技術(shù)編號：5442348
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種將可自由伸縮的筒狀波紋管(bellows)的內(nèi)側(cè)作為半導(dǎo)體處理液等的泵饋送流體的泵實，對其外側(cè)供給工作空氣，使波紋管往復(fù)移動方式的隔膜泵(bellows pump)，特別是關(guān)于在泵頭的兩側(cè)配置同樣構(gòu)成的波紋管，通過聯(lián)動軸裝置使其左右一對波紋管相互聯(lián)動構(gòu)成的雙聯(lián)往復(fù)式隔膜泵。這種雙聯(lián)往復(fù)式隔膜泵例如在美國專利第5,558,506號及第5,893,707號中已公開。在這些美國專利所述的雙聯(lián)往復(fù)式隔膜泵中，在泵外殼的中央所配置的泵頭內(nèi)，分別裝入形成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。