本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于樹脂成形裝置的有效的技術(shù)。

背景技術(shù)：

在日本特開2010－179507號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中，記載有一種在對(duì)模具內(nèi)部進(jìn)行減壓之后對(duì)模腔凹部內(nèi)的樹脂進(jìn)行壓縮從而進(jìn)行成形的技術(shù)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010－179507號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的問題

對(duì)于專利文獻(xiàn)1所記載的那樣的在減壓后的模具內(nèi)部進(jìn)行的樹脂成形，通過利用吸引通路對(duì)由阻擋模塊圍成的空間進(jìn)行吸引，從而形成減壓空間。在該情況下，以往，由于裝置結(jié)構(gòu)的空間上的限制、為了實(shí)現(xiàn)裝置的低成本化那樣的目的，僅設(shè)置1個(gè)或幾個(gè)吸引通路，通過自該部位進(jìn)行吸引而形成了減壓空間。然而，已明確這樣的問題：由于工件w的大尺寸化等而產(chǎn)生在由阻擋模塊圍成的空間內(nèi)減壓狀態(tài)未必均勻的情況，導(dǎo)致樹脂的填充狀態(tài)因工件的位置而產(chǎn)生偏差。

例如，在對(duì)多個(gè)電子零件樹脂密封時(shí)的樹脂流中，根據(jù)該電子零件的配置情況(有無電子零件)，有時(shí)產(chǎn)生樹脂容易流動(dòng)(即流動(dòng)阻力較低)的部位和難以流動(dòng)(流動(dòng)阻力較高)的部位。因此，在模腔凹部內(nèi)產(chǎn)生先被填充的部位和后被填充的部位，根據(jù)情況會(huì)產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而有可能使成形品的品質(zhì)降低。

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠提高成形品的品質(zhì)的技術(shù)。

根據(jù)本說明書的記載和附圖，會(huì)清楚本發(fā)明的上述目的和其他目的以及新的特征。

用于解決問題的方案

如下那樣簡單說明在本申請(qǐng)中公開的發(fā)明中的、代表性的技術(shù)方案的概要。本發(fā)明的一技術(shù)方案是一種樹脂成形裝置，其特征在于，該樹脂成形裝置包括：一對(duì)模具，該一對(duì)模具具有模腔凹部，能夠進(jìn)行開模閉模；以及壓力調(diào)節(jié)部，其用于對(duì)包括所述模腔凹部在內(nèi)的模具內(nèi)部的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述一對(duì)模具具有將模具外部和所述模具內(nèi)部相連通的多個(gè)連通通路，所述多個(gè)連通通路的靠所述模具內(nèi)部側(cè)的一端部在所述模腔凹部的開口部的周圍開口，所述多個(gè)連通通路的靠所述模具外部側(cè)的另一端部與所述壓力調(diào)節(jié)部相連接，所述壓力調(diào)節(jié)部具有：減壓部，其用于經(jīng)由所述多個(gè)連通通路對(duì)閉模后的所述模具內(nèi)部的氣體進(jìn)行吸引而對(duì)所述模具內(nèi)部進(jìn)行減壓；以及流量調(diào)節(jié)部，其用于對(duì)所述多個(gè)連通通路的各自的氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié)。據(jù)此，例如，通過對(duì)樹脂容易流動(dòng)的部位的連通通路較弱地進(jìn)行吸引(減壓)并對(duì)樹脂難以流動(dòng)的部位的連通通路較強(qiáng)地進(jìn)行吸引(減壓)，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

另外，在所述一技術(shù)方案的樹脂成形裝置中，更優(yōu)選的是，所述壓力調(diào)節(jié)部具有：加壓部，其用于經(jīng)由所述多個(gè)連通通路向所述模具內(nèi)部壓入氣體而對(duì)所述模具內(nèi)部進(jìn)行加壓；以及切換部，其用于對(duì)所述多個(gè)連通通路分別在所述減壓部和與所述加壓部之間進(jìn)行連接切換。據(jù)此，例如，通過對(duì)模腔凹部內(nèi)樹脂容易流動(dòng)的部位的連通通路、模腔凹部內(nèi)樹脂難以流動(dòng)的部位的連通通路進(jìn)行吸引(減壓)或空氣壓縮(加壓)，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

