專利名稱：爐管隔熱裝置及利用該裝置的爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及爐管維護保養(yǎng)領(lǐng)域，特別是涉及一種爐管隔熱裝置及利用該裝置的爐
管預(yù)防維護保養(yǎng)方法。
背景技術(shù)：
爐管系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，為半導(dǎo)體器件的制造提供反應(yīng)所需的空間環(huán)
境。圖l便示出了常見的爐管機臺的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，該爐管機臺包括加熱器io，外 管11以及內(nèi)管12，以將一定數(shù)量的晶圓W密封在反應(yīng)室13內(nèi)，以為晶圓W提供特定壓力 和溫度的反應(yīng)環(huán)境。其中加熱器10用于加熱，以使反應(yīng)室13內(nèi)達(dá)到所需溫度；外管11用 于反應(yīng)室13密封，內(nèi)管12用于與外管11隔離，其內(nèi)具有晶圓支架14，用以承載晶圓W;支 架14下部對應(yīng)設(shè)有升降機15，以調(diào)整支架14的高度；底座16用于承載外管ll，且其上安 裝有多個進氣歧管(Manifold) 17，反應(yīng)所需的氣體便通過進氣歧管17注入反應(yīng)室13內(nèi)，從 而在一定壓力和特定溫度下，經(jīng)過一段時間的反應(yīng)在晶圓W表面生長出特定的薄膜。通常 進氣歧管17相對于底座安裝為垂直安裝，且為了保證安裝后的氣密性，往往利用一些鎖固 器件來將進氣歧管17固定于底座16上，例如利用0型圈與固定螺栓來達(dá)到密封固定的安 裝效果。 如此的垂直、且密封的安裝要求，便為爐管機臺的定期預(yù)防維護保養(yǎng)(PM)帶來了 拆裝上的不便，例如定期清理反應(yīng)室13、更換進氣歧管17等。其中部分較小范圍內(nèi)的預(yù)防 保養(yǎng)需要在高溫環(huán)境下更換進氣歧管17，在操作過程中，便需要將進氣歧管17放入高溫環(huán) 境或從高溫環(huán)境中取出，因此需要耐熱防護。 目前常見的耐熱防護方式是手套，其中耐熱效果比較好的是石棉手套。但其存在 以下缺點石棉手套太厚無法靈活操作，且石棉纖維容易脫落而粘在管壁(包括內(nèi)管12、外 管11和底座16的側(cè)壁)上或者粘在進氣歧管17上而形成污染；此外，安裝時需要兩個人 協(xié)作方能完成。為了克服石棉手套的靈活性問題，可以利用羊皮手套來代替。然而羊皮手 套在高溫環(huán)境下堅持不了太長時間，而且手套不易清潔；故有時在操作時將無塵布墊在手 套上再拿起進氣歧管17 ;如此無塵布容易接觸到管壁而被融化粘在管壁上形成污染。
另外，以上拆裝進氣歧管17的方式還容易出現(xiàn)以下不利狀況
1.部分進氣歧管17的長度較長(例如超過1000毫米)，在裝入反應(yīng)室13或從反 應(yīng)室13內(nèi)取出時，由于手只能捏住進氣歧管17底部的轉(zhuǎn)角處，無法實現(xiàn)穩(wěn)定操作，而使進 氣歧管17極易碰到管壁而產(chǎn)生不利顆粒。 2.進氣歧管17安裝完成后需要調(diào)整垂直度，然而進氣歧管17可能已經(jīng)與管壁接 觸，所以調(diào)整時會產(chǎn)生摩擦而形成不利顆粒；另外，操作人員在觀察上也存在感官差異及觀 察難度，如此造成的垂直度安裝差異會影響反應(yīng)室13內(nèi)的反應(yīng)進程。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種爐管系統(tǒng)維護保養(yǎng)的隔熱防護裝置及使
4用方法，以避免現(xiàn)有手套防護方式所造成的污染。 為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種爐管隔熱裝置，于拆裝爐管底座上的進氣 歧管時，安裝于爐管內(nèi)，該隔熱裝置為向一側(cè)凹陷的圓盤形，側(cè)壁上具有一個或多個開口 ， 且所述開口的大小容所述進氣歧管外圓轉(zhuǎn)角處通過而使該轉(zhuǎn)角處暴露于所述隔熱裝置的 凹陷空間內(nèi)。 進一步的，所述開口的數(shù)量等于爐管底座上進氣歧管安裝孔的數(shù)量。
