專利名稱：微型反應器陣列的制作方法
微型反應器陣列優(yōu)先權(quán)本申請要求2009年4月30日提交的美國臨時專利申請第61174493號的優(yōu)先權(quán)。
背景技術(shù)：
本發(fā)明涉及用作反應器或熱交換器的蜂窩體結(jié)構(gòu)，或者形成陣列的“微型反應器”，具體涉及一種連接結(jié)構(gòu)的方法，從而形成沿著垂直于蜂窩體孔道的共同方向的方向通過陣列的通道，本發(fā)明還涉及所得的陣列。發(fā)明概述在形成陣列或者用作反應器或反應器陣列的蜂窩體器件的時候，可以在蜂窩體基材選定的側(cè)面內(nèi)機械加工通道，使得當所述基材連接在一起的時候，沿著垂直于所述蜂窩體孔道的共同方向的方向上形成通過陣列的一個或多個高長寬比的通道?？梢酝ㄟ^在選定的側(cè)面上使用玻璃料或水泥，或者需要的時候可以使用壓縮密封劑，將基材連接在一起。根據(jù)一個實施方式，蜂窩體基材的陣列包括蜂窩體基材，多個基材中的每一個基材包括基材孔道和基材側(cè)面，所述孔道從各基材的第一端延伸到第二端，所述基材側(cè)面從所述第一端延伸到第二端。所述多個基材中的基材以陣列形式設置，各個基材的側(cè)面彼此相對，各個基材的孔道沿著共同的方向延伸。在多個基材中的兩個或更多個基材的相對的基材側(cè)面之間限定出一條或多條通道，所述一條或多條通道沿著垂直于共同方向的方向延伸。根據(jù)另一個實施方式，蜂窩體基材的陣列包括蜂窩體基材，多個基材中的每一個基材包括基材孔道和基材側(cè)面，所述孔道從各基材的第一端延伸到第二端，所述基材側(cè)面從所述第一端延伸到第二端。所述多個基材中的基材以陣列形式設置，各個基材的側(cè)面彼此相對，各個基材的孔道沿著共同的方向延伸。沿著所述多個基材中的兩個或更多個基材的孔道限定了一個或多個通道，所述通道從所述多個基材中的第一個基材內(nèi)延伸通過其基材側(cè)面，通過所述多個基材中的第二個基材的側(cè)面延伸入該第二個基材中。所述一個或多個通道從中通過的各個側(cè)面可以彼此密封。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施方式，提供了一種制造蜂窩體基材的陣列的方法，該方法包括提供多個蜂窩體基材，所述多個蜂窩體基材包括側(cè)面，沿著大體垂直于基材孔道方向的方向，在所述多個蜂窩體基材的一些選定的側(cè)面機械加工一些通道，然后通過將所述選定的側(cè)面與多個蜂窩體基材的其他側(cè)面密封，從而密封所述通道。該方法還包括在所述密封步驟之前，沿著垂直于所述基材孔道方向的方向，在所述多個蜂窩體基材的一個或多個其它的側(cè)面內(nèi)機械加工通道。本發(fā)明這些實施方式的其他應用或用途包括提供了非常靈活的方法，用來在大型的基材陣列中結(jié)合橫向流動熱交換通道，所述橫向流動通道具有低的壓降和大的開放的鋒面，由此得到大型的基于蜂窩體的熱交換器，或者具有熱交換功能的反應器。附圖簡要說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖2是圖1的基材的透視圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明的一個或多個實施方式的其它的步驟；圖3和圖4是根據(jù)本發(fā)明一個或多個實施方式的多個蜂窩體基材的組件的透視圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖；圖9是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖；圖11是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖；圖12是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖；圖13是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖；圖14是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖；圖15是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式的組裝的微型反應器陣列或蜂窩體基材陣列的平面圖，可以使用例如圖14的基材；圖16是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖；圖17是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個另外的實施方式制造的蜂窩體基材的透視圖；圖18是圖12和/或14所示種類的基材的通道的截面圖；圖19是圖16所示種類的基材的通道的截面圖；圖20是本發(fā)明多個實施方式中，作為圖18和/或19所示種類通道的替代的高長寬比通道的截面圖。發(fā)明詳述可以如圖1所示在矩形蜂窩體基材10的一個側(cè)面上形成機械加工的通道12。優(yōu)選在燒結(jié)之前，通過軋制、鋸或砂帶打磨操作，在生坯基材10中形成所述通道12，但是如果需要的話，也可以在完全燒結(jié)或部分燒結(jié)的基材10上形成所述通道10。所述機械加工的通道12的深度(沿著垂直于基材10的側(cè)面的方向測量)可以如圖所示是一個孔道，或者可以更深。優(yōu)選在通道12的區(qū)域內(nèi)除去基材10的孔道壁，使得沿著機械加工的通道12形成平滑的側(cè)壁表面14。所述機械加工的通道的寬度(沿著平行于基材10的孔道的方向測量)應當小于基材10的長度，優(yōu)選僅僅略小于基材10的長度，由此在各個相應的端面20、 22保留兩排較窄的孔道16，18。接下來對基材進行燒結(jié)(假定進行生坯基材通道機械加工操作)。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，在基材燒結(jié)之后，對基材26、28的選定的側(cè)面施涂玻璃料密封
5材料對。在另外的實施方式中，所述密封材料也可以是水泥M或其他種類的有機粘合劑 M，這取決于所得陣列預期的應用的要求?？梢酝ㄟ^各種方法施涂玻璃料，包括刮刀涂布，絲網(wǎng)印刷，噴涂或使用玻璃料預成形件。通過使得大量基材10以成排的方式取向，其任意端面或選定的側(cè)面互相接觸(圖中未顯示)，可以以連續(xù)的方法施涂玻璃料。一般來說，需要在最多兩個相鄰的基材側(cè)面26、 28上施涂玻璃料，從而簡化施涂工藝，這是因為在玻璃料施涂過程中，各個基材10可以置于無玻璃料涂覆的側(cè)面30，32(圖2中無法直接看到)或端面20，22 (如圖1所示)上。在另外的實施方式中，還可以使用玻璃料34或其他合適的堵塞材料34對直接位于機械加工的通道上方或下方的端面孔道16，18進行堵塞(圖中僅顯示了孔道18中的堵塞)。由此可以防止在機械加工的通道內(nèi)流動的流體與基材的開放孔道內(nèi)流動的流體的無意的混合?？梢酝ㄟ^例如首先對應當保持開放的孔道進行遮蔽，然后施加玻璃料糊料以堵塞孔道。參見圖3和圖4，在施加了玻璃料或其它的密封劑之后，將一組100的基材10以陣列化的組件或陣列500的形式連接在一起，圖3或圖4顯示了其一個實施方式，顯示了在組裝陣列500的過程中機械加工并涂覆密封劑的基材10的組100。盡管圖中顯示了具有相同形狀的規(guī)則的陣列500，但是如果需要的話，也可以將具有各種橫截面和形狀的不規(guī)則的陣列和基材結(jié)合起來，這也是本文所述各種實施方式的另一個方面。