本發(fā)明涉及一種真空泵。

背景技術(shù)：

對于高速旋轉(zhuǎn)的滾動軸承，需要通過持續(xù)供應(yīng)微量的潤滑油來維持轉(zhuǎn)動面的潤滑，且防止過量的潤滑油附著于轉(zhuǎn)動面。若超出潤滑所需的潤滑油附著于轉(zhuǎn)動面，則會產(chǎn)生潤滑油的攪拌阻力，從而導(dǎo)致發(fā)熱。

作為真空泵中的軸承裝置，已提出有專利文獻(xiàn)1(日本專利第5303137號公報)所記載的構(gòu)造。在專利文獻(xiàn)1所記載的軸承裝置中，潤滑油從潤滑油儲存部經(jīng)由油繩(wick)供應(yīng)至具有圓錐表面的噴霧螺帽的外周傾斜面。供應(yīng)至噴霧螺帽的外周傾斜面的潤滑油會隨著噴霧螺帽的旋轉(zhuǎn)而在傾斜面上上升，并供應(yīng)至軸承固定器所保持的滾動軸承。供應(yīng)至滾動軸承的潤滑油中的剩余的潤滑油會被引導(dǎo)至設(shè)置在軸承固定器與滾動軸承的外輪之間的間隙，并返回至潤滑油儲存部內(nèi)。滾動軸承的外輪由軸向浮環(huán)(axialfloatingring)及徑向浮環(huán)(radialfloatingring)保持。

對于如上所述的潤滑油供應(yīng)型的軸承裝置，為了防止軸承內(nèi)產(chǎn)生由潤滑油攪拌引起的多余的發(fā)熱，優(yōu)選將供應(yīng)至軸承的潤滑油的量設(shè)為必需的最小限度的量。專利文獻(xiàn)1所記載的軸承裝置的構(gòu)造是以供應(yīng)至滾動軸承的潤滑油的量剩余為前提。因此，若將向滾動軸承供應(yīng)的潤滑油的供應(yīng)量設(shè)為必需的最小限度的量，則利用軸承的熱傳導(dǎo)使軸承內(nèi)所產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動體與轉(zhuǎn)動面的摩擦熱發(fā)散至外部的效果會減小，有可能無法獲得充分的散熱效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。

本發(fā)明所述的真空泵包括：軸承裝置；以及排氣功能部，具有受到所述軸承裝置支撐的旋轉(zhuǎn)體且排出氣體，所述軸承裝置包括：軸承，具有外輪、內(nèi)輪及轉(zhuǎn)動體；潤滑油儲存部，儲存潤滑油；潤滑油供應(yīng)構(gòu)造，將所述潤滑油儲存部所儲存的潤滑油供應(yīng)至所述軸承；保持構(gòu)件，保持所述軸承；以及多孔體，配置在所述軸承的所述外輪的外側(cè)，且填充有從所述潤滑油供應(yīng)構(gòu)造供應(yīng)至所述軸承的潤滑油。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述多孔體包括第一部分與第二部分中的至少一個部分，所述第一部分配置在所述軸承的所述外輪的軸方向外側(cè)，所述第二部分配置在所述外輪的直徑方向外側(cè)。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述多孔體包括連續(xù)氣泡體，通過所述連續(xù)氣泡體內(nèi)所填充的所述潤滑油來形成從所述多孔體的內(nèi)表面延續(xù)至外表面的導(dǎo)熱路徑。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述多孔體由熱傳導(dǎo)率比所述軸承的所述外輪更大的材料形成。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，還包括設(shè)置在所述軸承的所述外輪與所述保持構(gòu)件之間的一個以上的阻尼器，包含所述多孔體、所述軸承及所述阻尼器的構(gòu)造部的剛性在軸方向上為100n/mm～1000n/mm，在直徑方向上為50n/mm～500n/mm。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述多孔體包括多孔膜，所述多孔膜設(shè)置于所述軸承的所述外輪的外表面的至少一部分與所述保持構(gòu)件的面向所述軸承的所述外輪的面的至少一部分中的至少一方。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果,借由上述技術(shù)方案，能夠有效地將軸承所產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至軸承的外部。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的真空泵的實(shí)施例1的圖。

圖2是圖1所圖示的真空泵用軸承裝置的放大圖。

圖3是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例2的圖。

圖4是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例3的圖。

圖5是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例4的圖。

圖6是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例5的圖。

圖7是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例6的圖。

圖8是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例7的圖。

圖9是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例8的圖。

圖10是表示包括與圖2不同的真空泵用軸承裝置的真空泵的實(shí)施例9的圖。

[符號說明]