進一步的，所述隔熱裝置的盤口側(cè)具有環(huán)形邊緣。
進一步的，所述爐管隔熱裝置為一體成型。 進一步的，對應(yīng)于所述每一個開口 ，該隔熱裝置上形成有導(dǎo)向滑道，且該導(dǎo)向滑道 從對應(yīng)開口的一側(cè)延伸至所述隔熱裝置的盤底。 進一步的，該隔熱裝置還包括夾持器，設(shè)置于所述隔熱裝置的盤底上且位于其凹 陷空間內(nèi)，以夾持暴露于所述凹陷空間內(nèi)的進氣歧管。 進一步的，所述夾持器包括開閉把手與夾持端，且夾持端在開閉把手的作用下打 開與閉合，其中夾持端在閉合時形成圓柱形夾持口，以將部分所述進氣歧管夾持在該夾持 口內(nèi)。 進一步的，所述圓柱形夾持口的尺寸是根據(jù)所述進氣歧管外圓轉(zhuǎn)角尺寸設(shè)定。
進一步的，夾持端在閉合時還形成方形引導(dǎo)口，位于所述夾持口與所述開閉把手 之間，以引導(dǎo)所述進氣歧管。 進一步的，所述方形引導(dǎo)口內(nèi)表面具有光滑軟材。
進一步的，所述開閉把手上設(shè)置有張力鎖緊裝置。 進一步的，所述夾持器以步進旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置于所述隔熱裝置的凹陷空間內(nèi)。
進一步的，所述夾持器與所述隔離裝置盤底的連接處設(shè)置有旋轉(zhuǎn)角度定位裝置， 以控制夾持器的旋轉(zhuǎn)步進角度。 進一步的，所述夾持器的旋轉(zhuǎn)步進角度等于爐管底座上兩進氣歧管安裝孔之間的 角度。 進一步的，該隔熱裝置由不導(dǎo)熱材料制成。
進一步的，該隔熱裝置的材質(zhì)為雙層真空結(jié)構(gòu)。 本發(fā)明另提供一種爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法，利用以上爐管隔熱裝置拆卸進氣歧 管，包括如下步驟 將爐管隔熱裝置固定在爐管底座上，使得進氣歧管的轉(zhuǎn)角處暴露于隔熱裝置的凹
陷空間內(nèi)，且凹陷空間面向爐管底端； 移動夾持器并使其夾住進氣歧管； 松動進氣歧管固定螺栓并取出密封0型圈； 向爐管隔熱裝置中心部位移動夾持器； 打開夾持器，使得進氣歧管進入所述導(dǎo)向滑道； 取出進氣歧管。 本發(fā)明還提供一種爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法，利用以上爐管隔熱裝置安裝進氣歧 管，其特征是，包括如下步驟 將爐管隔熱裝置固定在爐管底座上，使得隔熱裝置側(cè)壁上的開口對應(yīng)于進氣歧管的安裝孔，且凹陷空間面向爐管底端； 將進氣歧管通過導(dǎo)向滑道裝入爐管內(nèi)； 利用夾持器夾住進氣歧管； 將進氣歧管裝入爐管底座上的進氣歧管安裝孔并將其鎖緊；
打開并向爐管隔熱裝置中心部位移動夾持器。 可見，于爐管預(yù)防保養(yǎng)時，將以上隔熱裝置安裝于爐管內(nèi)，便可以從爐管底座上的 進氣歧管安裝處將爐管反應(yīng)室分為兩部分，其中隔熱裝置凹陷空間以下的部分溫度較低， 在隔熱裝置的作用下，凹陷空間以上部分的熱不會傳導(dǎo)到下部來，從而不需要使用手套等 耐熱防護，便可以于凹陷空間以下的部分進行進氣歧管的拆裝操作，進而保證了各管壁的
清潔度。 進一步在隔熱裝置上設(shè)置夾持器，且配合導(dǎo)向滑道的設(shè)計，可以保證進氣歧管安 裝的垂直度并減少劃傷以及由進氣歧管與管壁摩擦所產(chǎn)生的不利顆粒；同時，夾持器的使 用簡化了拆裝操作，一個人便可以完成，減少了人力資源的浪費。


