專利名稱：一種電抗可控芯片測試插座的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于半導體行業(yè)，特別涉及到一種半導體芯片的測試裝置。
背景技術：
隨著集成電路芯片運行速度的日益提高，芯片測試行業(yè)要求芯片測試夾具能具有 更高的高頻信號集成性能。在芯片的實際測試中，測試夾具必須維持電抗(或阻抗)在某 一特定范圍內(nèi)(例如50歐姆)，以減少電信號在通過時造成的損耗，但是，目前的芯片測試 夾具都不能滿足高頻特性的要求。據(jù)檢索，在本實用新型作出之前，尚末發(fā)現(xiàn)與本實用新型 相同的電抗可控芯片測試插座。在現(xiàn)有技術中，目前采用的主要技術措施是盡可能縮短連 接芯片和線路板的接觸探針，企圖獲得良好的高頻特性，但均不能滿足可加工性和低價格 的要求。同樣，現(xiàn)有技術中的芯片測試插座，一般由芯片保持板、芯片插座主體及探針保持 板所組成，對于信號/電源彈簧探針和接地探針而言，采用的是相同的彈簧探針，這也從根 本上決定了電抗不能滿足日益升高的頻率要求。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的，是通過對現(xiàn)有技術的改進，采用了置換式全新結構和不同的 彈簧探針，來滿足電抗可控并且根據(jù)芯片不同的觸點分布進行調(diào)節(jié)的測試要求，以期達到 減少制造成本和提高加工性能的要求。本實用新型的目的是通過下述的技術方案來實現(xiàn)的本實用新型涉及的電抗可控 芯片測試插座，其結構主要包括有安裝在測試插座上部的芯片保持板和測試插座底部的探 針保持板。兩者之間還裝有一塊可方便拆卸的探針定位板。而在芯片保持板與探針定位板 之間，裝配有一接地銅塊。接地銅塊按實際要求置有內(nèi)腔，分別相應插入接地彈簧探針和信 號/電源彈簧探針。接地彈簧探針的外徑，與插入的接地銅塊相應的針腔孔內(nèi)徑相近，以保 證可以插入，又有良好的接觸性能；而信號/電源彈簧探針的外徑與接地銅塊相應的針腔 孔內(nèi)徑，應保持有一定的比例，一般為2. 1 2. 5，兩者間的間隙，存在著能起絕緣作用的空 氣介質(zhì)。接地彈簧探針與信號/電源彈簧探針的上端和下端都有相同的直徑。由于本實用新型引入了接地銅塊，并保障了接地銅塊與彈簧探針的良好接觸，保 證了可靠的接地；又使接地銅塊與信號/電源彈簧探針之間不直接接觸，合理的存在著絕 緣的空氣介質(zhì)，從而獲得了特定的電抗。在本實用新型中，信號/電源彈簧探針以及接地彈 簧透針之間的隔離絕緣，主要取決于探針定位板；而芯片保持板與探針保持板則起到了保 持探針的定位功能。信號/電源探針和接地探針的分布，取決于探針定位板，同種尺寸芯 片、不同接觸點分布時，只要通過更換不同探針定位板，就可以實現(xiàn)，由此可見，本實用新型 達到了如前所述的實用新型目的。

圖1 本實用新型結構示意圖具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型技術方案作進一步說明。利用螺絲將芯片保持板2和接地銅塊3固定在一起，然后根據(jù)芯片1的觸點分布， 選擇與之相對應的探針定位板6，根據(jù)不同的孔腔直徑，分別裝入接地彈簧探針4和信號/ 電源彈簧探針5，然后裝上探針保持板7，用螺絲將其固定到插座主體上，整個插座便可組 裝完成。芯片保持板2由絕緣材料制成，所有孔腔與探針4、5之間的空隙較小，從而對所有 彈簧探針4、5有定位和導向作用。同時，芯片保持板2上還設有大的導向孔，以保證芯片1 上的球與彈簧探針頭4、5相接觸。