立式徑流真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空獲得技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種立式徑流真空栗。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)徑流真空栗均采用臥式結(jié)構(gòu)，其栗筒采用T型結(jié)構(gòu)，栗筒中部為球體，進氣口位于球體上方，氣體由進氣口進入栗筒球體，然后改變氣流方向，沿徑向進入抽氣單元，然后由徑流真空栗的抽氣單元抽走。上述臥式徑流栗具有運行可靠的優(yōu)點，受到了用戶的歡迎。然而，臥式徑流栗的結(jié)構(gòu)存在氣體阻力大、抽氣效率低、結(jié)構(gòu)復(fù)雜和制造成本高的缺點，影響了徑流真空栗的大規(guī)模推廣應(yīng)用。
[0003]傳統(tǒng)軸流真空栗均采用立式結(jié)構(gòu)，栗筒采用柱狀結(jié)構(gòu)，氣體由栗筒上方的進氣口直接沿軸向進入軸流抽氣單元，然后由軸流抽氣單元抽走。立式結(jié)構(gòu)的軸流真空栗具有氣流通道暢順、阻力小、抽氣效率高、結(jié)構(gòu)簡單和制造成本低的優(yōu)點，但運行可靠性較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種立式徑流真空栗，消除傳統(tǒng)徑流真空栗和軸流真空栗的缺點，實現(xiàn)兼有傳統(tǒng)徑流真空栗和軸流真空栗優(yōu)點的目的。
[0005]本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種立式徑流真空栗，包括栗殼，所述栗殼上設(shè)有進氣口和排氣口，所述栗殼內(nèi)設(shè)有徑流抽氣單元，所述徑流抽氣單元包括轉(zhuǎn)子、靜輪和動密封，所述轉(zhuǎn)子上固設(shè)有兩平圓盤動輪，所述靜輪設(shè)于兩相鄰的所述動輪之間，當所述徑流抽氣單元的抽氣方向由外向內(nèi)抽氣時，所述動密封位于所述動輪的下方，或者當所述徑流抽氣單元的抽氣方向由內(nèi)向外抽氣時，所述動密封位于所述動輪的上方，所述栗殼為柱狀結(jié)構(gòu)，所述進氣口設(shè)于所述栗殼的側(cè)壁上，所述靜輪外側(cè)設(shè)有徑向氣體流動通道，所述徑向氣體流動通道與所述進氣口相對。
[0006]進一步地，所述徑流抽氣單元成對組裝，其中，上側(cè)所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道設(shè)在下方，下側(cè)所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道設(shè)在上方，上側(cè)所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道正對著所述下側(cè)所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道。
[0007 ]進一步地，所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道內(nèi)設(shè)有一組由外向內(nèi)抽氣的徑流渦輪分子栗的靜輪葉片。
[0008]本發(fā)明還提供了一種立式串聯(lián)徑流真空栗，包括栗殼，所述栗殼上設(shè)有進氣口和排氣口，所述栗殼為柱狀結(jié)構(gòu)，所述進氣口設(shè)于所述栗殼的側(cè)壁上，所述栗殼內(nèi)設(shè)有若干串聯(lián)的抽氣級，位于所述進氣口處的第一抽氣級采用較多的并聯(lián)且同軸安裝的如前所述的徑流抽氣單元;靠近所述排氣口的最后抽氣級采用較少的并聯(lián)且同軸安裝的如前所述的徑流抽氣單元，或者采用單個如前所述的徑流抽氣單元;位于所述第一抽氣級和最后抽氣級之間的抽氣級，其采用的并聯(lián)且同軸安裝的如前所述的徑流抽氣單元的數(shù)量依次遞減。
[0009]本發(fā)明提供的立式徑流真空栗具有如下優(yōu)點: I.氣流阻力小，抽氣效率高，有效抽速高出傳統(tǒng)臥式分子栗30%以上。