另外，在所述一技術(shù)方案的樹脂成形裝置中，更優(yōu)選的是，所述壓力調(diào)節(jié)部具有流量測(cè)量部，該流量測(cè)量部用于對(duì)所述多個(gè)連通通路的各自的流量進(jìn)行測(cè)量。據(jù)此，能夠確認(rèn)各連通通路的氣體流量的結(jié)果并利用流量調(diào)節(jié)部來調(diào)節(jié)連通通路的氣體流量，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

另外，在所述一技術(shù)方案的樹脂成形裝置中，更優(yōu)選的是，該樹脂成形裝置包括壓力測(cè)量部，該壓力測(cè)量部用于對(duì)與所述模具內(nèi)部的所述連通通路的所述一端部相鄰的部分的壓力進(jìn)行測(cè)量。據(jù)此，能夠確認(rèn)模具內(nèi)部的多個(gè)部位的壓力的結(jié)果并利用壓力調(diào)節(jié)部的流量調(diào)節(jié)部來調(diào)節(jié)連通通路的氣體流量，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

另外，在所述一技術(shù)方案的樹脂成形裝置中，更優(yōu)選的是，所述一對(duì)模具具有：成形部，其具有所述模腔凹部，該成形部能夠使填充到該模腔凹部中的樹脂熱固化；以及腔室部，其以包圍所述成形部的方式設(shè)置，該腔室部將所述模具外部和所述模具內(nèi)部分隔開，所述多個(gè)連通通路的所述一端部在所述模腔凹部的開口部的周圍設(shè)于所述腔室部。據(jù)此，例如，即使是具有用于進(jìn)行傳遞成型的成形部的一對(duì)模具，也易于利用壓力調(diào)節(jié)部對(duì)模腔凹部內(nèi)樹脂容易流動(dòng)的部位的連通通路34較弱地進(jìn)行吸引(減壓)并對(duì)模腔凹部內(nèi)樹脂難以流動(dòng)的部位的連通通路較強(qiáng)地進(jìn)行吸引(減壓)，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

另外，在所述一技術(shù)方案的樹脂成形裝置中，更優(yōu)選的是，所述一對(duì)模具具有罐和與所述罐相連通的多個(gè)所述模腔凹部，所述多個(gè)連通通路的所述一端部在將所述罐和所述多個(gè)模腔凹部視為一體的整體的周圍開口。據(jù)此，能夠防止在各模腔凹部產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠減少各成形品的品質(zhì)偏差。

另外，在所述一技術(shù)方案的樹脂成形裝置中，更優(yōu)選的是，所述一對(duì)模具具有罐和與所述罐相連通的所述模腔凹部，在所述模腔凹部的開口部的周圍設(shè)有所述多個(gè)連通通路的所述一端部和所述罐。據(jù)此，例如，在對(duì)大型的圓形形狀的工件進(jìn)行樹脂成形的情況下，能夠利用壓力調(diào)節(jié)部在使樹脂聚集于工件的中央部之后，使該中央部的樹脂向外周部均勻地?cái)U(kuò)展而將模腔凹部內(nèi)填充。因而，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

發(fā)明的效果

如下那樣簡單說明通過在本申請(qǐng)中公開的發(fā)明中的、代表性的技術(shù)方案而獲得的效果。采用本發(fā)明的一技術(shù)方案的樹脂成形裝置，能夠提高成形品的品質(zhì)。

附圖說明

圖1是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式1的樹脂成形裝置的圖。

圖2是圖1所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖3是緊接著圖2的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖4是緊接著圖3的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖5是用于說明圖1所示的樹脂成形裝置的作用效果的圖。

