端連接，AD693的第17連接端和AD693的第18連接端，分別與壓力傳感器的第2連接端和第4連接端連接；壓力傳感器的第3連接端，分別與AD693的第6連接端和AD693的第7連接端連接，還經(jīng)電阻R3后與變阻器R5的調(diào)節(jié)端連接，經(jīng)電阻R2后接AD693的第2連接端，以及徑電阻R6后接地；變阻器R5的第一連接端分別與變阻器R5的第二連接端、變阻器R4的調(diào)節(jié)端、變阻器R4的第二連接端、AD693的第12連接端、AD693的第14連接端、AD693的第19連接端和電阻Rl的第二連接端連接，電阻Rl的第一連接端接AD693的第2連接端；變阻器R4的第一連接端與AD693的第15連接端連接。
[0025]上述輔助電路，包括一端分別與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端連接、另一端分別接地的第四電容C191、第五電容C221、第六電容C251、第七電容C261和第八電容Cl，以及一端與第八電容Cl遠(yuǎn)離地的一端連接、另一端與直流電源VDD連接的第一電感LI ;第五電容C221與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第22連接端連接；第六電容C251與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第25連接端連接；第七電容C261與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第26連接端連接。輔助電路，還包括依次連接在超微型壓力傳感模塊Ul的第23連接端與地之間的第九電容C231、第二電感L232、第三電感L233、第十電容C235和撥碼開關(guān)P3，連接在第九電容C231和第二電感L232的公共端與超微型壓力傳感模塊Ul的第24連接端之間的第四電感L241，以及，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第24連接端和第四電感L241的公共端連接、另一端接地的第i^一電容C241，一端與第二電感L232和第三電感L233的公共端連接、另一端接地的第十二電容C232，一端與第三電感L233和第十電容C235的公共端連接、另一端接地的第十三電容C233。輔助電路，還包括一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第17端連接、另一端接地的第十四電容C171，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第18端連接、另一端接地的第十五電容C181,—端與超微型壓力傳感模塊Ul的第21端連接、另一端接地的第十六電容C211，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第20端連接、另一端接地的第十七電容C201，以及，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第27端連接、另一端接地的第二電阻R271。輔助電路，還包括連接在第十七電容C201與超微型壓力傳感模塊Ul的第20端的公共端與第十六電容C211與超微型壓力傳感模塊Ul的第21端的公共端之間的第一晶振XI，以及，連接在第十四電容C171與超微型壓力傳感模塊Ul的第17端的公共端與第十五電容C181與超微型壓力傳感模塊Ul的第18端的公共端之間的第二晶振X2。
[0026]例如，可以以型號(hào)為L(zhǎng)MS-9-PS-W1-LD的傳感器為例，對(duì)上述實(shí)施例的超微型壓力傳感器進(jìn)行具體說明。
[0027]上述實(shí)施例的超微型壓力傳感器，能夠測(cè)量氣體，液體或蒸汽壓力，檢測(cè)范圍0-160PSI。該超微型壓力傳感器可以用于任何地方管道或容器的壓力表接口。允許設(shè)置通知和警報(bào)，可以立即知道壓力是否高于或低于最佳范圍，壓力表體需外接電源。
[0028]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器的用途，包括:壓縮空氣管路，供水管路，燃?xì)夤苈贰?br> [0029]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器的供電方式，包括3.0V紐扣電池(CR2032)。
[0030]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器的技術(shù)指標(biāo)，包括:433ΜΗζ/900ΜΗζ工作頻率，可更換的3.0V紐扣電池，溫度范圍-20°C至+60°C，70 - 100米視線外傳輸范圍(視電池電量而定)；按I小時(shí)監(jiān)測(cè)頻率，可持續(xù)工作2年；適用于氣體，液體或蒸氣；0-160PSI壓力測(cè)量范圍；CE認(rèn)證NEMA4X換能器；用戶定義的閾值警報(bào)和通知；嵌入式應(yīng)用的理想選擇；用戶定義的閾值警報(bào)和通知消息。
[0031]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器的詳細(xì)技術(shù)參數(shù)，包括:射頻規(guī)格為工作頻率433MHz或900MHz (根據(jù)法規(guī)及客戶要求)，電路規(guī)格為電池類型可更換3.0V紐扣電池，最大工作溫度-20°C至+60°C，最佳電池工作溫度(紐扣電池)+10°C至+50°C，電源電壓
2.0-3.6V，70 - 100米視線外傳輸范圍(視電池電量而定)；按I小時(shí)監(jiān)測(cè)頻率，可持續(xù)工作2年；ABS工程塑料外殼。
[0032]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器的規(guī)格，包括:精度:0.7% BFSL精度；溫度對(duì)讀取精度的影響:2% /380C ;抗干擾能力:20V/M(符合CE標(biāo)準(zhǔn))；檢測(cè)介質(zhì):氣體，液體或蒸氣；電氣保護(hù):極性反接75VDC、過電壓60VDC、短路保護(hù)；振動(dòng):5克從50至2000Hz ;濕度:95%，無冷凝；響應(yīng)時(shí)間:小于2毫秒；喚醒時(shí)間:小于2毫秒；絕緣:1200伏兆歐；線長(zhǎng):1米屏蔽電纜(壓力表和無線單元之間)；表盤尺寸:63毫米；壓力表準(zhǔn)確度:1.6%滿量程A級(jí)(63毫米)；連接器:英寸；檢測(cè)壓力:120%滿量程；極限壓力:10倍滿量程；聚碳酸酯或安全玻璃；304不銹鋼外殼；316不銹鋼連接器；漂移抑制和電氣歸零讀??；需外接電源。
[0033]LinkMote采用江蘇寧克自主研發(fā)的傳感網(wǎng)核心技術(shù)。LinkMote開發(fā)的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)采用了 SoC片上系統(tǒng)方案，同時(shí)運(yùn)用了自主研發(fā)的嵌入式操作系統(tǒng)；目前國(guó)內(nèi)其他廠家產(chǎn)品采用zigbee傳輸協(xié)議，數(shù)據(jù)傳輸率可靠度70%;LinkMote采用AxonWeb自組網(wǎng)絡(luò)協(xié)議，數(shù)據(jù)傳輸率可靠度達(dá)到99.3%。