[0010]2.體積小，重量輕，適合用于結(jié)構(gòu)緊湊的應(yīng)用場合。
[0011 ] 3.結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低，與傳統(tǒng)臥式徑流真空栗相比，成本降低約30%。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1-1是本發(fā)明實施例一提供的立式徑流真空栗中的栗殼的示意圖。
[0014]圖1-2是沿圖1-1中的A-A方向的剖視圖。
[0015]圖1-3是本發(fā)明實施例一提供的立式徑流真空栗的剖視圖。
[0016]圖1-4是本發(fā)明實施例一提供的立式徑流真空栗中的靜輪結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0017]圖1-5是本發(fā)明實施例一提供的立式徑流真空栗中的另一種靜輪結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0018]圖2-1是本發(fā)明實施例二提供的立式徑流真空栗的剖視圖。
[0019]圖2-2是本發(fā)明實施例二提供的立式徑流真空栗中的靜輪的示意圖。
[0020]圖3是本發(fā)明實施例三提供的一種立式串聯(lián)徑流真空栗的示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。
[0022]實施例一:立式徑流真空栗
如圖1-1至圖1-4所示，本發(fā)明實施例一提供的一種立式徑流真空栗，包括栗殼11，栗殼11為柱狀結(jié)構(gòu)，栗殼11上設(shè)有進氣口 12和排氣口(未示出)，進氣口 12設(shè)于栗殼11的側(cè)壁上，栗殼11內(nèi)設(shè)有徑流抽氣單元，該徑流抽氣單元包括轉(zhuǎn)子13、靜輪14和動密封15，轉(zhuǎn)子13上固設(shè)有兩平圓盤動輪16，靜輪14設(shè)于兩動輪16之間，靜輪14外側(cè)設(shè)有徑向氣體流動通道141，徑向氣體流動通道141與進氣口12相對，當徑流抽氣單元的抽氣方向由外向內(nèi)抽氣時，動密封15位于動輪16的下方，或者當徑流抽氣單元的抽氣方向由內(nèi)向外抽氣時，動密封15位于動輪16的上方。
[0023]如圖1-5所示，所述徑流抽氣單元的靜輪14的徑向氣體流動通道141內(nèi)設(shè)
有一組由外向內(nèi)抽氣的徑流渦輪分子栗的靜輪葉片17，通過設(shè)置靜輪葉片17，可以進一步降低氣流阻力，提尚抽氣效率。
[0024]本實施例一的進氣口12設(shè)在栗殼11的側(cè)壁，當轉(zhuǎn)子13順時鐘方向高速旋轉(zhuǎn)時，待抽氣體由進氣口 12直接進入徑向氣體流動通道141，然后，由徑流抽氣單元抽至徑流抽氣單元的排氣口，最后，由設(shè)于外部的前級栗抽走。
[0025]本實施例一大幅度縮短進氣通道的長度，增大進氣通道的面積，從而，降低進氣阻力，提高立式徑流真空栗的抽氣效率，有效抽速高出傳統(tǒng)臥式徑流真空栗30%以上。
[0026]除此之外，本實施例一的立式徑流真空栗，結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低，與傳統(tǒng)臥式徑流真空栗相比，制造成本降低約30%。
[0027]實施例二:徑流抽氣單元成對組裝的立式徑流真空栗如圖2-1和圖2-2所示，本發(fā)明實施例二提供的一種立式徑流真空栗，包括栗殼21，栗殼21為柱狀結(jié)構(gòu)，栗殼21上設(shè)有進氣口 22和排氣口(未示出)，進氣口 22設(shè)于栗殼21的側(cè)壁上，栗殼21內(nèi)設(shè)有成對組裝的徑流抽氣單元，該徑流抽氣單元包括轉(zhuǎn)子23、靜輪24和動密封25，轉(zhuǎn)子23上固設(shè)有兩平圓盤動輪26，靜輪24設(shè)于兩動輪26之間，靜輪24外側(cè)設(shè)有徑向氣體流動通道241，徑向氣體流動通道241與進氣口 22相對，動密封25位于動輪26下方。
[0028]所述成對組裝的徑流抽氣單元中，上側(cè)徑流抽氣單元的靜輪24的徑向氣體流動通道241設(shè)在下方，下側(cè)徑流抽