圖6是用于說明圖1所示的樹脂成形裝置的作用效果的圖。

圖7是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式2的樹脂成形裝置的圖。

圖8是用于說明圖7所示的樹脂成形裝置的作用效果的圖。

圖9是用于說明圖7所示的樹脂成形裝置的作用效果的圖。

圖10是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式3的樹脂成形裝置的圖。

圖11是圖10所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖12是圖11所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖13是圖12所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖14是圖13所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性剖視圖。

圖15是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式4的樹脂成形裝置的圖。

圖16是圖15所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置的主要部分的示意性俯視圖。

具體實(shí)施方式

在以下的本發(fā)明的實(shí)施方式中，在必要情況下分為多個(gè)部分等進(jìn)行說明，但是原則上，這些部分相互并非沒有關(guān)系，存在一者是另一者的一部分或全部的變形例、細(xì)節(jié)等的關(guān)系。因此，在全部附圖中，對(duì)具有相同功能的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其重復(fù)說明。另外，關(guān)于構(gòu)成元件的數(shù)量(包括個(gè)數(shù)、數(shù)值、量、范圍等)，除了特別明示的情況、原理上明顯限定于特定的數(shù)量的情況等以外，并不限定于該特定的數(shù)量，既可以是特定的數(shù)量以上，也可以是特定的數(shù)量以下。另外，在談到構(gòu)成元件等的形狀時(shí)，除了特別明示的情況及原理上認(rèn)為明顯并非如此的情況等以外，包括與該形狀等實(shí)質(zhì)上近似或類似的形狀等。

實(shí)施方式1

參照?qǐng)D1～圖6說明本發(fā)明的實(shí)施方式1的用于進(jìn)行壓縮成形的樹脂成形裝置10。圖1是用于說明本實(shí)施方式的樹脂成形裝置10的圖。圖2～圖4是圖1所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置10的主要部分的示意性剖視圖，僅提取出模腔凹部12(成形時(shí)的模腔)的邊緣附近(紙面右側(cè)相當(dāng)于中央側(cè))進(jìn)行表示。圖5和圖6是用于說明圖1所示的樹脂成形裝置10的作用效果的圖。在本實(shí)施方式中，作為用于在工件w上成形樹脂成形部(樹脂r)來制造wlp(waferlevelpackage；晶圓級(jí)封裝)產(chǎn)品的樹脂成形裝置10(制造裝置)進(jìn)行說明。成形前的工件w(被成形品)具有俯視呈圓形形狀的基板s(例如布線基板)和以矩陣配置(日文：マトリクス配置)安裝在基板s上的多個(gè)電子零件p(例如半導(dǎo)體芯片)(參照?qǐng)D2和圖5)。成形后的工件w(成形品)還具有將多個(gè)電子零件p密封的樹脂成形部(樹脂r)(參照?qǐng)D4)。

樹脂成形裝置10包括能夠進(jìn)行開模閉模的一對(duì)模具14(參照?qǐng)D2)，該一對(duì)模具14具有與例如8英寸、12英寸那樣的大型的晶圓等工件w相對(duì)應(yīng)的大小的模腔凹部12。一對(duì)模具14包括以模具面(也稱作夾持面或分型面)彼此相對(duì)的方式配置的上模16(一個(gè)模具)和下模17(另一個(gè)模具)。在本實(shí)施方式中，在下模17設(shè)有模腔凹部12。另外，樹脂成形裝置10為了將工件w設(shè)置(配置)于上模16的模具面而包括由公知的吸附機(jī)構(gòu)、卡盤機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的、用于保持工件w的工件保持部(未圖示)。另外，樹脂成形裝置10為了提高樹脂成形后的成形品的脫模性而包括吸引部18、19(例如真空泵)，該吸引部18、19以沿著下模17的包括模腔凹部12在內(nèi)的模具面吸附并保持離型膜f的方式來吸引離型膜f。

