本發(fā)明涉及溶液制膜裝置及方法。

背景技術(shù)：

在智能手機(jī)或平板終端等中搭載的中小型顯示器的市場(chǎng)中，要求進(jìn)一步的高精細(xì)化。因此，對(duì)于這些顯示器中使用的膜，要求比以往進(jìn)一步提高膜面中的平滑度。此外，對(duì)于這些顯示器中使用的膜，還一并要求使厚度更薄、具體而言制成40μm以下。

通常，膜被制造成長(zhǎng)條，切割成目標(biāo)大小后，供于使用。作為長(zhǎng)條的膜的制造方法，大致分類有溶液制膜方法和熔融制膜方法。其中，溶液制膜方法在能夠制造膜面更平滑的膜的方面比熔融制膜方法更有優(yōu)勢(shì)。溶液制膜方法是通過(guò)將聚合物溶解于溶劑中而得到的膠漿從流延模流出到移動(dòng)的支撐體上而形成流延膜，并通過(guò)將該流延膜從流延支撐體上剝離來(lái)制造膜的方法。支撐體上的流延膜在朝向從支撐體上被剝?nèi)〉膭內(nèi)∥恢靡扑偷钠陂g通過(guò)送入干燥風(fēng)等而溶劑揮發(fā)(蒸發(fā))，被干燥至剝?nèi)『竽軌虬崴偷某潭取?/p>

另一方面，流延膜、特別是剛流延后的流延膜由于表面不穩(wěn)定，所以若急劇地使溶劑揮發(fā)(蒸發(fā))，則存在產(chǎn)生厚度不均的問(wèn)題。因此，在日本特開(kāi)2013-156488號(hào)公報(bào)中，通過(guò)對(duì)流延膜吹噴包含溶劑的溶劑氣體來(lái)防止厚度不均。此外，在日本特開(kāi)2005-096182號(hào)公報(bào)中，通過(guò)同時(shí)進(jìn)行溶劑氣體的抽吸和溶劑氣體的供給、抑制溶劑的急劇的揮發(fā)(蒸發(fā))來(lái)防止厚度不均。

但是，如日本特開(kāi)2013-156488號(hào)公報(bào)那樣僅對(duì)流延膜吹噴溶劑氣體時(shí)，存在流延膜的干燥沒(méi)有進(jìn)展、剝?nèi)≈暗臅r(shí)間變長(zhǎng)、生產(chǎn)效率差的問(wèn)題。與此相對(duì)，在日本特開(kāi)2005-096182號(hào)公報(bào)中，由于在規(guī)定的區(qū)域內(nèi)不僅供給溶劑氣體還進(jìn)行抽吸，所以通過(guò)將該區(qū)域內(nèi)的溶劑的濃度控制為流延膜的干燥適度地進(jìn)展的程度，還能夠抑制生產(chǎn)效率的降低。

然而，在日本特開(kāi)2005-096182號(hào)公報(bào)中，存在以下問(wèn)題：區(qū)域內(nèi)的各位置處的溶劑氣體的濃度不同，起因于此而使得流延膜的各位置處的干燥的程度不同，產(chǎn)生厚度不均。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供能夠抑制生產(chǎn)效率的降低、并且防止厚度不均的溶液制膜裝置及方法。

本發(fā)明的溶液制膜裝置具備一對(duì)遮風(fēng)板、溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)和溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)，通過(guò)將聚合物溶解于溶劑中而得到的聚合物溶液流延到移動(dòng)的支撐體上而形成流延膜。一對(duì)遮風(fēng)板沿著流延膜的側(cè)緣而設(shè)置，將支撐體的上方的空間分隔成流延膜所流延的內(nèi)側(cè)區(qū)域、和流延膜的外側(cè)的外側(cè)區(qū)域。溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)從配置在內(nèi)側(cè)區(qū)域內(nèi)的吸氣口進(jìn)行吸氣，對(duì)包含從流延膜揮發(fā)的溶劑的溶劑氣體進(jìn)行抽吸。溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)將包含使聚合物溶解的溶劑的溶劑氣體供給到支撐體與遮風(fēng)板之間的間隙。

在將流延膜中的溶劑的質(zhì)量設(shè)為ms，將流延膜的質(zhì)量設(shè)為mf時(shí)，優(yōu)選在以{ms/(mf-ms)}×100表示的溶劑含有率為200％以上的區(qū)域中，進(jìn)行利用溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)的抽吸、和利用溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)的供給。

優(yōu)選設(shè)置將一個(gè)遮風(fēng)板的上端部與另一個(gè)遮風(fēng)板的上端部連接的蓋部件，并通過(guò)蓋部件將內(nèi)側(cè)區(qū)域從上方覆蓋。

也可以在內(nèi)側(cè)區(qū)域中設(shè)置紅外線照射機(jī)，紅外線照射機(jī)通過(guò)對(duì)流延膜照射紅外線，從而促進(jìn)流延膜中包含的溶劑的揮發(fā)。

溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)也可以是從設(shè)置在遮風(fēng)板的下端部的側(cè)面的供給口進(jìn)行供給的機(jī)構(gòu)。

溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)也可以是從供給口朝向下方的支撐體垂直地供給包含使聚合物溶解的溶劑的溶劑氣體的機(jī)構(gòu)。

在將溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)所抽吸的溶劑氣體即抽吸氣體的濃度設(shè)為a，將溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)所供給的溶劑氣體即供給氣體的濃度設(shè)為b時(shí)，優(yōu)選滿足a/5≤b。