接地銅塊3由導電銅材組成，它被置于在芯片保持板2和探針定位板6之間，由于 它與接地彈簧探針4相接觸，從而使整個接地銅塊3與測試主板上的接地線相接，這樣就使 信號針與孔腔之間產(chǎn)生特定的電抗值。探針定位板6由絕緣材料制成，以分離信號/電源彈簧探針5和接地彈簧探針4 之間的接觸，同時，它作為一個與芯片1上信號、電源、接地觸點分布相對應的定位零件，對 不同觸點分布的芯片來說，只需配制相應的探針定位板6，其它零件可以不變，降低了測試 插座的成本。信號/電源彈簧探針5和接地彈簧探針4的上下端應具有相同的直徑，從而使芯 片保持板2和探針保持板7的針腔孔具有相同的直徑。這樣，當芯片1的觸點分布發(fā)生變 化時，彈簧探針4、5、接地銅塊3、芯片保持板2和透針保持板7就可以成為通用零件，而不 必更換。信號/電源彈簧探針5的外徑，與接地銅塊3的針腔內(nèi)徑之比例，可選擇為2. 3，以 滿足符合電抗所要求的比例。信號/電源彈簧探針的下部外圓設有一夾持圈，在探針定位 板6的壓持下，下動針向上移動，產(chǎn)生預載，可保證探針在運行中有穩(wěn)定而較低的電阻。接地彈簧探針4的上部有一臺階，在芯片保持板2的壓力下，接地彈簧探針4會向 下壓縮而具有預載。探針保持板7由絕緣材料制成，具有保持探針在孔腔內(nèi)的功能，同時對探針的下 端具有一定的導向作用。當需要更換另一種芯片1時，可松開螺絲，取下探針保持板7，取出接地彈簧探針4 和信號/電源彈簧探針5，選擇更換相對應的探針定位板6，然后分別裝入兩種探針4、5，裝 上探針保持板7，用螺絲固定，便形成了 一個新的測試插座。
權利要求一種電抗可控芯片測試插座，包括有安裝在插座上部的芯片保持板(2)和插座底部的探針保持板(7)，以及彈簧探針，其特征在于探針保持板(7)的上部還裝有一可活動拆卸的探針定位板(6)；而在芯片保持板(2)與探針定位板(6)之間，裝配有接地銅塊(3)；所述彈簧探針，分別有接地彈簧探針(4)和信號/電源彈簧探針(5)，分別插入接地銅塊(3)相應的孔腔內(nèi)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種電抗可控芯片測試插座，其特征在于接地彈簧探針(4) 的外徑與接地銅塊(3)相應的針腔孔內(nèi)徑相近，有良好的接觸。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種電抗可控芯片測試插座，其特征在于信號/電源彈簧 探針(5)的外徑與接地銅塊(3)相應的針腔孔內(nèi)徑的比例為2. 1 2. 5 ；兩者間存在著絕 緣的空氣介質(zhì)。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種電抗可控芯片測試插座，其特征在于接地彈簧探針(4) 與信號/電源彈簧探針(5)的上端和下端，直徑相同。
專利摘要一種電抗可控芯片測試插座，由芯片保持板(2)、接地銅塊(3)、探針定位板(6)、探針保持板(7)以及接地彈簧探針(4)與信號/電源彈簧探針(5)所組成。隨著集成電路芯片運行速度的日益提高，可以滿足測試行業(yè)要求芯片測試夾具，應具有更好高頻集成信號，使其電抗(或阻抗)在某一特定范圍內(nèi)，以減少電信號通過時的損耗。同時，本實用新型在使用不同芯片(1)的觸點分布發(fā)生變化時，只需要方便地更換探針定位板(6)，其它零件則不要改變，便可滿足使用要求，大大提高了測試插座的加工性，降低了成本。
文檔編號G01R1/073GK201662582SQ20092027328
公開日2010年12月1日 申請日期2009年12月11日 優(yōu)先權日2009年12月11日
發(fā)明者周家春, 楊曉勇, 潘杰姆, 陶西昂 申請人:安拓銳高新測試技術(蘇州)有限公司