專利名稱：帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法
技術領域：
因此，為了微小地調整流體流量，重要的是使閥座114進行微小旋轉。但是，由于因旋轉而產生的圓周位移量與圓半徑和旋轉角度的積成比例，所以，在圓半徑大的情況下，旋轉角度量相對地減小。雖然一般不限于針閥，在流量控制閥的情況下，如果精細地控制剛剛開閥后的極小的圓周位移量，則還需要精細地控制旋轉角度，但是，在圓半徑大的情況下，必須使旋轉角度的調整進一步精細，僅僅這些就意味著難以進行微小流量控制。另一方面，在圓半徑小的情況下，正確地刻設那樣的圓弧狀節(jié)流槽反而變得困難。因此，在圓弧狀
6節(jié)流槽中，圓半徑必然增大，出現(xiàn)了微小角度控制的困難性。本發(fā)明的第九方式是，在上述第五或第七方式中，在閥特 性為由
G*=G0*(1-L"
(這里，Gj為L*=0時的G'的值)表示的等百分比型，由G。*=1/RA
(l^RA￡oo)表示時，上述臨界長度LEC由
LEc^IVlnRA給出。
0022本發(fā)明的第十方式是，在上述第一至第四的任意一個方式 中，所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置具備上述入口節(jié)流槽的 截面積向上述主節(jié)流槽的始端位置單調地增加的入口節(jié)流槽。
0023本發(fā)明的第十一方式是，在上述第十方式中，上述入口節(jié) 流槽的截面積AE (z)沿流動方向坐標z線型地增加，上述截面積AE (z)由
AE ( z ) =AEQ+{ (AE0-AEq)/Leq}'z(這里，AEQ為入口節(jié)流槽的始端截面積，AE。為與上述主節(jié)流槽的始 端位置相接的入口節(jié)流槽的終端截面積、LEQ為入口節(jié)流槽的長度，z
為流體的流動方向坐標)給出。

圖11是閥特性為線性型的情況下的臨界長度的分類圖。 在上述關系式(2-4)中包含G^和(dGVl/) ， G^和l/的關系由所希 望的閥特性決定。作為代表性的閥特性，有線性型和等百分比型，這 兩種閥特性中，首先詳細闡述線性型的情況。
[0054在閥特性為線性型的情況下，無因次流量G'由
G*=G0*+ (1-G0*) '1/ ............... ( 4畫1)
給出，這里，G(/為L;0的G+的值，與幅度變化范圍ra有下述的關 系
G0*=1/RA ........................... (4-2)。
在上述主節(jié)流槽的終端具有理想的形狀的情況下，雖然在全閉狀 態(tài)(LA=0)附近的流量根據(jù)閥特性連續(xù)地接近于0，但是，現(xiàn)實中形 成這樣的終端形狀是不可能的。在由式子表示閥特性的情況下，將初 期流量G、或者幅度變化范圍RA導入。上述線性型的閥特性使用幅度 變化范圍RA，可以由
G*=1/RA+ ( 1-1/RA )1/ ............... ( 4畫3 )
表示。若求出此式(4-3)的(dG*/L*)，則成為
(dG*/L*) = ( 1-1/RA ) ...............(")。
若將式(4-3)及式(4-4)代入關系式(2-4)，則可以導出不限定流體的種類及節(jié)流槽的形狀的、相對于線性型閥特性而言的臨界長
度的一般關系式(4-5)。
[0055在上述主節(jié)流槽為相似形截面的情況下，若將式(3-9)、 (4-3)及(4-4)代入上述關系式(2-4),則可以得到相對于線性型 閥特性而言的相似形截面中的臨界長度的關系式(4-6)。進而，若限 定為非壓縮性流體.相似形截面的情況，則通過將式(4-4)代入上述 臨界長度的關系式(3-11)，能夠導出相對于線性型閥特性而言的非 壓縮性流體.相似形截面的關系式(4-7)。另外，在非壓縮性流體.相 似形截面的情況下，根據(jù)上述式(3-8)及式(4-3)，相對于具有臨 界長度LEC的入口節(jié)流槽而言，主節(jié)流槽的截面積具有成為
A*=1/RA+ (1-1/RA ) 1/ ............... ( 4-8 )