圖1為常見的爐管機臺的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明一實施例所提供的爐管隔熱裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本發(fā)明一實施例所提供的爐管隔熱裝置安裝于爐管內(nèi)的部分示意圖； 圖4為圖2中爐管隔熱裝置的俯視示意圖； 圖5為圖2中爐管隔熱裝置的部分放大示意圖； 圖6為圖2中爐管隔熱裝置的截面示意圖； 圖7為圖6中旋轉(zhuǎn)角度定位裝置的放大示意圖； 圖8為本發(fā)明一實施例所提供的爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法的流程示意圖； 圖9為本發(fā)明另一實施例所提供的爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法的流程示意圖。
具體實施例方式
為使本發(fā)明的技術(shù)特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖與實施例，對本發(fā)明做進一步 的描述。 請參考圖2，其為本發(fā)明一實施例所提供的爐管隔熱裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中 簡單示出了爐管機臺的底座16，其上具有進氣歧管安裝孔20，進氣歧管17便通過此安裝孔 20裝入爐管內(nèi)。而隔熱裝置100于拆裝進氣歧管時，安裝于該底座16之上。如圖，隔熱裝 置100為向一側(cè)凹陷的圓盤形，側(cè)壁101上具有一個或多個開102。通常，開口 102的大小 可以容進氣歧管17外圓轉(zhuǎn)角處通過而使該轉(zhuǎn)角處暴露于隔熱裝置100的凹陷空間103內(nèi)。
請合并參考圖l，爐管內(nèi)反應(yīng)結(jié)束后，調(diào)低升降機15并將晶圓支架14取出，從而 開始對爐管機臺的維護保養(yǎng)。當(dāng)維護保養(yǎng)中需要更換進氣歧管17時，將以上所述的隔熱 裝置100安裝于底座16上，而進氣歧管17便通過隔熱裝置100上的開口 102暴露于隔熱 裝置100的凹陷空間103內(nèi)。于安裝時，凹陷空間103面向爐管底部安裝，將反應(yīng)室13隔 離為兩個部分，凹陷空間13以下的部分溫度較低，在隔離裝置100的作用下，凹陷空間13 以上部分的熱不會傳導(dǎo)到下部來，從而不需要使用手套等耐熱防護，便可以于凹陷空間103以下的部分進行進氣歧管17的拆裝操作。如此，不會造成管壁污染，同時，由于無需使用具 有一定厚度的手套，從而保證了操作的靈活性。 通常，爐管上安裝有多個進氣歧管17，為了保證對每一個進氣歧管的方便操作，隔 熱裝置100的開口 102的數(shù)量往往等于爐管底座16上進氣歧管安裝孔20的數(shù)量。另外， 為了方便安裝，隔熱裝置100的盤口側(cè)具有環(huán)形邊緣104 ;通常該邊緣104是對應(yīng)于底座16 的端邊緣160而設(shè)，這樣便可以很好的為隔熱裝置100定位。 該隔熱裝置100可以利用模具澆注以一體成型的方式制作而成，其材質(zhì)可以是不 導(dǎo)熱材料，以保證其良好的隔熱性能。此外，該隔熱裝置100也可以采用雙層真空結(jié)構(gòu)制 成；而采用雙層真空結(jié)構(gòu)時，僅將盤底106制作為雙層真空結(jié)構(gòu)，便可以滿足隔熱性能的要 求。 在背景技術(shù)中已經(jīng)提及，部分進氣歧管17的長度較長(例如超過1000毫米)，在 裝入反應(yīng)室13或從反應(yīng)室13內(nèi)取出時，由于手只能捏住進氣歧管17底部的轉(zhuǎn)角處，無法 實現(xiàn)穩(wěn)定操作，而使進氣歧管17極易碰到管壁而產(chǎn)生不利顆粒。為了克服以上缺陷，對進 氣歧管17的插入與取出進行引導(dǎo)，對應(yīng)于每一個開口 102，隔熱裝置100上形成有導(dǎo)向滑道 105，且該導(dǎo)向滑道105從對應(yīng)開 102的一側(cè)延伸至隔熱裝置100的盤底106。通常，其于盤底106的延伸長度不會 很長，否則會影響該隔熱裝置100的隔熱性能。 請參考圖3，其簡單示出了安裝有進氣歧管17的爐管機臺的情況。