專利名稱：徑流式分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于高轉(zhuǎn)速機械真空泵，分子泵類，這種泵主要應(yīng)用于薄膜、等離子體、表面分析、加速器、以及真空器件和微電子器件制造等領(lǐng)域。
現(xiàn)有產(chǎn)品分子泵，簡稱普通分子泵，均采用渦輪軸流式，工作壓強較低，結(jié)構(gòu)復雜，價格昂貴，抽速較低，限制了分子泵的進一步推廣應(yīng)用。
美國專利US3322334(1967)提出了一種徑流式分子泵結(jié)構(gòu)，泵的抽速有了明顯提高，然而，由于采用較長的葉片結(jié)構(gòu)，當轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，安裝在轉(zhuǎn)子支架上的軸向葉片承受很大的應(yīng)力，葉片上需安裝若干加固裝置，以至結(jié)構(gòu)比普通分子泵更復雜，此外，這種結(jié)構(gòu)通常用有四排渦輪葉列，壓縮比很低，因此，至今未能用于產(chǎn)品分子泵中。
本發(fā)明的目的是提供一種抽速和工作壓強較高，結(jié)構(gòu)簡單，加工方便的新穎徑流式分子泵。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的本發(fā)明由動葉輪、轉(zhuǎn)軸、靜葉輪和泵殼等組成的單級徑流式分子泵葉輪組構(gòu)成基本結(jié)構(gòu)。動葉輪固定在轉(zhuǎn)軸上，靜葉輪固定的泵殼上。動、靜葉輪中，至少有一個側(cè)面上設(shè)有傾斜的、單端與葉輪平面相連的葉片或葉槽，葉片或葉槽與葉輪構(gòu)成整體結(jié)構(gòu)，從而葉輪裝配方便，並可將若干級葉輪同軸安裝，構(gòu)成串、並聯(lián)或其組合的多級徑流式分子泵。
本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)分為三種第一種結(jié)構(gòu)為徑流式渦輪分子泵。
在這種結(jié)構(gòu)中，動葉輪的一側(cè)至少有一排與轉(zhuǎn)軸同心的葉列，每一葉列由若干片均布的葉片構(gòu)成，葉片與葉輪平面垂直，葉片單端與葉輪平面相連，葉片與葉輪半徑之間的夾角為50°～75°，同一葉列的葉片傾斜角度相同，不同葉列的葉片傾斜角度可以不同，但是，同一葉輪側(cè)面的葉片傾斜方向應(yīng)相同，同一葉列中，葉片在葉列所在圓周方向上的間隙t，與葉片寬度b之比，即葉片的空弦比t/b的最佳值為0.8～1.2，每一葉列的葉片數(shù)通常在15～80之間。
靜葉輪的一側(cè)也至少有一排與轉(zhuǎn)軸同心的葉列，葉列中葉片的結(jié)構(gòu)及最佳值與動葉輪葉片相同，但葉片的傾斜方向相反，葉片的厚度也較薄。靜葉輪上葉列的徑向位置應(yīng)與動葉輪葉列的位置叉開。
動、靜葉輪組裝好后，其葉列交替互插，在徑向和軸留有一定的工作間隙，其中動葉輪外側(cè)與泵殼以及靜葉輪內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸之間的間隙較大兼作氣體流動的通道。裝配后的動、靜葉輪上的葉片交替改變傾斜方向。
當動葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，這對葉輪就構(gòu)成了一臺徑流式渦輪分子泵。