在將溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)所抽吸的溶劑氣體即抽吸氣體的濃度設(shè)為a，將溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)所供給的溶劑氣體即供給氣體的濃度設(shè)為b時(shí)，優(yōu)選滿足b≤a。

優(yōu)選具備測(cè)定溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)所抽吸的溶劑氣體的濃度的傳感器、和基于傳感器的測(cè)定結(jié)果而控制從溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)供給的溶劑氣體的濃度的供給氣體濃度控制機(jī)構(gòu)。

也可以從溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)供給溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)所抽吸的溶劑氣體。

通過(guò)將流延膜從支撐體上剝?nèi)《圃斓哪さ暮穸纫部梢詾?0μm以下。

本發(fā)明的溶液制膜方法具有流延膜形成步驟、移送步驟和剝?nèi)〔襟E。流延膜形成步驟是將聚合物溶解于溶劑中而得到的聚合物溶液流延到移動(dòng)的支撐體上而形成流延膜。移送步驟是將流延膜移送至從支撐體上剝?nèi)〉膭內(nèi)∥恢谩內(nèi)〔襟E是在剝?nèi)∥恢脤⒘餮幽闹误w上剝?nèi)?。在移送步驟中，通過(guò)沿著流延膜的側(cè)緣而設(shè)置的一對(duì)遮風(fēng)板，將支撐體的上方的空間分隔成流延膜所流延的內(nèi)側(cè)區(qū)域和流延膜的外側(cè)的外側(cè)區(qū)域，從配置在內(nèi)側(cè)區(qū)域內(nèi)的吸氣口進(jìn)行吸氣，對(duì)包含從流延膜揮發(fā)的溶劑的溶劑氣體進(jìn)行抽吸，從支撐體與遮風(fēng)板之間的間隙供給包含使聚合物溶解的溶劑的溶劑氣體。

根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)從流延膜的上方的區(qū)域(內(nèi)側(cè)區(qū)域)抽吸溶劑氣體，促進(jìn)流延膜的干燥，能夠抑制生產(chǎn)效率的降低。此外，根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)從伴隨溶劑氣體的抽吸而新的空氣流入的部位、即遮風(fēng)板與支撐體的間隙供給溶劑氣體，能夠使流延膜的表面附近的各位置處的溶劑濃度勻稱化(能夠防止流延膜的側(cè)緣部附近的溶劑濃度相對(duì)于流延膜的中央部附近的溶劑濃度降低)，還能夠防止厚度不均。

附圖說(shuō)明

上述目的、優(yōu)點(diǎn)通過(guò)參照所附的附圖，并閱讀優(yōu)選的實(shí)施例的詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以容易地理解。

圖1是溶液制膜裝置的概略圖。

圖2是表示溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的說(shuō)明圖。

圖3是表示溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的說(shuō)明圖。

具體實(shí)施方式

如圖1中所示的那樣，本發(fā)明的溶液制膜裝置10是用于通過(guò)將膠漿12流延到支撐體上而形成流延膜14，使流延膜14干燥后從支撐體上剝?nèi)?lái)制造膜16的裝置。溶液制膜裝置10從上游側(cè)起依次設(shè)置有流延裝置20、拉幅機(jī)22、輥干燥裝置24、切條機(jī)26、卷取裝置28。另外，本實(shí)施方式中，通過(guò)溶液制膜裝置10，制造厚度為10μm以上且40μm以下的膜16。

膠漿12是聚合物溶解于溶劑中而得到的聚合物溶液，本實(shí)施方式中，作為聚合物，使用三醋酸纖維素(tac，triacetylcellulose)。在聚合物溶液中，作為成為膜16的固體成分，也可以包含除聚合物以外的固體成分。作為除聚合物以外的固體成分，例如有增塑劑、紫外線吸收劑、延遲控制劑、微粒等，本實(shí)施方式中包含增塑劑。微粒是為了對(duì)膜16賦予滑動(dòng)性和/或耐擦傷性、或者抑制重疊膜16時(shí)的粘附等目的而使用的所謂的消光劑。在將固體成分的質(zhì)量設(shè)為mp，將溶劑的質(zhì)量設(shè)為ms時(shí)，膠漿12中的固體成分以mp/(mp+ms)×100所表示的百分率計(jì)，設(shè)定為10％以上且23％以下的范圍內(nèi)，本實(shí)施方式中設(shè)定為19％。

作為溶劑，本實(shí)施方式中，使用二氯甲烷與甲醇的混合物。溶液制膜中使用的溶劑通常使用在氣體狀態(tài)下比氣氛(例如空氣)重的溶劑，本實(shí)施方式的溶劑也在氣體狀態(tài)下比氣氛(例如空氣)重。溶劑并不限于本實(shí)施方式的例子，例如可以使用丁醇、乙醇、丙醇等，它們也可以作為混合物而將2種以上并用。

另外，本說(shuō)明書(shū)中，膜16(或流延膜14)的溶劑含有率(單位：％)為干量基準(zhǔn)的值。具體而言，在將區(qū)域a中的溶劑的質(zhì)量設(shè)為ms，將區(qū)域a中的膜16(或流延膜14)的質(zhì)量設(shè)為mf時(shí)，任意的區(qū)域a中的膜16(或流延膜14)的溶劑含有率(單位：％)為以{ms/(mf-ms)}×100表示的百分率。

