專利名稱:噴墨裝置和方法以及氣體供應(yīng)單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種噴墨裝置以及用于降低由于異常氣體供應(yīng)造成損壞的風(fēng)險(xiǎn)的氣體供應(yīng)單元。
背景技術(shù)：
平板顯示器包括若干有機(jī)層，這些有機(jī)層包括濾色器層、有機(jī)半導(dǎo)體層、發(fā)光層和對準(zhǔn)膜，這些層通常是使用不需要曝光、顯影或蝕刻工藝的噴墨法來沉積的。同樣，可以減少所使用的有機(jī)材料的量。由于基板已變得越來越大，所以噴墨裝置變得更大，并且具有底座和頭主體的托臺型設(shè)備被設(shè)計(jì)成需要來自外部的氣體的空氣軸承型。然而，當(dāng)來自外部的氣體供應(yīng)出現(xiàn)異常時(shí)，就會出現(xiàn)頭主體停止操作以及噴嘴堵塞的問題。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了一種噴墨裝置，其降低了由于來自外部的異常氣體供應(yīng)造成設(shè)備損壞的可能性，并且提供了一種更加可靠的氣體供應(yīng)單元。
根據(jù)本發(fā)明的一種噴墨裝置包括噴射單元，其包括用于接收基板的底座、置于底座上的噴嘴頭；以及氣體供應(yīng)單元，其包括輔助氣體供應(yīng)部、以及用于選擇外部氣體或由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體的氣體供應(yīng)源選擇器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，氣體供應(yīng)源選擇器在來自外部的氣體與由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體之間選擇具有較高壓力的氣體，然后將所選擇的氣體提供給噴射單元。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴墨裝置還包括軸部件，置于底座上；以及氣體軸承，連接噴嘴頭與軸部件，并且其中，所選擇的氣體被提供給氣體軸承。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴墨裝置還包括基座，其上穩(wěn)定安裝有底座以及水平管理器，其設(shè)置在基座的下部上，并用于使基座保持水平，其中，所選擇的氣體被提供給水平管理器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴墨裝置還包括底座驅(qū)動(dòng)器，使得底座能夠在基座上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，軸部件沿與底座移動(dòng)的方向垂直的方向延伸，以及其中，該裝置還包括噴嘴頭驅(qū)動(dòng)器，其使得噴嘴頭能夠沿軸部件的延伸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，以多個(gè)的形式提供水平管理器，以及其中，該裝置還包括水平傳感器，用于感應(yīng)基座是否水平；以及壓力控制器，用于根據(jù)水平傳感器的感應(yīng)結(jié)果來控制提供至水平管理器的氣體的壓力。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴墨裝置還包括壓力傳感器，用于感應(yīng)從外部提供的氣體的壓力。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，輔助氣體供應(yīng)部包括氣瓶。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，從外部提供的氣體和儲備在輔助氣體供應(yīng)部中的氣體中的至少一種包括空氣。
可以通過提供噴墨方法來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，該方法包括將來自外部的氣體提供給噴射單元；將由外部提供的氣體的壓力與由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體的壓力進(jìn)行比較；以及選擇由外部提供的氣體與由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體中的一種以提供給噴射單元。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，將由外部提供的氣體與由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體之間具有較高壓力的氣體提供給噴射單元。