能夠進(jìn)行開模閉模的一對(duì)模具14構(gòu)成為，通過使上模16和下模17合模而彼此靠近從而進(jìn)行閉模，通過使上模16和下模17靠近而彼此遠(yuǎn)離。在本實(shí)施方式中，將上模16作為固定模，將下模17作為可動(dòng)模，通過使下模17靠近上模16而使一對(duì)模具14閉模，通過使下模17遠(yuǎn)離上模16而使一對(duì)模具14開模。作為開模閉模機(jī)構(gòu)(未圖示)，能夠使用公知的機(jī)構(gòu)，例如使用驅(qū)動(dòng)源(伺服馬達(dá)等)和驅(qū)動(dòng)傳遞機(jī)構(gòu)(滾珠絲杠等)，沿連接桿(日文：タイバー)引導(dǎo)組裝于可動(dòng)臺(tái)板的下模17而使該下模17相對(duì)于組裝于固定臺(tái)板的上模16升降。另外，一對(duì)模具14構(gòu)成為，在上模16和下模17各自的內(nèi)部具有加熱器(未圖示)，該加熱器能夠加熱至預(yù)定溫度(例如180℃)。

另外，樹脂成形裝置10包括用于對(duì)具有模腔凹部12的模具內(nèi)部20(參照?qǐng)D3)的氣氛(空氣)的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)的壓力調(diào)節(jié)部22(參照?qǐng)D1)和用于對(duì)模具內(nèi)部20的多個(gè)部位的壓力進(jìn)行測(cè)量的壓力測(cè)量部23(參照?qǐng)D1)。另外，如圖1所示，樹脂成形裝置10包括：控制部24，其用于控制壓力調(diào)節(jié)部22、讀取來自壓力測(cè)量部23的測(cè)量結(jié)果；輸入部25，其用于對(duì)控制部24輸入預(yù)定條件；以及顯示部26，其用于顯示預(yù)定條件、顯示測(cè)量結(jié)果。由此構(gòu)成為，能夠根據(jù)預(yù)定的目的，如下那樣控制，進(jìn)行減壓與加壓之間的切換，在該減壓中，排出自空氣、樹脂產(chǎn)生的氣體(一次減壓)，并排出模具內(nèi)的氣體而減壓至任意的壓力(二次減壓)，在該加壓中，通過導(dǎo)入(壓入)空氣、非活性氣體等而對(duì)模具內(nèi)的氣體進(jìn)行加壓。另外，構(gòu)成為，能夠根據(jù)減壓、加壓的強(qiáng)度的變更這樣的預(yù)定的目的來進(jìn)行控制。

由多個(gè)模具模塊構(gòu)成的下模17具有：基座60；模腔塊62，其固定地組裝于基座60，俯視(觀察模具面時(shí))呈圓形形狀；以及夾持件64，其形成有供模腔塊62插入的俯視呈圓形形狀的通孔64a。一對(duì)模具14在下模17具有模腔凹部12，但模腔凹部12的底部由模腔塊62的上端面構(gòu)成，模腔凹部12的側(cè)部由夾持件64的內(nèi)側(cè)面(通孔64a的內(nèi)壁面)構(gòu)成。因此，如圖1中的單點(diǎn)劃線所示，模腔凹部12的開口部形成為俯視呈圓形形狀。另外，夾持件64包圍模腔塊62，以能夠借助彈性構(gòu)件66(例如彈簧)上下移動(dòng)(進(jìn)退移動(dòng))的方式組裝于基座60。在這樣的下模17中成為以下結(jié)構(gòu)：模腔塊62和夾持件64為能夠相對(duì)移動(dòng)的關(guān)系，模腔凹部12的開口部的深度(即容積)能夠變化。在模腔塊62的外側(cè)面與夾持件64的內(nèi)側(cè)面之間形成有間隙，但下模17具有用于將該間隙密封的密封構(gòu)件68(例如o形密封圈)，以形成密閉了的模具內(nèi)部20(密閉空間)。

