本發(fā)明涉及硅片加工或清洗領(lǐng)域，具體涉及一種噴淋裝置和脫膠機(jī)。

背景技術(shù)：

1、在硅片制備過程中，噴淋槽為重要機(jī)構(gòu)。單層硅片是從切割好的整個(gè)硅棒或硅錠上經(jīng)加熱脫膠處理分片的，將單張或單層硅片從料座上脫下，完成硅片的脫膠。單晶硅片進(jìn)行脫膠前，都需要對(duì)其在噴淋槽中進(jìn)行清洗，將單張硅片上的硅泥、硅粉沖洗干凈。人工進(jìn)行沖洗不僅效率低，而且沖洗效果不佳，工人勞動(dòng)強(qiáng)度大。

2、現(xiàn)有的噴淋槽結(jié)構(gòu)單一，通常出現(xiàn)以下問題：

3、噴淋槽的頂部槽蓋開閉方向與硅片料籃方向相同，縱向尺寸過長導(dǎo)致設(shè)備整體縱向空間過大，不利于多設(shè)備集成化設(shè)計(jì)。

4、噴淋槽內(nèi)的噴淋管控制單一，整個(gè)硅片料籃的上、中、下三部分各處噴淋需求不同，但現(xiàn)有的噴淋槽未做到各部分的需求設(shè)計(jì)，導(dǎo)致噴淋液總量過多、噴淋時(shí)間過長或噴淋清洗效果不佳。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種噴淋裝置和脫膠機(jī)，其能解決上述問題。

2、設(shè)計(jì)方案：1、噴淋槽頂蓋采用橫向設(shè)計(jì)，減小裝置縱向占用的空間；2、噴淋槽內(nèi)的噴淋管對(duì)應(yīng)硅片料籃上中下三部分噴淋設(shè)計(jì)不同。

3、一種噴淋裝置，包括噴淋箱體、蓋板組件、內(nèi)支撐架組、排污組件和噴淋組件，其中，噴淋箱體頂部敞口設(shè)置，所述蓋板組件橫向滑動(dòng)控制的設(shè)置在噴淋箱體頂部；內(nèi)支撐架組設(shè)置在噴淋箱體內(nèi)，用于支撐縱向布置的硅片料籃；所述排污組件設(shè)置在噴淋箱體底部；所述噴淋組件的設(shè)置在噴淋箱體內(nèi)并靠近兩縱向側(cè)壁處的部分，朝向硅片料籃的上、中、下三部分以及噴淋箱體內(nèi)側(cè)壁噴淋清洗，且對(duì)應(yīng)上、中、下三部分的噴淋角度不同。

4、進(jìn)一步的，所述蓋板組件包括蓋板框、蓋板體和蓋板驅(qū)動(dòng)組件，所述蓋板框由多個(gè)帶有內(nèi)導(dǎo)槽的槽軌組成，蓋板體由蓋板驅(qū)動(dòng)組件橫向驅(qū)動(dòng)的在槽軌的內(nèi)導(dǎo)槽內(nèi)水平橫向移動(dòng)。

5、進(jìn)一步的，所述蓋板驅(qū)動(dòng)組件包括橫向驅(qū)動(dòng)器、蓋板轉(zhuǎn)接件和橫向到位感應(yīng)器，所述橫向驅(qū)動(dòng)器安裝至所述蓋板框或噴淋箱體上，所述蓋板轉(zhuǎn)接件和橫向到位感應(yīng)器安裝至所述蓋板體上。

6、進(jìn)一步的，在橫向布置的兩根槽軌處設(shè)置橫移導(dǎo)向組件，所述橫移導(dǎo)向組件的固定端與蓋板體固定連接，導(dǎo)向部與兩根所述槽軌抵接。

7、進(jìn)一步的，所述內(nèi)支撐架組包括一個(gè)縱向框架和多個(gè)槽底導(dǎo)向件，縱向框架的縱向端部與噴淋箱體內(nèi)壁面連接，所述縱向框架的底部懸空，所述槽底導(dǎo)向件設(shè)置在縱向框架的底桿上。

8、進(jìn)一步的，所述排污組件包括排污槽、排污濾網(wǎng)組件和排污管組，其中，由噴淋箱體的底板加工形成所述排污槽，排污濾網(wǎng)組件從噴淋箱體內(nèi)側(cè)覆蓋設(shè)置于所述排污槽上，所述排污管組從噴淋箱體底部外側(cè)連通至所述排污槽。

9、進(jìn)一步的，所述噴淋組件包括上噴管組、中噴管組、下噴管組和噴淋驅(qū)動(dòng)組件；其中，上噴管組呈部分角度的擺動(dòng)噴淋，所述中噴管組呈120°、180°或360°轉(zhuǎn)動(dòng)噴淋，所述下噴管組呈固定角度噴淋，所述噴淋驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)上噴管組、或上噴管組和中噴管組按設(shè)定角度運(yùn)動(dòng)。

10、進(jìn)一步的，所述噴淋驅(qū)動(dòng)組件包括噴淋驅(qū)動(dòng)器、驅(qū)動(dòng)器桿、回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)桿、傳動(dòng)桿和噴淋驅(qū)動(dòng)端座，待驅(qū)動(dòng)的噴管端部伸出噴淋箱體并由所述噴淋驅(qū)動(dòng)端座支撐；所述噴淋驅(qū)動(dòng)器的兩端均活動(dòng)插接有驅(qū)動(dòng)器桿，所述驅(qū)動(dòng)器桿的端部活動(dòng)鉸接有回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)桿的一端，回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)桿的另一端交接所述傳動(dòng)桿的活動(dòng)端，傳動(dòng)桿的固定端固定連接至待驅(qū)動(dòng)的噴管端部。

11、本發(fā)明還提供了一種脫膠機(jī)，包括噴淋裝置、脫膠裝置、漂洗裝置、脫膠工作流線和上料車，所述上料車和噴淋裝置設(shè)置在脫膠工作流線的上料端流線處，所述脫膠裝置和漂洗裝置設(shè)置在所述噴淋裝置的下游流線處；在所述脫膠裝置處還設(shè)置加藥箱。

12、相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果在于：噴淋裝置具有橫向滑移的蓋板，三組噴管組件具有不同的噴射角度，優(yōu)化了噴淋效果，既能清洗產(chǎn)品又能對(duì)槽體清污，節(jié)約了空間占用和噴淋液，便于在半導(dǎo)體及光伏行業(yè)中硅片的脫膠、清洗等領(lǐng)域推廣應(yīng)用。

技術(shù)特征：

1.一種噴淋裝置，包括噴淋箱體(1)、蓋板組件(2)、內(nèi)支撐架組(3)、排污組件(4)和噴淋組件(5)，其特征在于：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴淋裝置，其特征在于：

9.一種脫膠機(jī)，包括噴淋裝置(100)、脫膠裝置(200)、漂洗裝置(300)、脫膠工作流線(400)和上料車(500)，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種噴淋裝置和脫膠機(jī)，屬于硅片加工領(lǐng)域，噴淋裝置包括噴淋箱體、蓋板組件、內(nèi)支撐架組、排污組件和噴淋組件，蓋板組件橫向滑動(dòng)控制的設(shè)置在噴淋箱體頂部，噴淋組件設(shè)置在噴淋箱體內(nèi)并靠近兩縱向側(cè)壁處的部分，朝向硅片料籃的上、中、下三部分以及噴淋箱體內(nèi)側(cè)壁噴淋清洗，且對(duì)應(yīng)上、中、下三部分的噴淋角度不同。本申請(qǐng)的噴淋裝置具有橫向滑移的蓋板，三組噴管組件具有不同的噴射角度，優(yōu)化了噴淋效果，節(jié)約了空間占用和噴淋液，便于在半導(dǎo)體及光伏行業(yè)中硅片的脫膠、清洗等領(lǐng)域推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：孫靖,尤夢(mèng)龍,王承平,徐偉鋒,薛峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6