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴射單元還包括軸部件以及連接噴嘴頭與軸部件的氣體軸承，以及其中，所選擇的氣體被提供給氣體軸承。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴射單元還包括基座，其上穩(wěn)定安裝有底座；以及多個(gè)水平管理器，設(shè)置在基座的下半部上，用于使基座保持水平，以及其中，所選擇的氣體被提供給水平管理器。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，噴墨方法還包括感應(yīng)基座是否水平；以及根據(jù)水平管理器的感應(yīng)結(jié)果來調(diào)節(jié)提供給水平管理器的氣體的壓力。
可以通過提供噴墨方法來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，噴墨方法包括將從外部提供的氣體提供給噴射單元；將從外部提供的氣體的壓力與參考壓力進(jìn)行比較；以及當(dāng)從外部提供的氣體的壓力低于參考壓力時(shí)，將從輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體提供給噴射單元。
可以通過提供將氣體提供給噴射單元的氣體供應(yīng)單元來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，氣體供應(yīng)單元包括第一導(dǎo)管，通過其從外部提供氣體；第二導(dǎo)管，通過其從輔助氣體供應(yīng)部提供氣體；以及氣體供應(yīng)源選擇器，其與第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管相連，并將從外部提供的氣體與從輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體中具有較高壓力的氣體提供給噴射單元。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，輔助氣體供應(yīng)部包括氣瓶。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，從外部提供的氣體與存儲在輔助氣體供應(yīng)部中的氣體中的至少一種包括空氣。
本發(fā)明的上述和/或其他的特征和其他優(yōu)點(diǎn)將通過結(jié)合以下附圖對實(shí)施例的描述而變得更加顯而易見，在附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的示意透視圖；圖2a和圖2b示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的噴嘴頭；圖3是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的氣體軸承的示意圖；圖4是用于闡述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的氣體供應(yīng)源選擇器的控制框圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的控制框圖；圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的噴嘴頭路徑；
圖7示出了使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的噴墨方法；圖8是通過使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置制造的顯示裝置的等效電路；圖9是通過使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置制造的顯示裝置的截面圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴墨裝置的控制框圖；以及圖11是使用根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴墨裝置的噴墨方法的流程圖。
具體實(shí)施方式下文中將結(jié)合附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，貫穿全文，相同的數(shù)字表示相同的元件，并且視需要省略對其的重復(fù)描述。
