專利名稱：雙聯(lián)往復式隔膜泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將可自由伸縮的筒狀波紋管(bellows)的內(nèi)側(cè)作為半導體處理液等的泵饋送流體的泵實，對其外側(cè)供給工作空氣，使波紋管往復移動方式的隔膜泵(bellows pump)，特別是關(guān)于在泵頭的兩側(cè)配置同樣構(gòu)成的波紋管，通過聯(lián)動軸裝置使其左右一對波紋管相互聯(lián)動構(gòu)成的雙聯(lián)往復式隔膜泵。
這種雙聯(lián)往復式隔膜泵例如在美國專利第5,558,506號及第5,893,707號中已公開。在這些美國專利所述的雙聯(lián)往復式隔膜泵中，在泵外殼的中央所配置的泵頭內(nèi)，分別裝入形成球閥型單向閥的吸入端及排出端閥門單元，通過在該泵頭和左右波紋管的可動端安裝的活塞，分別分成左右泵室。而且，在由該各活塞分隔的另一個區(qū)域中，對波紋管內(nèi)部選擇供給工作空氣，在此處分別劃分成左右的工作空氣室。兩個活塞安裝在單一聯(lián)動軸的各端部上，與其對應，左右的波紋管反復進行伸縮動作，完成泵動作。
在上述構(gòu)成中，由于在泵頭內(nèi)裝入了吸入端及排出端的泵單元，勢必造成該泵頭的尺寸，特別是橫向的尺寸變大，這樣就存在泵全體的小型化設計困難的問題。例如在將該泵用于饋送半導體處理液的循環(huán)泵等中時，最好使泵浸液部分用耐腐蝕性及耐藥品性的氟化樹脂等形成，但是由于這些樹指材料相當昂貴，所以為了節(jié)約材料費，則要求極力進行小型化設計。但是上述的結(jié)構(gòu)都存在很難充分滿足要求的問題。
另外，作為這種現(xiàn)有泵的另一種結(jié)構(gòu)，還有將聯(lián)動軸裝置配置成可在泵室的外部自由移動，將左右的波紋管連結(jié)在該聯(lián)動軸裝置上，相互聯(lián)動。但是，這時在泵外殼上需要設置支撐該聯(lián)動軸裝置的空間及結(jié)構(gòu)部分，從而不可避免造成泵外殼的大型化，進而泵整體的大型化，與上述一樣，存在泵小型化設計困難的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有隔膜泵的諸問題，其目的在于提供一種使泵全體的小型化設計容易，節(jié)約材料費的低成本雙聯(lián)往復式隔膜泵。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種使泵室的無用空間減小，防止該泵室內(nèi)的泵饋送流體滯留，自吸性能斜高的雙聯(lián)往復式隔膜泵。
為了達到上述本發(fā)明的目的，在本發(fā)明中所提出的雙聯(lián)往復式隔膜泵，筒狀的波紋管在其基端部以密封狀態(tài)安裝在泵頭上，在另一個自由端上以密封狀態(tài)連結(jié)端板，將波紋管的內(nèi)部作為泵饋送流體用的泵室，并將波紋管的外側(cè)作為與泵外殼之間作為工作空氣室進行分開，而且使配置在泵頭的兩側(cè)的左右一對筒狀波紋管聯(lián)動的聯(lián)動軸裝置可移動地在泵頭中插通，突出到左右的泵室中，通過在對應的端板內(nèi)面上進行動作連結(jié)，使兩波紋管聯(lián)動，進行泵動作。