1：渦輪分子泵

2：基座

3：泵轉(zhuǎn)子

4：馬達(dá)

4a：馬達(dá)定子

4b：馬達(dá)轉(zhuǎn)子

5：間隔件

6：永磁鐵磁軸承

6a：永磁鐵

6b：永磁鐵

9：軸承

10：轉(zhuǎn)子軸

11：磁鐵固定器

12：泵殼體

13：軸承固定器

15：固定葉片

16：定子

17：旋轉(zhuǎn)葉片

18：圓筒部

19：下部蓋體

21、21a、21b：止推阻尼器(阻尼器)

22：徑向阻尼器(阻尼器)

30：軸承

31：外輪

32：內(nèi)輪

33：轉(zhuǎn)動體

40：軸承殼體

50：潤滑油供應(yīng)構(gòu)造

51：潤滑油儲存部外殼

60：旋轉(zhuǎn)體

61：傾斜面

70：潤滑油儲存部

71：供油繩

81～88：多孔體構(gòu)件(多孔體)

89：多孔膜(多孔體)

91：排油路徑

100：真空泵用軸承裝置

ii：區(qū)域

p1：渦輪泵部

p2：霍爾維克泵部

r：旋轉(zhuǎn)體單元

具體實(shí)施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的具體實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。

-實(shí)施例1-

圖1是表示本發(fā)明的真空泵的實(shí)施例1的圖，且是渦輪分子泵1的剖面圖。其中，渦輪分子泵1連接著供應(yīng)電力的電源單元，但圖1中省略了圖示。

圖1所示的渦輪分子泵1包括渦輪泵部p1與霍爾維克泵(holweckpump)部p2作為排氣功能部，所述渦輪泵部p1包括渦輪葉片，所述霍爾維克泵部p2包括螺旋形的槽。以下，以渦輪分子泵1為例進(jìn)行說明，但本發(fā)明不限于在排氣功能部包括渦輪泵部p1及霍爾維克泵部p2的真空泵，也能夠適用于僅包括渦輪葉片的真空泵、或者僅包括西格巴恩泵(siegbahnpump)或霍爾維克泵等牽引泵(dragpump)的真空泵、或者組合有這些泵的真空泵。

渦輪泵部p1包含：多段的旋轉(zhuǎn)葉片17，形成于泵轉(zhuǎn)子(pumprotor)3；以及多段的固定葉片15，配置在基座(base)2及泵殼體(pumpcasing)12側(cè)。旋轉(zhuǎn)葉片17與固定葉片15交替地配置在軸方向上。各固定葉片15因其外周側(cè)的周緣由配置在該固定葉片15之間的間隔件(spacer)5夾持而受到固定。另一方面，設(shè)置在渦輪泵部p1的排氣下游側(cè)的霍爾維克泵部p2包含形成于泵轉(zhuǎn)子3的圓筒部18、與配置在基座2側(cè)的定子(stator)16。在圓筒狀的定子16的內(nèi)周面形成有螺旋槽。多段的旋轉(zhuǎn)葉片17與圓筒部18構(gòu)成旋轉(zhuǎn)側(cè)排氣功能部，多段的固定葉片15與定子16構(gòu)成固定側(cè)排氣功能部。

泵轉(zhuǎn)子3連接于旋轉(zhuǎn)軸即轉(zhuǎn)子軸10，轉(zhuǎn)子軸10由馬達(dá)(motor)4旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。馬達(dá)4例如可使用直流無刷馬達(dá)(directcurrentbrushlessmotor，dcbrushlessmotor)，基座2上設(shè)置有馬達(dá)定子4a，轉(zhuǎn)子軸10上設(shè)置有馬達(dá)轉(zhuǎn)子4b。包含轉(zhuǎn)子軸10與泵轉(zhuǎn)子3的旋轉(zhuǎn)體單元r旋轉(zhuǎn)自如地受到使用有永磁鐵6a、6b的永磁鐵磁軸承6與滾動軸承即軸承30支撐。軸承30是圖2所詳細(xì)說明的軸承裝置100的構(gòu)成部件。