下文中，將參考圖1到圖5描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置。圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的透視圖。圖2a和圖2b示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的噴嘴頭。圖3是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的氣體軸承的示意圖。圖4是用于闡述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的氣體供應(yīng)源選擇器的框圖。圖5是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的控制框圖。
噴墨裝置1包括噴射單元2；以及氣體供應(yīng)單元3，其將氣體提供給噴射單元2。噴射單元2包括基座10、底座21和噴嘴頭42。底座21和噴嘴頭42沿著彼此垂直的方向移動(dòng)。底座21與底座驅(qū)動(dòng)器81相連。噴嘴頭42與噴嘴頭驅(qū)動(dòng)器82相連。氣體供應(yīng)單元3包括輔助氣體供應(yīng)部51、氣體導(dǎo)管61，62，63和64、氣體供應(yīng)源選擇器71和壓力控制器72。
下文中，將首先描述噴射單元2。
基座10具有矩形形狀，并且被延伸來適應(yīng)底座21的移動(dòng)方向。軌道13設(shè)置在基座10上。底座21可以沿著軌道13向后或向前移動(dòng)。基座10由重型材料制成，以不會由于底座21的移動(dòng)而改變位置。例如，基座10可以由石頭制成?；?0由四個(gè)支柱11支撐。水平管理器12設(shè)置在基座10和各個(gè)支柱11之間。
當(dāng)?shù)鬃?1沿著軌道13移動(dòng)時(shí)，每個(gè)支柱11都可能接收不同的負(fù)荷，從而很難使基座10保持水平。當(dāng)基座10不水平時(shí)，底座21和基座板101傾斜。當(dāng)將墨水噴到待噴墨的基板101上時(shí)，基板101以緊密鄰近噴嘴43的方式布置。如果基板101不水平，基板101和噴嘴43之間的間隔變得不一致，從而使得更多的墨水沉積在基板101的一些位置上而在其他位置卻沉積較少的墨水，從而降低了墨水沉積的整體質(zhì)量。
為了解決上述問題，位于每個(gè)支柱11和基座10之間的氣動(dòng)水平管理器12接收由氣體供應(yīng)源選擇器71所選擇的氣體，以使基座10保持水平。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，設(shè)置了4個(gè)水平管理器12。有利地，如下文所述，將不同氣體壓力提供給每個(gè)水平管理器12。
底座21沿著軌道13向后和向前移動(dòng)。待噴墨的基板101被安裝在底座21上，并與底座21一起移動(dòng)。通過底座驅(qū)動(dòng)器81(圖1中未示出，但是在圖5中示出)使底座21向后和向前移動(dòng)。底座21可以包括真空吸盤(未示出)來使基板101保持在其上。支撐心軸31設(shè)置在底座21上，用于支撐頭主體41。支撐心軸31具有
形。將多個(gè)噴嘴頭42(圖2A中所示)安放在頭主體41中。支撐心軸31在底座21的移動(dòng)方向上垂直延伸。
軸部件32固定至支撐心軸31的側(cè)邊，并且在垂直于底座21的移動(dòng)方向的方向上延伸。頭主體41沿著傳送噴嘴頭驅(qū)動(dòng)器82(圖1中未示出，但是在圖5中示出)的軸部件32向后和向前移動(dòng)。
頭主體41與軸部件32通過聯(lián)軸器33和中間連接器34相連。
參考圖2a和圖2b，將詳細(xì)描述噴嘴頭42。圖2b示出了從底座2l觀察的其中安裝有噴嘴頭42的頭主體41。
頭主體41(見圖2A)沿著噴嘴頭移動(dòng)方向伸長并具有矩形形狀。噴嘴頭42包括三個(gè)沿著噴嘴頭移動(dòng)方向安裝到頭主體41上的子噴嘴頭42a、42b和42c。每個(gè)噴嘴頭42延伸，以相對于噴嘴頭的移動(dòng)方向形成預(yù)定角度。可以根據(jù)待噴墨目標(biāo)的間隔來調(diào)節(jié)該角度。
將四個(gè)噴嘴43成直線安裝到各個(gè)噴嘴頭42中。噴嘴頭42接收來自墨水供應(yīng)部45的墨水，該墨水供應(yīng)部包括用于儲備墨水的墨水罐46；用于控制墨水質(zhì)量流量的質(zhì)量流量控制器47；以及導(dǎo)管48，將墨水罐46連接至頭主體41。墨水供應(yīng)部45包括三個(gè)子墨水供應(yīng)部45a、45b和45c。子墨水供應(yīng)部45a、45b和45c將墨水提供給予噴嘴頭42a、42b和42c，它們彼此分別連接。墨水罐46、質(zhì)量流量控制器47和導(dǎo)管48分別包括三個(gè)子墨水罐46a，46b和46c、三個(gè)子質(zhì)量流量控制器47a，47b和47c、以及三個(gè)子導(dǎo)管48a，48b和48c。
子墨水供應(yīng)部45a、45b和45c可以供應(yīng)相同或不同的墨水。
通過導(dǎo)管48提供至頭主體41的墨水通過流徑44傳送到噴嘴43，然后通過噴嘴43來噴射，流徑44設(shè)置在頭主體41和噴嘴頭42之間。