如果一對徑流式渦輪分子泵葉輪徑向排列有n排葉列，那末，這對葉輪的壓縮比將與n只普通分子泵葉輪串聯(lián)工作時的壓縮比大體相等。n的值通?？蛇_10以上。由此可見，徑流式渦輪分子泵的壓縮比是很高的。
徑流式渦輪分子泵的抽速與葉片長度成正比。由于動葉輪高速旋轉(zhuǎn)，動葉輪上葉片的根部承受很大的應(yīng)力，應(yīng)力的大小與葉片的半徑、轉(zhuǎn)速平方以及葉片的長度平方成正比，與葉片的厚度成反比。適當增加葉片根部的厚度，可以使旋轉(zhuǎn)中的葉片處于等應(yīng)力狀態(tài)下工作，葉片長度可增加40%以上。一對徑流式渦輪分子泵葉輪的抽速通常相當于普通分子泵抽速的1/3～1/2。
改變動葉輪的旋轉(zhuǎn)方向，或者改變動、靜葉輪葉片的傾斜方向，可以改變徑向抽氣的方向。
上述徑流式渦輪分子泵中，葉片的間距t大體相等。如果將葉片加工成不等厚形，或者類似渦輪機械中的漸彎曲形葉片，使葉列中相鄰葉片間的垂直距離在靠進氣側(cè)處較小，靠近出氣側(cè)處較大，則可進一步提高徑流式渦輪分子泵在高壓強條件下工作時的壓縮比。這種結(jié)構(gòu)也可以用于氣體壓縮機。
當動葉輪，或者靜葉輪雙側(cè)均有葉列，並且分別與對應(yīng)的靜、動葉輪構(gòu)成徑流式渦輪分子泵時，應(yīng)視為二級泵。
第二種結(jié)構(gòu)為盤形拖動分子泵，簡稱盤形泵。
在這種結(jié)構(gòu)中，靜葉輪為平盤狀，靜葉輪的一側(cè)至少有一條螺旋抽氣槽，槽的形狀近似為對數(shù)螺線。槽深與葉片半徑之比的最佳值為0.03～0.06。槽壁的厚度約1毫米。螺旋槽與葉輪半徑間的夾角最佳值為50°～75°。槽數(shù)的最佳值為10～30條。
動葉輪由平圓盤，或者外薄內(nèi)厚的退撥狀圓盤構(gòu)成。
動、靜葉輪組裝時，在軸向和徑向分別留有一定的工作間隙。由于抽氣槽采用了對數(shù)螺旋線，動、靜葉輪間的軸向間隙，可以增大。動葉輪外側(cè)與泵殼之間以及靜葉輪內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸之間的間隙應(yīng)較大，兼作氣體流動的通道。當動葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，這時葉輪就構(gòu)成了一級徑流式分子泵。
單級盤形泵的壓縮比與3～4級普通分子泵葉輪串聯(lián)抽氣時的壓縮比相似，抽速為普通分子泵的1/20～1/10。
改變螺旋槽的傾斜方向或者改變動葉輪的旋轉(zhuǎn)方向可以改變徑向抽氣的方向。
盤形泵的動葉輪結(jié)構(gòu)簡單，加工、裝配方便，因此，制造成本較低。
靜葉輪兩側(cè)均有螺旋狀抽氣槽，並分別與圓盤狀動葉輪組成抽氣單元時，應(yīng)視為二級泵。
第三種結(jié)構(gòu)為雙拖動面盤形分子泵，簡稱雙拖動泵。
在這種結(jié)構(gòu)中，動葉輪由二只平圓盤，或者是二只外薄內(nèi)厚的退撥狀圓盤構(gòu)成。二圓盤中，至少有一只圓盤在靠近轉(zhuǎn)軸處設(shè)有若干個均布的氣孔，構(gòu)成進、出氣通道。
靜葉輪呈圓盤狀，由內(nèi)、外二只環(huán)套構(gòu)成，二環(huán)套之間固定著若干條螺旋葉片，內(nèi)環(huán)套有時可以不用，視葉片的強度決定。葉片的形狀近似為對數(shù)螺線，葉片與葉輪半徑間夾角的最佳值為50°～75°。葉片的厚度約1毫米左右。葉片寬度(在軸向上)與葉輪半徑之比的最佳值為0.03～0.08。最佳葉片數(shù)為8～25。
