專利名稱：一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是有關(guān)一種自動光學(xué)檢測設(shè)備，特別是指一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備。
背景技術(shù)：
AOI (automatics optical inspection, 自動光學(xué)檢測設(shè)備)之主要操作原理是主要藉由計算機程序驅(qū)動下，透過攝像鏡頭對檢測物進行自動掃瞄，采集圖像，并將圖像與數(shù)據(jù)庫中的合格參數(shù)進行比較分析，經(jīng)過圖樣處理后，檢測出檢測物上的缺陷，并透過顯示器或自動標志把缺陷顯示./標示出來，以供維修人員進行修整，因此AOI除了能檢測出.目檢無法查出的缺陷外，還能把生產(chǎn)過程中所出現(xiàn)的缺陷類型加以收集，產(chǎn)生統(tǒng)計資料，以供制程控制人員分析和管理。
綜上所述，AOI相較于傳統(tǒng)檢測方式，具有精密度高，沒有人工目測受到組件微小化的限制，再者檢測速度快，能夠有效節(jié)省人工成本，與具有數(shù)據(jù)儲存功能，可供后續(xù)分析管理。因此AOI設(shè)備已普遍應(yīng)用于各種產(chǎn)業(yè)的檢測作業(yè)上，尤其是在半導(dǎo)體(IC)、平面顯示器(FDP)、印刷電路板(PCB)、印刷電路板組裝(PCBA)等領(lǐng)域中。
而就薄膜晶體管液晶顯示器而言，AOI設(shè)備的檢測幾乎應(yīng)用于所有制程步驟中，舉例來說在TFT圖形數(shù)組版、彩色濾光片、LCD面板組裝、LCD模塊組裝等制程中需要AOI設(shè)備進行檢測，而已完成的TFT圖形數(shù)組版與彩色濾光片在運送至LCD面板組裝站點前、偏光板運送至LCD面板組裝站點前、LCD面板組裝后進行LCD模塊組裝前，以及LCD模塊組裝后也皆需要利用AOI進行檢測。
在LCD面板組裝之站點后，所需進行的AOI檢測，包含有如第1A圖所示之利用掃瞄式攝像鏡頭10對LCD面板12進行污染粒子檢觀lj (particle inspection)與如第IB圖所示之利用量測用的量測攝像鏡頭14對LCD面板12進行對組精度量測。但是上述AOI設(shè)備皆為獨立機臺設(shè)備，因此造成無塵室的使用與配置受到限制，再者，為配置這三套AOI設(shè)備與設(shè)備所需的載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，將占據(jù)無塵室相當(dāng)大的空間，而相對的運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車(RGV)的動線也受到限制。
再者，在LCD面板組裝之站點后，習(xí)知是利用人工以放大鏡16對于LCD面板12對組精度進行膠寬量測(MAchecker),如圖1C所示'，但這樣的方式，往往受到操作人員身高限制及衍生安全性的問題。
有鑒于此，本實用新型遂針對上述習(xí)知技術(shù)之缺失，提出一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，以有效克服上述之該等問題。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于解決上述缺陷，而提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其同時具有LCD面板污染粒子檢測、框膠線寬量測檢測與對組精度檢測的功用。
本實用新型之另一目的在提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其僅需配置一個加載(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，即可具有LCD面板框膠線寬量測檢測、污染粒子檢測與對組精度檢測的功能，能夠大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的空間占用率，進而使得無塵室的空間應(yīng)用能更靈活。本實用新型之再一目的在提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢
測設(shè)備，其能使運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車(RGV)動線的配置限制更具彈性。
本實用新型之又一目的在提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其能避免進行LCD面板對組精度檢測時，操作人員身高限制及衍生安全性的問題。
為實現(xiàn)上述目的一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有
加載區(qū)域，其是用以裝載一待測物；
卸載區(qū)域，其是用卸載該待測物；
掃瞄式攝像鏡頭與 一 量測攝像鏡頭，載區(qū)域與該卸載區(qū)域之間，該掃瞄式攝像物進行污染粒子檢測，而該量測攝像鏡頭行框膠線寬量測與/或?qū)M精度量測；
瑕疵檢査主機，.其是用以呈現(xiàn)出該掃擷取出的影像并記錄；
校準檢査主機，其是將該量測攝像鏡與該校準檢查主機內(nèi)的數(shù)據(jù)參數(shù)進行比較現(xiàn)。
其中該污染粒子檢測結(jié)果是可用以確后的機臺清潔度。