參考圖3，將描述軸部件32與聯(lián)軸器33的連接。在聯(lián)軸器33中，沿著軸部件32的延伸方向來設(shè)置具有比軸部件32的直徑更大的直徑的通孔33a。在聯(lián)軸器33中設(shè)置多個(gè)氣體通孔33b，以連接軸通孔33a和外部。
當(dāng)噴墨裝置1操作時(shí)，軸部件32漂浮在軸通孔33a中。氣體被引入包圍軸部件32的空間中/從包圍軸部件32的空間中漏出，從而防止軸部件32與聯(lián)軸器33直接接觸。軸部件32和聯(lián)軸器33形成了氣體軸承“A”。當(dāng)軸通孔33a中流動(dòng)的氣體包括空氣時(shí)，其被稱為空氣軸承。
通過氣體通孔33b從氣體供應(yīng)單元3提供氣體。
現(xiàn)將參考圖1和圖4來描述氣體供應(yīng)單元3。當(dāng)外部氣體供應(yīng)異常時(shí)，輔助氣體供應(yīng)部51將氣體提供給噴射單元2。作為本發(fā)明的示例性實(shí)施例，輔助氣體供應(yīng)部51包括充有空氣的氣瓶。輔助氣體供應(yīng)部51的壓力比外部氣體的壓力稍低，但足以驅(qū)動(dòng)噴射單元2。
參考圖4，氣體供應(yīng)源選擇器71通過氣體導(dǎo)管61和62從外部接收氣體(外部氣體)以及從輔助氣體供應(yīng)部51接收氣體(輔助氣體)。氣體供應(yīng)源選擇器71將外部氣體與輔助氣體中具有較高壓力的氣體提供給壓力控制器72。氣體供應(yīng)源選擇器71與兩個(gè)氣體供應(yīng)源相連。氣體供應(yīng)源選擇器71可包括閥，打開其以與兩個(gè)氣體供應(yīng)源中具有較高壓力的一個(gè)相連。此處，外部氣體通常具有比輔助氣體高的壓力，以稱為主要的氣體供應(yīng)源。
因?yàn)檩o助氣體的壓力被設(shè)定為低于外部氣體的壓力，所以氣體供應(yīng)源選擇器71通常選擇/提供外部氣體。然而，當(dāng)外部氣體供應(yīng)變得異常時(shí)，外部氣體的壓力降低。當(dāng)外部氣體的壓力降低到低于輔助氣體的壓力時(shí)，氣體供應(yīng)源選擇器71選擇/供應(yīng)輔助氣體。即使輔助氣體的壓力低于外部氣體的壓力，輔助氣體仍然能驅(qū)動(dòng)噴射單元2。因此，可防止噴嘴43在諸如異常外部氣體供應(yīng)的緊急情況時(shí)被堵塞。
通過壓力控制器72將由氣體供應(yīng)源選擇器71所選擇的氣體提供給噴射單元2。具體來說，將通過壓力控制器72傳輸?shù)臍怏w提供給水平管理器12和噴射單元2的氣體軸承“A”。
壓力控制器72從氣體供應(yīng)源選擇器71接收氣體并將氣體提供給水平管理器12和氣體軸承“A”。
將參考圖5詳細(xì)描述壓力控制器72。
控制器75控制墨水供應(yīng)部45、底座驅(qū)動(dòng)器81和噴嘴頭驅(qū)動(dòng)器82?？刂破?5控制噴嘴頭42和基板101相對移動(dòng)并將墨水噴射至待噴墨的基板。
同時(shí)，控制器75與感應(yīng)基座10的水平性的水平傳感器73相連。水平傳感器73確定基座10是否水平，以及在基座10不水平的情況下確定哪部分高或低。控制器75控制壓力控制器72，以基于水平傳感器73的感應(yīng)結(jié)果來調(diào)節(jié)提供給各個(gè)水平管理器12的氣體的壓力。
壓力控制器72將具有相對較高壓力的氣體提供給對應(yīng)于基座10的下半部的水平管理器12以使得基座10水平。
本發(fā)明的第一實(shí)施例的可選布置現(xiàn)在顯而易見了。例如，可將氣體直接從氣體供應(yīng)源選擇器71提供給氣體軸承“A”，而不用通過壓力控制器72，并且可分別為每個(gè)水平管理器12設(shè)置獨(dú)立的壓力控制器72。另外，水平管理器12和氣體軸承“A”可能不是僅有的需要噴射單元2中的氣體的部件。
參考圖6和圖7，將描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的操作。圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的噴嘴頭路徑。圖7為使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的噴墨方法的控制流程圖。
如圖6中所示，噴嘴頭42相對于基板101以鋸齒型圖案移動(dòng)，以在橫穿基板101進(jìn)行噴墨。
噴嘴頭42從左向右移動(dòng)，并且其上固定有基板101的底座21向上和向下往復(fù)移動(dòng)以噴墨。雖然底座21移動(dòng)，但是噴嘴頭42在噴墨時(shí)不移動(dòng)。
如圖7中所示，具有噴射單元2和氣體供應(yīng)單元3的噴墨裝置1操作以進(jìn)行噴墨(S100)。