永磁鐵6a、6b是在軸方向上被磁化的環(huán)狀的永磁鐵。設(shè)置于泵轉(zhuǎn)子3的多個永磁鐵6a是以使同極彼此相向的方式配置在軸方向上。另一方面，固定側(cè)的多個永磁鐵6b安裝于磁鐵固定器11，該磁鐵固定器11固定于泵殼體12。所述多個永磁鐵6b也是以使同極彼此相向的方式配置在軸方向上。設(shè)置于泵轉(zhuǎn)子3的永磁鐵6a的軸方向位置設(shè)定得比配置在其內(nèi)周側(cè)的永磁鐵6b的位置稍靠上側(cè)。即，旋轉(zhuǎn)側(cè)的永磁鐵的磁極相對于固定側(cè)的永磁鐵的磁極，在軸方向上錯開了規(guī)定量。永磁鐵磁軸承6的支撐力根據(jù)該規(guī)定量的大小而有所不同。在圖1所示的例子中，永磁鐵6a配置在圖示的上側(cè)，因此，由于永磁鐵6a與永磁鐵6b的斥力，徑向(radialdirection)的支撐力與軸方向朝上(泵排氣口側(cè)方向)的力作用于旋轉(zhuǎn)體單元r。

在磁鐵固定器11的中央，固定有保持軸承9的軸承固定器13。圖1中使用了深槽滾珠軸承(deepgrooveballbearing)等滾珠軸承作為軸承9、30，但不限于此，例如也可以使用角接觸軸承(angularcontactbearing)。軸承9作為對轉(zhuǎn)子軸10上部的徑向振動進(jìn)行限制的保護(hù)軸承(touchdownbearing)而發(fā)揮功能。在穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下，轉(zhuǎn)子軸10與軸承9不接觸，在施加有大干擾的情況下，或者在轉(zhuǎn)子軸10的離心旋轉(zhuǎn)在旋轉(zhuǎn)加速或減速時變大的情況下，轉(zhuǎn)子軸10與軸承9接觸。

軸承30收納在軸承殼體40中，該軸承殼體40固定于基座2。軸承30是油潤滑式的滾動軸承。軸承殼體40具有大致圓柱狀的內(nèi)部空間，在該內(nèi)部空間內(nèi)，收容有用以將潤滑油供應(yīng)至軸承30的潤滑油儲存部70。在軸承殼體40的下部，使用螺栓等連接構(gòu)件而固定有下部蓋體19。也可以在該下部蓋體19的外周面設(shè)置公螺紋，在基座2的內(nèi)周面設(shè)置母螺紋，將公螺紋旋合于母螺紋，從而將下部蓋體19固定于基座2。

圖2是本發(fā)明的真空泵用軸承裝置100的主要部分的放大剖面圖，換句話說，是圖1中的虛線所包圍的區(qū)域ii的放大剖面圖。再者，以下將真空泵用軸承裝置100僅稱為軸承裝置100。

軸承裝置100包括軸承30、潤滑油儲存部70、供油用的旋轉(zhuǎn)體60、止推阻尼器(thrustdamper)21a、止推阻尼器21b、徑向阻尼器(radialdamper)22、多孔體構(gòu)件81、多孔體構(gòu)件82、供油繩71、保持軸承30的保持構(gòu)件即軸承殼體40以及潤滑油儲存部外殼51。

軸承30包括外輪31、內(nèi)輪32以及轉(zhuǎn)動體33。內(nèi)輪32嵌合著轉(zhuǎn)子軸10的下端。將旋轉(zhuǎn)體60安裝于從內(nèi)輪32向下方突出的轉(zhuǎn)子軸10的下端，由此，轉(zhuǎn)子軸10的下端固定于軸承30。軸承30的外輪31配置在潤滑油儲存部外殼51上，并通過固定于基座2的下部蓋體19而固定在軸承殼體40內(nèi)。

旋轉(zhuǎn)體60與轉(zhuǎn)子軸10同軸且可裝卸地安裝于轉(zhuǎn)子軸10的下端。旋轉(zhuǎn)體60是直徑向潤滑油儲存部70側(cè)減小且具有傾斜面61的圓錐臺形狀的構(gòu)件。雖未圖示，但將設(shè)置于旋轉(zhuǎn)體60內(nèi)周面的母螺紋部旋合于設(shè)置于如下軸部外周面的公螺紋部，從而將旋轉(zhuǎn)體60固定于轉(zhuǎn)子軸10，所述軸部設(shè)置于轉(zhuǎn)子軸10的前端部且直徑小。

止推阻尼器21a、21b分別是在中心側(cè)形成有直徑比軸承30的內(nèi)輪32更大的貫通孔的圓盤狀構(gòu)件，且配置在軸承30的外輪31的軸方向外側(cè)的上下兩側(cè)。即，止推阻尼器21a配置于軸承30的外輪31的軸方向的上表面，換句話說，配置于潤滑油儲存部70側(cè)的相反側(cè)的面，止推阻尼器21b配置于軸承30的外輪31的軸方向的下表面，換句話說，配置于潤滑油儲存部70側(cè)的面。止推阻尼器21a、21b的內(nèi)周面位于軸承30的外輪31的內(nèi)周面與內(nèi)輪32的外周面之間。

