本文中所描述的主題的實(shí)施例涉及電子裝置封裝和多芯片集成。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體裝置和其它電子裝置常常組裝到封裝中以保護(hù)裝置免于損壞且提供宏觀電接觸。封裝可由包括聚合物和陶瓷的各種材料制成?？赡苄枰獙⒍鄠€(gè)裝置組裝在一個(gè)封裝內(nèi)以便減小較大組件中的各種部件所需的體積。還可能需要在多芯片封裝內(nèi)互連多個(gè)裝置以節(jié)省空間和/或改善例如最大時(shí)鐘速度、功率耗散等裝置性能特性。在例如運(yùn)動(dòng)感測(cè)等應(yīng)用中，可能需要將多個(gè)感測(cè)元件組裝在單個(gè)封裝中。在一些此類應(yīng)用中，需要控制多裝置封裝中的裝置的相對(duì)定向。例如，當(dāng)單軸傳感器封裝在一起作為多軸傳感器時(shí)，需要控制相對(duì)定向。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在示例實(shí)施例中，一種方法包括在罩蓋基板的頂表面中形成對(duì)準(zhǔn)凹部，其中所述對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的第二凹口。所述對(duì)準(zhǔn)凹部被配置成接收另一基板，所述另一基板尺寸設(shè)定成使得所述另一基板的第一拐角擱置在所述第一凹口中且所述另一基板的第二拐角擱置在所述第二凹口中。所述第一凹口和所述第二凹口的位置限定平行于所述罩蓋基板的所述頂表面的第一軸線。所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第一軸線與由所述另一基板的所述第一和第二拐角的位置限定的軸線之間的角間距成角度地對(duì)準(zhǔn)到在小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度內(nèi)。

2、優(yōu)選的，所述第一凹口的頂點(diǎn)與所述第二凹口的頂點(diǎn)之間的距離為第一距離；所述第二基板的第一拐角與所述第二基板的和所述第一拐角對(duì)角地相對(duì)的第二拐角之間的距離為第二距離；并且所述第一距離比所述第二距離大不到2％。

3、優(yōu)選的，所述罩蓋為第一罩蓋，并且所述方法另外包括：將圖案化有第二對(duì)準(zhǔn)凹部的第二罩蓋安置在所述第二基板上方，且將所述第二罩蓋耦合到所述第一罩蓋；以及將第三基板安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部?jī)?nèi)且沿著第三軸線定向，其中所述第三基板的第一拐角安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口內(nèi)，且所述第三基板的第二拐角安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口內(nèi)；其中所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口；其中所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口的位置限定平行于所述第二罩蓋的所述頂表面的第三軸線；并且其中所述第三基板以及所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第三軸線與所述第四軸線之間的角間距小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度。

4、優(yōu)選的，所述方法另外包括在將所述罩蓋耦合到所述第一基板之前形成所述對(duì)準(zhǔn)凹部。

5、優(yōu)選的，所述方法另外包括在將所述罩蓋耦合到所述第一基板之后形成所述對(duì)準(zhǔn)凹部。

6、在另一實(shí)施例中，一種方法，包括：在罩蓋基板的頂表面中形成對(duì)準(zhǔn)凹部，其中所述對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的第二凹口；以及將所述對(duì)準(zhǔn)凹部配置成接收另一基板，所述另一基板尺寸設(shè)定成使得所述另一基板的第一拐角擱置在所述第一凹口中且所述另一基板的第二拐角擱置在所述第二凹口中；其中所述第一凹口和所述第二凹口的位置限定平行于所述罩蓋基板的所述頂表面的第一軸線；并且其中所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第一軸線與由所述另一基板的所述第一和第二拐角的位置限定的軸線之間的角間距成角度地對(duì)準(zhǔn)到在小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度內(nèi)。

7、優(yōu)選的，所述方法另外包括：將第二基板作為所述另一基板安置在所述對(duì)準(zhǔn)凹部?jī)?nèi)，其中所述第二基板的第一拐角安置在所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口內(nèi)，且所述第二基板的第二拐角安置在所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口內(nèi)；其中由所述第二基板的所述第一和第二拐角的位置限定的第二軸線與所述第一軸線成角度地對(duì)準(zhǔn)到在小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度內(nèi)。

8、優(yōu)選的，所述第一凹口的頂點(diǎn)與所述第二凹口的頂點(diǎn)之間的距離為第一距離；所述第二基板的所述第一拐角與所述基板的和所述第一拐角對(duì)角地相對(duì)的所述第二拐角之間的距離為第二距離；并且所述第一距離比所述第二距離大不到2％。