通常，進氣歧管 17安裝完成后需要調(diào)整垂直度，然而進氣歧管17十分靠近內(nèi)管壁，操作人員手動直接調(diào)整 極易使進氣歧管17與內(nèi)管12產(chǎn)生摩擦，而產(chǎn)生不利顆粒；另外，操作人員的感官差異也會 導(dǎo)致垂直度的調(diào)整誤差。為此，在以上隔熱裝置100上安裝夾持器110，以克服所述缺點， 提高垂直度調(diào)整的精確度。請合并參考圖2，該夾持器110設(shè)置于隔熱裝置100的盤底106 上且位于其凹陷空間103內(nèi)，以夾持暴露于凹陷空間103內(nèi)的進氣歧管17。
請參考圖4與圖5，其中圖4為圖2中爐管隔熱裝置100的俯視示意圖；圖5為圖 2中夾持器的放大示意圖。該夾持器IIO包括開閉把手111與夾持端112，且夾持端112在 開閉把手111的作用下打開與閉合，如圖，夾持端112在閉合時形成圓柱形夾持口 1121，以 將部分進氣歧管17夾持在該夾持口 1121內(nèi)。該夾持口 1121的尺寸是根據(jù)進氣歧管17外 圓轉(zhuǎn)角尺寸設(shè)定。另外，夾持端112在閉合時還形成方形引導(dǎo)口 1123，位于夾持口 1121與 開閉把手111之間，以便引導(dǎo)進氣歧管17 ;通常方形引導(dǎo)口 1123內(nèi)表面具有光滑軟材(例 如聚四氟光滑軟材)，從而于引導(dǎo)出入進氣歧管17時，防止其劃傷。為了方便人員操作開 閉把手lll，其上往往設(shè)置有張力鎖緊裝置1111，以增加操作手感。此外，夾持器110的夾 持端112的前端還可以設(shè)置有安裝深度調(diào)節(jié)螺栓，用以調(diào)整夾持器IIO相對于內(nèi)管12的距 離。此外，夾持器110可以與導(dǎo)向滑道105配合使用，即其可通過導(dǎo)向滑道105進退，增加 其使用的靈活性。 考慮到以下問題即爐管機臺往往具有多個進氣歧管17，對應(yīng)底座16上具有多個 進氣歧管安裝孔20，如何在安裝好隔熱裝置IOO后精確的將夾持器IIO與進氣歧管17所在 位置對準(zhǔn)，且在完成對一個進氣歧管17的拆裝后，如何調(diào)整夾持器110的位置，以對其他進 氣歧管17進行操作。請合并參考圖2與圖6，其中圖6為圖2中爐管隔熱裝置的截面示意 圖。將夾持器110以步進旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置于隔熱裝置100的凹陷空間103內(nèi)，便可以解決以上問題。其中夾持器110與隔離裝置100盤底的連接處設(shè)置有旋轉(zhuǎn)角度定位裝置120，以 控制夾持器110的旋轉(zhuǎn)步進角度，該旋轉(zhuǎn)步進角度等于爐管底座16上兩進氣歧管安裝孔20 之間的角度。請合并參考圖7，其示出了旋轉(zhuǎn)角度定位裝置120的截面放大示意圖。夾持器 IIO通過旋轉(zhuǎn)軸130設(shè)置于隔熱裝置100的凹陷空間103內(nèi)，如此，便可以相對于隔熱裝置 100的盤底轉(zhuǎn)動；而旋轉(zhuǎn)角度定位裝置120便在夾持器IIO旋轉(zhuǎn)一定角度時，將其固定。該 旋轉(zhuǎn)角度定位裝置120包括軸套122、容置于軸套122邊緣的滾珠121，以及與軸套122相 通的滾珠容槽124，滾珠容槽124內(nèi)具有彈簧123。當(dāng)完成一個進氣歧管的拆裝而需要轉(zhuǎn)動 夾持器110到新的位置時，彈簧123將滾珠121從滾珠容槽124推出，夾持器110便可以無 障礙的旋轉(zhuǎn)；當(dāng)其旋轉(zhuǎn)到下一個滾珠所在的位置時，下一個滾珠進入滾珠容槽124，重新實 現(xiàn)夾持器110的定位?？梢?，利用旋轉(zhuǎn)角度定位裝置120可以很好的將夾持器110定位于 進氣歧管17所在的位置，簡化了操作，提高了拆裝效率。