流延裝置20具備形成為環(huán)狀的無(wú)接頭的流延支撐體即帶30、和沿周向旋轉(zhuǎn)的第1輥32及第2輥34。帶30被卷掛到第1輥32和第2輥34的周面上。第1、第2輥32、34中的至少一個(gè)為接受來(lái)自驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力的供給而旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥，本實(shí)施方式中，第1輥32和第2輥34這兩者被設(shè)為驅(qū)動(dòng)輥。通過(guò)該驅(qū)動(dòng)輥沿周向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而與周面相接的帶30沿長(zhǎng)度方向進(jìn)行移動(dòng)、并循環(huán)。

在帶30的上方，設(shè)置有將膠漿12流出的流延模36。通過(guò)使膠漿12從流延模36連續(xù)地流出到移動(dòng)的帶30上，從而膠漿12在帶30上被流延，由此形成流延膜14。另外，以下將膠漿12開(kāi)始與帶30接觸的位置稱為流延位置pc。

本實(shí)施方式中，將流延模36設(shè)置在第1輥32上的帶30的上方，流延位置pc成為第1輥32上。但是，流延模36的位置并不限定于此。例如，也可以在第1輥32與第2輥34之間的帶30的上方設(shè)置流延模36。這種情況下，優(yōu)選在通過(guò)配置在第1輥32與第2輥34之間的帶30的下方的輥38而被支撐的帶30的上方配置流延模36。

第1輥32和第2輥34分別具備控制周面溫度的溫度控制器(未圖示)。例如，第1輥32通過(guò)溫度控制器按照周面溫度成為規(guī)定的范圍的方式被冷卻。通過(guò)將第1輥32冷卻，從而帶30在每1周被冷卻。由此，即使連續(xù)移動(dòng)并通過(guò)后述的吸氣干燥單元40和送風(fēng)干燥單元42被持續(xù)加熱，也可以抑制帶30、特別是兩側(cè)部的溫度上升。此外，第2輥34通過(guò)溫度控制器按照周面溫度成為規(guī)定的范圍的方式被加熱。通過(guò)將第2輥34加熱，從而流延膜14更有效地進(jìn)行干燥。

另外，第1輥32的周面溫度優(yōu)選設(shè)定為3℃以上且30℃以下的范圍，更優(yōu)選設(shè)定為5℃以上且25℃以下的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)定為8℃以上且20℃以下的范圍。此外，第2輥34的周面溫度優(yōu)選設(shè)定為20℃以上且50℃以下的范圍，更優(yōu)選設(shè)定為25℃以上且45℃以下的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)定為30℃以上且40℃以下的范圍。

關(guān)于從流延模36至帶30的膠漿12、即所謂的流延珠，在帶30的移動(dòng)方向的上游側(cè)，設(shè)置有減壓腔室(未圖示)。減壓腔室將流延珠的上游側(cè)區(qū)域(圖1中為流延珠的右側(cè)的區(qū)域)的氣氛進(jìn)行抽吸，由此將該區(qū)域減壓。由此，由于流延珠被上游側(cè)牽引，所以即使流延膜14向下游側(cè)移動(dòng)，流延位置pc也不會(huì)發(fā)生變化而變得恒定(流延位置pc穩(wěn)定)。

帶30上的流延膜14經(jīng)由后述的吸氣干燥單元40和送風(fēng)干燥單元42，被凝固(凝膠化)至能夠向拉幅機(jī)22搬送的程度為止，然后以包含溶劑的狀態(tài)從帶30上剝?nèi)?，通過(guò)該剝?nèi)《蔀槟?6。剝?nèi)?yōu)選在溶劑含有率成為70％以下后進(jìn)行，更優(yōu)選在10％以上且70％以下的范圍內(nèi)、進(jìn)一步優(yōu)選在20％以上且50％以下的范圍內(nèi)進(jìn)行。

在剝?nèi)r(shí)，以剝?nèi)≥?4將膜16進(jìn)行支撐，將流延膜14從帶30上被剝離的剝?nèi)∥恢胮p保持恒定。剝?nèi)≥?4也可以是具備驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而沿周向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥。另外，剝?nèi)≡诘?輥32上的帶30上進(jìn)行。若帶30循環(huán)而從剝?nèi)∥恢胮p返回至流延位置pc，則在流延位置pc處，新的膠漿12再次被流延。

在流延位置pc與剝?nèi)∥恢胮p之間，設(shè)置有吸氣干燥單元40和送風(fēng)干燥單元42。吸氣干燥單元40被配置在從流延位置pc朝向第2輥34的帶30的上方，通過(guò)將包含從流延膜14揮發(fā)(蒸發(fā))的溶劑的溶劑氣體進(jìn)行抽吸而促進(jìn)流延膜14的干燥。吸氣干燥單元40優(yōu)選設(shè)置在流延膜14的溶劑含有率成為200％以上的區(qū)域的上方，本實(shí)施方式中，通過(guò)吸氣干燥單元40，使流延膜14干燥至溶劑含有率成為300％為止。即，本實(shí)施方式中，在溶劑含有率成為300％以上的區(qū)域的上方配置有吸氣干燥單元40。另外，吸氣干燥單元40的詳細(xì)情況利用別的附圖在后面敘述。