特別是在本發(fā)明中，雙聯(lián)往復式隔膜泵包括泵外殼；安裝在該外殼上并設置有泵饋送流體吸入口及排出口的泵頭；基端部以密封狀態(tài)分別安裝在上述泵頭的側(cè)部，并在上述泵外殼內(nèi)沿著該泵外殼的長軸線可自由伸縮具有規(guī)定行程可往復移動的左右一對筒狀波紋管；在這些波紋管的自由端以密封狀態(tài)連結(jié)，與上述泵頭一起移動，將波紋管內(nèi)部區(qū)分成泵室并將該波紋管和泵外殼之間作為工作空氣室區(qū)進行分開的端板；為對上述左右的工作空氣室選擇供給工作空氣，連通設置在上述泵外殼上的各工作空氣室的工作空氣供給口裝置；與上述一個波紋管的往復移動相連動，使另一個波紋管往復移動的聯(lián)動軸裝置；安裝在上述泵頭上并分別配置在上述吸入口和泵室之間，構(gòu)成容許從該吸入口向該各泵室流入泵饋送流體的單向閥的吸入端閥門單元；及安裝在上述泵頭上并分別配置在上述排出口和泵室之間，構(gòu)成容許從該各泵室向排出口流出泵饋送流體的單向閥的排出端閥門單元；在上述閥門單元由閥門外殼和在該外殼內(nèi)可移動支撐的閥門體構(gòu)成中上述吸入端閥門單元及排出端閥門單元的各閥門外殼，在上述筒狀波紋管的橫斷面上夾著其中心在其上下配置，并在對應的泵室內(nèi)突出出來；上述連動軸裝置，沿著該長軸線可自由移動地插通上述泵頭，由其一端突出到一個泵室中與對應的端板內(nèi)面動作連結(jié)、而另一端突出到另一個泵室中與對應的端板內(nèi)面動作連結(jié)的一對聯(lián)動軸構(gòu)成，這些雙聯(lián)動軸夾著上述中心，分別配置在離開該中心的左右位置上。
如上述的構(gòu)成，在本發(fā)明中，聯(lián)動軸裝置使一對聯(lián)動軸通過泵頭延伸到左右的泵室中，將這一對聯(lián)動軸配置在離開波紋管中心位置的左右位置上，并且將吸入端閥門單元及排出端閥門單元的各閥門外殼夾著該中心配置在上下，并突出到泵室內(nèi)，從而這兩個閥門外殼及聯(lián)動軸可以大大減少各泵室中的所謂無用空間，這樣就可以大大減少泵室內(nèi)的泵饋送流體的滯留現(xiàn)象，可以得到高的自吸性能。
另外，由于兩閥門外殼不是安裝在泵頭內(nèi)部，所以可以減小泵頭的厚度及橫向尺十。另外，通過將一對聯(lián)動軸配置在離開波紋管中心位置的左右位置上，可以縮短泵的縱向尺寸。這樣，可以容易進行泵整體的小型化設計，并且也可以使構(gòu)成泵的合成樹脂等材料費減少，可以進行低成本的泵制作。另外，由于閥門的尺寸也可盡可能大，所以可以提供壓力損失小的高效率泵。
另外，正如上述構(gòu)成，聯(lián)動軸裝置通過設置一對聯(lián)動軸，與單聯(lián)動軸時按壓對應的波紋管端板的力集中在一點相比，由于按壓力分散，所以可以使端板的板厚比較薄，節(jié)約相應的材料費，并且具有因波紋管重量減輕也可容易適應高速動作的效果。
另外，在上述本發(fā)明的構(gòu)成中提出的雙聯(lián)往復式隔膜泵，關(guān)于上述上下配置的吸入端閥門單元及排出端閥門單元的閥外殼，其一個排出端閥門單元的閥外殼外于上方位置，而另一個吸入端閥門單元的閥外殼沿著通過上述中心的縱軸線留有間隙，位于接近下方位置上；上述一對聯(lián)動軸沿著通過上述中心的橫軸線，配置在左右對稱位置上，上述間隙比上聯(lián)動軸的直徑要小。
根據(jù)上述構(gòu)成，可以使上下的閥門單元的尺寸足夠大并使泵的縱向尺寸更小，而且由于通過將一對聯(lián)動軸配置在左右對稱位置，使與對應的波紋管的端板配合得到改善，所以可以得到更穩(wěn)定的泵動作，還由于從排出端的閥門單元占據(jù)上方位置，所以具有可以從泵室順利放出氣泡等優(yōu)點。
另外，本發(fā)明提出的雙聯(lián)往復式隔膜泵，關(guān)于構(gòu)成聯(lián)動軸的一對聯(lián)動軸、及與對應的波紋管端板間的動作連結(jié)的構(gòu)成，是使這些軸的端部對端板內(nèi)面進行接觸配合的構(gòu)成。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于不需要將聯(lián)動軸安裝在波紋管端板上的裝置，所以在將該聯(lián)動軸向泵上安裝時，只是插通泵頭，很簡單就可結(jié)束安裝作業(yè)，所以可提高安裝作業(yè)效率，并可降低安裝作業(yè)成本。