該實施方式所示的基材10的取向使得機械加工的通道12互相對齊，形成通過組裝的陣列500的高長寬比的通道102，圖4中顯示有一個基材10尚待沿著箭頭36的方向進行組裝。當基材10疊置在圖4的陣列500中的時候，它們的涂覆了玻璃料的相對側(cè)面互相接觸。在隨后的玻璃料燒結(jié)過程中，玻璃料軟化并流動，與相對的側(cè)面形成密封。如果需要的話，基材10的陣列500 可以以45度的V形塊體(未顯示)的形式燒結(jié)，使得在燒結(jié)的過程中，玻璃料發(fā)生收縮的時候，重力有助于防止各基材10之間的間隙打開。在玻璃料燒結(jié)之后，形成了基材陣列，該基材陣列提供了與一系列高長寬比橫向流動通道緊鄰的短而直的通道。所述陣列的結(jié)構(gòu)可以用作高效的大面積橫向流動熱交換器。總的熱交換性能取決于基材的熱導率，基材通道的布局和幾何結(jié)構(gòu)，以及機械加工的高長寬比通道幾何結(jié)構(gòu)和工作流體性質(zhì)。圖5是組裝的陣列500的平面圖，在基材10之間形成了機械加工的通道102。在另一個方面或另一個實施方式中，可以如圖6所示對多個側(cè)面進行基材通道機械加工操作，其中對與側(cè)面相鄰的基材10的側(cè)面Ila和lib進行機械加工?？梢匀鐖D7的平面圖所示，將此種基材10以陣列500連接起來，其中包括交叉的內(nèi)部通道10 和102b。 這些內(nèi)部通道102a，102b可以任選地在陣列500的四個側(cè)面上與外部入口和出口進料總管相連(圖中未顯示)。通過在單獨的基材的側(cè)面內(nèi)選擇性地機械加工高長寬比地通道，可以形成通過陣列地更復雜的通道路徑配置。例如，圖8顯示了一種陣列配制的平面圖，其中位于陣列外部的單獨的進料入口和出口通道104，106內(nèi)部分支形成高長寬比通道102的陣列108。在圖 9所示的平面圖的另一種配置中，對在基材10之間延伸的高長寬比通道102進行設置，在垂直于基材10的開放孔道的平面內(nèi)形成曲折路徑110，該曲折路徑110幾乎通過陣列500中所有的基材10。
還可以如圖10所示，在相對的基材側(cè)面IlaUlc上進行基材通道機械加工操作。 如圖11的平面圖所示，將這些基材10以基材陣列500連接起來，形成了雙倍寬度的高長寬比通道103。該實施方式可以用來減少高長寬比的機械加工通道103內(nèi)的壓降，特別是對于其中基材孔道尺寸都非常小的構(gòu)型。當需要在開放孔道內(nèi)，通過大的側(cè)壁表面積以及孔道中心到孔道側(cè)壁短的平均傳熱距離來完成大量傳熱的時候，可能會是此種情況。如果需要的話，可以通過在基材側(cè)面內(nèi)機械加工出更深的通道，從而采用三倍或四倍寬度的通道?？梢詫年嚵袃?nèi)任意高長寬比的通道設置的基材之間使用更寬的機械加工和/或雙倍寬度或更寬的通道，包括本文所示以及以其他方式揭示的所有情況。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施方式或者根據(jù)可以用于本發(fā)明的各種實施方式的任選的另一個方面，構(gòu)成基材陣列的基材的端面可以機械加工成U形彎曲區(qū)域，從而形成曲折通道，所述曲折通道沿著基材的孔道的方向上下延伸，在基材的端部處或端部附近從一個孔道通到另一個孔道，沿著垂直于開放孔道的方向在基材的側(cè)面或陣列的側(cè)面進出。圖12 顯示了一個例子，其中三條曲折通道11 ，112b，112c沿著平行于基材10的路徑延伸。在基材側(cè)面11a，lie內(nèi)鉆出通道側(cè)壁孔114，以使得流體傳輸通過曲折的通道112a，112b，112c。 