徑向阻尼器22是在中心側(cè)具有直徑與軸承30的外周面大致相同的貫通孔的筒狀構(gòu)件，且配置在軸承30的外輪31與軸承殼體40的內(nèi)部空間的外周面之間。徑向阻尼器22在軸承30的軸方向上，配置于軸承30的厚度方向的大致中央，徑向阻尼器22的貫通孔的內(nèi)周面是以與軸承30的外輪31的外周面接觸的方式設(shè)置。

止推阻尼器21a、21b以及徑向阻尼器22由金屬或橡膠等彈性體(elastomer)形成。

潤滑油儲存部70由能夠保持潤滑油的氈狀或海綿狀的潤滑油保持構(gòu)件構(gòu)成，且保持著潤滑油。潤滑油儲存部70形成為圓筒狀，在其內(nèi)周面設(shè)置有供油繩71。供油繩71從潤滑油儲存部70向旋轉(zhuǎn)體60的外周面大致水平地延伸。供油繩71可與潤滑油儲存部70一體化地形成，也可以形成為與潤滑油儲存部70不同的構(gòu)件而連接于潤滑油儲存部70。供油繩71將潤滑油儲存部70所保持的潤滑油供應(yīng)至旋轉(zhuǎn)體60的傾斜面61。即，供油繩71的前端與旋轉(zhuǎn)體60的傾斜面61滾動接觸。圓錐臺形狀的旋轉(zhuǎn)體60與供油繩71構(gòu)成潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50。

驅(qū)動馬達(dá)4，旋轉(zhuǎn)體60與轉(zhuǎn)子軸10一起高速旋轉(zhuǎn)之后，由供油繩71涂布至旋轉(zhuǎn)體60的傾斜面61的潤滑油通過離心力作用，向旋轉(zhuǎn)體60的直徑大的方向即軸方向的上方移動，即向軸承30側(cè)移動。隨著涂布至旋轉(zhuǎn)體60的傾斜面61的潤滑油的所述移動，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油通過毛細(xì)管作用，經(jīng)由供油繩71而持續(xù)地供應(yīng)至旋轉(zhuǎn)體60的傾斜面61。在旋轉(zhuǎn)體60的傾斜面61上向軸方向上方移動的潤滑油按照軸承30的內(nèi)輪32→轉(zhuǎn)動體33→外輪31的順序移動，并供應(yīng)至軸承30的整個內(nèi)部。這樣，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油經(jīng)由潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。

多孔體構(gòu)件81、82配置在軸承30的外輪31的外側(cè)。

多孔體構(gòu)件81、82分別具有剖面大致呈l字狀的周緣部。l字形狀包含第一部分與第二部分。第一部分具有相對于軸承30的軸方向大致垂直地延伸的圓盤形狀，且配置在外輪31的軸方向外側(cè)。第二部分具有相對于軸承30的直徑方向大致垂直地延伸的圓筒形狀，且配置在外輪31的直徑方向外側(cè)。上下地配置的多孔體構(gòu)件81與多孔體構(gòu)件82具有大致相同的形狀，且分別具有大致托盤形狀。但是，相對于軸承30的直徑方向大致垂直地延伸的圓筒形狀的第二部分在多孔體構(gòu)件81中，向潤滑油儲存部70側(cè)延伸，在多孔體構(gòu)件82中，向多孔體構(gòu)件81的反方向延伸。多孔體構(gòu)件81的第一部分配置在軸承殼體40的內(nèi)部空間的上表面與止推阻尼器21a之間，多孔體構(gòu)件81的第二部分配置在軸承殼體40的內(nèi)部空間的內(nèi)周面與止推阻尼器21a的外周面之間。即，多孔體構(gòu)件81跨越止推阻尼器21a的上表面與外周面而覆蓋止推阻尼器21a。

多孔體構(gòu)件82的第一部分配置在潤滑油儲存部外殼51與止推阻尼器21b之間，多孔體構(gòu)件82的第二部分配置在軸承殼體40的內(nèi)部空間的內(nèi)周面與止推阻尼器21b的外周面之間。即，多孔體構(gòu)件82跨越止推阻尼器21b的下表面與外周面而覆蓋止推阻尼器21b。多孔體構(gòu)件81、82的內(nèi)周面分別配置在與止推阻尼器21a、21b的內(nèi)周面大致相同的位置。