靜葉輪安裝在二只動葉輪圓盤中間，動、靜葉輪在軸向和徑向分別留有工作間隙，其中動葉輪外側(cè)與泵殼以及靜葉輪內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸之間的間隙兼作氣體流動通道。
當動葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，這時葉輪就構(gòu)成了一級徑流式分子泵。
在這種結(jié)構(gòu)中，抽氣槽由相鄰的二片靜葉輪葉片以及二只動葉輪圓盤構(gòu)成，每一抽氣槽中，有二個高速運動的表面，即二個動葉輪圓盤的內(nèi)表面。因此，我們稱它為雙拖動面盤形分子泵。
雙拖動泵的抽速為盤形泵的二倍，壓縮比為盤形泵的平方倍。
改變靜葉輪葉片的傾斜方向，或者動葉輪的旋轉(zhuǎn)方向，就可以改變雙拖動泵的抽氣方向。
由于結(jié)構(gòu)原因，在雙拖動泵的進氣口和出氣口之間存在固有的短路通道，因此，在設(shè)有氣孔的動葉輪外側(cè)，應(yīng)加動密封裝置，例如，加一級盤形泵。
上述三種基本結(jié)構(gòu)均可單獨構(gòu)成一臺有實用價值的分子泵。然而，通過相互之間的串、並聯(lián)組合，以及它們與普通分子泵的串、並聯(lián)組合，就可以構(gòu)成一臺性能更好的徑流式分子泵，或者徑流、軸流混合式分子泵。
將若干臺單級徑流式分子泵同軸安裝，相鄰動、靜葉輪上葉片，或葉槽的傾斜方向分別相反，從而使相鄰二級泵的徑向抽氣方向交替改變，就可以構(gòu)成一臺串聯(lián)抽氣的多級徑流式分子泵。串聯(lián)葉輪組的級數(shù)原則上可以任意增加，其壓縮比近似為各級葉輪組壓縮比的乘積。
將若干臺單級徑流式分子泵同軸安裝，相鄰動、靜葉輪上葉片，或葉槽的傾斜方向分別相同，從而使各級葉輪的抽氣方向相同;同時，在動葉輪靠近轉(zhuǎn)軸處氣體匯合的地方設(shè)若干個均布的連通氣孔;靜葉輪外側(cè)若沒有現(xiàn)成的氣體連通通道，則在靜葉輪靠近泵殼處也應(yīng)設(shè)氣體連通氣孔，但不必均布;就可以構(gòu)成一臺并聯(lián)工作的多級徑流式分子泵。
并聯(lián)抽氣的葉輪組不很多時，例如少于10級，其總抽速近似于各級葉輪抽速之和。
在並聯(lián)抽氣的雙拖動泵中，相鄰二級之間的動密封可以去掉。
將串聯(lián)和並聯(lián)的多級徑流式分子泵同軸安裝，可以組成串、並聯(lián)組合的多級徑流式分子泵。為了獲得最佳的抽氣性能，通常，靠近進氣口的葉輪采用並聯(lián)抽氣，靠近出氣口的葉輪采用串聯(lián)抽氣。
將三種徑流分子泵葉輪的基本結(jié)構(gòu)，或者它們的串、並聯(lián)組合與普通軸流式渦輪分子泵同軸安裝，并在軸流式葉輪與徑流式葉輪之間留較大的軸向間隙，例如5毫米左右，構(gòu)成氣流由軸向轉(zhuǎn)向徑向流動的通道，就可以構(gòu)成一臺徑流、軸流混合式分子泵。
將上述的單級或多級並聯(lián)、串聯(lián)或者串、並聯(lián)的徑流式分子泵與單級或雙級旋轉(zhuǎn)機械真空泵同軸安裝，分子泵的出氣口與機械泵的進氣口直接相連，可以構(gòu)成一種新穎的復合真空泵。
本發(fā)明的優(yōu)點1.本發(fā)明提出的三種徑流式分子泵葉輪結(jié)構(gòu)簡單，便于將多級葉輪同軸安裝，構(gòu)成串聯(lián)，並聯(lián)或者串、並聯(lián)組合的多級徑流式分子泵。
2.由三種基本結(jié)構(gòu)串、並聯(lián)組合成的多級徑流式分子泵以及它們與普通分子泵構(gòu)成的復合分子泵，結(jié)構(gòu)簡單，葉輪級數(shù)比普通分子泵至少減少40%，成本相應(yīng)下降，抽速也可以提高。