其是應(yīng)用在薄膜晶體管液晶顯示器的檢測。
其中該掃瞄式攝像鏡頭是使用 一 掃瞄式電荷耦合組件。
其中該量測攝像鏡頭是使用 一 掃瞄式電荷耦合組件。
其中該瑕疵檢查主機包含有一顯示裝置。
其中該校準檢查主機包含有一顯示裝置。
其是裝設(shè)于該加鏡頭是對該待測是對該待測物進
瞄式攝像鏡頭所
頭所擷取之影像分析并記錄或呈
認機臺保養(yǎng)管理其中該待測物承載至該加載區(qū)域是利用 一 磁性導(dǎo)引無人搬運車或有軌式搬運車進行搬運。
其中該待測物是液晶顯示器面板。
本實用新型的有益效果
為達上述之目的，本實用新型提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有一加載待測物之加載區(qū)域； 一卸載待測物之卸載區(qū)域；裝設(shè)于加載區(qū)域與卸載區(qū)域間的掃瞄
式攝像鏡頭； 一用以呈現(xiàn)出掃瞄式攝像鏡頭所擷取出的影像并記錄的瑕疵檢查主機；以及 一 用以將量測攝像鏡頭所擷取之影像呈現(xiàn)或比較分析并記錄的校準檢査主機。


圖1A為利-用掃瞄式攝像鏡頭進行待測物之污染粒子檢測的示意圖。
圖.1B為利用量測式攝像鏡頭進行對組精度量測的示意圖。
圖1C為人工以放大鏡進行膠框量測的示意圖。
圖2為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備之主要架構(gòu)示意圖。
圖3 5為利用本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備進行污染粒子檢測、框膠線寬量測檢測或進行對組精度巨觀審核的示意圖。
圖6為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺立體示意圖。
圖7為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺側(cè)視圖。圖8為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺的實際操作示意圖。
圖中10掃瞄式攝像鏡頭； 12 LCD面板；
14量測攝像鏡頭； 16放大鏡；
20復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備； 22掃瞄式攝像鏡頭；
23 LCD面板； 24量測攝像鏡頭；26瑕疵檢查主機；
28校準檢查主機； 30加載區(qū)域； 32卸載區(qū)域；
34操作位置；
具體實施方式
如圖1至8所示本實用新型之精神所在乃針對在LCD面板組裝之站點后，所需進行的對組精度量測與污染粒子檢測(particle inspection)之AOI設(shè)備整合形成 一 嶄新
的復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，并將習(xí)知需透過人工以放大鏡進行觀測膠寬的檢測部分，利用本實用新型復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備進行，而使創(chuàng)作之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備達到多用途之目的。
再者，藉由本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的設(shè)置，僅需一個載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，因此相對的能夠大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的占用率，進而使得無塵室的空間能更有有效地應(yīng)用，不在受限于運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV )或有軌式搬運車(RGV )
動線的配置限制。此外，利用本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的設(shè)置可將原先分作為三個AOI檢測設(shè)備的
機臺中的相同組件部分共享，因而能有效的減少工廠配置在檢測儀器上的成本花費。
接續(xù)，下列說明是針對上述本實用新型之精神所提出之具體實施例說明，但須陳明的是下列說明僅是為使熟悉該項技術(shù)更清楚、明白本實用新型，而并不能以此具體實施例來作為本實用新型之權(quán)利范圍的局限。
首先，請一并參閱第2圖，其是本實用新型之主要架 構(gòu)示意圖。本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備20包含 有一自動檢測用的掃瞄式攝像鏡頭22，其是使用掃瞄式電 荷耦合組件(scan CCD); —量測攝像鏡頭24，其是使用 量測式電荷耦合組件(measured CCD); —用以接收掃瞄式 攝像鏡頭22所擷取到的影像，以進行LCD面板上污染粒子 檢測的瑕疵檢査主機26;以及一校準檢查主機28，其是接 收量測攝像鏡頭24經(jīng)定位、對焦后所擷取到之影像與校準 檢査主機內(nèi)的數(shù)據(jù)參數(shù)進行比較分析并記錄。
藉由這樣的設(shè)置將可以達成利用掃瞄式攝像鏡頭22對
LCD面板上污染粒子進行檢測，并可利用量測用的量測攝 像鏡頭24的自動對焦是統(tǒng)，來對污染粒子進行放大取像， 以利分析。.