圖1是表示包括本發(fā)明實施例所涉及的雙聯(lián)往復式隔膜泵及其附屬的控制閥的泵系統(tǒng)的縱斷面圖。
圖2是沿著圖1的A-A線的橫斷面圖。
圖3是沿著圖2的B-B線的部分斷面圖。
具體實施方式
下面參照附圖，說明本發(fā)明實施例所涉及的雙聯(lián)往復式隔膜泵。在圖1中表示了包括本發(fā)明所涉及的雙聯(lián)往復式隔膜泵1及其附屬的控制閥2的泵系統(tǒng)構(gòu)成。
在雙聯(lián)往復式隔膜泵1中，3是泵外殼，4是泵頭，5是沿著縱向的立設狀態(tài)支撐泵頭4的基臺，6、7是在該泵頭4的兩側(cè)在泵外殼3內(nèi)沿著水平方向的長軸線S-S可自由伸縮配置的左右一對筒狀波紋管。泵外殼3是將泵頭4放在中央，在其兩側(cè)通過安裝環(huán)8安裝在該泵頭4該泵頭4上的2分割的框構(gòu)成，具有長軸線S-S。該泵如圖所示，泵頭4立設在基臺5上，左右的波紋管6、7以沿著長軸線S-S往復運動的狀態(tài)使用。
各波紋管6、7的基端部6a、7a分別以密封狀態(tài)安裝在泵頭4的側(cè)部，沿著長軸線S-S以懸臂梁形式伸出，在其自由端上圓板狀的端板9、10以與各波紋管的密封狀態(tài)連結(jié)。在該實施例中，端板9、10與波紋管6、7一體形成。端板9、10對長軸線S-S維持沿著直角縱方向的狀態(tài)，并根據(jù)波紋管6、7的伸縮進行平行移動。波紋管6、7的內(nèi)部通過泵頭4及端9、10區(qū)分為泵室11、12，波紋管6、7的外部在與泵頭4之間形成區(qū)分的工作空氣室13、14。在泵室11、12內(nèi)配置吸入端閥門單元15、16及排出端閥門單元17、18，安裝在泵頭4的側(cè)部使之與設置在泵頭4上的吸入口19及排出口20分別連通。如該實施例所述，當將排出口20設置在吸入口19的上側(cè)時，可使泵室11、12內(nèi)產(chǎn)生的氣泡容易從排出口放出。
左右的吸入端閥門單元15、16是以泵頭4為中心左右對稱配置的同形狀的構(gòu)成。當對其一方的右側(cè)閥門單元16進行說明時，是具有閥門外殼16a、及在其外殼內(nèi)可移動支撐的提升式閥體16b的單向控制閥，該閥體16b通過螺旋彈簧16c通常處于與閥座16d接合的圖示閥關(guān)閉位置。當泵室12變?yōu)樨搲?，?jīng)吸入口19在泵室12內(nèi)流入泵饋送流體時，抵抗螺旋彈簧16c的彈簧賦能力，閥體16b移動使閥門打開，在圖中如箭頭所示，容許泵饋送流體的流入，另一方阻止從泵室12向吸入口19方向的流體的流動。另一個閥門單元15也與具有閥外殼15a及閥體15b等的上述構(gòu)成相同。
左右的排出端閥門單元17、18也是以泵頭4為中心、左右對稱配置的同形構(gòu)成。當對其一方的右側(cè)閥門單元18進行說明時，是具有閥門外殼18a、及在其外殼內(nèi)可移動支撐的提升式閥體18b的單向控制閥。這些閥體18b通過螺旋彈簧18c通常處于與閥座18d配合的圖示的閥門關(guān)閉位置。當從泵室12向排出口20流出泵饋送流體時，抵抗螺旋彈簧18c的彈簧賦能力，閥體18b移動使閥門打開，如中的箭頭所示，容許泵饋送流體流出，但另一方面阻止從排出口20向泵室12方向的流體的流動。另一個閥門單元17也與具有閥門外殼17a及閥體17b等的上述構(gòu)成相同。