3.本發(fā)明提出的徑流式分子泵葉輪采用較短的葉片長度，或采用拖動分子泵的葉槽結(jié)構(gòu)，因此，工作壓強較高。通常，進氣口壓強可達0.1托以上，出氣口壓強可達幾托，分別比普通分子泵高出10倍以上。
下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步描述。


圖1是本發(fā)明單級徑流式渦輪分子泵。
圖2是本發(fā)明動葉輪1的正視圖。
圖3是本發(fā)明動葉輪1的左側(cè)視圖。
圖4是本發(fā)明靜葉輪3的正視圖。
圖5是本發(fā)明靜葉輪3的左側(cè)視圖。
圖6是本發(fā)明單級徑流式盤形拖動分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7是本發(fā)明盤形拖動分子泵靜葉輪6的正視圖。
圖8是本發(fā)明盤形拖動分子泵靜葉輪6的左側(cè)視圖。
圖9是本發(fā)明單級徑流式雙拖動面盤形分子泵的示意圖。
圖10是本發(fā)明雙拖動面盤形分子泵靜葉輪8的正視圖。
圖11是本發(fā)明雙拖動面盤形分子泵靜葉輪8的左側(cè)視圖。
圖12是本發(fā)明串聯(lián)徑流式分子泵結(jié)構(gòu)示意圖。
圖13是本發(fā)明並聯(lián)徑流式分子泵結(jié)構(gòu)示意圖。
圖14是本發(fā)明串、並聯(lián)徑流式分子泵結(jié)構(gòu)示意圖。
圖15是本發(fā)明臥式徑流式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖。
圖16是本發(fā)明立式徑流、軸流混合式分子泵結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖中1-動葉輪，2-轉(zhuǎn)軸，3-靜葉輪，4-外殼，5-動葉輪，6-靜葉輪，7-動葉輪，8-靜葉輪，9-葉片，10-進氣口，11-出氣口，12-電機，13-葉槽，14-動葉輪，15-靜葉輪，16-葉輪，17-前級管道，18-葉片，19-冷卻水槽，20-通氣孔，21-動密封22-槽壁，23-內(nèi)環(huán)套，24-外環(huán)套。
實施例1單級徑流式渦輪分子泵單級徑流式渦輪分子泵如圖1所示，由動葉輪1、轉(zhuǎn)軸2、靜葉輪3和泵殼4等組成。
動葉輪1如圖2、3所示。動葉輪1上設(shè)有5排與轉(zhuǎn)軸同心的葉列，圖中僅示出2排。靜葉輪3也設(shè)有5排與轉(zhuǎn)軸同心的葉列，圖中僅示出1排。動、靜葉輪葉片9與葉輪平面垂直，並與葉輪組成整體結(jié)構(gòu)。葉片與半徑之間的夾角約為60°，空弦比約為1。葉片9的長度與厚度由轉(zhuǎn)速，葉輪半徑，葉輪材料的強度決定。
動葉輪1安裝在轉(zhuǎn)軸2上，靜葉輪3安裝在泵殼4上。裝配好后，動、靜葉輪上葉片的傾斜方向應(yīng)相反，動、靜葉輪間軸向和徑向的工作間隙為0.5～1毫米，葉輪半徑越大，工作間隙也越大。動葉輪外側(cè)與泵殼之間的間隙約5毫米，靜葉輪內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸之間的間隙約20毫米。
實施例2單級徑流式盤形拖動分子泵單級盤形泵如圖6所示，由動葉輪5、轉(zhuǎn)軸2、靜葉輪6和泵殼4等組成。