的關系。進而，在幅度變化范圍無限大時，根據(jù)上述關系式(4-7)，
臨界長度LEC成為
LEC=L0 ........................ (4-9 )。
因此，如果對處理非壓縮性流體的微小流量控制裝置賦與線性型 的閥特性，則只要將主節(jié)流槽的截面的形狀做成相似形，使其長度Lo 和入口節(jié)流槽的臨界長度Lec相等即可。
0056圖12是賦與了線性型的閥特性的微小流量控制裝置中的 主節(jié)流槽的截面積A和流量Q的關系圖。流體是粘度為1.01xlO_3Pa-s 的水，流入口和流出口的壓力差為O.lMPa， i殳主節(jié)流槽的長度Lo為 10mm，截面形狀具有相似的半圓形，幅度變化范圍設定為無限大。 即，在滿足非壓縮性流體.相似形截面的條件的情況下，通過使上述流 量調整滑塊從流體流出口的全閉狀態(tài)(L*=0)向全開狀態(tài)(L*=l)滑 動，上述流量Q被設計成能夠從O到最大流量線性地變化的方式。
[0057為了達到上述的設計目的，作為入口節(jié)流槽的臨界長度 LEC，使用非壓縮性流體'相似形截面的情況下的式(4-7)進行算定。 但是，在此情況下，因為已將幅度變化范圍作為無限大，所以根據(jù)式 (4-7)，上述臨界長度LEc被視為與Lo相同的長度。即，被設定為 10mm。從圖可以看出，通過設置具有上述臨界長度的入口節(jié)流槽，僅使上述主節(jié)流槽的截面積A (□)直線性地增加，即可對微小流量 控制裝置賦與高精度的線性型的閥特性。
[0058另一方面，在沒有由粗線所示的入口節(jié)流槽(LE=0)的情 況下，直到1/=0.5附近，上述截面積A (粗線)伴隨著上述升程1/ 的增加單調地增加。但是，為了實現(xiàn)上述線性型的閥特性，需要隨著 與全開狀態(tài)(L、1)接近而進行使上述截面積A減小這樣的縮小，在 無因次升程L、0.7附近，具有截面積的最大值。因此，在沒有入口節(jié) 流槽的微小流量控制裝置中，將在主節(jié)流槽存在擴大部。為了在閥芯 上形成存在這樣的擴大部的細微的主節(jié)流槽，需要非常高度的加工技 術，同時，形成能夠穩(wěn)定且高精度地供給流量的節(jié)流槽非常困難。
[0059圖13是賦與了線性型的閥特性的微小流量控制裝置中的 主節(jié)流槽的截面積A和流量Q的關系圖。流體為粘度比此前的水大約 大30倍的情況(作為例子，3.16xl(T2Pa.s的變壓器油)，其它的條件 被設定為與圖12的使用水的情況相同的值。即，上述流入口和流出口 的壓力差為O.lMPa，主節(jié)流槽的長度L。為10mm，截面形狀具有相 似的半圓形，幅度變化范圍被設定為無限大。從上述微小流量控制裝 置流出的流量Q也伴隨著無因次升程l/從0到1變化而線性地增加， 上述主節(jié)流槽具有線性型的閥特性。
[0060這里，因為入口節(jié)流槽的長度LE被設定為臨界長度LEc， 在非壓縮性流體.相似形截面的條件下，將幅度變化范圍作為無限大， 所以，根據(jù)式(4-7)，上述臨界長度LEc被設定成與Lo相同的長度的 10mm。從圖中可以看出，即使在使用粘度比水高一位數(shù)以上的變壓 器油的情況下，也通過設置具有上述臨界長度的入口節(jié)流槽，由具有 單純的構造的節(jié)流槽對微小流量控制裝置賦與了高精度的線性型的閥 特性。
[0061另一方面，在沒有由粗線所示的入口節(jié)流槽(LE=0)的情 況下，直到I/-0.9附近，上述截面積A (粗線)伴隨著上述升程L* 的增加單調地增加。但是，隨著與全開狀態(tài)(1/=1)接近，主節(jié)流槽 的截面急劇地減小。這樣的主節(jié)流槽截面的急劇的變化，與圖12所示
23的水的情況相比，是由于變壓器油的粘度大引起的(參照此后的圖
23)。因此，有關本發(fā)明的微小流量控制裝置，因為具備被設定成上述 臨界長度的入口節(jié)流槽，所以不會使主節(jié)流槽的截面積急劇地變化， 即使在對高粘度的流體進行流量控制的情況下，也能夠賦與所希望的 閥特性。