在沿著外殼3的長軸線S-S的兩端部上，轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22從該泵外殼3的外側(cè)安裝，各轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22包括具有經(jīng)泵外殼3的開口23向工作空氣室13、14延伸出的端部24a的中空狀檢測桿24；使該桿24可自由移動支撐的氣缸25；保持該氣缸25的本體29；及在該本體29上形成、與氣缸端部連通的工作空氣流通口26，從該流通口26流入的工作空氣，經(jīng)過在桿24上形成的軸孔24b上，從在端部24a上與其連通形成的橫孔27供給對應的工作空氣室13、14，在此構(gòu)成了工作空氣供給口裝置。轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22的本體29對泵外殼3通過安裝環(huán)29a可自由裝卸地安裝。安裝環(huán)29a通過螺釘?shù)劝惭b在泵外殼3上所形成的安裝凹處3a中。從而，轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22的安裝作業(yè)很容易，而且由于通過取下安裝環(huán)29就可以將該轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22從泵外殼3分離開來，所以維修作業(yè)很容易。
在轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22的檢測桿24上，形成與軸孔24b連通的孔24c，另一方面，在氣缸25上形成與檢測空氣流通口26連通的孔25a。檢測桿24的端部24a處于與對應的端板9、10外面相接觸接合的狀態(tài)，根據(jù)端板9、10的移動，即波紋管6、7的往復運動，檢測桿24在氣缸25內(nèi)進行滑動移動。如圖1中所示，當左側(cè)的波紋管6到達最壓縮的行程的一端時，對應的檢測桿24的孔24c到達與氣缸25的孔25a連通的位置，工作空氣的一部分經(jīng)過兩孔24c、25a向檢測空氣流通口28分支流動。右側(cè)的波紋管7及與端板10對應的檢測桿24也是同樣的構(gòu)成，檢測桿24在對應的一端的波紋管6、7伸張時，該波紋管的端板9、10被按壓而進行后退移動，另一方面，在波紋管收縮時，所供給的工作空氣受壓，以接觸對應的波紋管端板9、10的狀態(tài)進行向前移動。
左右波紋管6、7的往復移動通過構(gòu)成聯(lián)動軸裝置的一對聯(lián)動軸30、31聯(lián)動進行。即，聯(lián)動軸30、31沿長軸線S-S可自由移動地插通泵頭4，處于其一端突出到一個泵室13中，通過與對應的端板9的內(nèi)面9a的接觸配合進行動作連結(jié)，其另一端突出到另一個泵室12中，通過與對應的端板10的內(nèi)面10a的接觸配合形成動作連結(jié)的狀態(tài)。該一對聯(lián)動軸30、31如圖2、圖3中所示。這樣，如圖1中所示，當一個波紋管6到達該行程的一端時，另一個波紋管7相互聯(lián)動到達該行程的另一端。這些聯(lián)動軸30、31往復移動時，以不會產(chǎn)生過度抵抗的間隙插裝在泵頭4內(nèi)。
在該實施例中，作為最佳的構(gòu)成，表示了通過使聯(lián)動軸30、31的端部與端板9、10的內(nèi)面相接觸接合進行動作連結(jié)的構(gòu)成，但是也可以不用這種結(jié)構(gòu)，也可以是如將聯(lián)動軸的一端通過螺釘?shù)裙潭ㄔ趯囊粋€端板上，而使另一端穿通對應的另一個端板上設置的孔中，由該部分適當固定，使聯(lián)動軸和端板直接連結(jié)的結(jié)構(gòu)。無論在哪一種中，由于都是一對聯(lián)動軸30、31配置在泵室11、12內(nèi)的構(gòu)成，所以可以減小泵室內(nèi)的所謂無用空間的部分，減少泵室內(nèi)流體的滯留，可以得到具有高自吸性能的泵。