動葉輪5為一只平圓盤。靜葉輪6呈圓盤形，如圖7、8所示。靜葉輪的一側(cè)有至少1～5條螺旋狀抽氣槽13，圖中示出二條。抽氣槽與半徑之間的夾角約為60°，槽深與半徑之比約為0.05，槽壁22的厚度約1毫米。
動葉輪5安裝在轉(zhuǎn)軸2上，靜葉輪6安裝在泵殼4上。動、靜葉輪間的軸向工作間隙約0.3～0.75毫米，葉輪尺寸較大，取較大的數(shù)值，其余間隙同實施例1。
實施例3單級徑流式雙拖動面盤形分子泵單級雙拖動泵如圖9所示，由動葉輪7，靜葉輪8、轉(zhuǎn)軸2、動密封21和泵殼4等組成。
動葉輪7由兩只平圓盤組成，左側(cè)的平圓盤上設(shè)有均布的連通氣孔20，靜葉輪8呈圓盤狀，如圖10、11所示，靜葉輪上設(shè)有12條螺旋葉片18，圖中示出3條，葉片18與半徑間的夾角近似為60°，葉片18的厚度約1毫米，寬度與葉輪之比約0.08。
動葉輪7固定在轉(zhuǎn)軸2上，左方動葉輪的外側(cè)裝有一動密封21，動密封21由盤形泵的靜葉輪6構(gòu)成，靜葉輪8和動密封21固定在泵殼4上，安裝時，靜葉輪插在二只動葉輪圓盤中間，動葉輪7與靜葉輪8、動密封21之間的軸向間隙為0.5～1毫米，其它間隙同實施例1。
實施例4串、並聯(lián)及其串、並聯(lián)組合的多級徑流式分子泵串、並聯(lián)及其組合多級徑流式分子泵如圖12、13和14所示，由動葉輪14、轉(zhuǎn)軸2、靜葉輪15以及泵殼4等組成。動、靜葉輪14、15可以是三種徑流式分子泵的基本結(jié)構(gòu)中的任意一種，雙拖動泵的動密封21沒有示出。動、靜葉輪間的工作間隙同實施例1。
串聯(lián)多級徑流式分子泵如圖12所示，圖12中同軸安裝有3級徑流式分子泵，其中，中間一級動、靜葉輪上葉片，或葉槽的傾斜方向與二側(cè)的動、靜葉輪上的葉片，或葉槽方向分別相反。被抽氣體的流動路徑如圖12中虛線所示。
並聯(lián)多級徑流式分子泵如圖13所示，圖13中也同軸裝有三級徑流式分子泵。各級動、靜葉輪上葉片，或葉槽的傾斜方向分別相同。左側(cè)二級泵的動葉輪上設(shè)有均布氣孔20。被抽氣體的流動路徑如圖13中虛線所示。
串、並聯(lián)組合多級徑流式分子泵如圖14所示。圖14中同軸裝有四級徑流式分子泵。右側(cè)三級泵的動、靜葉輪上葉片，或葉槽的傾斜方向分別相同，左側(cè)一級泵的動、靜葉輪上葉片，或者葉槽的傾斜方向分別與右側(cè)三級泵相反，中間二級泵的動葉輪上設(shè)有均布氣孔20。被抽氣體的流動路徑如圖14中的虛線所示，即右側(cè)三級泵並聯(lián)抽氣再與左側(cè)一級泵串聯(lián)抽氣。
實施例5臥式徑流式渦輪分子泵本發(fā)明由若干級徑流式渦輪分子泵組成。具體結(jié)構(gòu)如圖15所示，由動葉輪1、靜葉輪3、轉(zhuǎn)軸2、泵殼4、進、出氣口10、11、電機12、前級管道17和冷卻水槽19等構(gòu)成。
動葉輪1共有10只，固定在轉(zhuǎn)軸2上，圖15中僅示出四只。靜葉輪3比動葉輪多一只，固定在泵殼4上，圖15中僅示出五只。除兩側(cè)二只靜葉輪3僅單側(cè)有葉列外，其余動、靜葉輪1、3均雙側(cè)有葉列，葉列和葉片的結(jié)構(gòu)、尺寸以及裝配間隙與實施例1相同。
動、靜葉輪1、3共組成20級徑流式渦輪分子泵。其中，除第2級和第19級(自左開始計數(shù))外，所有動、靜葉輪1、3上的葉片9的傾斜方向均分別相同，葉輪的旋轉(zhuǎn)方向使第2、19級自內(nèi)向外抽氣，其余各級自外向內(nèi)抽氣。第3～18級泵的動葉輪上設(shè)有均布的氣孔20。從而，中間16級泵構(gòu)成並聯(lián)自外向內(nèi)抽氣的吸氣級，它們兩側(cè)各有二級與其串聯(lián)抽氣的壓縮級。