當(dāng)噴墨裝置1操作時(shí)，將外部氣體從外部提供給噴射單元2(S200)，然后如圖6中所示噴墨。只要在正常狀態(tài)下，外部氣體具有比輔助氣體高的壓力，那么氣體供應(yīng)源選擇器71選擇/提供外部氣體。將外部氣體提供給水平管理器12和氣體軸承“A”，以使基座10保持水平狀態(tài)并移動(dòng)噴嘴頭42。
氣體供應(yīng)源選擇器71在噴墨時(shí)對外部氣體與輔助氣體之間的壓力進(jìn)行比較(S300)，并在外部氣體壓力高于輔助氣體壓力時(shí)，連續(xù)選擇/提供外部氣體。
當(dāng)外部氣體壓力低于輔助氣體壓力時(shí)，氣體供應(yīng)源選擇器71選擇/提供輔助氣體(S400)。
使用此方法，噴射單元2接收具有適當(dāng)壓力的氣體(與異常外部氣體供應(yīng)無關(guān))，從而防止噴嘴43堵塞。
當(dāng)外部氣體供應(yīng)正常時(shí)，氣體供應(yīng)源選擇器71再次選擇/提供外部氣體。此時(shí)，可替換輔助氣體供應(yīng)部51或再次充填氣體。
當(dāng)外部氣體供應(yīng)的穩(wěn)定延遲時(shí)，停止噴墨操作，并且可以使用由輔助氣體供應(yīng)部51提供的氣體將噴嘴頭42移動(dòng)至可執(zhí)行維護(hù)操作的預(yù)定位置。在此，維護(hù)操作包括將墨水噴射至痰盂，以防止噴嘴43堵塞。
參考圖8和9描述使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置的顯示裝置。
圖8是通過使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置制造的顯示裝置的等效電路。圖9是通過使用根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的噴墨裝置制造的顯示裝置的截面圖。
如圖8中所示，單個(gè)像素包括多條信號線。信號線包括傳輸掃描信號的柵極線、傳輸數(shù)據(jù)信號的數(shù)據(jù)線、以及傳輸驅(qū)動(dòng)電壓的驅(qū)動(dòng)電壓線。數(shù)據(jù)線與驅(qū)動(dòng)電壓線相鄰并與之平行。柵極線延伸并垂直于數(shù)據(jù)線和驅(qū)動(dòng)電壓線。
每個(gè)像素包括有機(jī)發(fā)光器件(LD)、開關(guān)薄膜晶體管Tsw、驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr和電容器(C)。
驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr包括控制端、輸入端和輸出端。其控制端與開關(guān)薄膜晶體管Tsw相連，輸入端與驅(qū)動(dòng)電壓線相連，以及輸出端與有機(jī)發(fā)光器件(LD)相連。
有機(jī)發(fā)光器件(LD)包括與驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr的輸出端相連的正極、以及與共電壓Vcom相連的負(fù)極。有機(jī)發(fā)光器件(LD)根據(jù)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr的輸出電流，以不同電平發(fā)光，以顯示圖像。驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr的電流取決于控制端與輸出端之間的電壓。
開關(guān)薄膜晶體管Tsw包括控制端、輸入端和輸出端。其控制端與柵極線相連，輸入端與數(shù)據(jù)線相連，以及輸出端與驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr的控制端相連。開關(guān)薄膜晶體管Tsw根據(jù)提供給柵極線的掃描信號，來將提供給數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)信號傳輸至驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr。
電容器(C)連接在驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr的控制端與輸入端之間。電容器(C)充電并維持輸入至驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管Tdr的控制端的數(shù)據(jù)信號。
如圖9中所示，根據(jù)本發(fā)明制造的顯示裝置100包括形成在絕緣基板110上的薄膜晶體管120；與薄膜晶體管120電連接的像素電極132以及形成在像素電極132上的有機(jī)層150。
圖9示出了包括非晶硅(但不限于其)的薄膜晶體管120?？蛇x地，薄膜晶體管120可包括多晶硅。