[0062圖14是具有非相似形截面的節(jié)流槽的概略圖。節(jié)流槽4 具有長方形的截面，其高度為一定，節(jié)流槽的寬度W朝向流動方向減 小。即，流體流出口 20的截面伴隨著上述流量調整滑塊滑動而變化成 非相似形。因此，為了決定上述臨界長度，必須從圖13所示的上述關 系式(4-5)導出。但是，在上述關系式(4-5)中，LEc成為截面積A、 等效直徑Dh及無因次升程l/的函數(shù)，即使它與閥的開度相應地改變 LEC，或者選擇了 LEc為常數(shù)那樣的截面積A、等效直徑Dh及無因次
升程i;的關系，對于LEC的值來說也留有不定性，不能唯一地決定
LEC的值。
[0063如圖12及圖13所示，具備,皮設定為上述臨界長度LEc的 入口節(jié)流槽的意義在于，能夠在L;1的附近，在節(jié)流槽的截面積急劇 擴大的情況下避免上述情況。因此，在上述主節(jié)流槽截面為非相似形 的情況下，設1/=1，其它的參數(shù)也取1/=1時的值，將從上述關系式 (4-5)得到的長度稱為準臨界長度LEC，根據(jù)圖11所示的準臨界長 度LEC=L。/ (1-1/RA )，決定入口節(jié)流槽的長度。
[0064圖15是有關本發(fā)明的入口節(jié)流槽的長度被設定為準臨界 長度LEC的微小流量控制裝置中的截面積A和流量Q的關系圖。流體 是粘度為3.16xl(T2Pa.s的變壓器油，流入口和流出口的壓力差為 O.lMPa，主節(jié)流槽的長度L。為10mm，準臨界長度LEC=10.5mm,最 大流量QM=456ml/m，截面形狀具有圖14所示的非相似的長方形，幅 度變化范圍RA為20。進而，上述主節(jié)流槽以流量Q為線性型(圖中實 線)的方式設定其閥特性。
[0065在上述入口節(jié)流槽的長度被設定為準臨界長度LEC的情況 下(△)，截面積A相對于升程l/而言單調增加。因此，通過將入口節(jié)流槽的長度設定為上述準臨界長度，對流體施加適當?shù)牧鲃幼枇Γ?避免了使節(jié)流槽急劇擴大的必要性。另一方面，在沒有入口節(jié)流槽
(LE=0)的情況下(□)，直到1/=0.5附近，雖然伴隨著上述升程I/ 的增加，主節(jié)流槽的截面積A單調地增加，但是，隨著與全開狀態(tài) (1/=1)接近，主節(jié)流槽的截面積減小。因此，使用全開狀態(tài)(！/=1) 中的準臨界長度，在上述主節(jié)流槽為非相似形的情況下，在決定上述 入口節(jié)流槽的長度方面有效。
[0066圖16是閥特性為等百分比(EQ)型的情況下的臨界長度 的分類圖。接著，作為所希望的閥特性，詳細闡述等百分比型的情況。 在閥特性為等百分比型的情況下，無因次流量G^由
G*=G0"-L*= (1/RA ) "* ............ ( 4-10 )
給出，若從此式(4-10)求(dGVl/)，則成為
(dGVl/ ) =-G*.lnG0*=G*lnRA …......(4畫11 )。
若將此式(4-11)代入式(2-4)，則導出相對于沒有限定流體的 種類及節(jié)流槽的形狀的、圖16所示的等百分比型閥特性而言的臨界長 度的一般關系式(4-12)。由與線性型同樣的方法，可以得到圖16的 關系式(4-13)及(4-14)。
[0067在閥特性為等百分比型時，LEc成為在一般形、非壓縮性 流體和/或相似形的所有情況下的臨界長度LEc為l/的函數(shù)。因此，即 使在等百分比型閥特性中，也將全開時(1/=1)時的LEC作為準臨界
長度使用。等百分比型中的準臨界長度LEC成為
LEC=L0/lnRA..................... ( 4畫15 )。
采用上述入口節(jié)流槽的準臨界長度，無論截面形狀是相似 非相 似，也無論流體有無非壓縮性.壓縮性，都是切合實際且有效的。