被抽氣體由泵的進氣口10吸入通過中間16級並聯(lián)葉輪組成的吸氣級，然后，分成左、右二路，分別通過兩側(cè)二級串聯(lián)徑流葉輪組成的壓縮級及前級管道17，匯集于出氣口11，最后由前級泵抽走。
實施例6立式徑流、軸流混合式分子泵本發(fā)明由二級徑流式渦輪分子泵和9級普通軸流式渦輪分子泵葉輪同軸安裝構(gòu)成。具體結(jié)構(gòu)如圖16所示，由徑流渦輪分子泵動、靜葉輪1、3、轉(zhuǎn)軸2、普通分子泵葉輪16、泵殼4、電機12、進、出氣口10、11和冷卻水槽19組成。
徑流渦輪分子泵動、靜葉輪1、3的結(jié)構(gòu)和安裝尺寸同實施例1，上方一級徑流泵自內(nèi)向外抽氣，下方一級徑流泵自外向內(nèi)抽氣，二級泵串聯(lián)工作構(gòu)成壓縮機，9級普通分子泵葉輪尺寸與普分子泵的吸氣級葉輪相同。軸流分子泵葉輪與徑流分子泵葉輪之間應(yīng)有5毫米左右的軸向間隙，構(gòu)成氣體流動的通道。
被抽氣體由進氣口吸入泵體，沿軸向通過9級普通分子泵葉輪，然后通過二級串聯(lián)工作的徑流式渦輪分子泵，匯集于出氣口11，最后，由前級泵抽走。
權(quán)利要求
1.一種徑流式分子泵，由動葉輪1，轉(zhuǎn)軸2、靜葉輪3和泵殼4等組成，其特征在于a)動、靜葉輪1、3呈圓盤狀，其一側(cè)至少有一排與轉(zhuǎn)軸2同心的葉列，每排葉列由若干個均布、等厚、單端與葉輪平面相連的葉片9，葉片9與葉輪平面垂直，與葉輪半徑之間的夾角為50°～75°，同一葉列上葉片傾斜角度相等，同一葉輪側(cè)面上葉片傾斜方向相同，葉片9空弦比的最佳值為0.8～1.2，動、靜葉輪1、3上葉列的徑向位置應(yīng)叉開；b)葉片9長度較短，與動、靜葉輪1、3組成整體結(jié)構(gòu)，不需要附加的支護裝置，靜葉輪3上葉片較??；c)動葉輪1固定在轉(zhuǎn)軸2上，靜葉輪3固定在泵殼4上，動、靜葉輪1、3上的葉列交替互插，在軸向和徑向留有0.5～1毫米的工作間隙，其中動葉輪1外側(cè)與泵殼4，以及靜葉輪3內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸2之間的徑向間隙約為5～20毫米，裝配好后，動、靜葉輪1、3上的葉片傾斜方向相反。
2.一種徑流式分子泵，由動葉輪5、轉(zhuǎn)軸2、靜葉輪6和泵殼4等組成，其特征在于a)動葉輪5呈平圓盤狀，或者外薄內(nèi)厚的退撥圓盤狀;b)靜葉輪6呈圓盤狀，一側(cè)至少有一條螺旋狀抽氣槽，槽形近似為對數(shù)螺線，抽氣槽與半徑間夾角為50°～75°，槽深與葉輪半徑之比的最佳值為0.03～0.06，槽數(shù)最佳值為10～30，靜葉輪6外側(cè)槽數(shù)可以高于內(nèi)側(cè)槽數(shù);c)動葉輪5固定在轉(zhuǎn)軸2上，靜葉輪6固定在泵殼4上，動、靜葉輪5、6緊靠安裝，軸向留有0.5～1毫米的工作間隙。動葉輪5外側(cè)與泵殼4，以及靜葉輪6內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸2之間留有較大的徑向間隙，約5～20毫米。