如圖所示，側(cè)面Ila處的孔114在通道12內(nèi)。這些基材10可以如圖13所示組裝成基材陣列500，其中在基材10之間延伸的高長寬比通道102將流體分配到曲折通道112，所述曲折通道112延伸通過各個基材10或者通過選定的一些基材10。圖18顯示了 U形彎曲的示例性橫截面以及所得的曲折通道?？梢钥吹?，通過蜂窩體基材端部處下降的(機械加工除去的)側(cè)壁118以及沒有延伸入下降的側(cè)壁118的堵塞物120的組合形成了所述U形彎曲 116。還可以制造各種基材，使得僅僅提供曲折通道。圖14顯示了一種基材10，對端面進行機械加工，形成曲折通道U形彎曲以及曲折入口和出口的通道側(cè)壁孔114。如圖15所示，可以對基材10的兩個相鄰的側(cè)面上涂覆玻璃料，組裝成基材陣列500?？梢詫倪M行組裝，使得側(cè)面孔114互相對齊，形成長的曲折通道122，該長的曲折通道在所述基材陣列 500內(nèi)從一個基材10延伸到另一個基材10，甚至完全延伸通過陣列500，如圖15的實施方式所示。作為鉆側(cè)面通道孔的替代做法，可以使用圖18所示相同的端面U形彎曲區(qū)域機械加工法形成U形彎曲開槽115，這些開槽延伸到基材的側(cè)面，如圖16的透視圖以及圖19的截面圖所示。這些基材10可以在選擇的側(cè)面上涂覆玻璃料，然后可以將大量的基材組裝成與圖15所示類似的基材陣列。與該圖中所示的陣列500類似，可以在組裝過程中將U-形開槽115互相對齊，形成長的曲折通道122，該長的曲折通道122在所述基材陣列中，從一個基材10延伸到另一個基材10，如果需要的話，甚至完全延伸通過陣列500?？梢詫⒒闹g的側(cè)面機械加工的高長寬比通道的各種組合和端面機械加工的曲折U形彎曲通道結(jié)合起來，形成整體化的總管結(jié)構(gòu)和通道設置，獲得最優(yōu)化的壓降和熱交換性能。還可以在基材中形成其他種類的通道，代替U形彎曲曲折通道，例如通過切入機械操作形成的高長寬比通道，例如圖20的截面圖所述的高長寬比通道124。作為圖18和 19所示實施方式中僅僅除去側(cè)壁的端部的方式的替代做法，可以采用切入機械加工或另外的合適的方法，從基材交替的端部，以交替的圖案除去幾乎全部的側(cè)壁118。通過用堵塞物 120在兩端將通道IM上方的基材封閉，形成了高長寬比的通道124?？梢匀鐖D所示鉆出一個或多個孔114，或者可以采用其它的合適的方式，提供通路。在本發(fā)明的另一個實施方式中，可以在無需機械加工通道或機械加工基材的前提下，在基材之間形成高長寬比的通道。作為替代，可以如圖17的透視圖所示，通過在一個或多個基材側(cè)壁上沉積厚玻璃料層，或者使用薄墊片，形成所述高長寬比通道區(qū)域。在另一種方法中，厚玻璃料層1 或薄墊片1 提供了形成高長寬比通道12所需的間距，該方法不需要采用另外的步驟直接在高長寬比通道12的上方或下方堵塞端面通道。在不需要高長寬比通道的基材側(cè)面上施涂薄玻璃料層128。如果使用薄墊片126，可以在薄墊片126的兩側(cè)之上使用薄玻璃料。在施涂玻璃料之后，按照與圖3和圖4所示類似的方式以陣列500 的形式將基材10疊置，并進行燒結(jié)。以上關(guān)于將機械加工的基材設置成陣列的所有的設計技術(shù)均可以用于所述以玻璃料為邊界的高長寬比通道。在本發(fā)明的各種實施方式及其變體中，通過設計對高長寬比機械加工的通道與短直通道的接近性進行調(diào)節(jié)以滿足熱交換需求，同時最大程度擴大開放鋒面。還可以對高長寬比通道和短直通道的幾何結(jié)構(gòu)進行最優(yōu)化，以使得高傳熱性能與低壓降之間達到平衡。 特別是在使用玻璃料密封的情況下，各種實施方式允許基材的短直開放孔道在高壓力條件下操作，而基材之間的玻璃料密封置于壓縮或剪切條件下獲得最大的強度?？