[0068圖17是賦與了等百分比型的閥特性的微小流量控制裝置 中的主節(jié)流槽的截面積A和流量Q的關系圖。流體是粘度為 0.0316Pa's的變壓器油，流入口和流出口的壓力差為O.lMPa，入口節(jié) 流槽的臨界長度LEC=3.34mm，將主節(jié)流槽的長度L。作為10mm。進 而，截面形狀具有相似的半圓形，幅度變化范圍RA被設定為20。[0069根據(jù)等百分比型的閥特性，流量Q如式(4-10)所示，伴 隨著無因次升程l/的增加，其增加的比例呈指數(shù)函數(shù)性地逐漸增大。 根據(jù)等百分比型閥特性中的準臨界長度的關系式(4-15)，決定入口 節(jié)流槽的長度。在設置了此入口節(jié)流槽的情況下，上述主節(jié)流槽的截 面積A (□)單調地增加，由具有單純的構造的節(jié)流槽對微小流量控 制裝置賦與了等百分比型的閥特性。
[0070另一方面，在沒有由粗線所示的入口節(jié)流槽(LE=0)的情 況下，直到1/=0.9附近，上述截面積A (粗線)伴隨著上述升程1/ 的增加單調地增加。但是，上述截面積A在1/=0.95附近取最大值， 然后截面積急劇減小。即，需要使上述主節(jié)流槽的截面積從始端位置 開始急劇擴大。在節(jié)流槽形成這樣的急劇擴大部，需要非常高度的加 工技術。
[0071圖18是賦與了等百分比型的閥特性的微小流量控制裝置 中的主節(jié)流槽的無因次截面積A'和無因次流量Q'的關系圖。此圖表 示相對于上述入口節(jié)流槽的長度為由式(4-15 )決定的準臨界長度LEC 的情況(O: LEC=3.34mm)，其長度比準臨界長度Lec短的情況(■: LE=2.23mm)及其長度比準臨界長度LEC長的情況( LE=5.01mm ) 的這些不同的入口節(jié)流槽的長度而言的無因次截面積A'和無因次流 量Q'的關系。即，調查了在具有準臨界長度和其1.5分之一及1.5倍 的長度的入口節(jié)流槽中產生怎樣的不同。流體是粘度為0.0316Pa.s的 變壓器油，流入口和流出口的壓力差為O，lMPa，設主節(jié)流槽的長度 Lo為10mm，幅度變化范圍RA為20。從圖中可以看出，即使配設了 上述入口節(jié)流槽，在其長度與由式(4-15)決定的臨界長度不同的情 況下，無因次截面積A'未成為單調的變化，在比臨界長度短的情況下， 需要使主節(jié)流槽的截面積A 急劇擴大，而在比臨界長度長的情況下， 必須急劇地縮小上述截面積AA。
[0072圖19是具有縮短入口節(jié)流槽8的節(jié)流槽4的概略圖。在 上述入口節(jié)流槽8中，通過以始端截面16的截面積Aeq比終端截面 19的截面積AE小的方式將上述入口節(jié)流槽形成為錐狀，使由此入口
26節(jié)流槽8產生的流動阻力增大，使上述入口節(jié)流槽8的長度縮短。設 此縮短入口節(jié)流槽的長度為Leq。
0073下面，根據(jù)長度LEc，對為了在上述縮短入口節(jié)流槽8中 產生與具有同樣的截面積AE的入口節(jié)流槽同等的摩擦壓力下降 △PEF所需要的截面積AEQ和長度LEQ的決定方法，以截面形狀是 半圓形的情況為例進行說明。
圖20是有關本發(fā)明的縮短入口節(jié)流槽的長度的導出過程圖。在具 有截面積A的入口節(jié)流槽的微小區(qū)間dz中的摩擦壓力下降dP成為圖 20的式(5-1)的那樣。這里，若作為流速u，摩擦系數(shù)3u等效直徑 DH,將已出現(xiàn)的下述關系式
u=G/ ( pA ) ........................... ( 2 )
k=64nA/ ( uDH) ..................... ( 5 )
DH={ ( 2ti ) 05/(l+7i/2)}'A05... ( 15 ) 代入式(5-1)，則可以得到式(5-2)。若將此式(5-2)在入口節(jié)流 槽的全長上進行積分，則可以得到表示入口節(jié)流槽中的摩擦壓力下降 APeq的式(5-3)。這里，若截面積A相對于流動方向坐標z線型地 變化，則上述截面積A由式(5-4)給出，若根據(jù)將此式微分的式(5-5)， 將式(5-3)進行變量變換，實行積分，則可以得到最終的摩擦壓力下 降式(5-6)。同樣，可以得到給出入口節(jié)流槽的截面積為一定的情況 下的摩擦圧力下降APe的式(5-7)。通過使此壓力下降ape和先前 求出的apeq等值，從式(5-6)和式(5-7)可以得到給出縮短入口節(jié) 流槽的長度的式(5-8)。從此式(5-8)可以看出，通過使入口節(jié)流 槽的截面積向始端截面地縮小，與截面積ae為一定時相比，能夠將 入口節(jié)流槽的長度僅縮短(Aeq/Ae)倍。
