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分子泵的制作方法

文檔序號:5458073閱讀:716來源:國知局
專利名稱:分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種與流體相關(guān)的機械裝置,尤其是指一種真空泵,更為具體地講,本發(fā)明是一種分子泵,在國際專利分類表中,本發(fā)明應(yīng)分為F部。
背景技術(shù)
目前,就分子泵葉片的種類而言,基本分為扭制和銑制二類。與銑制葉片相比,在相同直徑、角度和速度的條件下,扭制葉片缺少幾何變量,而且扇形葉面根部的強度較差。整體銑制葉片受加工刀具的限制也很難選擇最佳的幾何形狀,且加工成本相當(dāng)高。此外,為保證分子泵安全運行,泵的動葉片要與泵內(nèi)壁有一定的徑向間隙,與動葉片相間交錯排列的靜葉片的葉齒和葉齒間也有間隙,而由此形成的軸向通道容易導(dǎo)致氣體分子返流,從而難以達到所希望的理想真空。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于,針對已有技術(shù)的不足,提供結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、強度高而使用壽命長的,具有提高抽速和壓縮比的,能夠抑制氣體分子軸向返流的一種分子泵。
本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的所述的分子泵包括電機組件 1、動葉輪組件 2、靜葉片 4、電機主軸 5、泵殼 6、泵底盤 7和排氣口 8。主要特點在于所述的動葉輪組件2直聯(lián)在所述的電機主軸5上。
所述的動葉輪組件2由動葉片3串聯(lián)組成,并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動葉片和壓縮級動葉片。
所述的動葉片3與所述的靜葉片4交錯排列。
所述的靜葉片4的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形,其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于所述的動葉片3的外徑。
所述的分子泵的末級葉片為靜葉片4。
所述的靜葉片4固定在所述的泵殼6和泵底盤7上。
所述的抽氣級動葉片的數(shù)量≥1級;所述的壓縮級動葉片的數(shù)量≥2級。
所述的抽氣級動葉片為楔形變截面葉齒的動葉片;所述的壓縮級動葉片為臺階式變截面葉齒的動葉片,所述的臺階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚。
所述的抽氣級動葉片的數(shù)量為3級;所述的壓縮級動葉片的數(shù)量為8級。
所述的臺階式變截面葉齒的臺階處為弧面或平面。
所述的臺階式變截面葉齒的臺階數(shù)量≥2。
所述的臺階數(shù)量等于3,由外向里其厚度分別為0.1cm、0.2cm、0.3cm。
所述的壓縮級動葉片為矩形葉齒的動葉片。
所述的矩形葉齒的動葉片的數(shù)量為10級。
由于本發(fā)明采用了上述的技術(shù)方案,本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計相當(dāng)合理,特別是有關(guān)抽氣級動葉片和壓縮級動葉片的設(shè)計,使其其強度和使用壽命大為提高,而且提高了抽速和壓縮比。另外,由于靜葉片4的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形,其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于動葉片3的外徑,使導(dǎo)致返流的軸向通道具有了截面,因為光學(xué)密封的作用成功地阻擋了氣體分子的軸向返流,提高了真空度和抽速。再者,由于所述分子泵的末級葉片為靜葉片,不僅打破了以往的成見,而且其效果更好。


下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進行說明,其中
附圖1為本發(fā)明一個實施例的進行了局部剖視的總裝配圖。
附圖2為本發(fā)明一個實施例的具有楔形變截面葉齒的動葉片結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖3為本發(fā)明一個實施例的具有臺階式變截面葉齒的動葉片結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖4為本發(fā)明一個實施例的具有矩形葉齒的動葉片結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖5為本發(fā)明一個實施例的靜葉片結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明,其中附圖1為本發(fā)明一個實施例的進行了局部剖視的總裝配圖。從附圖中可以看到1電機組件、2動葉輪組件、3動葉片、4靜葉片、5電機主軸、6泵殼、7泵底盤和排氣口8。所述的動葉輪組件2直聯(lián)在所述的電機主軸5上,而所述的動葉輪組件2由動葉片3串聯(lián)組成,并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動葉片和壓縮級動葉片。所述的動葉片3與所述的靜葉片4交錯排列。所述的靜葉片4的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形,其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于所述的動葉片3的外徑,因為光學(xué)密封的作用成功地阻擋了氣體分子的軸向返流。所述的分子泵的末級葉片為靜葉片4。所述的靜葉片4固定在所述的泵殼6和泵底盤7上。