另外，下模17具有將模腔凹部12的開口部的周圍(模具內(nèi)部)和模具外部相連通的多個(gè)連通通路70。例如，連通通路70通過對(duì)夾持件64進(jìn)行穿孔而構(gòu)成，連通通路70的靠模腔凹部12的開口部側(cè)的一端部在夾持件64的模具面(上端面)開口，連通通路70的靠模具外部側(cè)的另一端部經(jīng)由管路與吸引部18相連接。另外，下模17具有將模腔凹部12的底部的周圍(模具內(nèi)部)和模具外部相連通的多個(gè)連通通路72。例如，連通通路72通過對(duì)夾持件64進(jìn)行穿孔而構(gòu)成，連通通路72的靠模腔凹部12的底部側(cè)的一端部以與模腔凹部12的拐角部相連通的方式在夾持件64的位于模腔凹部12的底部周圍的內(nèi)側(cè)面開口，連通通路72的靠模具外部側(cè)的另一端部經(jīng)由管路與吸引部19相連接。通過被控制部24控制的吸引部18、19(例如真空泵)的吸引動(dòng)作，能夠沿著模腔凹部12的形狀將離型膜f吸附并保持于模具面。

如圖1所示的俯視狀態(tài)那樣，由多個(gè)模具模塊構(gòu)成的上模16具有基座28、固定地組裝于基座28的圓形形狀的中央模塊30以及包圍中央模塊30且能夠進(jìn)退移動(dòng)(上下移動(dòng))地組裝于基座28的夾持件32。在包圍中央模塊30的夾持件32上形成有圓形形狀的通孔32a，中央模塊30以插入到該通孔32a中的方式組裝于基座28。因此，在中央模塊30的外側(cè)面與夾持件32的內(nèi)側(cè)面(通孔32a的內(nèi)壁面)之間形成有間隙(參照?qǐng)D2)，但上模16具有用于將該間隙密封的密封構(gòu)件31(例如o形密封圈)，以將模具內(nèi)部20密閉。

另外，上模16為了在閉模后的狀態(tài)下將模具內(nèi)部20密閉而具有設(shè)于夾持件32的下端面的、將上模16與下模17之間密封的密封構(gòu)件33(例如o形密封圈)。

另外，如圖1所示，上模16具有將模具外部和包括與中央模塊30相對(duì)的模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20(參照?qǐng)D3)相連通的多個(gè)連通通路34(在圖1中，利用虛線來表示透視的狀態(tài))。多個(gè)連通通路34的靠模腔凹部12(模具內(nèi)部20)側(cè)的一端部在模腔凹部12的開口部的周圍開口，多個(gè)連通通路34的靠模具外部側(cè)的另一端部與壓力調(diào)節(jié)部22、壓力測(cè)量部23相連接。多個(gè)連通通路34的一端部繞模腔凹部12的開口部的中心在預(yù)定的位置(例如在樹脂r容易自中心向外側(cè)流動(dòng)的方向、難以自中心向外側(cè)流動(dòng)的方向)開口。

在本實(shí)施方式中，在圖1所示的俯視狀態(tài)下，在夾持件32上的、沿著繞圓形形狀的通孔32a的中心的周向上的每隔預(yù)定角度的位置設(shè)有與壓力調(diào)節(jié)部22相連接的連通通路34，以進(jìn)行減壓和加壓。另外，還能夠是，與這些連通通路34相靠近地設(shè)置與壓力測(cè)量部23(壓力計(jì)52)相連接的連通通路34。另外，例如，多個(gè)連通通路34通過對(duì)夾持件32進(jìn)行穿孔而構(gòu)成，多個(gè)連通通路34的一端部同中央模塊30與夾持件32之間的間隙相連通，多個(gè)連通通路34的另一端部經(jīng)由管路與壓力調(diào)節(jié)部22、壓力測(cè)量部23相連通并連接。