再者，透過軟件設(shè)定，將量測用攝像鏡頭24自動移至 設(shè)定位置并自動對焦，以對LCD面板的框膠線寬進行量測 檢測與/或進行LCD面板對組精度量測，人員僅需由量測用 的量測攝像鏡頭24所取之影像進行判定分析。
接續(xù)，請參閱第3 5圖，其是利用本實用新型之復(fù)合 式自動光學(xué)檢測設(shè)備進行LCD面板污染粒子檢測、LCD面 板框膠線寬量測檢測或進行LCD面板對組精度檢測的示意 圖。
首先，輸送帶(conveyor)(圖中未示)搬送LCD面板 23進入本發(fā)明之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備之檢測區(qū)域時， 靠位機器(圖中未示)自動會整列LCD面板23至定位，并 由錄象機(圖中未示)讀取基板的識別碼(ID)。讀取完畢 后，基板兩側(cè)的真空裝置(圖中未示)吸附LCD面板23， 于LCD面板23下方使用空氣漂浮(air floating)使LCD 面板23呈均勻水平并搭配移載組移動于復(fù)合式自動光學(xué) 檢測設(shè)備之檢測區(qū)域范圍內(nèi)作LCD面板23檢測，并將檢測后的相關(guān)數(shù)據(jù)儲存于相對應(yīng)之主機內(nèi)并于顯示器上顯示受 檢測基板的相關(guān)信息。
在掃瞄式攝像鏡頭22中所使用的打光方式為反射式， 采亮場(bright field)取像方式取像，掃瞄式攝像鏡頭 22取經(jīng)由LCD面板23所反射的光，而取得待測物影像， 并將影像傳送至瑕疵檢查主機26，以供人員透過瑕疵檢査 主機26之顯示器或自動標志把缺陷顯示/標示出來，以供 維修人員進行修整，并還能把生產(chǎn)過程中所出現(xiàn)的缺陷類 型加以收集，產(chǎn)生統(tǒng)計資料，以供制程控制人員分析和管 理，并確認機臺保養(yǎng)管理(PM)后機臺清潔度。
再者，更可透過設(shè)定，將量測攝像鏡頭24自動移至LCD 面板23上的污染粒子位置并自動對焦，以擷取出污染粒子 的影像。此 一 污染粒子檢測結(jié)果是可用以確認機臺保養(yǎng)管 理(PM)后的機臺清潔度。
當(dāng)對LCD面板23之框膠線寬進行量測檢測與/或進行 對組精度檢測時，則以軟件設(shè)定判定點，將量測攝像鏡頭 24自動移至設(shè)定位置并進行對焦取像，并將取像結(jié)果顯示 于校準檢査主機28之顯示器上。鑒此，人員僅需由量測攝 像鏡頭24所取像之影像，進行對準精度的判定。
在比對框膠線寬的部分，是利用量測攝像鏡頭24對框 膠寬度所測得之影像與校準檢查主機28之?dāng)?shù)據(jù)庫中的合 格參數(shù)進行比較分析，并將比對分析后的框膠參數(shù)顯示于 校準檢查主機28之顯示器，以獲知框膠線寬，或者將數(shù)據(jù) 儲存于數(shù)據(jù)是統(tǒng)中，產(chǎn)生統(tǒng)計數(shù)據(jù)，以供制程控制人員分 析和管理。
利用本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，單 一 組 對后的LCD基板23將可于同一設(shè)備進行框膠線寬量測與對 準精度量測，鑒此，可大幅度簡化產(chǎn)品量測與檢測流程。
請再參閱第6圖與第7圖，其為分別本實用新型之復(fù) 合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺立體示意圖與側(cè)視圖。由圖
9中可視，本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備20只需一 個加載(LD)區(qū)域30/卸載(ULD)區(qū)域32，即可進行LCD 面板之框膠線寬量測檢測、污染粒子檢測與對組精度的檢 測，因此，能夠大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的 空間占用率，進而使得無塵室的空間能更有效地靈活應(yīng)用。 而人員的操作位置34則設(shè)定于本實用新型之復(fù)合式自動 光學(xué)檢測設(shè)備20之兩側(cè)，如第8圖所示。