這樣，因?yàn)樵谳S承30的外輪31的外側(cè)設(shè)置有多孔體構(gòu)件81、82，所以供應(yīng)至軸承30內(nèi)部的潤滑油通過毛細(xì)管作用，經(jīng)由止推阻尼器21a、21b而浸潤填充至多孔體構(gòu)件81、82的氣泡體內(nèi)。接著，通過浸潤填充至各氣泡體的潤滑油來形成導(dǎo)熱路徑。因此，軸承30的內(nèi)部所產(chǎn)生的熱會經(jīng)由多孔體構(gòu)件81、82而有效地傳導(dǎo)至軸承殼體40及潤滑油儲存部外殼51。由此，能夠抑制軸承30的溫度上升。

包含多孔體構(gòu)件81、多孔體構(gòu)件82、軸承30、止推阻尼器21a、止推阻尼器21b的構(gòu)造部的剛性優(yōu)選在軸方向上設(shè)為100n/mm～1000n/mm，在直徑方向上設(shè)為50n/mm～500n/mm。由此，能夠抑制旋轉(zhuǎn)體單元r的異常振動，而且能夠減少離心旋轉(zhuǎn)。

多孔體構(gòu)件81、82能夠由燒結(jié)金屬或聚氨基甲酸酯、聚烯烴等樹脂形成，所述燒結(jié)金屬由青銅等金屬形成。多孔體構(gòu)件81、82也可以是獨(dú)立氣泡體以及連續(xù)氣泡體中的任一種氣泡體，但在連續(xù)氣泡體的情況下，通過浸潤至多孔體構(gòu)件81、82的氣泡體內(nèi)的潤滑油，形成從多孔體構(gòu)件81、82的內(nèi)表面?zhèn)妊永m(xù)至外表面?zhèn)鹊膶?dǎo)熱路徑，因此更優(yōu)選所述連續(xù)氣泡體。特別是在利用聚氨基甲酸酯等樹脂形成多孔體構(gòu)件81、82的情況下，推薦采用連續(xù)氣泡體。

在利用聚氨基甲酸酯形成多孔體構(gòu)件81、82的情況下，可進(jìn)一步通過熱壓來使密度提高數(shù)倍，將形成有50個/in～100個/in的氣泡體的連續(xù)氣泡體型聚氨酯泡沫(urethanefoam)加工為規(guī)定形狀。通過提高密度，能夠獲得提高含油能力的效果。聚氨酯材料具有粘附于金屬面的性質(zhì)，因此，由形成于聚氨酯的連續(xù)的氣泡體形成的網(wǎng)眼構(gòu)造以連接軸承殼體40與軸承30的外輪的方式受到固定，潤滑油能夠在網(wǎng)眼構(gòu)造的內(nèi)部移動。

多孔體構(gòu)件81、82的熱傳導(dǎo)率優(yōu)選為大于外輪31的熱傳導(dǎo)率。原因在于：多孔體構(gòu)件81、82有效地奪取外輪31的熱，并使該熱傳導(dǎo)至軸承殼體40及潤滑油儲存部外殼51。外輪31需要具有作為軸承的高強(qiáng)度，因此，由鐵或不銹鋼等強(qiáng)度高的材料形成，無法由熱傳導(dǎo)率非常高而強(qiáng)度不佳的鋁或銅形成。因此，利用熱傳導(dǎo)率非常高的鋁或銅的燒結(jié)金屬來形成強(qiáng)度要求不如外輪31的多孔體構(gòu)件81、82，由此，能夠有效地散熱。

根據(jù)所述實(shí)施例1，產(chǎn)生下述效果。

(1)使用油潤滑型的軸承30來保持高速旋轉(zhuǎn)的泵轉(zhuǎn)子6的渦輪分子泵1采用如下構(gòu)造，即，在軸承30的外輪31的外側(cè)配置多孔體構(gòu)件81、82。多孔體構(gòu)件81、82分別是以熱耦合于軸承30與軸承殼體40的內(nèi)周之間、或軸承30與潤滑油儲存部外殼51之間的方式配置。在多孔體構(gòu)件81、82中，通過浸潤或填充至氣泡體的潤滑油來形成導(dǎo)熱路徑。因此，能夠有效地將軸承30的內(nèi)部所產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至軸承殼體40及潤滑油儲存部外殼51。由此，能夠抑制軸承30的溫度上升。

(2)浸潤至多孔體構(gòu)件81、82的氣泡體的潤滑油在包含氣泡體的網(wǎng)眼構(gòu)造內(nèi)，粘性阻力起作用。因此，會產(chǎn)生使軸承30的振動衰減的效果。

