應(yīng)器處理后的凈水中細(xì)菌抑制劑，以抑制凈水中的細(xì)菌滋生。其中，所述細(xì)菌抑制劑可包括次氯酸鈉，且所述次氯酸鈉的余氯濃度可為0.5-0.8PPM。較佳地，所述余氯濃度可為0.6PPM，使得抑制細(xì)菌滋生的效果更好。
[0042]通過(guò)前述芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法所處理的廢水，可以用于芯片廠(chǎng)的冷卻塔、洗滌塔、一般的輔助設(shè)備或是超純水系統(tǒng)制程，從而達(dá)到水資源的回收再利用的效果。
[0043]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了一種芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)。
[0044]圖4是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)的示意圖。芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)400包括廢水處理池410。
[0045]廢水處理池410用于接收來(lái)自芯片生產(chǎn)線(xiàn)所排放的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物，且廢水處理池410中配置有調(diào)節(jié)曝氣組件420、好氧性微生物430、懸浮物污泥物質(zhì)440及過(guò)濾膜450，以增加廢水的溶氧量、在廢水中培養(yǎng)微生物及活性污泥、吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物以及去除廢水中的懸浮顆粒物。進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，廢水處理池410中的廢水依序通過(guò)調(diào)節(jié)曝氣組件420、好氧性微生物430及懸浮物污泥物質(zhì)440和過(guò)濾膜450進(jìn)行處理。
[0046]所述調(diào)節(jié)曝氣組件420可包括鼓風(fēng)機(jī)，以通過(guò)鼓風(fēng)機(jī)提供適當(dāng)?shù)目諝饬?，以增加廢水中的溶氧量，可利于后續(xù)的微生物及活性污泥的培養(yǎng)。所述溶氧量可為1-2PPM。并且，將廢水通過(guò)與廢水處理池中410的好氧性微生物420相接觸，可利于在廢水中培養(yǎng)微生物及活性污泥。
[0047]由于芯片生產(chǎn)線(xiàn)所排出的廢水的懸浮顆粒物會(huì)含有非常細(xì)小的顆粒和金屬離子(例如SS〈30)，若是直接通過(guò)過(guò)濾膜450對(duì)所述廢水進(jìn)行處理，會(huì)使得過(guò)濾膜450容易堵塞。因此，通過(guò)于廢水處理池410中配置有懸浮物污泥物質(zhì)440，可以讓大顆粒的懸浮物污泥物質(zhì)440吸附廢水中的細(xì)小顆粒的懸浮顆粒物，使得過(guò)濾膜450不會(huì)堵塞。其中，懸浮物污泥物質(zhì)440的濃度例如為500-1200PPM。較佳地，懸浮物污泥物質(zhì)440的濃度可為800-1000PPM，以增進(jìn)懸浮物污泥物質(zhì)吸附廢水中的細(xì)小顆粒的懸浮顆粒物的效果。并且，懸浮物污泥物質(zhì)可為污水活性污泥。
[0048]另外，過(guò)濾膜450可包括膜生物反應(yīng)器，而膜生物反應(yīng)器可包括中空纖維膜，且中空纖維膜的材料可為聚偏氟乙烯(PVDF)、聚乙烯(PE)或其復(fù)合材料，用于對(duì)廢水中的活性污泥和大分子物質(zhì)進(jìn)行截留的處理，以去除廢水中的化學(xué)需氧量以及懸浮物。
[0049]圖5是根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)的示意圖。芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)500包括廢水處理池510與排放裝置520。其中，廢水處理池510與圖4的廢水處理池410相同或相似，故可參考圖4的實(shí)施例的說(shuō)明，故在此不再贅述。
[0050]排放裝置520用于當(dāng)所述廢水處理池中的懸浮物污泥物質(zhì)的濃度超出預(yù)設(shè)濃度時(shí)對(duì)所述懸浮物污泥物質(zhì)進(jìn)行排放。其中，排放裝置520例如為單向閥，且可設(shè)置于廢水處理池510的底部或是槽體的至少一側(cè)。也就是說(shuō)，通過(guò)排放裝置520的開(kāi)啟或關(guān)閉，可調(diào)整廢水處理池510中的懸浮物污泥物質(zhì)的濃度。其中，由于懸浮物污泥物質(zhì)的濃度較佳為800-1000PPM，因此所述預(yù)設(shè)濃度可設(shè)定為1000PPM。
[0051]進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，廢水處理池510還可包括有檢測(cè)器，且檢測(cè)器可配置廢水處理池510中，用于檢測(cè)廢水處理池510中的懸浮物污泥物質(zhì)的濃度，并控制排放裝置520的開(kāi)啟與關(guān)閉。由于懸浮物污泥物質(zhì)的加入可能是大量且持續(xù)性的，并且若是懸浮物污泥物質(zhì)的濃度過(guò)高，可能會(huì)影響懸浮物污泥物質(zhì)吸附小顆粒的懸浮顆粒物的效果或是阻礙廢水處理池510對(duì)廢水的處理效果，因此可通過(guò)檢測(cè)器檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度是否超過(guò)預(yù)設(shè)濃度。
[0052]另外，在排放過(guò)程中，檢測(cè)器仍會(huì)持續(xù)檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度。若是檢測(cè)器檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度沒(méi)有超過(guò)預(yù)設(shè)濃度時(shí)，則控制排放裝置520關(guān)閉，以停止對(duì)懸浮物污泥物質(zhì)進(jìn)行排放。如此一來(lái)，使得懸浮物污泥物質(zhì)的濃度可始終保持在500-1200PPM之間，且較佳為800-1000PPM。
[0053]圖6是根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)的示意圖。芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統(tǒng)600包括廢水接收管道610、廢水處理池620與凈水輸出管道630。其中，廢水處理池620與圖4的廢水處理池410相同或相似，故可參考圖4的實(shí)施例的說(shuō)明，故在此不再贅述。