梢詫膫?cè)面上的玻璃料密封區(qū)域進行調(diào)節(jié)，根據(jù)需要增大該密封區(qū)域，以在玻璃料-基材界面處增大機械強度。不是作為限制性特征，而是作為潛在的有益特征，相對于燒結(jié)較大的單獨的主體所需的長的周期，本發(fā)明可以在短的燒結(jié)循環(huán)中對較小的基材進行單獨的燒結(jié)。如果使用玻璃料將基材結(jié)合在一起，即使可能需要隨后的燒結(jié)循環(huán)，該循環(huán)也可能較短。因此，相對于大橫截面積的蜂窩體基材，燒結(jié)時間相對于器件橫截面可以減小。平坦的側(cè)面允許通過結(jié)合端口或0形環(huán)密封，與其它的器件進行簡單的界面連接。當僅僅使用外部通道形成操作的時候，基材機械加工工藝相對簡單。這些側(cè)面通道機械加工工藝可以是自動化的。還可以通過“混合-匹配法”設置各種高長寬比通道，使得具有各種側(cè)面機械加工圖案的基材根據(jù)需要連接起來，形成所需的橫向流動熱交換通道路徑。總體來說，本發(fā)明的陣列提供了顯著的靈活性，這是因為可以以相對任意的尺寸形成橫向流動的熱交換通道，在一些實施方式中采用側(cè)面通道機械加工，以及/或者在其它的實施方式中通過內(nèi)部基材曲折或高長寬比通道，以及/或者如圖17的實施方式所示， 使用厚玻璃料的薄墊片。本發(fā)明的方法還提供了可靠而高效的制造這些陣列的方法。本發(fā)明所揭示的陣列通?？捎脕磉M行任何工藝，所述工藝包括在微型結(jié)構(gòu)中對流體或流體混合物進行混合、分離、萃取、結(jié)晶、沉淀或其它的工藝過程，所述流體混合物包括流體的多相混合物，并包括流體或包括還含有固體的流體的多相混合物的流體混合物。所述工藝過程可以包括物理過程，化學反應，生物化學過程，或者任意其它形式的工藝過程， 化學反應被定義為導致有機物、無機物、或者有機物和無機物發(fā)生相互轉(zhuǎn)化的過程。以下列出了可以通過所揭示的方法和/或裝置進行的反應的非限制性例子氧化；還原；取代；消除；加成；配體交換；金屬交換；以及離子交換。更具體來說，以下列出了可以通過所揭示的方法和/或裝置進行的反應的任一非限制性例子聚合；烷基化；脫烷基化；硝化；過氧化； 磺化氧化；環(huán)氧化；氨氧化；氫化；脫氫；有機金屬反應；貴金屬化學/均相催化劑反應；羰基化；硫羰基化；烷氧基化；商化；脫商化氫；脫商化；加氫甲?；?；羧化；脫羧；胺化；芳基化；肽偶聯(lián)；醇醛縮合；環(huán)化縮合；脫氫環(huán)化；醋化；酰胺化；雜環(huán)合成；脫水；醇解；水解； 氨解；醚化；酶合成；縮酮化(ketalization)；皂化；異構(gòu)化；季銨化；甲?；?；相轉(zhuǎn)移反應； 甲硅烷化；腈合成；磷酸化；臭氧分解；疊氮化物化學；復分解；氫化硅烷化；偶聯(lián)反應；以及酶反應。
權(quán)利要求
1.一種蜂窩體基材的陣列，其包括多個蜂窩體基材，所述多個蜂窩體基材中的各個基材具有基材孔道以及基材側(cè)面，所述基材孔道從相應的基材的第一端部延伸到第二端部，所述基材側(cè)面從所述第一端部延伸到第二端部，所述多個基材中的基材以陣列方式設置，使得相應的基材的側(cè)面彼此相對，相應的基材的孔道沿著共同的方向延伸；以及在多個基材中的兩個或更多個基材的相對的基材側(cè)面之間限定出一條或多條通道，所述一條或多條通道沿著垂直于所述陣列共同方向的方向延伸。
2.如權(quán)利要求1所述的陣列，其特征在于，所述多個基材中的基材在所述相對的基材側(cè)面用燒結(jié)的玻璃料密封在一起。
3.如權(quán)利要求1所述的陣列，其特征在于，所述多個基材中的基材在所述相對的基材側(cè)面用水泥密封在一起。