-實(shí)施例2-

圖3是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例2的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例2為如下構(gòu)造，即，相對于軸承30的外輪31的止推阻尼器21a、21b及多孔體構(gòu)件81、82的層疊順序與實(shí)施例1相反。

即，多孔體構(gòu)件81配置在軸承30的外輪31的上表面上，止推阻尼器21a配置在多孔體構(gòu)件81與軸承殼體40的內(nèi)部空間的上表面之間。另外，多孔體構(gòu)件82配置在軸承30的外輪31的下表面下，止推阻尼器21b配置在多孔體構(gòu)件82與潤滑油儲存部外殼51之間。多孔體構(gòu)件81、82分別利用周緣部的l字狀剖面的第一部分及第二部分，以跨越軸承30的外輪31的上表面或下表面與外周面之間的方式覆蓋軸承30。

實(shí)施例2的其他構(gòu)造與實(shí)施例1相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

在實(shí)施例2中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油也在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部，并進(jìn)一步從軸承30供應(yīng)至多孔體構(gòu)件81、82而浸潤填充至多孔體構(gòu)件81、82。因此，實(shí)施例2也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。

-實(shí)施例3-

圖4是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例3的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例3具有包括多孔體構(gòu)件83的構(gòu)造，所述多孔體構(gòu)件83是實(shí)施例1中的上下一對的多孔體構(gòu)件81與多孔體構(gòu)件82一體化而成的構(gòu)件。

即，實(shí)施例3中的多孔體構(gòu)件83具有由實(shí)施例1中的多孔體構(gòu)件81的第二部分與多孔體構(gòu)件82的第二部分連接而成的構(gòu)造。換句話說，具有大致桶形的形狀，該大致桶形的形狀的周側(cè)部的剖面設(shè)為方括號形狀，且在中心部形成有圓形的貫通孔。多孔體構(gòu)件83的內(nèi)周面是以與軸承30的外輪31的外周面接觸的方式配置。徑向阻尼器22是以使其內(nèi)周面與多孔體構(gòu)件83的外周面接觸的方式設(shè)置。

實(shí)施例3的其他構(gòu)造與實(shí)施例1相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

在實(shí)施例3中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油也在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油進(jìn)一步從軸承30經(jīng)由止推阻尼器21a、21b而供應(yīng)至多孔體構(gòu)件83而浸潤填充至多孔體構(gòu)件83。因此，實(shí)施例3也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。

-實(shí)施例4-

圖5是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例4的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例4為如下構(gòu)造，即，相對于軸承30的外輪31的止推阻尼器21a、21b及多孔體構(gòu)件83的層疊順序與實(shí)施例3相反。

即，多孔體構(gòu)件83覆蓋軸承30的外輪31的外周面、上表面及下表面地設(shè)置，止推阻尼器21a、21b分別設(shè)置在多孔體構(gòu)件83的上表面與軸承殼體40的內(nèi)部空間的上表面之間、多孔體構(gòu)件83的下表面與潤滑油儲存部外殼51之間。

實(shí)施例4的其他構(gòu)造與實(shí)施例3相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

在實(shí)施例4中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油也在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油進(jìn)一步從軸承30供應(yīng)至多孔體構(gòu)件83而浸潤填充至多孔體構(gòu)件83。因此，實(shí)施例4也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。

再者，若參照圖3～圖5進(jìn)行說明，則描繪為在實(shí)施例2～實(shí)施例4的軸承裝置100中，軸承30的徑向振動受到多孔體構(gòu)件83阻礙。但是，在外輪31的外周面與多孔體構(gòu)件83的內(nèi)周面之間、及多孔體構(gòu)件83的外周面與軸承殼體40的內(nèi)部空間的內(nèi)周面之間，設(shè)置有規(guī)定的間隙即僅允許軸承30的徑向振動的間隙。

-實(shí)施例5-

圖6是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例5的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例5具有將實(shí)施例1中的多孔體構(gòu)件81、82設(shè)為多孔體構(gòu)件84、85而成的構(gòu)造，所述多孔體構(gòu)件84、85僅具有與軸方向大致垂直地延伸的圓盤形狀的第一部分。

即，實(shí)施例5中的多孔體構(gòu)件84、85分別不具有相對于直徑方向垂直地延伸的第二部分，而是具有在中心部形成有圓形貫通孔的較薄的環(huán)形狀。

實(shí)施例5的其他構(gòu)造與實(shí)施例1相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

