專利名稱：用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣體密封技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置。
背景技術(shù)：
目前，在多種設(shè)備中安裝有旋轉(zhuǎn)主軸低速旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，同時需要有氣體通過旋轉(zhuǎn)主軸中間通氣孔到達頂部進行工藝試驗的結(jié)構(gòu)。根據(jù)不同工藝的要求，通過旋轉(zhuǎn)主軸的氣體壓力需要有一定的保證，同時如果通過旋轉(zhuǎn)主軸的氣體是有害氣體，必須保證該氣體不可外漏；比如現(xiàn)階段清洗機旋轉(zhuǎn)主軸就需要有氮氣通過主軸中間通氣孔，對晶片背面進行噴氣清潔處理。但是，而現(xiàn)階段類似的結(jié)構(gòu)都不能夠完全解決漏氣問題，即使能解決漏氣問題也會造成工藝環(huán)境的極度惡化。對于磁懸浮密封會在空氣中產(chǎn)生大量金屬粒子的聚集而惡化環(huán)境，對于一般的油液密封采取循環(huán)填充油液的方式保證油液的量，填充過程中有油液的泄漏和飛濺等現(xiàn)象出現(xiàn)。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中主軸在低速旋轉(zhuǎn)時氣體在旋轉(zhuǎn)處外漏的缺陷。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，包括:主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，其特征在于，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內(nèi)圈端面密封連接有沿所述軸承內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封環(huán)，所述通氣軸承座上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽，所述圓環(huán)形油脂槽中填充高密度油月旨，所述圓環(huán)形密封環(huán)浸入在所述油脂中并在所述驅(qū)動裝置的帶動下使軸承的圓環(huán)形密封環(huán)在圓環(huán)形油脂槽中轉(zhuǎn)動。進一步地，所述軸承與所述主軸過渡配合或過盈配合。進一步地，所述圓環(huán)形密封環(huán)采用焊接或粘接方式與所述軸承的端部連接。進一步地，所述通氣軸承座的底部設(shè)有底部通氣孔。(三)有益效果本實用新型提供的用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，通過在軸承的內(nèi)圈端面密封連有圓環(huán)形密封環(huán)，同時在通氣軸承座上設(shè)置相應(yīng)的圓環(huán)形油脂槽，使得氣體被阻擋在旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室內(nèi)；又在圓環(huán)形油脂槽中設(shè)有油脂，采用油液密封將氣體徹底阻擋在旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室內(nèi)而無法外漏，同時通氣軸承座上直接設(shè)置底部通氣孔，減少了單獨設(shè)計通氣孔裝置再與軸承座連接的過程，保證了氣體密封性。因此其能有效解決主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封的問題，保證工藝環(huán)境的潔凈。
圖1為本實用新型實施例用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置的剖面示意圖；圖2為本實用新型實施例主軸的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例軸承連接圓環(huán)形密封環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例通氣軸承座的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4的剖視示意圖。圖中，1:通氣軸承座；2:軸承；3:王軸；4:圓環(huán)形 封環(huán)；5:底部通氣孔；6:旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室；7:圓環(huán)形油脂槽；8:主軸通氣孔。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。此外，在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”、“多根”、“多組”的含義是兩個或兩個以上。參見圖1-圖5，該密封裝置包括主軸3及與其連接的軸承2，軸承2固定在通氣軸承座I上，其中，軸承2與主軸3密封連接，軸承2的內(nèi)圈端面密封連接有沿軸承2內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封環(huán)4，通氣軸承座I上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽7，圓環(huán)形油脂槽7中填充油脂，圓環(huán)形密封環(huán)4可在驅(qū)動裝置帶動下使軸承2上面的圓環(huán)形密封環(huán)4在圓環(huán)形油脂槽7中轉(zhuǎn)動。軸承2由內(nèi)圈、外圈以及中間的滾珠組成，滾珠會導(dǎo)致漏氣，因此將圓環(huán)形密封環(huán)4設(shè)在軸承2的內(nèi)圈端面。其中，主軸3的中央設(shè)有主軸通氣孔8，通氣軸承座I的底部設(shè)有底部通氣孔5，氣體從底部通氣孔5進入該密封裝置，然后通過主軸3上的主軸通氣孔8到達主軸3的頂部進行工藝。在通氣軸承座I的圓環(huán)形油脂槽7中填充適量的油脂，將密封連接的主軸3與軸承2固定在通氣軸承座I上，此時圓環(huán)形密封環(huán)4正好位于圓環(huán)形油脂槽7中，此時由圓環(huán)形密封環(huán)4浸入到圓環(huán)形油脂槽7中而形成了一個旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室6，利用軸承2與主軸3的配合可以使主軸3能夠順暢轉(zhuǎn)動，同時由于是低速轉(zhuǎn)動且油脂的密度很大，不會產(chǎn)生油液飛濺的現(xiàn)象。