送風(fēng)干燥單元42被設(shè)置在吸氣干燥單元40的下游側(cè)，從上游側(cè)起以沿著帶30的移動(dòng)方向排列的狀態(tài)依次配置有第1送風(fēng)部46、排氣部48、第2送風(fēng)部50。第1送風(fēng)部46被配置在從第1輥32朝向第2輥34的帶30的移動(dòng)路徑附近，排氣部48和第2送風(fēng)部50被配置在從第2輥34朝向第1輥32的帶30的移動(dòng)路徑附近。

第1送風(fēng)部46和第2送風(fēng)部50將干燥后的氣體流出，排氣部48將氣體進(jìn)行抽吸、排氣。送風(fēng)干燥單元42具備控制器52，控制器52對(duì)第1送風(fēng)部46和第2送風(fēng)部50輸送干燥后的氣體(以下，稱為干燥氣體)例如空氣，并獨(dú)立地調(diào)節(jié)該氣體的溫度、濕度、來(lái)自第1送風(fēng)部46和第2送風(fēng)部50的流量、排氣部48中的氣體的抽吸力。本實(shí)施方式中，來(lái)自第1送風(fēng)部46和第2送風(fēng)部50的干燥氣體通過(guò)控制器52被加熱至大概100℃。通過(guò)將這樣加熱后的氣體作為溫風(fēng)流動(dòng)到流延膜14上，從而將流延膜14進(jìn)行加熱，促進(jìn)干燥。干燥氣體的溫度優(yōu)選為50℃以上且140℃以下的范圍內(nèi)。

第1送風(fēng)部46按照流出干燥氣體的流出口46a朝向帶30的移動(dòng)方向的方式配置，由此，對(duì)搬送的流延膜14以順風(fēng)供給干燥氣體。該干燥氣體成為相對(duì)于流延膜14的膜面平行的流體。第2送風(fēng)部50按照流出干燥氣體的流出口50a朝向與帶30的移動(dòng)方向相反一側(cè)的方式配置，由此，對(duì)搬送的流延膜14以逆風(fēng)供給干燥氣體。該干燥氣體也成為相對(duì)于流延膜14的膜面平行的流體。排氣部48按照抽吸氣體的吸氣口48a朝向所通過(guò)的流延膜14的方式配置，在第1送風(fēng)部46與第2送風(fēng)部50之間抽吸氣體。流出口46a、流出口50a、吸氣口48a為沿帶30的寬度方向(圖1的紙面深度方向)延長(zhǎng)的狹縫狀的開(kāi)口。

另外，本實(shí)施方式中，通過(guò)控制器52分別獨(dú)立地控制第1送風(fēng)部46和排氣部48和第2送風(fēng)部50，但并不限于該方式。例如，也可以在第1送風(fēng)部46和排氣部48和第2送風(fēng)部50上分別設(shè)置控制器(無(wú)圖示)，通過(guò)各控制器來(lái)控制第1送風(fēng)部46和排氣部48和第2送風(fēng)部50。

這樣，通過(guò)吸氣干燥單元40和送風(fēng)干燥單元42而干燥的流延膜14通過(guò)剝?nèi)≥?4從帶30上剝?nèi)《蔀槟?6，并被引導(dǎo)至拉幅機(jī)22中。也可以在流延裝置20與拉幅機(jī)22之間的搬送路徑中配置送風(fēng)裝置(無(wú)圖示)。通過(guò)來(lái)自該送風(fēng)裝置的送風(fēng)，膜16的干燥得到促進(jìn)。

拉幅機(jī)22是一邊將膜16搬送一邊促進(jìn)干燥的第1膜干燥裝置。本實(shí)施方式的拉幅機(jī)22還進(jìn)行拉伸處理，即，通過(guò)一邊將膜16的各側(cè)部以作為保持部件的夾子22a保持而沿長(zhǎng)度方向進(jìn)行搬送，一邊賦予寬度方向上的張力，從而將膜16沿寬度方向進(jìn)行拉伸。在拉幅機(jī)22中，從上游側(cè)起依次形成有預(yù)熱區(qū)域、拉伸區(qū)域、及松弛區(qū)域。另外，也可以沒(méi)有松弛區(qū)域。

拉幅機(jī)22具備1對(duì)軌道(無(wú)圖示)及鏈條(無(wú)圖示)。軌道被設(shè)置在膜16的搬送路徑的兩側(cè)，1對(duì)軌道以規(guī)定的間隔配置成分離的狀態(tài)。該軌道間隔在預(yù)熱區(qū)域中恒定，在拉伸區(qū)域中隨著朝向下游而逐漸變寬，在松弛區(qū)域中恒定。另外，松弛區(qū)域的軌道間隔也可以隨著朝向下游而逐漸變窄。

鏈條被架設(shè)在原動(dòng)鏈輪(無(wú)圖示)及從動(dòng)鏈輪(無(wú)圖示)上，沿著軌道而移動(dòng)自如地安裝。多個(gè)夾子22a以規(guī)定的間隔安裝于鏈條上。通過(guò)原動(dòng)鏈輪的旋轉(zhuǎn)，夾子22a沿著軌道而循環(huán)移動(dòng)。夾子22a在拉幅機(jī)22的入口附近，開(kāi)始進(jìn)行對(duì)被引導(dǎo)來(lái)的膜16的保持，朝向出口移動(dòng)，在出口附近解除保持。解除保持后的夾子22a再次移動(dòng)至入口附近，重新保持被引導(dǎo)來(lái)的膜16。