下文中，將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明制造的顯示裝置100。
在由絕緣材料(例如玻璃、石英、陶瓷或塑料)制成的絕緣基板110上形成柵電極121。
在絕緣基板110和柵電極121上形成由氮化硅(SiNx)制成的柵極絕緣膜122。包括非晶氫化硅的半導(dǎo)體層123和包括高濃度摻雜了n型摻雜劑的n+非晶硅氫化物的歐姆接觸層124順序形成在對應(yīng)于柵電極121的柵極絕緣膜122上。在此，歐姆接觸層124相對于柵電極121分成兩個(gè)部分。
在歐姆接觸層124和柵極絕緣膜122上形成源電極125和漏電極126。另外，相對于柵電極121分開源電極125和漏電極126。
在源電極125、漏電極126和曝露在源電極125與漏電極126之間的半導(dǎo)體層123上形成鈍化膜131。鈍化膜131可由氮化硅(SiNx)和/或有機(jī)材料制成。在鈍化膜131上形成接觸孔127來曝露漏電極126。
在鈍化膜131上形成像素電極132。像素電極132被稱為正極，然后為有機(jī)發(fā)光層152提供孔。像素電極132包括例如氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)并通過濺射方法形成的透明導(dǎo)電材料。從板表面觀看，像素電極132可被圖樣化為矩形。
在像素電極132之間形成隔離墻141。隔離墻141將像素電極132分開并限定像素區(qū)域。隔離墻141形成在薄膜晶體管120和接觸孔127上。隔離墻141防止薄膜晶體管120的源電極125和漏電極126與共電極161短路。隔離墻141可由諸如丙烯酸樹脂、或具有耐熱性和耐溶劑性的聚亞胺樹脂(polyimide resin)的感光性材料；或諸如SiO2和TiO2的無機(jī)材料制成。另外，隔離墻141可包括具有有機(jī)層和無機(jī)層的雙結(jié)構(gòu)。
在像素電極132上形成空穴注入層151和有機(jī)發(fā)光層152。
空穴注入層151可包括聚(3，4-乙二氧基噻吩)(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)。
有機(jī)發(fā)光層152包括發(fā)射紅光的紅光發(fā)射層152a、發(fā)射綠光的綠光發(fā)射層152b和發(fā)射藍(lán)光的藍(lán)光發(fā)射層152c。
有機(jī)發(fā)光層152包括聚芴衍生物、(聚)對苯伸乙烯衍生物、聚亞苯衍生物、聚乙烯咔唑和聚噻吩。另外，可通過摻雜二萘嵌苯顏料、rothermine顏料、紅熒烯、二萘嵌苯、9，10-二苯蒽、四苯基丁二烯、Nail紅、香豆素6、喹吖啶酮等來使用這些聚合物材料。
在有機(jī)發(fā)光層152中，由像素電極132傳送的空穴與由共電極161提供的電子結(jié)合，從而產(chǎn)生激子并在激子的鈍化過程期間發(fā)光。
在隔離墻141和有機(jī)發(fā)光層152上設(shè)置共電極161。共電極161被稱為負(fù)極，并且將電子供應(yīng)給有機(jī)發(fā)光層152。共電極161可堆疊有鈣層和鋁層。優(yōu)選地，鄰近有機(jī)發(fā)光層152設(shè)置具有低逸出功的鈣層。
氟化鋰根據(jù)有機(jī)發(fā)光層152的材料來增加發(fā)光效率，因此，氟化鋰層可形成在有機(jī)發(fā)光層152與共電極161之間。當(dāng)共電極161由諸如鋁或銀的不透明材料制成時(shí)，從有機(jī)發(fā)光層152發(fā)出的光被傳輸至稱作底部發(fā)射型的絕緣基板110。
顯示裝置100還可包括置于有機(jī)發(fā)光層152與共電極161之間的電子轉(zhuǎn)移層(未示出)和電子注入層(未示出)。顯示裝置100還可包括防止?jié)駳夂涂諝膺M(jìn)入有機(jī)層150的密封件和/或另一鈍化膜來保護(hù)共電極161。密封件可包括密封樹脂和密封罐。
下文中，參考圖10描述根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴墨裝置。圖10是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴墨裝置的控制框圖。
根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴墨裝置還包括用于感測外部氣體壓力的壓力傳感器74和基于由壓力傳感器74所提供的感測結(jié)果來控制氣體供應(yīng)源選擇器71的控制器75。
控制器75具有參考電壓并且控制氣體供應(yīng)源選擇器71，以在外部氣體壓力低于參考壓力時(shí)選擇輔助氣體。例如，可將參考壓力設(shè)定為低于外部氣體的正常壓力，并且高于輔助氣體的壓力。
可選地，壓力傳感器74可額外地感測輔助氣體供應(yīng)部51的氣體壓力，并且控制器75可確定輔助氣體的壓力是否維持了適當(dāng)值。