4.如權(quán)利要求1-3中任一項所述的陣列，其特征在于，所述多個基材中的一個或多個基材包括沿著所述基材的選擇的孔道限定的曲折通路，所述曲折通路與相對的基材側(cè)面之間限定的一個或多個通道流體連通。
5.如權(quán)利要求1-4中的任一項所述的陣列，其特征在于，所述陣列是規(guī)則陣列。
6.如權(quán)利要求1-5中任一項所述的陣列，其特征在于，所述多個基材中的基材的側(cè)面是平坦側(cè)面。
7.如權(quán)利要求1-6中的任一項所述的陣列，其特征在于，所述多個基材中的基材在垂直于它們的孔道的平面內(nèi)具有矩形的橫截面。
8.一種蜂窩體基材的陣列，其包括多個蜂窩體基材，所述多個蜂窩體基材中的各個基材具有基材孔道以及基材側(cè)面，所述基材孔道從相應的基材的第一端部延伸到第二端部，所述基材側(cè)面從所述第一端部延伸到第二端部，所述多個基材中的基材以陣列方式設置，使得相應的基材的側(cè)面彼此相對，相應的基材的孔道沿著共同的方向延伸；以及沿著所述多個基材中的兩個或更多個基材的孔道限定了一個或多個通道，所述通道從所述多個基材中的第一個基材內(nèi)延伸通過其基材側(cè)面，通過所述多個基材中的第二個基材的側(cè)面延伸入該第二個基材中。
9.如權(quán)利要求8所述的陣列，其特征在于，沿著所述多個基材中的兩個或更多個基材的孔道限定的通道是曲折通道。
10.如權(quán)利要求9所述的陣列，其特征在于，沿著所述多個基材中的兩個或更多個基材的孔道限定的通道是高長寬比通道。
11.如權(quán)利要求10所述的陣列，其特征在于，所述高長寬比通道是直的通道。
12.—種用來制造蜂窩體基材的陣列的方法，所述方法包括提供多個具有側(cè)面的蜂窩體基材；沿著垂直于基材孔道方向的方向，在所述多個蜂窩體基材的選定側(cè)面機械加工通道；通過將所述多個蜂窩體基材的側(cè)面與其他側(cè)面密封起來，從而密封所述通道。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，該方法還包括在所述密封步驟之前，沿著垂直于所述基材孔道方向的方向，在所述多個蜂窩體基材的其它的側(cè)面內(nèi)機械加工通道。
14.一種用來制造蜂窩體基材的陣列的方法，所述方法包括提供多個具有側(cè)面和端面的蜂窩體基材；在所述多個蜂窩體基材的選定的側(cè)面上，在端面處或端面附近設置薄墊片或玻璃料層，而在選定的側(cè)面上其它的位置不設置，并且所述薄墊片或玻璃料層沿著與基材孔道方向垂直的方向取向；將所述蜂窩體基材配置成陣列，使得在包括至少一個選定的側(cè)面的兩個或更多個側(cè)面之間限定一個或多個通道，所述一個或多個通道沿著垂直于基材孔道方向的方向延伸并且被相應的薄墊片或玻璃料層約束；通過在各自相應的相鄰側(cè)面將所述蜂窩體基材互相密封，密封通道，并且將陣列密封在一起。
全文摘要
一種蜂窩體基材(10)的陣列(100)包括蜂窩體基材(10)，多個基材(10)中的每一個基材包括基材孔道和基材側(cè)面，所述孔道從各基材的第一端延伸到第二端，所述基材側(cè)面從所述第一端延伸到第二端。所述多個基材中的基材以陣列形式設置，各個基材的側(cè)面彼此相對，各個基材的孔道沿著共同的方向延伸。由多個基材(100)中的兩個或更多個基材的相對的基材側(cè)面限定出一條或多條通道(12)，所述一條或多條通道(12)沿著垂直于共同方向的方向延伸。
文檔編號B01J19/24GK102413919SQ201080019560
公開日2012年4月11日 申請日期2010年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者A·D·伍德芬, J·M·哈里森, J·S·薩瑟蘭 申請人:康寧股份有限公司