技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠有效地將軸承所產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至軸承外部的真空泵用軸承裝置。渦輪分子泵(1)包括:軸承裝置(100);以及排氣功能部,具有受到軸承裝置(100)支撐的旋轉(zhuǎn)體(60)且排出氣體。軸承裝置(100)包括:軸承(30),具有外輪(31)、內(nèi)輪(32)及轉(zhuǎn)動體(33);潤滑油儲存部(70);潤滑油供應(yīng)構(gòu)造(50),將潤滑油儲存部(70)所儲存的潤滑油供應(yīng)至軸承(30);保持構(gòu)件(40),保持軸承(30);以及多孔體(81、82),設(shè)置在軸承(30)的外輪(31)的外側(cè)。
技術(shù)研發(fā)人員:真鍋雅嗣
受保護的技術(shù)使用者:株式會社島津制作所
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.22
技術(shù)公布日:2017.08.15