3.一種徑流式分子泵，由動葉輪7，轉(zhuǎn)軸2，靜葉輪8，外殼4和動密封21等組成，其特征在于a)動葉輪7由兩只平圓盤，或兩只外薄內(nèi)厚的退撥狀圓盤構(gòu)成，兩圓盤中至少有一只盤在靠近轉(zhuǎn)軸2處設(shè)有均布的氣孔20，並在該圓盤外側(cè)加動密封21。b)靜葉輪8呈圓盤狀，靜葉輪由內(nèi)、外環(huán)套23、24構(gòu)成(內(nèi)環(huán)套可以不用)，兩環(huán)套間固定著若干條螺旋狀葉片18，葉片18的形狀近似為對數(shù)螺線，葉片18與葉輪半徑間的夾角為50°～75°，葉片寬度與葉輪半徑之比的最佳值為0.03～0.08。最佳葉片數(shù)為8～25，葉輪外側(cè)葉片數(shù)可以多于內(nèi)側(cè);c)動葉輪7固定在轉(zhuǎn)軸2上，靜葉輪8和動密封21固定在外殼4上，動、靜葉輪7、8以及動密封21之間在軸向留有0.5～1毫米的工作間隙，動葉輪7外側(cè)與外殼4，以及靜葉輪8內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸2之間留有約5～20毫米的間隙;d)動密封21裝置，也可采用靜葉輪6的結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的徑流式分子泵，其特征在于動葉輪1上葉片9的厚度越靠近葉輪平面越厚。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的徑流式分子泵，其特征在于葉片9采用不等厚，或者漸彎曲形葉片，使相鄰葉片間的垂直距離在靠近進氣側(cè)處較小，靠近出氣側(cè)處較大。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5所述的徑流式分子泵，其特征在于各級葉輪組同軸安裝，相鄰兩級的動、靜葉輪14、15上的葉片9、18，或葉槽13的傾斜方向分別相反。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～5所述的徑流式分子泵，其特征在于各級葉輪組同軸安裝，相鄰二級的動、靜葉輪14、15上的葉片9、18，或葉槽13的傾斜方向分別相同，動葉輪14靠近轉(zhuǎn)軸2處設(shè)有若干個均布的氣孔20，靜葉輪15外側(cè)無現(xiàn)成的氣體通道時，在靠近泵殼4處也設(shè)有若干連通氣孔20，但不必均布。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7所述的徑流式分子泵，其特征在于各級葉輪組同軸安裝，構(gòu)成串、並聯(lián)組合的多級徑流式分子泵。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8所述的徑流式分子泵，其特征在于徑流式分子泵葉輪組14，15與普通軸流渦輪分子泵葉輪16同軸安裝，徑流和軸流葉輪間留有較大的軸向間隙，例如5～10毫米。
全文摘要
本發(fā)明屬于分子泵類的高轉(zhuǎn)速機械真空泵，其結(jié)構(gòu)特點是每一個動靜葉輪上有若干排等距離分布的葉片，葉片的單端與葉輪平面相連；葉輪上有一個或兩個拖動面的抽氣葉槽，上述不同的葉輪結(jié)構(gòu)可以同軸安裝，它們之間或與普通泵可以組合成并聯(lián)、串聯(lián)，串并聯(lián)式的徑流式分子泵；該泵結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，提高了抽速和工作壓強，降低了成本。
文檔編號F04D17/00GK1032574SQ8710111
公開日1989年4月26日 申請日期1987年10月10日 優(yōu)先權(quán)日1987年10月10日
發(fā)明者儲繼國, 徐禮霸, 李懷珍, 儲繼青 申請人:儲繼國