[0074本發(fā)明不限定于上述實施方式，在不脫離本發(fā)明的技術思 想的范圍內的各種變形例、設計變更等當然也被包含在其技術范圍內。
產業(yè)上的利用可能性
[0075根據(jù)有關本發(fā)明的微小流量控制裝置的設計方法，能夠在 所使用的免疫分析系統(tǒng)、環(huán)境分析系統(tǒng)、細胞生化學實驗系統(tǒng)、化學氣相沉積系統(tǒng)及合成化學實驗系統(tǒng)等中開展近年在合成化學、分析化 學、半導體產業(yè)及生物技術產業(yè)中引人注目的微化學工程技術時設計
所需要的高精度的微小流量控制裝置。進而，通過提高這些系統(tǒng)中的 反應收率、縮短反應時間、減輕環(huán)境負荷等，能夠使化學反應控制顯 著地高精度化及效率化。另外，能夠實現(xiàn)在現(xiàn)有的技術中不可能的微 小且正確的流量控制所需要的化學反應系統(tǒng)的微小化及集成化。
權利要求
1.一種帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于所述微小流量控制裝置由以下部件構成導入流體的流入路；形成了使從此流入路導入的流體從始端向終端流動的主節(jié)流槽的閥芯；能夠將此主節(jié)流槽封閉至任意的位置的流量調整部件；由此流量調整部件在上述主節(jié)流槽的任意截面中開口的流體流出口；將從此流體流出口流出的流體導出的流出路，在此微小流量控制裝置中，在上述主節(jié)流槽的始端位置在先連通地設置入口節(jié)流槽，基于從在上述入口節(jié)流槽及主節(jié)流槽內流動的流體的運動量方程式所導出的關系式，以發(fā)揮所希望的流動阻力的方式?jīng)Q定入口節(jié)流槽的尺寸。
2. 根據(jù)權利要求1所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于以在上述主節(jié)流槽的截面積從始端向終端單調地減小時，隨著上述流體流出口的位置從始端向終端移動，從上述流體流出口流出的流體的流量單調地減小的方式，決定上述入口節(jié)流槽的尺寸。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于上述流體的運動量方程式由up ( du/dz) +(k/DH)(l/2)u2p+dP/dz=0(這里，u為流速，p為密度，z為流體的流動方向坐標，X為摩擦系數(shù)，DH為節(jié)流槽截面積的等效直徑，P為壓力)表示。
4. 根據(jù)權利要求3所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于上述運動量方程式是基于u=G/ ( pA )及k=64nA/ ( GDH)(這里，G為質量流量，p為流體的密度，A為流體流出口的截面積，H為流體的粘性系數(shù))演算的。
5. 根據(jù)權利要求4所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于設上述主節(jié)流槽的終端的位置為L=0，流體流出口的位置為L-L,始端的位置為I^Lo，流體流出口位于L-Lo時的流量為GM，流體流出口位于L=L時的流量為G， l/=L/L()， GA=G/GM，l/=l時的(dG dl/)的值為(dG*/dL*) L*=1,此時，入口節(jié)流槽的臨界長度LEC由LEC=L0/ ( dG*/dL*) L*=1給出。
6. 根據(jù)權利要求5所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于在上述流體為非壓縮性流體，主節(jié)流槽的任意截面的形狀相互為相似形時，將相對于閥特性為由G;l/表示的線性型的臨界長度LEC作為Lec=Lo。