在實(shí)施例5中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油進(jìn)一步從軸承30經(jīng)由止推阻尼器21a、21b而供應(yīng)至多孔體構(gòu)件84、85，從而浸潤填充至多孔體構(gòu)件84、85內(nèi)。因此，實(shí)施例5也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。

-實(shí)施例6-

圖7是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例6的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例6為如下構(gòu)造，即，相對于軸承30的外輪31的止推阻尼器21a、21b及多孔體構(gòu)件84、85的層疊順序與實(shí)施例5相反。

即，多孔體構(gòu)件84配置在軸承30的外輪31的上表面上，止推阻尼器21a配置在多孔體構(gòu)件84與軸承殼體40的內(nèi)部空間的上表面之間。另外，多孔體構(gòu)件85配置在軸承30的外輪31的下表面下，止推阻尼器21b配置在多孔體構(gòu)件85與潤滑油儲存部外殼51之間。

實(shí)施例6的其他構(gòu)造與實(shí)施例5相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

在實(shí)施例6中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油也在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油進(jìn)一步從軸承30供應(yīng)至多孔體構(gòu)件84、85而浸潤填充至多孔體構(gòu)件84、85內(nèi)。因此，實(shí)施例6也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。

-實(shí)施例7-

圖8是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例7的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例7具有僅在軸承30的直徑方向外側(cè)配置有多孔體構(gòu)件86、87的構(gòu)造。

即，多孔體構(gòu)件86、87分別形成為形成有貫通孔的環(huán)狀構(gòu)件，所述貫通孔具有與軸承30的外輪31的外周面接觸的內(nèi)周面。多孔體構(gòu)件86、87分別配置在軸方向上的軸承30的上表面?zhèn)燃跋卤砻鎮(zhèn)鹊?、軸承30的外輪31的外周面與軸承殼體40的內(nèi)部空間的外周面之間。實(shí)施例7的真空泵用軸承裝置100不包括配置在軸方向上的多孔體構(gòu)件。另外，止推阻尼器21僅設(shè)置在軸承30的外輪31與軸承殼體40的內(nèi)部空間的上表面之間，在軸承30的外輪31與潤滑油儲存部外殼51之間未設(shè)置止推阻尼器。在本實(shí)施方式的渦輪分子泵1中，由于永磁鐵6a與永磁鐵6b的斥力，轉(zhuǎn)子軸10與泵轉(zhuǎn)子3一起向軸方向上方浮起，因此，也能夠形成如上所述的構(gòu)造。再者，實(shí)施例1～實(shí)施例6也能夠像實(shí)施例7那樣采用如下構(gòu)造，即，在軸承30的外輪31與潤滑油儲存部外殼51之間不設(shè)置止推阻尼器。

實(shí)施例7的其他構(gòu)造與實(shí)施例1相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

在實(shí)施例7中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油也在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油進(jìn)一步從軸承30供應(yīng)至多孔體構(gòu)件86、87而浸潤填充至多孔體構(gòu)件86、87內(nèi)。因此，實(shí)施例7也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。

-實(shí)施例8-

圖9是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例8的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例8具有在軸承30的外輪31中形成有多個排油路徑91的構(gòu)造。

實(shí)施例8與實(shí)施例7同樣地，具有僅在軸承30的直徑方向外側(cè)配置有多孔體構(gòu)件88的構(gòu)造。但是，與實(shí)施例7不同，在實(shí)施例8中，多孔體構(gòu)件88具有由實(shí)施例7中的多孔體構(gòu)件86、87一體化而成的構(gòu)造。即，多孔體構(gòu)件88配置在軸承30的外輪31的外周面與軸承殼體40的內(nèi)部空間的外周面之間，且具有沿著軸方向延伸的圓筒形狀。另外，在實(shí)施例8中，在軸承30的外輪31的上表面?zhèn)取⑾卤砻鎮(zhèn)仍O(shè)置有止推阻尼器21a、21b。再者，雖未設(shè)置徑向阻尼器22，但仍能夠通過多孔體構(gòu)件88產(chǎn)生抑制軸承30的徑向振動的效果。