此外，拉幅機(jī)22具備送風(fēng)機(jī)22b。送風(fēng)機(jī)22b被設(shè)置在膜16的搬送路徑的上方。送風(fēng)機(jī)22b具有將干燥氣體(例如干燥后的空氣)送出的狹縫(無(wú)圖示)，干燥氣體由送風(fēng)部(無(wú)圖示)供給。送風(fēng)部將調(diào)整為規(guī)定的溫度和/或濕度的干燥風(fēng)送至送風(fēng)機(jī)22b中。送風(fēng)機(jī)22b以狹縫與膜16的搬送路徑相對(duì)的狀態(tài)配置。各狹縫為沿膜16的寬度方向伸長(zhǎng)的形狀，在搬送方向上彼此空出規(guī)定的間隔而形成。另外，也可以將具有同樣的結(jié)構(gòu)的送風(fēng)機(jī)設(shè)置在膜16的搬送路徑的下方，也可以設(shè)置在膜16的搬送路徑的上方和下方這兩者上。

輥干燥裝置24為用于使膜16進(jìn)一步干燥的第2干燥裝置。輥干燥裝置24的內(nèi)部的氣氛的溫度和/或濕度等通過(guò)空調(diào)機(jī)(無(wú)圖示)而調(diào)節(jié)。在輥干燥裝置24中，膜16被卷掛在許多的輥24a上而被搬送。

切條機(jī)26是用于將膜16的兩側(cè)部切除而制成目標(biāo)寬度的設(shè)備。在該切除中，將膜16的包含由夾子22a產(chǎn)生的保持痕的兩側(cè)部切除。卷取裝置28將膜16卷到卷芯上而制成卷狀。

以下，對(duì)吸氣干燥單元40，參照?qǐng)D2和圖3更詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。如圖2中所示的那樣，吸氣干燥單元40具備一對(duì)曲徑密封墊片60、62和干燥箱64，它們被配置在流延位置pc的下游側(cè)。一對(duì)曲徑密封墊片60、62被配置在流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)上游側(cè)和下游側(cè)。干燥箱64被配置在夾在曲徑密封墊片60與曲徑密封墊片62之間的位置，將流延膜14從上方覆蓋。

曲徑密封墊片60、62沿流延膜14的寬度方向延長(zhǎng)，具備以相對(duì)于帶30垂直的立起姿態(tài)配置的多個(gè)密封板66，這些多個(gè)密封板66是沿著流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)排列的密封板。通過(guò)這些曲徑密封墊片60、62，可以防止外界空氣從流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)上游側(cè)及下游側(cè)流入至干燥箱64內(nèi)。

如圖3中所示的那樣，干燥箱64由在流延膜14的寬度方向上相對(duì)的一對(duì)遮風(fēng)板68、70、和以將遮風(fēng)板68、70的上端部連接的狀態(tài)設(shè)置的蓋板(蓋部件)72構(gòu)成。遮風(fēng)板68、70沿著流延膜14的側(cè)緣在流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)上延長(zhǎng)(延伸的方式)地形成，以相對(duì)于帶30垂直的立起姿態(tài)配置。通過(guò)該遮風(fēng)板68、70，帶30的上方的空間被分隔成流延膜14所流延的內(nèi)側(cè)區(qū)域74和流延膜14的外側(cè)的外側(cè)區(qū)域76(參照?qǐng)D3)。此外，通過(guò)蓋板72，內(nèi)側(cè)區(qū)域74的上端部被閉端。這樣，通過(guò)干燥箱64，流延膜14的上方的空間(內(nèi)側(cè)區(qū)域74)被覆蓋。

此外，在吸氣干燥單元40中，設(shè)置有溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80(參照?qǐng)D2)。溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80具備紅外線加熱器(紅外線照射機(jī))82、吸氣管道84、吸氣風(fēng)扇86、吸氣控制器88和冷凝器90。紅外線加熱器82例如在干燥箱64的蓋板72的內(nèi)側(cè)部分以矩陣狀配置，通過(guò)朝向流延膜14照射紅外線，將流延膜14進(jìn)行加熱，從而促進(jìn)流延膜14的干燥。

吸氣管道84以貫通蓋板72的狀態(tài)形成，設(shè)置在一端部的吸氣口84a配置在內(nèi)側(cè)區(qū)域74內(nèi)，另一端部與冷凝器90連接。本實(shí)施方式中，將吸氣口84a形成為沿流延膜14的寬度方向延長(zhǎng)的狹縫狀，配置在干燥箱64的蓋板72中的流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)中央部。另外，由于吸氣口84a的配置位置和形狀能夠自由地設(shè)定，所以例如也可以將沿流延膜14的搬送方向延長(zhǎng)的狹縫狀的開(kāi)口設(shè)置在蓋板72中的流延膜14的寬度方向中央部。

吸氣風(fēng)扇86配置在吸氣管道84的內(nèi)部，基于吸氣控制器88的控制而旋轉(zhuǎn)。通過(guò)該旋轉(zhuǎn)，內(nèi)側(cè)區(qū)域74的氣氛(即包含從流延膜14揮發(fā)(蒸發(fā))的溶劑的溶劑氣體)從吸氣口84a被抽吸，介由吸氣管道84送向冷凝器90。吸氣控制器88通過(guò)控制對(duì)吸氣風(fēng)扇86供給的驅(qū)動(dòng)力(電力等)，來(lái)控制溶劑氣體的抽吸力(每單位時(shí)間的抽吸量)。冷凝器90例如通過(guò)將溶劑氣體冷卻，從而將溶劑氣體中的溶劑液化。液化后的溶劑被回收，作為膠漿12再利用、或送向后述的溶劑氣體生成裝置102，用于溶劑氣體的生成。