7. 根據(jù)權利要求4所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于設上述主節(jié)流槽的終端的位置為L=0，流體流出口的位置為L-L，始端的位置為I^Lo，流體流出口位于L-Lo時的流量為GM,流體流出口位于L=L時的流量為G， LA=L/L0， GA=G/GM,上述主節(jié)流槽的任意截面的形狀相互為非相似形，閥特性為線性型，此時，上述臨界長度LEC由LEC=IV (dGVdl/)給出。
8. 根據(jù)權利要求5或7所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于在閥特性為由G*=G0*+ ( 1-G0*) L*(這里，G/為l/=0時的G^^的值)表示的線性型，由G0A=1/RA( l$RA$oo )表示時，上述臨界長度LEC由LEC=L0/ (1-1/RA)給出。
9. 根據(jù)權利要求5或7所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于在閥特性為由G*=G0*(1-L"(這里，G/為L*=0時的G'的值)表示的等百分比型，由GQ*=1/RA(ISRaSoo )表示時，上述臨界長度LEC由LEC=L0/lnRA給出。
10. 根據(jù)權利要求1至4中的任一項所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置具備上述入口節(jié)流槽的截面積向上述主節(jié)流槽的始端位置單調地增加的入口節(jié)流槽。
11. 根據(jù)權利要求IO所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于上述入口節(jié)流槽的截面積AE (z)沿流動方向坐標z線型地增加，上述截面積Aj;(z)由AE ( z ) =AEQ+{ (Aeo-AEq)/LEq}.z(這里，AEQ為入口節(jié)流槽的始端截面積，AE。為與上述主節(jié)流槽的始端位置相接的入口節(jié)流槽的終端截面積、LEQ為入口節(jié)流槽的長度，Z為流體的流動方向坐標)給出。
12. 根據(jù)權利要求11所述的帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，其特征在于具有在下述條件下得到的下述的入口節(jié)流槽的長度LEq= ( aeq/ae0) {L0/ ( 1-G0*)}=(AEQ/AE0 ) {L0/ ( 1-1/RA ) }所述條件為設上述主節(jié)流槽的終端的位置為L=0、始端的位置為L=Lo，流體流出口位于L=0時的流量為Go、流體流出口位于L=Lo時的流量為GM， G/=G。/GM， RA=1/G。*，上述入口節(jié)流槽內的摩擦壓力下降被作為取與具有上述臨界長度LEC的同樣的截面積的入口節(jié)流槽所呈現(xiàn)的摩擦壓力下降等效的大小的下降。
全文摘要
一種帶入口節(jié)流槽的微小流量控制裝置的設計方法，能夠正確控制流體的微小流量，不會引起流體流動的不穩(wěn)定，實現(xiàn)所希望的閥特性，控制上述流體流量的節(jié)流槽具有簡單的形狀。在由導入流體的流入路(12)，形成了使導入的流體從始端向終端流動的主節(jié)流槽(6)的閥芯(2)，由流量調整部件在任意截面中開口的流體流出口(20)，將從此流體流出口(20)流出的流體導出的流出路(14)構成的微小流量控制裝置中，在上述主節(jié)流槽(6)的始端位置在先連通地設置入口節(jié)流槽(8)，基于從在上述入口節(jié)流槽(8)及主節(jié)流槽(6)內流動的流體的運動量方程式所導出的關系式，以發(fā)揮所希望的流動阻力的方式?jīng)Q定入口節(jié)流槽(8)的尺寸。
文檔編號F16K3/00GK101568754SQ20068005682
公開日2009年10月28日 申請日期2006年12月28日 優(yōu)先權日2006年12月28日
發(fā)明者世古口言彥 申請人:株式會社富士金;世古口言彥