控制閥2由具有在內(nèi)部可以移動的滑柱32、一對工作空氣流通口33、34、一對引導空氣口35、36、一對排出空氣口37、38、及工作空氣接收口39的滑柱閥構(gòu)成，工作空氣接收口39，經(jīng)過壓力調(diào)節(jié)器41由配管42連接在工作空氣供應源40上。一對工作空氣流通口33、34分別通過配管43、44連接到隔膜泵1的左右工作空氣流通口26上，而一對引導空氣口35、36分別通過配管45、46連接到隔膜泵1的左右檢測空氣流通口28上。
根據(jù)滑柱32的移動位置，一對工作空氣流通口33、34選擇地與工作空氣接收口39連通，這樣對隔膜泵1的左右泵室13、14的一個供給工作空氣。該滑柱32的移動是從左右的轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22的檢測空氣流通口28向各引導空氣口35、36附加的空氣分支流的引導壓引起的。即如圖1中所示，當左側(cè)的波紋管6到達最壓縮的行程端時，分支流從對應的轉(zhuǎn)換機構(gòu)21附加到引導空氣口36，這樣滑柱32向左方移動，切斷與另一個工作空氣流通口33的連通，同時打開另一個工作空氣流通口34的連通狀態(tài)，向另一個的波紋管端的工作空氣室14供給工作空氣。排出口37、38如上所述，當經(jīng)過工作空氣流通口33、34向另一方的工作空氣室13、14供給工作空氣時，起到從另一方的工作空氣室排出空氣的作用，這是為完成波紋管6、7的伸縮動作所需要的。
這樣，控制閥2從轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22選擇性接受引導壓，向左右的波紋管6、7的工作空氣室13、14轉(zhuǎn)換工作空氣的供給。這樣，左右的波紋管6、7通過聯(lián)動軸30、31進行交互往復移動，對泵室11、12的一個饋送泵饋送流體，從另一個泵室送出，反復該動作，完成泵動作。如圖2中所示，吸入口19及排出口20分別與泵頭4上安裝的取入管47及取出管48連通。
泵饋送流體例如是半導體晶片用的處理液，將該泵作為使用在關(guān)導體晶片制造工藝等中的循環(huán)泵使用。另外，工作空氣是普通的空氣或者其他氣體等，可根據(jù)用途使用。當將半導體用的處理液等藥液作為泵饋送流體時，波紋管等的浸濕部分最好采用對氟樹脂等耐藥品性、耐腐蝕性強的材質(zhì)。
在上述的實施例中，已說明了左右的轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22兼作工作空氣供給口裝置的構(gòu)成，但是其構(gòu)成也可在泵外殼3上另行設置與工作空氣室13、14連通的工作空氣供給口，將其作為工作空氣供給口裝置。這時只要是使由檢測桿23、24檢測波紋管行程端的工作空氣分支流，則從工作空氣室13、14流入即可。
該實施例的雙聯(lián)往復式隔膜泵，如圖1中所示，由于以泵頭4為中心左右對稱的狀態(tài)，同樣構(gòu)成一對波紋管6、7及其關(guān)聯(lián)部分，所以下面主要對右側(cè)的波紋管7及其關(guān)聯(lián)部分，再說明本發(fā)明實施例的構(gòu)成。
在泵室12內(nèi)，吸入端閥門單元16和排出端閥門單元18，后者在上方，而前者處于下方的位置。而且這些閥門外殼16a、18a形成圓筒狀，如圖2中所示，在筒狀波紋管7的橫斷面上，夾著其中心P，在其上下配置。特別是在該實施例中，一個排出端閥門單元18的閥門外殼18a在上方，而另一個吸入端閥門單元16的閥門外殼16a沿著通過中心P的縱軸線Y-Y留有間隙K，位于接近下方位置，并突出到泵室12內(nèi)。即，由于上下閥門外殼18a、16a的尺寸在對應的泵室12內(nèi)，向上下方向延伸到波紋管7的內(nèi)徑尺寸附近，可加大閥門的流動開口，所以可以大大減小閥門部分的壓力損失。另外，如圖1中所示，上下的閥門外殼18a、16a沿著長軸線S-S，伸長到泵室12內(nèi)。