這樣，通過(guò)從內(nèi)側(cè)區(qū)域74抽吸溶劑氣體，能夠高效地促進(jìn)流延膜14的干燥。另一方面，當(dāng)僅抽吸溶劑氣體時(shí)，與內(nèi)部區(qū)域74相比溶劑氣體的濃度較低的(例如溶劑氣體的濃度大致為0％)外界空氣(新鮮風(fēng))從外側(cè)區(qū)域76流入通過(guò)抽吸而被減壓的內(nèi)側(cè)區(qū)域74中。在本實(shí)施方式的情況下，僅抽吸溶劑氣體時(shí)，新鮮風(fēng)從遮風(fēng)板68、70與帶30之間的間隙、即流延膜14的兩側(cè)部流入內(nèi)側(cè)區(qū)域74中。

于是，存在以下問(wèn)題：在像這樣流入內(nèi)側(cè)區(qū)域74中的新鮮風(fēng)的影響下，內(nèi)側(cè)區(qū)域74內(nèi)的溶劑氣體的濃度產(chǎn)生不均，流延膜14的各位置處的干燥的進(jìn)行程度不同，在流延膜14和/或膜16中產(chǎn)生厚度不均。在本實(shí)施方式的情況下，當(dāng)僅抽吸溶劑氣體時(shí)，起因于在新鮮風(fēng)所流入的流延膜14的兩側(cè)部與新鮮風(fēng)沒(méi)有流入的中央部的溶劑氣體的濃度不同，從而在流延膜14(膜16)中產(chǎn)生厚度不均。

為了防止由這樣的新鮮風(fēng)的影響而引起的厚度不均，在吸氣干燥單元40中設(shè)置有溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100。溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100具備溶劑氣體生成裝置102、溶劑氣體供給管道104、送氣風(fēng)扇106和供給氣體控制器(供給氣體濃度控制機(jī)構(gòu))108。

溶劑氣體生成裝置102例如通過(guò)將溶劑噴霧、或者通過(guò)將溶劑加熱而使其揮發(fā)(蒸發(fā))等，生成包含溶劑的溶劑氣體。另外，溶劑氣體生成裝置102中使用的溶劑可以為與膠漿12的溶劑同一組成的溶劑，也可以為組成與膠漿12的溶劑不同的溶劑。此外，也可以將通過(guò)上述的冷凝器90回收的溶劑在溶劑氣體生成裝置102中使用。

溶劑氣體供給管道104的一端與溶劑氣體生成裝置102連接，另一端與一對(duì)供給箱110、112連接。供給箱110、112在流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)上延長(zhǎng)(延長(zhǎng)的方式)地形成，配置在遮風(fēng)板68、70的外側(cè)。在供給箱110的下表面的遮風(fēng)板68側(cè)，形成有沿流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)延長(zhǎng)的狹縫狀的供給口110a。同樣地，在供給箱112的下表面的遮風(fēng)板70側(cè)，形成有沿流延膜14的長(zhǎng)度方向(搬送方向)延長(zhǎng)的狹縫狀的供給口112a。在溶劑氣體供給管道104的內(nèi)部，設(shè)置有送氣風(fēng)扇106，通過(guò)溶劑氣體生成裝置102生成的溶劑氣體通過(guò)送氣風(fēng)扇106被送至供給箱110、112，從供給口110a、112a朝向下方的帶30垂直地供給。

另外，供給口110a、112a也可以制成由多個(gè)微細(xì)的孔的集合構(gòu)成的多孔質(zhì)狀的開(kāi)口。此外，以從供給口110a、112a向下方垂直地供給溶劑氣體的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以制成從供給口110a、112a朝向內(nèi)側(cè)(內(nèi)側(cè)區(qū)域74)和/或外側(cè)(外側(cè)區(qū)域76)供給溶劑氣體的構(gòu)成。

通過(guò)像這樣供給溶劑氣體，從而所供給的溶劑氣體作為覆蓋遮風(fēng)板68、70與帶30之間的間隙的空氣幕發(fā)揮功能，能夠防止新鮮風(fēng)向內(nèi)側(cè)區(qū)域74流入。此外，通過(guò)溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80而內(nèi)側(cè)區(qū)域74的溶劑氣體被抽吸，即使通過(guò)該抽吸而使得內(nèi)側(cè)區(qū)域74被減壓，從遮風(fēng)板68、70與帶30之間的間隙流入至內(nèi)側(cè)區(qū)域74的也不是新鮮風(fēng)，而是從供給口110a、112a供給的溶劑氣體。由此，能夠防止上述的厚度不均。

供給氣體控制器108是為了控制從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的量和濃度、更可靠地防止厚度不均而設(shè)置的。在供給氣體控制器108上，連接有上述的送氣風(fēng)扇106，供給氣體控制器108通過(guò)控制對(duì)送氣風(fēng)扇106供給的驅(qū)動(dòng)力(電力等)，來(lái)控制溶劑氣體的供給量(每單位時(shí)間的供給量)。另外，溶劑氣體的供給量?jī)?yōu)選為溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80所抽吸的溶劑氣體的抽吸量以上。

