專利名稱：一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)改進(jìn)。該壓力傳感器廣泛應(yīng) 用于工業(yè)、醫(yī)療、航空航天、石油化工和航海等領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散硅壓力傳感器是目前測量壓力的一種重要傳感器。隨著充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳 感器在各行業(yè)的廣泛應(yīng)用，擴(kuò)散硅壓力傳感器的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)的要求不斷提高。由于傳感器 結(jié)構(gòu)問題嚴(yán)重影響測量精度，因此改進(jìn)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是傳感器設(shè)計(jì)中的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。 發(fā)明內(nèi)容
為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)中由于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)而產(chǎn)生的測量精度誤差、本實(shí)用新型提出了一種結(jié)構(gòu) 改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器。
本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，在引線基座處增 加了正面壓緊環(huán)和反面壓緊環(huán)，以增加引線基座的強(qiáng)度，減少基座受力后產(chǎn)生的形變，提高 測量精度。
進(jìn)一步地，在彈性膜片下部還增加了陶瓷蓋碗，以減少硅油用量及減弱外界電磁干擾。 本實(shí)用新型的有益效果是在內(nèi)硅杯引線基座的正反兩面增加了正面壓緊環(huán)和反面壓緊
環(huán)，以夾緊引線基座，從而降低引線基座受壓變形而引起的硅杯測量精度誤差。還增加了陶
瓷蓋碗，用以減少硅油用量及減弱外界電磁干擾。


圖1是本實(shí)用新型傳感器的結(jié)構(gòu)剖視圖2是反面壓緊環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中a是俯視圖，b是剖視圖； 圖3是正面壓緊環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中a是俯視圖，b是剖視圖； 圖4是陶瓷蓋碗的結(jié)構(gòu)示意圖，其中a是俯視圖，b是剖視圖1中標(biāo)記1、不銹鋼壓緊環(huán)；2、不銹鋼彈性膜片；3、陶瓷蓋碗；4、不銹鋼外殼；5、 玻璃封裝銅引線；6、反面壓緊環(huán)；7、引線基座；8、通氣孔；9、正面壓緊環(huán)；10內(nèi)硅杯。
具體實(shí)施方式

參照圖l-圖4，不銹鋼壓緊環(huán)1與不銹鋼彈性膜片2及不銹鋼外殼4焊接，陶瓷蓋碗3、 正面壓緊環(huán)9、內(nèi)硅杯10內(nèi)置于不銹鋼外殼4內(nèi)，引線基座7與不銹鋼外殼4焊接；正面壓 緊環(huán)9與反面壓緊環(huán)6與引線基座7粘接或焊接。
反面壓緊環(huán)6與正面壓緊環(huán)9為剛性絕緣體。
權(quán)利要求1、一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，在引線基座處增加了正面壓緊環(huán)和反面壓緊環(huán)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，在 彈性膜片下部增加了陶瓷蓋碗。
專利摘要本實(shí)用新型提出了一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器。其改進(jìn)之處在于，在引線基座處增加了正面壓緊環(huán)和反面壓緊環(huán)，以增加引線基座的強(qiáng)度，減少基座受力后產(chǎn)生的形變，提高測量精度。并增加了陶瓷蓋碗以減少硅油用量及減弱外界電磁干擾。本實(shí)用新型改進(jìn)了充油型擴(kuò)散硅壓力傳感器的結(jié)構(gòu)缺陷，提高了充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的測量精度。
文檔編號G01L1/18GK201413214SQ20092010888
公開日2010年2月24日 申請日期2009年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月16日
發(fā)明者剛 季 申請人:剛 季