圖11是使用根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的噴墨裝置的噴墨方法的控制流程圖。
如其中所示，包括噴射單元2和氣體供應(yīng)單元3的噴墨裝置1操作以噴墨(S101)。
當(dāng)噴墨裝置1操作時(shí)，從外部將外部氣體提供給噴射單元2(S201)，并且如圖6所示進(jìn)行噴墨。只要在正常狀態(tài)下外部氣體具有比輔助氣體供應(yīng)部51高的壓力，那么氣體供應(yīng)源選擇器71就選擇/提供外部氣體。將外部氣體提供給水平管理器12和氣體軸承“A”，以使基座10保持水平狀態(tài)以及移動(dòng)噴嘴頭42。
在噴墨時(shí)，壓力傳感器74感應(yīng)外部氣體的壓力，以及控制器75對外部氣體的壓力與參考壓力進(jìn)行比較(S301)。
當(dāng)外部氣體的壓力高于輔助氣體的壓力時(shí)，控制器75控制氣體供應(yīng)源選擇器71，以連續(xù)選擇/提供外部氣體。
當(dāng)外部氣體供應(yīng)變得異常時(shí)，例如，外部氣體的壓力變低時(shí)。當(dāng)外部氣體壓力低于參考壓力時(shí)，控制器75控制氣體供應(yīng)源選擇器71以選擇/提供輔助氣體(S401)。
使用這種方法，噴射單元2接收具有適當(dāng)壓力的氣體(與異常外部氣體供應(yīng)無關(guān))，從而防止噴嘴43堵塞。
當(dāng)外部氣體供應(yīng)變得穩(wěn)定并且外部氣體的壓力高于參考壓力時(shí)，控制器75控制氣體供應(yīng)源選擇器71來再次選擇/提供外部氣體。在此，可替換輔助氣體供應(yīng)部51并且再次充填氣體。
當(dāng)外部氣體供應(yīng)的穩(wěn)定延遲時(shí)，停止噴墨操作并且使用由輔助氣體供應(yīng)部51提供的氣體來將噴嘴頭42移動(dòng)至可執(zhí)行維護(hù)操作的預(yù)定位置。
根據(jù)本發(fā)明的噴墨裝置和噴墨方法可適用于制造除OLED以外的其他顯示裝置的基板。
例如，本發(fā)明可用于制造使用有機(jī)半導(dǎo)體作為半導(dǎo)體層的有機(jī)薄膜晶體管基板。有機(jī)薄膜晶體管可用于有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)或液晶顯示器(LCD)中。
根據(jù)本發(fā)明的噴墨裝置和方法可用于制造濾色器基板，尤其是用于使用聚酰胺形成對準(zhǔn)膜，或用于制造濾色器層。
如上所描述，本發(fā)明提供一種噴墨裝置和方法，用于減少由于異常外部氣體供應(yīng)而造成的設(shè)備損壞。
另外，本發(fā)明提供了一種氣體供應(yīng)單元，用于減少由于異常外部氣體供應(yīng)而造成的設(shè)備損壞。
盡管已經(jīng)示出并描述了本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，可以對這些實(shí)施例進(jìn)行改變，而不偏離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種噴墨裝置，其包括噴射單元，包括安裝有待被噴射的基板的底座、置于所述底座上的噴嘴頭；以及氣體供應(yīng)單元，包括輔助地向所述噴射單元提供氣體的輔助氣體供應(yīng)部、以及在從外部提供的氣體與由所述輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體中選擇一種的氣體供應(yīng)源選擇器。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的噴墨裝置，其中，從所述外部提供的所述氣體是主氣體供應(yīng)源。
3.根據(jù)權(quán)利要求
2所述的噴墨裝置，其中，所述氣體供應(yīng)源選擇器在來自所述外部的所述氣體和由所述輔助氣體供應(yīng)部提供的所述氣體之間選擇具有較高壓力的氣體，并將所選擇的氣體提供給所述噴射單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求
2所述的噴墨裝置，所述裝置還包括軸部件，置于所述底座上；以及氣體軸承，用于將所述噴嘴頭連接至所述軸部件，以及其中所述所選擇的氣體被提供給所述氣體軸承。
5.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的噴墨裝置，進(jìn)一步包括基座，其上穩(wěn)定地安裝有所述底座；以及水平管理器，設(shè)置在所述基座的下部上，用于使所述基座保持水平，其中，所述所選擇的氣體被提供給所述水平管理器。