以上裝置在爐管預(yù)防維護保養(yǎng)中的使用過程如下 請參考圖8，其為本發(fā)明一實施例所提供的爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法的流程示意圖。 拆卸進氣歧管的過程包括如下步驟 Sl :將爐管隔熱裝置100固定在爐管底座16上，使得進氣歧管17的轉(zhuǎn)角處暴露于
隔熱裝置100的凹陷空間103內(nèi)，且凹陷空間103面向爐管底端； S2 :移動夾持器110并使其夾住進氣歧管17 ; S3 :松動進氣歧管17固定螺栓并取出密封0型圈； S4 :后退夾持器110，即向爐管隔熱裝置中心部位移動夾持器110 ; S5 :打開夾持器IIO，使得進氣歧管17進入導(dǎo)向滑道105 ; S6 :取出進氣歧管17。 完成以上拆卸后，需安裝進氣歧管，此時，爐管隔熱裝置固定在爐管底座上，且隔 熱裝置側(cè)壁上的開口對應(yīng)于進氣歧管的安裝孔，凹陷空間面向爐管底端。具體請參考圖9， 其為本發(fā)明另一實施例所提供的爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法的流程示意圖。其過程包括如下步 驟 S10 :將進氣歧管17通過導(dǎo)向滑道105裝入爐管內(nèi)；
S20 :利用夾持器110夾住進氣歧管17 ; S30 :將進氣歧管裝入爐管底座16上的進氣歧管安裝孔20并將其鎖緊； S40 :打開并后退夾持器110，即打開夾持器110后，向爐管隔熱裝置中心部位移動
夾持器110。
在以上爐管預(yù)防維護保養(yǎng)的過程中，由于隔熱裝置100的引入而具有以下優(yōu)點
1.無需使用手套等耐熱保護，能夠保證各管壁的清潔度； 2.夾持器配合導(dǎo)向滑道的設(shè)計，可以直接保證進氣歧管安裝的垂直度，無需調(diào)整 可防止劃傷； 3.夾持器的設(shè)計，可以調(diào)節(jié)保證進氣歧管與內(nèi)管壁之間的間隙，進一步防止劃傷。
以上僅為舉例，并非用以限定本發(fā)明，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求書所涵 蓋的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種爐管隔熱裝置，于拆裝爐管底座上的進氣歧管時，安裝于爐管內(nèi)，其特征是，該隔熱裝置為向一側(cè)凹陷的圓盤形，側(cè)壁上具有一個或多個開口，其中所述開口的大小容所述進氣歧管外圓轉(zhuǎn)角處通過而使該轉(zhuǎn)角處暴露于所述隔熱裝置的凹陷空間內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述開口的數(shù)量等于爐管底 座上進氣歧管安裝孔的數(shù)量。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述隔熱裝置的盤口側(cè)具有 環(huán)形邊緣。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述隔熱裝置為一體成型。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中對應(yīng)于所述每一個開口，該隔 熱裝置上形成有導(dǎo)向滑道，且該導(dǎo)向滑道從對應(yīng)開口的一側(cè)延伸至所述隔熱裝置的盤底。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管隔熱裝置，其特征是，該隔熱裝置還包括 夾持器，設(shè)置于所述隔熱裝置的盤底上且位于其凹陷空間內(nèi)，以夾持暴露于所述凹陷空間內(nèi)的進氣歧管。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述夾持器包括 開閉把手與夾持端，且夾持端在開閉把手的作用下打開與閉合，其中夾持端在閉合時形成圓柱形夾持口 ，以將部分所述進氣歧管夾持在該夾持口內(nèi)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述圓柱形夾持口的尺寸是 根據(jù)所述進氣歧管外圓轉(zhuǎn)角尺寸設(shè)定。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中夾持端在閉合時還形成方形 引導(dǎo)口 ，位于所述夾持口與所述開閉把手之間，以引導(dǎo)所述進氣歧管。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述方形引導(dǎo)口內(nèi)表面具有 光滑軟材。
11. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述開閉把手上設(shè)置有張力 鎖緊裝置。
12. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述夾持器以步進旋轉(zhuǎn)的方 式設(shè)置于所述隔熱裝置的凹陷空間內(nèi)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述夾持器與所述隔離裝 置盤底的連接處設(shè)置有旋轉(zhuǎn)角度定位裝置，以控制夾持器的旋轉(zhuǎn)步進角度。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中所述夾持器的旋轉(zhuǎn)步進角 度等于爐管底座上兩進氣歧管安裝孔之間的角度。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中該隔熱裝置由不導(dǎo)熱材料制成。
16. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管隔熱裝置，其特征是，其中該隔熱裝置的材質(zhì)為雙層真 空結(jié)構(gòu)。
17. —種爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法，利用權(quán)利要求1至17中任一項所述的爐管隔熱裝置 拆卸進氣歧管，其特征是，包括如下步驟將爐管隔熱裝置固定在爐管底座上，使得進氣歧管的轉(zhuǎn)角處暴露于隔熱裝置的凹陷空 間內(nèi)，且凹陷空間面向爐管底端；移動夾持器并使其夾住進氣歧管；松動進氣歧管固定螺栓并取出密封O型圈； 向爐管隔熱裝置中心部位移動夾持器； 打開夾持器，使得進氣歧管進入所述導(dǎo)向滑道； 取出進氣歧管。
18. —種爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法，利用權(quán)利要求1至17中任一項所述的爐管隔熱裝置 安裝進氣歧管，其特征是，包括如下步驟將爐管隔熱裝置固定在爐管底座上，使得隔熱裝置側(cè)壁上的開口對應(yīng)于進氣歧管的安 裝孔，且凹陷空間面向爐管底端；將進氣歧管通過導(dǎo)向滑道裝入爐管內(nèi)；利用夾持器夾住進氣歧管；將進氣歧管裝入爐管底座上的進氣歧管安裝孔并將其鎖緊； 打開并向爐管隔熱裝置中心部位移動夾持器。
全文摘要
本發(fā)明揭露了一種爐管隔熱裝置及利用該裝置的爐管預(yù)防維護保養(yǎng)方法。該爐管隔熱裝置，于拆裝爐管底座上的進氣歧管時，安裝于爐管內(nèi)，該隔熱裝置為向一側(cè)凹陷的圓盤形，側(cè)壁上具有一個或多個開口。于爐管預(yù)防保養(yǎng)時，將以上隔熱裝置安裝于爐管內(nèi)，便可以從爐管底座上的進氣歧管安裝處將爐管反應(yīng)室分為兩部分，其中隔熱裝置凹陷空間以下的部分溫度較低，在隔熱裝置的作用下，凹陷空間以上部分的熱不會傳導(dǎo)到下部來，從而不需要使用手套等耐熱防護，便可以于凹陷空間以下的部分進行進氣歧管的拆裝操作，進而保證了各管壁的清潔度。
文檔編號F27B17/00GK101738088SQ20081020307
公開日2010年6月16日 申請日期2008年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月20日
發(fā)明者周江, 徐國利, 李瑞秋, 王剛, 高文良 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司