實(shí)施例8的其他構(gòu)造與實(shí)施例7相同，對相對應(yīng)的構(gòu)件附上相同符號且省略說明。

實(shí)施例8的軸承30中設(shè)置有從外輪31的內(nèi)周面貫通至外周面的多個排油路徑91。對于所述構(gòu)造，從潤滑油儲存部70在供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油中的過剩的潤滑油，會從排油路徑91供應(yīng)至多孔體構(gòu)件88，并浸潤至多孔體構(gòu)件88內(nèi)。因此，實(shí)施例8也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。特別是在實(shí)施例8中，潤滑油容易經(jīng)由軸承30的外輪31中所形成的排油路徑91向多孔體構(gòu)件87移動，因此，更容易使供應(yīng)至軸承30的潤滑油的量為最小限度。若供應(yīng)至軸承30的潤滑油的量增多，則會產(chǎn)生由潤滑油攪拌引起的多余的發(fā)熱，但通過使?jié)櫥偷牧繛樽钚∠薅?，能夠抑制如上所述的多余的發(fā)熱，從而維持良好的潤滑。

再者，實(shí)施例1～實(shí)施例7也可以采用如下構(gòu)造，即，在軸承30的外輪31中設(shè)置排油路徑91。

-實(shí)施例9-

圖10是表示包括真空泵用軸承裝置100的真空泵的實(shí)施例9的圖，所述真空泵用軸承裝置100具有與圖2不同的構(gòu)造。

實(shí)施例9的特征在于將多孔體形成為多孔膜89。

多孔膜89例如形成為鍍敷膜。為了通過鍍敷形成多孔體，例如在鍍敷液中添加多孔電鍍用添加劑并進(jìn)行電鍍。

如圖10所圖示，多孔膜89形成于軸承30的外輪31的外表面即外周面及上下表面。在軸承30的上表面所形成的多孔膜89與軸承殼體40的內(nèi)部空間的上表面之間，配置有止推阻尼器21。在軸承30的外輪31的外周面所形成的多孔膜89與軸承殼體40的內(nèi)部空間的外周面之間，配置有徑向阻尼器22。

對實(shí)施例9的對應(yīng)于其他實(shí)施方式的構(gòu)件附上相同符號。

在實(shí)施例9中，潤滑油儲存部70所保持的潤滑油也在包含供油繩71及旋轉(zhuǎn)體60的潤滑油供應(yīng)構(gòu)造50中移動而供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部。供應(yīng)至軸承30的內(nèi)部的潤滑油進(jìn)一步從軸承30供應(yīng)至多孔膜89而浸潤填充至多孔膜89。因此，軸承30的內(nèi)部所產(chǎn)生的熱經(jīng)由多孔膜89及止推阻尼器21而傳導(dǎo)至軸承殼體40，另外，經(jīng)由多孔膜89而有效地傳導(dǎo)至潤滑油儲存部外殼51。因此，實(shí)施例9也會產(chǎn)生與實(shí)施例1相同的效果。另外，根據(jù)實(shí)施例9，通過鍍敷形成多孔膜89，因此，部件數(shù)減少，能夠高效地組裝渦輪分子泵1。

再者，在實(shí)施例9中，例示了將多孔膜89設(shè)置于軸承30的外輪31的結(jié)構(gòu)。但是，多孔膜89也可以形成于形成軸承殼體40的內(nèi)部空間的內(nèi)周面或上表面。在此情況下，多孔膜89無需設(shè)置于軸承30的外輪31的整個外表面，可以設(shè)置于軸承30的外輪31的一部分，例如外周面、上表面或下表面等。在將多孔膜89設(shè)置于軸承殼體40的情況下，也無需設(shè)置于面向軸承30的外輪31的全部的面，可以設(shè)置于面向軸承30的外輪31的面的一部分。

所述實(shí)施例1～實(shí)施例8中的多孔體構(gòu)件81～多孔體構(gòu)件88能夠由實(shí)施例9所示的多孔膜89代替。再者，在本說明書中，多孔體被解釋為包含多孔體構(gòu)件81～多孔體構(gòu)件88及多孔膜89的術(shù)語。

所述各實(shí)施方式所例示的軸方向上下一對的各多孔體構(gòu)件81與多孔體構(gòu)件82、多孔體構(gòu)件84與多孔體構(gòu)件85、多孔體構(gòu)件86與多孔體構(gòu)件87分別例示為大致相同的構(gòu)件。但是，也可以設(shè)為厚度、大小等不同的構(gòu)件。另外，也可以像多孔體構(gòu)件81與多孔體構(gòu)件85等那樣，設(shè)為將形狀完全不同的多孔體構(gòu)件組合而成的上下一對。

在所述內(nèi)容中說明了各種實(shí)施方式及變形例，但本發(fā)明并不限定于這些內(nèi)容。例如，在所述實(shí)施方式中，以渦輪分子泵為例進(jìn)行了說明，但不限于渦輪分子泵，也能夠適用于各種真空泵。能夠在本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)想到的其他方式也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。