專利名稱：185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機物方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將185納米紫外有機物分解器和膜脫氣裝置相結(jié)合制造有機物含量低的超純水的工藝方法。
超純水主要用于大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)和很多其他電子通訊器材制造業(yè)。超純水中總有機物含量，通常以總有機碳(TOC)含量來衡量，保證超純水中TOC指標(biāo)對于超純水制造工藝通常是有挑戰(zhàn)性的。
因為185納米紫外光可以打斷有機物中大多數(shù)化學(xué)鍵，所以可以用185納米紫外光分解純水中殘留有機物。純水中殘留有機物在185納米紫外光作用下分解后可能以三種形式存在，即帶電小分子有機物、不帶電小分子有機物和被氧化成二氧化碳。
已知技術(shù)中在185納米紫外后安裝連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置以除去被分解的有機物。但是連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置只對清除帶電有機物和二氧化碳有效，卻不能清除不帶電小分子有機物。因此，不能使有機物含量降低到較高水準(zhǔn)。
本發(fā)明的目的是提供一種有機物含量低的超純水工藝，該工藝簡便，效果好。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案這種185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機物方法，它包括水凈化處理工藝，所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。
本發(fā)明人利用了科學(xué)知識，即不帶電小分子有機物具有揮發(fā)性，而脫氣膜膜可以進(jìn)行氣水分離等技術(shù)方案，并將這些技術(shù)方案應(yīng)用到超純水制造工藝中，所以在185納米紫外裝置后安裝膜脫氣裝置和連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置，利用膜脫氣裝置脫出小分子不帶電有機物和大部分的二氧化碳，再用連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置清除帶電有機物和殘余二氧化碳。
另外，本發(fā)明中使用過的脫氣裝置以脫氣裝置為佳，在脫氣過程中純水不應(yīng)該與空氣接觸。185納米紫外裝置只適用于經(jīng)過凈化處理，有機物含量較低的純化水，純化水中總有機碳含量小于500ppb。本實施中，膜脫氣裝置為已有產(chǎn)品，(見US5938922)，工藝條件中，真空度為＜50mmHg，其余為常規(guī)操作。
實施例一城市自來水經(jīng)過過濾、活性炭吸附器、雙級反滲透、連續(xù)電除鹽、185納米紫外裝置、精密混床，產(chǎn)品水總有機碳含量穩(wěn)定值為12-26ppb。同源地下水經(jīng)過過濾、雙級反滲透、連續(xù)電除鹽、185納米紫外裝置、膜脫氣裝置、精密混床。產(chǎn)品水總有機碳含量穩(wěn)定值為0.1-0.2ppb。
實施例二地下水自來水經(jīng)過過濾、單級反滲透、連續(xù)電除鹽、185納米紫外裝置、精密混床，產(chǎn)品水總有機碳含量穩(wěn)定值為30-35ppb。同源地下水經(jīng)過過濾、單級反滲透、185納米紫外裝置、膜脫氣裝置、連續(xù)電除鹽、精密混床。產(chǎn)品水總有機碳含量穩(wěn)定值為0.5±0.1ppb。
優(yōu)點本發(fā)明中在185納米紫外線工序之后，為膜脫氣處理工序，從中可以去除小分子不帶電有機物和大部分二氧化碳，從而明顯降低了超純水中總有機碳含量，擴大了超純水的用途，滿足不同需求，而且工藝簡便。
權(quán)利要求
1.一種185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機物方法，它包括水凈化處理工藝，其特征在于所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。
全文摘要
一種185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機物方法，它包括水凈化處理工藝，其特征在于所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。優(yōu)點本發(fā)明中在185納米紫外線工序之后，為膜脫氣處理工序，從中可以去除小分子不帶電有機物和大部分二氧化碳，從而明顯降低了超純水中總有機碳含量，擴大了超純水的用途，滿足不同需求，而且工藝簡便。
文檔編號C02F9/08GK1438188SQ0210369
公開日2003年8月27日 申請日期2002年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月10日
發(fā)明者聞瑞梅, 孟廣禎 申請人:孟廣禎