此外，在供給氣體控制器108上，除了上述的溶劑氣體生成裝置102以外，還連接有傳感器114。傳感器114配置在內(nèi)側(cè)區(qū)域74內(nèi)，檢測(cè)內(nèi)側(cè)區(qū)域74內(nèi)的溶劑濃度、即通過(guò)溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80而抽吸的溶劑氣體的濃度。本實(shí)施方式中，在干燥箱64的上游側(cè)端部且流延膜14的寬度方向中央部，在距離帶30為約2cm的位置(帶30的約2cm上方)配置有傳感器114。另外，傳感器114的配置位置并不限定于此，只要是內(nèi)側(cè)區(qū)域74內(nèi)，則可以自由地設(shè)定，但優(yōu)選盡量配置在上游側(cè)。此外，優(yōu)選配置在流延膜14的寬度方向中央部。

供給氣體控制器108基于利用傳感器114檢測(cè)的溶劑氣體濃度、以及通過(guò)送氣風(fēng)扇106供給的溶劑氣體的供給量，控制溶劑氣體生成裝置102(控制溶劑的噴霧量和/或加熱溫度(揮發(fā)(蒸發(fā))量)等)，并控制從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的濃度。

另外，從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的濃度越稀，防止厚度不均的效果越降低。因此，在將溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80所抽吸的溶劑氣體(以下，有時(shí)稱為抽吸氣體)的濃度設(shè)為“a”，將從供給口110a、112a供給的溶劑氣體(以下，有時(shí)稱為供給氣體)的濃度設(shè)為“b”時(shí)，優(yōu)選滿足“a/5≤b”，即，將供給氣體的濃度b設(shè)定為抽吸氣體的濃度a的1/5以上。另外，上述的濃度a和濃度b均為體積濃度。

此外，從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的濃度越濃，流延膜14的干燥越難以促進(jìn)。因此，優(yōu)選滿足“b≤a”，即，將供給氣體的濃度b設(shè)定為抽吸氣體的濃度a以下。

如以上那樣，在溶液制膜裝置10中，經(jīng)由以下步驟來(lái)制造膜16：通過(guò)將膠漿12從流延模36流延到帶30上，形成流延膜14的步驟(流延膜形成步驟)；通過(guò)使流延膜14經(jīng)由吸氣干燥單元40和送風(fēng)干燥單元42而一邊干燥一邊搬送(移送)至剝?nèi)∥恢胮p的步驟(移送步驟)；在剝?nèi)∥恢胮p處將流延膜14從帶30上剝?nèi)〉牟襟E(剝?nèi)〔襟E)。

并且，在移送步驟中，一邊從被干燥箱64覆蓋的內(nèi)側(cè)區(qū)域74抽吸溶劑氣體而促進(jìn)流延膜14的干燥，一邊對(duì)干燥箱64(遮風(fēng)板68、70)與帶30的間隙供給溶劑氣體來(lái)阻止新鮮風(fēng)流入內(nèi)側(cè)區(qū)域74中。這樣操作來(lái)防止厚度不均的發(fā)生。

另外，在上述實(shí)施方式中，以獨(dú)立設(shè)置溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80和溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100、且獨(dú)立地進(jìn)行溶劑氣體的抽吸和供給的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以制成將溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80和溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100中的至少一部分連結(jié)、并連動(dòng)地進(jìn)行溶劑氣體的抽吸和供給的構(gòu)成。

具體而言，也可以制成以下構(gòu)成：將吸氣管道84(參照?qǐng)D2)和溶劑氣體供給管道104(參照?qǐng)D3)連接，此外，使吸氣管道84分支，將分支的管道中的至少1個(gè)與溶劑氣體供給管道104連接，從溶劑氣體供給管道104供給吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體。這種情況下，優(yōu)選設(shè)置調(diào)整吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體的濃度的濃度調(diào)整機(jī)構(gòu)。濃度調(diào)整機(jī)構(gòu)在減小溶劑氣體的濃度的情況下，例如，將溶劑氣體冷卻而將溶劑的一部分液化，此外，使溶劑濃度比吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體低的氣體(例如新鮮風(fēng))與吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體合流。此外，濃度調(diào)整機(jī)構(gòu)在增大溶劑氣體的濃度的情況下，例如，通過(guò)將溶劑噴霧或加熱而生成濃度比吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體高的溶劑氣體，與吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體合流。

這樣，由于通過(guò)將溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80和溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100中的至少一部分連結(jié)，例如能夠使吸氣風(fēng)扇86(參照?qǐng)D2)和/或送氣風(fēng)扇106(參照?qǐng)D3)一體化(廢除其中一個(gè))、或者將冷凝器90和/或溶劑氣體生成裝置102作為上述的濃度調(diào)整機(jī)構(gòu)而一體化，所以能夠?qū)崿F(xiàn)溶液制膜裝置的小型化和/或成本降低。

此外，在上述實(shí)施方式中，作為膠漿12的聚合物，使用了三醋酸纖維素(tac)，但也可以使用其他的纖維素酰化物來(lái)代替tac。纖維素?；锏孽；梢詢H為1種，或者也可以具有2種以上的?；?。在?；鶠?種以上時(shí)，優(yōu)選其中一個(gè)為乙?；?。優(yōu)選將纖維素的羥基被羧酸酯化的比例、即?；娜〈葷M足下述式(i)～(iii)的全部。另外，在以下的式(i)～(iii)中，a及b表示?；娜〈龋琣為乙?；娜〈龋送鈈為碳原子數(shù)為3～22的?；娜〈?。

(i)2.0≤a+b≤3.0

(ii)1.0≤a≤3.0

(iii)0≤b≤2.0

酰基的全取代度a+b更優(yōu)選為2.20以上且2.90以下，特別優(yōu)選為2.40以上且2.88以下。此外，碳原子數(shù)為3～22的?；娜〈萣更優(yōu)選為0.30以上，特別優(yōu)選為0.5以上。

此外，膠漿12的聚合物并不限于纖維素?；铩＠?，也可以是丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)狀烯烴樹(shù)脂(例如jsr(株)制的arton(注冊(cè)商標(biāo)))等。

以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例、及用于與實(shí)施例比較的比較例進(jìn)行說(shuō)明。

在全部的實(shí)施例及比較例中，將成為膜16的固體成分溶解到作為溶劑的第1成分的二氯甲烷92質(zhì)量份與作為溶劑的第2成分的甲醇8質(zhì)量份的混合物中，制作固體成分為19.0質(zhì)量％的膠漿12。固體成分為以下的tac和第1增塑劑和第2增塑劑。第1增塑劑為磷酸三苯酯，第2增塑劑為聯(lián)苯基二苯基磷酸酯。制作的膠漿12在靜置脫泡后，通過(guò)送液泵經(jīng)由過(guò)濾器而除去異物，將異物除去后的膠漿12供于流延。

tac100質(zhì)量份

第1增塑劑7質(zhì)量份

第2增塑劑5質(zhì)量份

使用該膠漿12，制造厚度為40μm的膜16。在膜16的制造中，使用溶液制膜裝置10(參照?qǐng)D1)，帶30的移動(dòng)速度設(shè)定為50m/分鐘。

并且，在實(shí)施例中，使溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100(參照?qǐng)D3)工作而制造膜16。即，在實(shí)施例中，以即使通過(guò)利用溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80(參照?qǐng)D2)的抽吸而干燥箱64內(nèi)被減壓、新鮮風(fēng)也不會(huì)從遮風(fēng)板68、70與帶30的間隙流入干燥箱64內(nèi)的構(gòu)成來(lái)制造膜16。

另一方面，在比較例中，使溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100停止來(lái)制造膜16。即，在比較例中，以在通過(guò)利用溶劑氣體抽吸機(jī)構(gòu)80的抽吸而干燥箱64內(nèi)被減壓的情況下、新鮮風(fēng)從遮風(fēng)板68、70與帶30的間隙流入至干燥箱64內(nèi)的構(gòu)成來(lái)制造膜16。

各實(shí)施例及各比較例是變更抽吸氣體濃度a(為抽吸氣體中的溶劑氣體的濃度，由傳感器114測(cè)定的濃度)、供給氣體濃度b(供給氣體中的溶劑氣體的濃度)、膜上風(fēng)速(為膜上的氣體的風(fēng)速，基于抽吸氣體的抽吸量而發(fā)生變化)來(lái)進(jìn)行膜16的制造的例子。各實(shí)施例及各比較例各自的抽吸氣體濃度a、供給氣體濃度b、氣體濃度比率(a/b)、膜上風(fēng)速如表1、表2中所示的那樣。

[表1]

[表2]

評(píng)價(jià)了以表1、表2中所示的各條件制造的各實(shí)施例及各比較例的膜16的厚度不均。評(píng)價(jià)結(jié)果同樣示于表1、表2中。評(píng)價(jià)設(shè)為“a”、“b”、“c”的3個(gè)等級(jí)。評(píng)價(jià)a為最高的評(píng)價(jià)，評(píng)價(jià)c為最低的評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)以以往的構(gòu)成、即使溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100停止而制造膜16的比較例1-4作為基準(zhǔn)而設(shè)為評(píng)價(jià)c，與以往相比厚度不均得到改善的情況設(shè)為評(píng)價(jià)b，改善更加推進(jìn)而得到基本沒(méi)有厚度不均的平滑的膜16的情況設(shè)為評(píng)價(jià)a。

具體而言，通過(guò)從膜的背面?zhèn)日丈涔?，并以目視觀察透射光的濃淡差來(lái)進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，濃淡差是作為微小的差異而被確認(rèn)(觀察)的，如上述那樣，以比較例1-4中見(jiàn)到的濃淡差作為基準(zhǔn)而設(shè)為評(píng)價(jià)c。此外，在與比較例1-4相比濃淡差變小的情況下，設(shè)為評(píng)價(jià)b。進(jìn)而，在通過(guò)目視沒(méi)有見(jiàn)到濃淡差的情況下，作為沒(méi)有厚度不均的膜而設(shè)為評(píng)價(jià)a。

如表1、表2中所示的那樣，能夠確認(rèn)使溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100工作的各實(shí)施例與沒(méi)有使溶劑氣體供給機(jī)構(gòu)100工作的比較例相比，能夠防止厚度不均。此外，由實(shí)施例1a～1d、2a～2e、3a～3e、4a、4b與除它們以外的實(shí)施例的比較，能夠確認(rèn)通過(guò)滿足“a/5≤b”、即將供給氣體的濃度b設(shè)定為抽吸氣體的濃度a的1/5以上，更加能夠防止厚度不均。

另外，將制造的膜16的厚度由上述的40μm變更為25μm，進(jìn)行同樣的驗(yàn)證。該情況下結(jié)果也與上述的40μm的情況同樣(參照表1、表2)。由此，能夠確認(rèn)即使是膜16的厚度為25μm的情況下，本發(fā)明也是有效的。