原則上講,所述的抽氣級動葉片的數(shù)量≥1級;所述的壓縮級動葉片的數(shù)量≥2級;在具體實施例中,根據(jù)實際情況而定。具體工作時,打開電源,電機驅(qū)動動葉輪組件2高速運轉(zhuǎn),動、靜葉片相對運動迫使氣體分子從泵的抽氣端逐級流向排氣口8,從而產(chǎn)生抽氣作用?,F(xiàn)在扼要敘述一個具體實施例的情況動葉輪組件2直聯(lián)在所述的電機主軸5上,動葉片3串聯(lián)組合,由楔形變截面葉齒的動葉片(如圖2所示)組成抽氣級,本實施例選擇為3級;由臺階式變截面葉齒的動葉片(如圖3所示)串聯(lián)組成壓縮級,本實施例選擇為8級;臺階式變截面動葉片的葉齒的臺階數(shù)依據(jù)葉齒的長度而定,一般而言,臺階式變截面葉齒的臺階數(shù)量≥2,該實施例選擇為3;所述的臺階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚,本實施例由外向里其厚度分別為0.1cm、0.2cm、0.3cm。另外,相當(dāng)重要的是所述的臺階式變截面葉齒的臺階處可以為弧面或平面,本實施例選擇為弧面,因為其強度大為提高。再者,在本實施例中,所述的分子泵的末級葉片為靜葉片,靜葉片被固定在泵殼和泵底盤上,之所以打破常規(guī)作如此選擇,是因為效果突出。
在另一個實施例中,是在上述實施例的基礎(chǔ)上,將壓縮級串聯(lián)的具有臺階式變截面葉齒的動葉片,改為具有矩形葉齒的動葉片,本實施例選擇為10級。
在具體設(shè)計和制造中,分子泵動靜葉片的級數(shù)、葉片葉齒的長度、角度及葉齒數(shù)等設(shè)計參數(shù)依據(jù)所需要的真空度而定。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,強度高而且使用壽命長,具有大抽速和壓縮比,能夠抑制氣體分子軸向返流。
權(quán)利要求
1.一種分子泵,所述的分子泵包括電機組件(1)、動葉輪組件(2)、靜葉片(4)、電機主軸(5)、泵殼(6)、泵底盤(7)和排氣口(8);其特征在于所述的動葉輪組件(2)直聯(lián)在所述的電機主軸(5)上;所述的動葉輪組件(2)由動葉片(3)串聯(lián)組成,并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動葉片和壓縮級動葉片;所述的動葉片(3)與所述的靜葉片(4)交錯排列;所述的靜葉片(4)的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形,其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于所述的動葉片(3)的外徑;所述的分子泵的末級葉片為靜葉片(4);所述的靜葉片(4)固定在所述的泵殼(6)和泵底盤(7)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵,其特征在于所述的抽氣級動葉片的數(shù)量≥1級;所述的壓縮級動葉片的數(shù)量≥2級。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵,其特征在于所述的抽氣級動葉片為楔形變截面葉齒的動葉片;所述的壓縮級動葉片為臺階式變截面葉齒的動葉片,所述的臺階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的分子泵,其特征在于所述的抽氣級動葉片的數(shù)量為3級;所述的壓縮級動葉片的數(shù)量為8級。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵,其特征在于所述的臺階式變截面葉齒的臺階處為弧面或平面。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵,其特征在于所述的臺階式變截面葉齒的臺階數(shù)量≥2。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分子泵,其特征在于所述的臺階數(shù)量等于3,由外向里其厚度分別為0.1cm、0.2cm、0.3cm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵,其特征在于所述的壓縮級動葉片為矩形葉齒的動葉片。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分子泵,其特征在于所述的矩形葉齒的動葉片的數(shù)量為10級。
全文摘要
一種分子泵,所述分子泵包括電機組件1、動葉輪組件2、靜葉片4、電機主軸5、泵殼6、泵底盤7和排氣口8。主要特點在于動葉輪組件2直聯(lián)在所述的電機主軸5上。動葉輪組件2由動葉片3串聯(lián)組成,并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動葉片和壓縮級動葉片。動葉片3與所述的靜葉片4交錯排列。靜葉片4葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形,其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于動葉片3的外徑。分子泵的末級葉片為靜葉片4。靜葉片4固定在所述的泵殼6和泵底盤7上。抽氣級葉片的數(shù)量≥1級。壓縮級葉片的數(shù)量≥2級。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,強度高而使用壽命長,具有大抽速和壓縮比,能夠抑制氣體分子軸向返流。
文檔編號F04D19/04GK101092965SQ20071014286
公開日2007年12月26日 申請日期2007年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月1日
發(fā)明者朱岳 申請人:朱岳
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