6.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的噴墨裝置，還包括底座驅(qū)動(dòng)器，其使得所述底座在所述基座上往復(fù)移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求
6所述的噴墨裝置，其中，所述軸部件沿著與所述底座移動(dòng)的方向垂直的方向延伸，以及其中，所述裝置還包括噴嘴頭驅(qū)動(dòng)器，其使得所述噴嘴頭沿著所述軸部件的延伸方向往復(fù)移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的噴墨裝置，其中，以多個(gè)的形式提供所述水平管理器，以及其中，所述裝置還包括水平傳感器，用于感應(yīng)所述基座是否水平；以及壓力控制器，用于根據(jù)所述水平傳感器的感應(yīng)結(jié)果來控制提供至所述水平管理器的氣體的壓力。
9.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的噴墨裝置，還包括壓力傳感器，用于感應(yīng)從所述外部提供的氣體的壓力。
10.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的噴墨裝置，其中，所述輔助氣體供應(yīng)部包括氣瓶。
11.根據(jù)權(quán)利要求
10所述的噴墨裝置，其中，從所述外部提供的氣體和儲備在所述輔助氣體供應(yīng)部中的氣體中的至少一種包括空氣。
12.一種噴墨方法，其包括將來自外部的氣體提供給噴射單元；將從所述外部提供的所述氣體的壓力與由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體的壓力進(jìn)行比較；以及在從所述外部提供的所述氣體和由所述輔助氣體供應(yīng)部提供的所述氣體中選擇一種，以提供給所述噴射單元。
13.根據(jù)權(quán)利要求
12所述的噴墨方法，其中，將在從所述外部提供的氣體與由所述輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體之間具有較高壓力的氣體提供給所述噴射單元。
14.根據(jù)權(quán)利要求
12所述的噴墨方法，其中，所述噴射單元還包括軸部件和將所述噴嘴頭連接到所述軸部件的氣體軸承，以及其中，將所選擇的氣體提供給所述氣體軸承。
15.根據(jù)權(quán)利要求
12所述的噴墨方法，其中，所述噴射單元還包括基座，其上穩(wěn)定安裝有底座；以及多個(gè)水平管理器，其設(shè)置在所述基座的下部上并用于使所述基座保持水平，以及其中，將所選擇的氣體提供給所述水平管理器。
16.根據(jù)權(quán)利要求
15所述的噴墨方法，還包括感測所述基座是否水平；以及根據(jù)所述水平管理器的感測結(jié)果來調(diào)節(jié)提供給所述水平管理器的所述氣體的壓力。
17.一種噴墨方法，其包括將來自外部的氣體提供給噴射單元；將從所述外部提供的所述氣體的壓力與參考壓力進(jìn)行比較；以及當(dāng)從所述外部提供的所述氣體的壓力低于所述參考壓力時(shí)，將由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體提供給所述噴射單元。
18.一種氣體供應(yīng)單元，用于將氣體提供給噴射單元，所述氣體供應(yīng)單元包括第一導(dǎo)管，通過其從外部提供氣體；第二導(dǎo)管，通過其從輔助氣體供應(yīng)部提供氣體；以及氣體供應(yīng)源選擇器，其與所述第一導(dǎo)管和所述第二導(dǎo)管相連，并用于將在從所述外部提供的所述氣體與由所述輔助氣體供應(yīng)部提供的所述氣體之間具有較高壓力的氣體提供給所述噴射單元。
19.根據(jù)權(quán)利要求
18所述的氣體供應(yīng)單元，其中，所述輔助氣體供應(yīng)部包括氣瓶。
20.根據(jù)權(quán)利要求
18所述的氣體供應(yīng)單元，其中，從所述外部提供的所述氣體與儲備在所述輔助氣體供應(yīng)部中的所述氣體中的至少一個(gè)包括空氣。
專利摘要
本發(fā)明提供了一種噴墨裝置，其包括噴射單元，其包括在其上安裝有待被噴射基板的底座、置于底座上的噴嘴頭；氣體供應(yīng)單元，其包括輔助地向噴射單元提供氣體的輔助氣體供應(yīng)部、以及從外部提供的氣體或者由輔助氣體供應(yīng)部提供的氣體中選擇氣體的氣體供應(yīng)源選擇器。因而，本發(fā)明提供了一種噴墨裝置，其降低了由于來自外部的異常氣體供應(yīng)而造成的設(shè)備損壞。
文檔編號B05B7/00GK1990122SQ200610168289
公開日2007年7月4日 申請日期2006年12月25日
發(fā)明者鄭鎮(zhèn)九, 李東遠(yuǎn), 李周炫, 崔俊呼 申請人:三星電子株式會社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan