技術(shù)編號：40614770
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅片加工或清洗領(lǐng)域，具體涉及一種噴淋裝置和脫膠機(jī)。背景技術(shù)、在硅片制備過程中，噴淋槽為重要機(jī)構(gòu)。單層硅片是從切割好的整個(gè)硅棒或硅錠上經(jīng)加熱脫膠處理分片的，將單張或單層硅片從料座上脫下，完成硅片的脫膠。單晶硅片進(jìn)行脫膠前，都需要對其在噴淋槽中進(jìn)行清洗，將單張硅片上的硅泥、硅粉沖洗干凈。人工進(jìn)行沖洗不僅效率低，而且沖洗效果不佳，工人勞動強(qiáng)度大。、現(xiàn)有的噴淋槽結(jié)構(gòu)單一，通常出現(xiàn)以下問題：、噴淋槽的頂部槽蓋開閉方向與硅片料籃方向相同，縱向尺寸過長導(dǎo)致設(shè)備整體縱向空間過大，不利于多設(shè)備集成...
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