專利名稱：金屬照相電解加工工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種新的金屬照相電解加工工藝方法，屬于電物理、電化學(xué)加工領(lǐng)域，其中涉及到在薄壁毛坯上獲得通孔的方法，是對現(xiàn)有加工工藝條件的改進(jìn)。目前廣泛使用中的照相電化學(xué)腐蝕加工工藝主要是將被腐蝕的金屬(待加工工件)放在酸性電解液槽內(nèi)，并通直流電源正極，與之保持一定距離的電極通直流電源負(fù)極，為把腐蝕產(chǎn)物帶走，電解液必須用酸性溶液。采用這種工藝，腐蝕產(chǎn)物、氫氣、熱量不斷產(chǎn)生，使腐蝕表面腐蝕不均勻，為消除這種現(xiàn)象，除采取攪拌溶液和冷卻措施外，主要是加大兩極間距離，減小電流，結(jié)果是腐蝕速度很低，可腐蝕最大深度一般也很難達(dá)到0.3mm，對高溫合金等金屬更是如此，雖然在蘇聯(lián)專利SU1484502中公開了一種在薄壁毛坯上獲得通孔的方法，涉及到采用流動電解液沿待加工工件(陽極)表面上下反向流動的方法來提高效率，但在其文件中并未對具體的工藝條件提出要求，以至限制了其在實際工作中的應(yīng)用。
本發(fā)明的目的就是對上述工藝過程中所出現(xiàn)的不足，提供一種新的金屬照相電解加工工藝方法，使加工精度、效率和條件得到改善。
本發(fā)明的目的可以通過以下措施來達(dá)到在照相電解加工過程中，其工藝步驟包括用照相掩膜的方法制得圖案，并使之在涂有光致抗蝕膠膜的陽極工件上曝光，制成附有加工圖案的待加工工件(陽極)，之后，進(jìn)行電解腐蝕加工，其技術(shù)特征是在工件(陽極)與電極(陰極)之間通以高速流動的中性電解液，濃度為10～20%;使加工工件(陽極)與電極(陰極)之間的間隙固定不變，尺寸變化范圍為0.5～3mm;在工件(陽極)與電極(陰極)之間所通的直流電電壓調(diào)整幅度為10～15V;電解液在極間進(jìn)口處具有一定壓力，其選用范圍為0.2～0.4mp。
本發(fā)明的附面說明如下

圖1為照相電解加工工藝流程的方框圖。
圖2為電解加工工藝原理示意圖。
以下將結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳述例1.為加工航空發(fā)動機空氣阻尼套筒，所使用的材料為高溫合金GH537，其工藝過程如圖1所示，(1)繪制材料表面需加工孔的放大圖形，(2)對圖形進(jìn)行微縮照相，(3)掩模;(4)清洗高溫合金薄板表面;(5)使用貼膜機在其表面制膠膜光致抗蝕膜膜;(6)用掩膜對制好的膠板進(jìn)行曝光，(7)顯影，清洗掉板上未曝光部分，顯示待加工圖案，(8)進(jìn)行腐蝕電解加工，如圖2所示，將待加工薄板放在陽極板(11)上邊，并接直流電源正極，電極(陰極)(10)接直流電源負(fù)極，兩極之間電壓為15V，陽極板(11)與電極(10)兩端之間墊有絕緣塊(12)高度a為10mm，兩極在間隙之間通過壓力為0.3mpa的流動電解液(13)，其組成是Nacl含量為3%，NaNO3含量為9%，電解液濃度為12%，腐蝕電解加工完成后，如圖1所示，進(jìn)行除膠工序(9)，結(jié)束加工。
例2，加工發(fā)動機燃油過濾網(wǎng)，材料為不銹鋼1Cr18Ni9Ti，要求在不銹鋼薄板上每平方厘米加工出400個小孔，其工藝過程與上述例1一致，加工過程結(jié)束后，經(jīng)驗，質(zhì)量達(dá)到要求。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點1.由于高速流動的電解液可將腐蝕產(chǎn)物，熱量和氫氣及時帶走，因而腐蝕均勻性可大大改善，而且電解液可使用中性溶液，操作環(huán)境可大大改善。
2、極間距離(間隙)減小，電流增大，腐蝕速度顯著增加，可達(dá)0.1mm/分;
3、由于熱量可及時帶走，膠膜的耐用度也顯著提高，腐蝕最大深度可達(dá)1mm;
4、使用專用工藝裝備，腐蝕過程可全部實現(xiàn)機械化。
權(quán)利要求
1.一種金屬照相電解加工工藝，其工藝過程包括采用照相掩膜的方法制得圖案，并使之在涂有光致抗蝕膠膜的陽極工件上曝光，制成附有加工圖案的待加工工件(陽極)，之后，進(jìn)行電解腐蝕加工，其特征在于1.在工件(陽級)與電極(陰極)之間通以流動的中性電解液；濃度變化范圍為10～20%，2.加工工件(陽極)與電極(陰極)之間的間隙固定不變，尺寸選擇范圍為0.5～3mm，3.在工件(陽極)與電極(陰極)之間通直電流，電壓調(diào)整幅度為10～15V，4.電解液在極間進(jìn)口處具有一定壓力，其要求選擇范圍為0.2～0.4Mpa。
全文摘要
一種新的照相電解加工工藝方法，屬于電物理、電化學(xué)加工領(lǐng)域。該方法在電化學(xué)腐蝕加工時，在曝光、顯影后的高溫合金薄板工件與電極之間通以高速流動的中性(鹽)電解液，它不僅起導(dǎo)電和電化學(xué)反應(yīng)作用，還能將陽極表面上的反應(yīng)產(chǎn)物、氫氣和熱量及時帶走；從而大大改善腐蝕的均勻性，另外，減小極間距離，使電流增大，腐蝕速度將顯著增加，可達(dá)1mm/分，提高了膠膜的耐用度，可使腐蝕深度達(dá)1mm，另外，減小了環(huán)境污染和實現(xiàn)自動化也是它的優(yōu)點之一。
文檔編號C25F3/14GK1073219SQ9111143
公開日1993年6月16日 申請日期1991年12月9日 優(yōu)先權(quán)日1991年12月9日
發(fā)明者劉家富 申請人:航空航天工業(yè)部第625研究所