[0054]廢水接收管道610用于接收來(lái)自芯片生產(chǎn)線(xiàn)所排放的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物，且廢水接收管道610進(jìn)一步包括PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)611和過(guò)濾器612，用于調(diào)節(jié)廢水中的PH值以及對(duì)廢水進(jìn)行過(guò)濾。也就是說(shuō)，廢水接收管道610可在流過(guò)的廢水中加入PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)，以混合廢水與PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)，使得廢水的PH值可呈中性或接近中性(例如弱酸性或弱堿性)，可利于微生物或細(xì)菌的生長(zhǎng)。其中，由于芯片生產(chǎn)線(xiàn)所排放的廢水呈酸性，因此所述PH值調(diào)節(jié)物可包括堿性物質(zhì)，例如例如氫氧化鈉(NaOH)，使廢水的PH值調(diào)整至6.5-8.5之間。
[0055]另外，過(guò)濾器612例如可設(shè)置于廢水接收管道610的出水口處，且將過(guò)濾后的廢水輸送至廢水處理池620進(jìn)行后續(xù)的處理。過(guò)濾器612用于對(duì)廢水進(jìn)行過(guò)濾，以濾除廢水中的顆粒物體，例如尖銳物、毛發(fā)、碎肩等，從而避免顆粒物體進(jìn)入廢水處理池620中而磨損或破壞廢水處理池620中的中空纖維膜。其中，過(guò)濾器的目數(shù)例如為60-100目。
[0056]凈水輸出管道630連接廢水處理池620，以輸出所述過(guò)濾膜450過(guò)濾后的凈水。進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，凈水輸出管道630可包括細(xì)菌抑制劑，用于抑制凈水中的細(xì)菌滋生。其中，所述細(xì)菌抑制劑可包括次氯酸鈉，且所述次氯酸鈉的余氯濃度可為0.5-0.8PPM，較佳地，所述余氯濃度可為0.6PPM。(0.5-0.8PPM是一個(gè)大的概念，但0.5-0.8PPM之間更具體的范圍或數(shù)值，還需要發(fā)明人提供一些實(shí)例，例如0.6或0.7，或是0.6-0.7)，使得抑制細(xì)菌滋生的效果更好。
[0057]綜上所述，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案，通過(guò)對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，并于膜生物反應(yīng)器處理前，加入懸浮物污泥物質(zhì)。如此一來(lái)，可達(dá)到水資源的回收再利用的效果，并可避免膜生物反應(yīng)器堵塞的情況發(fā)生。
[0058]以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，包括如下步驟: 接收來(lái)自于芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物； 在廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)，以吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物； 對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，以去除廢水中的懸浮顆粒物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述懸浮物污泥物質(zhì)的濃度為500-1200PPM。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)的步驟之后進(jìn)一步包括: 檢測(cè)所述懸浮物污泥物質(zhì)的濃度； 若所述懸浮物污泥物質(zhì)的濃度超過(guò)預(yù)設(shè)濃度，對(duì)所述懸浮物污泥物質(zhì)進(jìn)行排放。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述膜生物反應(yīng)器包括中空纖維膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)的步驟之前進(jìn)一步包括: 在廢水中加入PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)，以使得所述廢水的PH值呈弱酸性、中性或弱堿性； 對(duì)廢水進(jìn)行過(guò)濾，以濾除廢水中的顆粒物體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述廢水的PH值的范圍為6.5-8.5。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述對(duì)廢水進(jìn)行過(guò)濾采用過(guò)濾器，其中所述過(guò)濾器的目數(shù)為60-100目。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理的步驟之后進(jìn)一步包括: 在通過(guò)膜生物反應(yīng)器處理后的凈水中加入細(xì)菌抑制劑，以抑制凈水中的細(xì)菌滋生。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述細(xì)菌抑制劑包括次氯酸鈉。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述次氯酸鈉的余氯濃度為0.5-0.8PPM。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，其特征在于，所述廢水處理方法進(jìn)一步包括: 對(duì)所述膜生物反應(yīng)器表面進(jìn)行空氣沖刷。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理方法，包括如下步驟：接收來(lái)自于芯片生產(chǎn)線(xiàn)的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物；在廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)，以吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物；對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，以去除廢水中的懸浮顆粒物。通過(guò)本發(fā)明，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的處理方式過(guò)于單一，這常常導(dǎo)致過(guò)濾物質(zhì)很快堵塞的問(wèn)題。
【IPC分類(lèi)】C02F9-14
【公開(kāi)號(hào)】CN104609668
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510037278
【發(fā)明人】韋相亮, 馬崇維, 趙其
【申請(qǐng)人】先達(dá)恩那社水處理工程（天津）有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月13日
【申請(qǐng)日】2015年1月23日