綜上所述，本實用新型是基于簡化檢測與量測流程， 而進行設(shè)備功能之結(jié)合所產(chǎn)生的嶄新復(fù)合式自動光學(xué)檢測 設(shè)備，其包含有一用于自動檢測用的掃瞄式攝像鏡頭、一 量測用的量測攝像鏡頭、 一 用以呈現(xiàn)出掃瞄式攝像鏡頭所 擷取出的影像并記錄的瑕疵檢查主機、 一用以將量測攝像 鏡頭所擷取之影像進行比較分析、記錄與呈現(xiàn)的校準檢查 主機以及 一 用以加載或卸載LCD面板的加載/卸載區(qū)域。
本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備將LCD面板之 框膠線寬量測檢測、污染粒子檢測與對組精度的檢測結(jié)合 在一機臺，藉此大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的 空間占用率，進而使得無塵室的空間能更有有效地應(yīng)用， 使運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車 (RGV)動線的配置更具彈性。
此外共享一 AOI設(shè)備后能將LCD面板之框膠線寬量測
檢測、污染粒子檢測與對組精度的檢測機臺中相同組件的
部分省略，能有效的減少工廠配置在檢測儀器上的成本花
費°
唯以上所述者,僅為本實用新型之較佳實施例而己，
并非用來限定本實用新型實施之范圍。故即凡依本實用新
型申請范圍所述之特征及精神所為之均等變化或修飾，均
應(yīng)包括于本實用新型之申請專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有加載區(qū)域，其是用以裝載一待測物；卸載區(qū)域，其是用卸載該待測物；掃瞄式攝像鏡頭與一量測攝像鏡頭，其是裝設(shè)于該加載區(qū)域與該卸載區(qū)域之間，該掃瞄式攝像鏡頭是對該待測物進行污染粒子檢測，而該量測攝像鏡頭是對該待測物進行框膠線寬量測與/或?qū)M精度量測；瑕疵檢查主機，其是用以呈現(xiàn)出該掃瞄式攝像鏡頭所擷取出的影像并記錄；校準檢查主機，其是將該量測攝像鏡頭所擷取之影像與該校準檢查主機內(nèi)的數(shù)據(jù)參數(shù)進行比較分析并記錄或呈現(xiàn)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其特征是，其中該掃瞄式攝像鏡頭是使用一掃瞄式電 荷耦合組件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其特征是，其中該量測攝像鏡頭是使用一掃瞄式電荷 耦合組件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其特征是，其中該瑕疵檢査主機包含有一顯示裝置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其特征是，其中該校準檢査主機包含有一顯示裝置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其特征是，其中該待測物承載至該加載區(qū)域是利用一 磁性導(dǎo)引無人搬運車或有軌式搬運車進行搬運。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其特征是，其中該待測物是液晶顯示器面板。
專利摘要本實用新型公開了一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有一自動檢測用的掃瞄式攝像鏡頭；一量測用攝像鏡頭；一瑕疵檢查主機；以及一校準檢查主機。本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備在僅需配置一個加載/卸載區(qū)域的設(shè)計下，即可具有污染粒子檢測、框膠線寬量測檢測與對組精度檢測的功用，形成一機多用途的有效利用，因此可大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的空間占用率，進而使得無塵室的空間能更有效地應(yīng)用。
文檔編號G01N21/88GK201266177SQ20082004660
公開日2009年7月1日 申請日期2008年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月18日
發(fā)明者余政杰 申請人:深超光電(深圳)有限公司