9、優(yōu)選的，所述方法另外包括：將所述罩蓋基板在mems部件上方安置在mems基板上，且將所述罩蓋耦合到所述第一基板，其中所述mems部件包括懸置在所述mems基板上方的質(zhì)量塊。

10、優(yōu)選的，所述方法另外包括：將所述罩蓋基板在mems部件上方安置在mems基板上，且將所述罩蓋耦合到所述第一基板，其中所述mems部件包括懸置在所述mems基板上方的質(zhì)量塊。

11、在另一示例實(shí)施例中，一種裝置包括形成于罩蓋基板的頂表面中的對(duì)準(zhǔn)凹部，其中所述對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的第二凹口。所述對(duì)準(zhǔn)凹部被配置成接收另一基板，所述另一基板尺寸設(shè)定成使得所述另一基板的第一拐角擱置在所述第一凹口中且所述另一基板的第二拐角擱置在所述第二凹口中。所述第一凹口和所述第二凹口的位置限定平行于所述罩蓋基板的所述頂表面的第一軸線。所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第一軸線與由所述另一基板的所述第一和第二拐角的位置限定的第二軸線之間的角間距成角度地對(duì)準(zhǔn)到在小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度內(nèi)。

12、在另一示例實(shí)施例中，一種微機(jī)電系統(tǒng)(mems)裝置，包括：第一mems部件，所述第一mems部件包括懸置在第一基板上方的質(zhì)量塊和耦合到所述第一基板且安置在所述質(zhì)量塊上方的罩蓋；對(duì)準(zhǔn)凹部，所述對(duì)準(zhǔn)凹部形成于罩蓋的頂表面中，其中所述對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的第二凹口，其中所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口和所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口的位置限定平行于所述罩蓋的所述頂表面的第一軸線；以及第二基板，所述第二基板在所述對(duì)準(zhǔn)凹部?jī)?nèi)且沿著由所述第二基板的第一和第二拐角的位置限定的第二軸線定向，其中所述第二基板的所述第一拐角安置在所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口內(nèi)，且所述第二基板的所述第二拐角安置在所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口內(nèi)；其中所述第二基板以及所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第一軸線與所述第二軸線之間的角間距小于一度。

13、所述第一凹口的頂點(diǎn)與所述第二凹口的頂點(diǎn)之間的距離為第一距離；所述第二基板的第一拐角與所述基板的和所述第一拐角對(duì)角地相對(duì)的第二拐角之間的距離為第二距離；并且所述第一距離比所述第二距離大不到2％。

14、所述罩蓋為第一罩蓋，并且所述裝置另外包括：圖案化有第二對(duì)準(zhǔn)凹部的第二罩蓋，所述第二罩蓋安置在所述第二基板上方且耦合到所述第一罩蓋；以及第二對(duì)準(zhǔn)凹部，所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部形成于所述第二罩蓋的頂表面中，其中所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的第二凹口，其中所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口和所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口的位置限定平行于所述第二罩蓋的所述頂表面的第三軸線；以及第三基板，所述第三基板安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部?jī)?nèi)且沿著由所述第二基板的第一和第二拐角的位置限定的第四軸線定向，其中所述第二基板的所述第一拐角安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口內(nèi)，且所述第二基板的所述第二拐角安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口內(nèi)；其中所述第二基板以及所述對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第一軸線與所述第二軸線之間的角間距小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度。

15、優(yōu)選的，還包括第二對(duì)準(zhǔn)凹部，所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部形成于所述第二基板的頂表面中，其中所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的壁在第一拐角區(qū)中突出以形成第一凹口，且在第二拐角區(qū)中突出以形成與所述第一凹口對(duì)角地相對(duì)的第二凹口，其中所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口和所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口的位置限定平行于所述第二基板的所述頂表面的第三軸線；以及第三基板，所述第三基板安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部?jī)?nèi)且沿著由所述第三基板的第一和第二拐角的位置限定的第四軸線定向，其中所述第三基板的所述第一拐角安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一凹口內(nèi)，且所述第三基板的所述第二拐角安置在所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第二凹口內(nèi)；其中所述第二基板以及所述第二對(duì)準(zhǔn)凹部的所述第一和第二凹口尺寸設(shè)定成使得所述第一軸線與所述第二軸線之間的角間距小于兩個(gè)旋轉(zhuǎn)度。