同時，底部通氣孔5設(shè)計在通氣軸承座I上面，既形成一體的通氣軸承座1，避免了單獨設(shè)計通氣孔裝置，減少了通氣孔裝置與軸承座連接的一個環(huán)節(jié)，可以更加有效的防止漏氣現(xiàn)象出現(xiàn)。并且由于沒有油液的飛濺以及循環(huán)填充油液時油液泄漏的現(xiàn)象出現(xiàn)，以及像磁流體密封中產(chǎn)生的大量金屬粒子聚集的現(xiàn)象出現(xiàn)，因而保證了在低速旋轉(zhuǎn)過程中該裝置所在的工藝環(huán)境的潔凈。此時對于除上下通氣孔的位置，中間的旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室6為封閉狀態(tài)，油脂密封又保證不會有氣體泄漏，因而達到了最佳的密封效果。其中，主軸3與軸承2密封配合，保證了旋轉(zhuǎn)主軸3與軸承2之間沒有間隙，是緊密配合的。防止氣體從主軸3與軸承2的配合處漏出，同時保證主軸3的旋轉(zhuǎn)順暢以及主軸3與軸承2的同軸度。其中，軸承2內(nèi)圈底部的圓環(huán)形密封環(huán)4，可采用粘接或焊接方式與軸承2的內(nèi)圈端面連接，例如無縫焊接方式。從工藝和實現(xiàn)的效果角度來講，采用焊接方式較好。當(dāng)然也可以采用佩帶密封圈的機械連接方式將圓環(huán)形密封環(huán)4與軸承2的內(nèi)圈端面連接，例如，在圓環(huán)形密封環(huán)4和軸承2之間設(shè)置密封圈，再采用螺釘連接方式將圓環(huán)形密封環(huán)4、軸承2和密封圈連接成一個整體。無論采用哪種方式都可以保證軸承2和圓環(huán)形密封環(huán)4之間沒有縫隙，從而保證了氣體的密封性，使氣體不能通過焊接的縫隙漏氣。其中，圓環(huán)形密封環(huán)4浸入到密封油脂中。密封油脂為高密度油脂，其性能可以根據(jù)具體工藝需求選定，其性能為優(yōu)良的高低溫性、熱穩(wěn)定性和化學(xué)安定性，耐水密封性，良好的潤滑性能和粘附性能，其在高溫下稠度變化小，本身粘稠度大。采用高密度油脂密封，使氣體不能通過圓環(huán)形密封環(huán)4與圓環(huán)形油脂槽7的縫隙漏出，對保證氣壓穩(wěn)定以及防止有害氣體的外漏有很好的效果；同時低速旋轉(zhuǎn)的主軸3端部的圓環(huán)形密封環(huán)4在填充了適量高密度油脂的圓環(huán)形油脂槽7內(nèi)旋轉(zhuǎn)時，油脂不僅達到密封氣體的作用，并且不會產(chǎn)生油液飛濺的現(xiàn)象，也不會產(chǎn)生大量雜質(zhì)和油液對工藝環(huán)境造成破壞，保證了該裝置所在的工藝環(huán)境的的潔凈。該密封裝置采用主軸3與軸承2的密封配合的方式如過渡配合或過盈配合來防止氣體外漏；并且采用密封焊接或粘貼或佩帶密封圈的機械連接，保證氣體不能通過連接處的縫隙漏出；同時采用圓環(huán)形密封環(huán)浸入高密度油脂中的方式達到防漏氣的目的；并且通氣軸承座上直接設(shè)置底部通氣孔，減少了單獨設(shè)計通氣孔裝置再與軸承座連接的過程，保證了氣體密封性。因此，本實用新型成功解決了主軸3低速旋轉(zhuǎn)氣體密封的問題，并且保證該裝置所在的工藝環(huán)境的潔凈。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，包括:主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，其特征在于，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內(nèi)圈端面密封連接有沿所述軸承內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封環(huán)，所述通氣軸承座上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽，所述圓環(huán)形油脂槽中填充油脂，所述圓環(huán)形密封環(huán)浸入在所述油脂中并在驅(qū)動裝置的帶動下使圓環(huán)形密封環(huán)在圓環(huán)形油脂槽中轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求1所述的用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，其特征在于，所述軸承與所述主軸過渡配合或過盈配合。
3.如權(quán)利要求1所述的用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，其特征在于，所述圓環(huán)形密封環(huán)采用焊接或粘接方式與所述軸承的內(nèi)圈端面連接。
4.如權(quán)利要求1所述的用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，其特征在于，所述通氣軸承座的底部設(shè)有底部通氣孔。
專利摘要本實用新型涉及氣體密封技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置。該裝置包括主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內(nèi)圈端面密封連接有沿所述軸承內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封環(huán)，所述通氣軸承座上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽，所述圓環(huán)形油脂槽中填充油脂，所述圓環(huán)形密封環(huán)浸入在所述油脂中并在驅(qū)動裝置的帶動下使圓環(huán)形密封環(huán)在圓環(huán)形油脂槽中轉(zhuǎn)動。本實用新型提供一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，其能夠有效解決主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封的問題，保證不漏氣；并且不會產(chǎn)生大量雜質(zhì)和油液對工藝環(huán)境造成破壞，保證工藝環(huán)境的潔凈。
文檔編號F16C33/76GK203009595SQ201220634038
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月26日
發(fā)明者王浩 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司