[0034]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器的尺寸，優(yōu)選為長(zhǎng)45毫米X寬26毫米X高20毫米。
[0035]上述實(shí)施例超微型壓力傳感器外包裝的包裝內(nèi)容物，包括:無線傳感器(即超微型壓力傳感器)，CR2032紐扣電池，安裝螺絲和安裝貼片(3M無痕膠材料)。
[0036]最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種超微型壓力傳感器，其特征在于，包括依次連接的主電路和輔助電路；所述主電路包括型號(hào)為AD693的超微型壓力傳感模塊U1，以及分別與所述超微型壓力傳感模塊Ul連接的第一插針連接器Pl和第二插針連接器P2 ;所述超微型壓力傳感模塊Ul與輔助電路連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微型壓力傳感器，其特征在于，所述超微型壓力傳感模塊U1，包括AD693，壓力傳感器，電阻R1、R2、R3和R6，變阻器R4和R5 ;其中: 所述AD693的第I連接端和AD693的第20連接端，分別與壓力傳感器的第I連接端連接，AD693的第17連接端和AD693的第18連接端，分別與壓力傳感器的第2連接端和第4連接端連接；壓力傳感器的第3連接端，分別與AD693的第6連接端和AD693的第7連接端連接，還經(jīng)電阻R3后與變阻器R5的調(diào)節(jié)端連接，經(jīng)電阻R2后接AD693的第2連接端，以及徑電阻R6后接地；變阻器R5的第一連接端分別與變阻器R5的第二連接端、變阻器R4的調(diào)節(jié)端、變阻器R4的第二連接端、AD693的第12連接端、AD693的第14連接端、AD693的第19連接端和電阻Rl的第二連接端連接，電阻Rl的第一連接端接AD693的第2連接端；變阻器R4的第一連接端與AD693的第15連接端連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超微型壓力傳感器，其特征在于，所述主電路，還包括一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第I連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第二連接端連接、另一端接地的第一電容C21, —端與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端連接、另一端接地的第二電容C291，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第30連接端連接、另一端接地的第三電容C301，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第31連接端連接、另一端接地的第四電容C311，以及連接在超微型壓力傳感模塊Ul的第31連接端與第二插針連接器P2之間的第一電阻R311。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超微型壓力傳感器，其特征在于，所述輔助電路，包括一端分別與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端連接、另一端分別接地的第四電容C191、第五電容C221、第六電容C251、第七電容C261和第八電容Cl，以及一端與第八電容Cl遠(yuǎn)離地的一端連接、另一端與直流電源VDD連接的第一電感LI ； 所述第五電容C221與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第22連接端連接；第六電容C251與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第25連接端連接；第七電容C261與超微型壓力傳感模塊Ul的第28連接端和超微型壓力傳感模塊Ul的第29連接端的公共端，還與超微型壓力傳感模塊Ul的第26連接端連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超微型壓力傳感器，其特征在于，所述輔助電路，還包括依次連接在超微型壓力傳感模塊Ul的第23連接端與地之間的第九電容C231、第二電感L232、第三電感L233、第十電容C235和撥碼開關(guān)P3，連接在第九電容C231和第二電感L232的公共端與超微型壓力傳感模塊Ul的第24連接端之間的第四電感L241，以及，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第24連接端和第四電感L241的公共端連接、另一端接地的第十一電容C241，一端與第二電感L232和第三電感L233的公共端連接、另一端接地的第十二電容C232，一端與第三電感L233和第十電容C235的公共端連接、另一端接地的第十三電容C233。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超微型壓力傳感器，其特征在于，所述輔助電路，還包括一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第17端連接、另一端接地的第十四電容C171，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第18端連接、另一端接地的第十五電容C181，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第21端連接、另一端接地的第十六電容C211，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第20端連接、另一端接地的第十七電容C201，以及，一端與超微型壓力傳感模塊Ul的第27端連接、另一端接地的第二電阻R271。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超微型壓力傳感器，其特征在于，所述輔助電路，還包括連接在第十七電容C201與超微型壓力傳感模塊Ul的第20端的公共端與第十六電容C211與超微型壓力傳感模塊Ul的第21端的公共端之間的第一晶振XI，以及，連接在第十四電容C171與超微型壓力傳感模塊Ul的第17端的公共端與第十五電容C181與超微型壓力傳感模塊Ul的第18端的公共端之間的第二晶振X2。
【文檔編號(hào)】G01L9/00GK204085767SQ201420232445
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年5月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月7日
【發(fā)明者】徐葳, 宋冬冬 申請(qǐng)人:江蘇寧克傳感器科技有限公司