如上所述，由于上下的閥門外殼18a、16a向泵室12內(nèi)大為伸出，所以與上述一對聯(lián)動軸30、31相輔，可以使泵室的所謂無用空間更小，可以減少泵室內(nèi)的泵饋送流體的滯留，可以得到更高的泵自吸性能。另外，如上所述，由于閥門外殼18a、16a的尺寸大，可以使閥門單元16、18的流通開口面積加大，所以可以使該閥門單元區(qū)域上的壓力損失大大減小。
另外，如圖2中所示，作為聯(lián)動軸裝置的一對聯(lián)動軸30、31，在波紋管7的橫斷面上，夾著其中心P，在離開其中心P的左右位置上各配置1根。特別是在該實施例中，該2根聯(lián)動軸30、31，沿著通過中心P的橫軸線X-X，配置在離開該中心P的左右位置上。通過該構(gòu)成，2根聯(lián)動軸30、31的端部，以2點位置與對應的端板10的內(nèi)面10a相接觸配合。從而，對于對應的端板，與以一點位置配合的單一軸構(gòu)成相比，由于對端板的按壓力分散，所以用更薄的板即可，結(jié)果可以得到更輕快且高速的波紋管動作。另外，由于這一對聯(lián)動軸30、31處于左右對稱位置，所以與對應的端板用的配合關(guān)系很好，可以得到更穩(wěn)定的泵動作。
如上所述，由于作為聯(lián)動軸裝置的一對聯(lián)動軸30、31，配置在離開中心P的左右位置上，不位于兩閥門外殼16a、18a之間，所以可以使閥門外殼的尺寸更好，并且在閥門外殼尺寸一定的情況下，可以減小泵全體的縱向尺寸。從而如上所述，通過將泵外殼不是裝入泵頭4中，而是突出到泵室中的構(gòu)成，可以減小泵頭的厚度及橫向尺寸，并且使泵全體的小型化設計變得容易，因節(jié)約使用材料而可以降低制作成本。特別是在該實施例中，由于將兩閥門外殼接近配置，其間隙K比聯(lián)動軸的直徑D還小，所以設計中可使泵的縱向尺寸更為縮短。
在本發(fā)明中，上下的閥門外殼的間隙K也包括零的情況。即也適用于兩外殼相互接觸的狀態(tài)，或者上下閥門外殼一體化構(gòu)成的情況。
閥門外殼18a、16a最好是如本實施例的圓筒狀，但是也可以是其他形狀。另外，聯(lián)動軸30、31也可以是圓柱狀以外的例如斷面為矩形狀。這時，尺寸D是縱向的尺寸。
左右轉(zhuǎn)換機構(gòu)21、22的檢測桿24的伸出端部24a，對于對應的端板9、10，配置在中心P的位置與其外面9b、10b相接觸配合的位置上，但是該檢測桿24只要是與對應的端板9、10相聯(lián)動的構(gòu)成，其對應的位置不受限定。
以上說明了本發(fā)明所涉及的雙聯(lián)往復式隔膜泵的實施例，但是本發(fā)明并不限定于該實施例的構(gòu)成。例如在本實施例中表示了使上下閥門外殼沿著通過波紋管的中心P的縱軸線Y-Y，而使左右一對聯(lián)動軸沿著通過該中心的橫軸線X-X分別進行定位的構(gòu)成，但是本發(fā)明也包含這些縱、橫軸線從該中心偏離若干的構(gòu)成，或者這些軸線從垂直或水平軸線傾斜或旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成。
發(fā)明的效果如上所述，在本發(fā)明中，通過向泵室內(nèi)突出，上下配置的吸入端及排出端的閥門單元的閥門外殼的構(gòu)成及在橫向配置的2根聯(lián)動軸的構(gòu)成，可以大幅度削減泵室內(nèi)的無用空間，可有效防止泵室內(nèi)的泵饋送流體的滯留，得到自吸性能高的隔膜泵。另外，通過上述構(gòu)成泵尺寸不僅是縱向或上下方向，而且橫向或長軸方向也可縮短，泵的小型化設計極其容易，從而也可節(jié)約泵構(gòu)成材料的材料費，所以可取得能用更低成本進行泵的制作的效果。
權(quán)利要求1.一種雙聯(lián)往復式隔膜泵，其特征在于包括泵外殼；安裝在該外殼上并設置有泵饋送流體吸入口及排出口的泵頭；基端部以密封狀態(tài)分別安裝在上述泵頭的側(cè)部，并在上述泵外殼內(nèi)沿著該泵外殼的長軸線(S-S)可自由伸縮具有規(guī)定行程的可往復移動的左右一對筒狀波紋管；在這些波紋管的自由端以密封狀態(tài)連結(jié)，與上述泵頭一起工作，將波紋管內(nèi)部區(qū)分成泵室并將該波紋管和泵外殼之間作為工作空氣室區(qū)進行分開的端板；為對上述左右的工作空氣室選擇供給工作空氣，連通設置在上述泵外殼上的各工作空氣室的工作空氣供給口裝置；與上述一個波紋管的往復移動相連動，使另一個波紋管往復移動的聯(lián)動軸裝置；安裝在上述泵頭上并分別配置在上述吸入口和泵室之間，構(gòu)成容許從該吸入口向該各泵室流入泵饋送流體的單向閥的吸入端閥門單元；及安裝在上述泵頭上并分別配置在上述排出口和泵室之間，構(gòu)成容許從該各泵室向排出口流出泵饋送流體的單向閥的排出端閥門單元；在上述閥門單元由閥門外殼和在該外殼內(nèi)可移動地被支撐的閥門體構(gòu)成中上述吸入端閥門單元及排出端閥門單元的各閥門外殼在上述筒狀波紋管的橫斷面上夾著其中心(P)在其上下配置，并在對應的泵室內(nèi)突出出來；上述連動軸裝置由一對聯(lián)動軸構(gòu)成，該聯(lián)動軸沿著該長軸線(S-S)可自由移動地插通上述泵頭，其一端在一個泵室中突出，與對應的端板內(nèi)面動作連結(jié)、而另一端在另一個泵室中突出，與對應的端板內(nèi)面動作連結(jié)，這些雙聯(lián)動軸夾著上述中心(P)，分別配置在離開該中心(P)的左右位置上。
2.如權(quán)利要求1所示的雙聯(lián)往復式隔膜泵，其特征在于上述上下配置的吸入端閥門單元及排出端閥門單元的閥外殼，其一個排出端的閥門單元的閥外殼外于上方位置，而另一個吸入端閥門單元的閥外殼沿著通過上述中心(P)的縱軸線(Y-Y)留有間隙(K)，位于接近下方位置上；上述一對聯(lián)動軸沿著通過上述中心(P)的橫軸線(X-X)，配置在左右對稱位置上，上述間隙(K)比上述聯(lián)動軸的直徑(D)要小。
3.如權(quán)利要求1或2所述的雙聯(lián)往復式隔膜泵，其特征在于上述一對聯(lián)動軸其各端部通過接觸接合與對應的端板內(nèi)面進行動作連結(jié)。
專利摘要在雙聯(lián)往復式隔膜泵中，提供一種容易進行泵全體的小型化設計，同時可用低成本進行泵制作，并且使泵室內(nèi)的無用空間減少，自吸性能高的隔膜泵。在波紋管(7)的橫斷面上，以其中心P為中心，沿著縱向?qū)⑴懦龆碎y門單元(18)和吸入端閥門單元(16)的閥門外殼(18a、16a)，以突出到對應的泵室內(nèi)的狀態(tài)上下配置，并且使一對聯(lián)動軸(30、31)在中心P的橫向上，配置在離開該中心P的左右位置上。這樣，可削減泵室內(nèi)的無用空間，同時可縮短泵的縱向及橫向尺寸，容易進行泵的小型化設計。
文檔編號F04B43/00GK2623907SQ0323886
公開日2004年7月7日 申請日期2003年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月23日
發(fā)明者渡邊剛, 澤田勉, 鬼塚敏樹 申請人:株式會社易威奇