壓力調(diào)節(jié)部22具有被控制部24控制的、減壓部36和流量調(diào)節(jié)部38，該減壓部36用于經(jīng)由多個(gè)連通通路34對(duì)閉模后的模具內(nèi)部20的氣體進(jìn)行吸引而對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓，該流量調(diào)節(jié)部38用于對(duì)多個(gè)連通通路34的各自的氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié)。減壓部36由例如真空泵構(gòu)成，該真空泵與多個(gè)連通通路34相連接。另外，流量調(diào)節(jié)部38由例如多個(gè)流量調(diào)節(jié)閥40構(gòu)成，所述多個(gè)流量調(diào)節(jié)閥40分別與多個(gè)連通通路34相連接。采用這樣的壓力調(diào)節(jié)部22，例如，能夠?qū)ξ挥谀Ｇ话疾?2內(nèi)的、樹脂r容易流動(dòng)的部位(換言之，無需使樹脂r容易流動(dòng)的部位)的連通通路34較弱地進(jìn)行吸引(減壓)并對(duì)位于模腔凹部12內(nèi)的、樹脂r難以流動(dòng)部位(換言之，需要使樹脂r容易流動(dòng)的部位)的連通通路34較強(qiáng)地進(jìn)行吸引(減壓)。

另外，壓力調(diào)節(jié)部22還可以具有被控制部24控制的、加壓部42和切換部44，該加壓部42用于經(jīng)由多個(gè)連通通路34對(duì)閉模后的模具內(nèi)部20壓入氣體而對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行加壓，該切換部44用于對(duì)多個(gè)連通通路34分別在減壓部36和加壓部42之間進(jìn)行連接切換。加壓部42由例如壓縮機(jī)構(gòu)成，該壓縮機(jī)與多個(gè)連通通路34相連接。作為該加壓部42，既可以是對(duì)空氣進(jìn)行加壓并導(dǎo)入空氣的結(jié)構(gòu)，也可以是對(duì)空氣進(jìn)行加壓并壓入空氣的結(jié)構(gòu)。還可以是對(duì)氮?dú)饽菢拥姆腔钚詺怏w進(jìn)行加壓并壓入該非活性氣體的結(jié)構(gòu)。另外，切換部44由例如多個(gè)切換閥46構(gòu)成，所述多個(gè)切換閥46分別與多個(gè)連通通路34相連接。采用這樣的壓力調(diào)節(jié)部22，例如，能夠?qū)δＧ话疾?2內(nèi)樹脂r容易流動(dòng)的部位的連通通路34、模腔凹部12內(nèi)樹脂r難以流動(dòng)的部位的連通通路34進(jìn)行吸引、空氣壓縮，能夠?qū)δ＞邇?nèi)部20的每個(gè)預(yù)定部位進(jìn)行減壓(負(fù)壓)、加壓(正壓)從而調(diào)節(jié)壓力。此外，不必一定設(shè)置加壓部42，也可以是，省略切換部44，將流量調(diào)節(jié)部38和減壓部36直接連接起來。

另外，壓力調(diào)節(jié)部22優(yōu)選具有流量測(cè)量部48，該流量測(cè)量部48用于測(cè)量多個(gè)連通通路34的各自的流量，該流量測(cè)量部48的測(cè)量結(jié)果被控制部24讀取。流量測(cè)量部48由例如多個(gè)流量計(jì)50構(gòu)成，所述多個(gè)流量計(jì)50分別與多個(gè)連通通路34相連接。采用這樣的壓力調(diào)節(jié)部22，能夠確認(rèn)各連通通路34的氣體流量的結(jié)果并利用流量調(diào)節(jié)部48來調(diào)節(jié)連通通路34的氣體流量。

壓力測(cè)量部23與同壓力調(diào)節(jié)部22相連接的連通通路34之外的連通通路34相連接，以能夠?qū)εc同壓力調(diào)節(jié)部22相連接的連通通路34的一端部相鄰的模具內(nèi)部20的多個(gè)部位的壓力進(jìn)行測(cè)量。壓力測(cè)量部23由例如多個(gè)壓力計(jì)52構(gòu)成。采用這樣的壓力測(cè)量部23，能夠確認(rèn)模具內(nèi)部20的多個(gè)部位的壓力的結(jié)果并調(diào)節(jié)與壓力調(diào)節(jié)部22的流量調(diào)節(jié)部48相連接的各連通通路34的氣體流量。具體而言，能夠?qū)A著與壓力測(cè)量部23相連接的1個(gè)連通通路34的、與壓力調(diào)節(jié)部22相連接的兩個(gè)連通通路34的氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

接下來，說明樹脂成形裝置10的動(dòng)作方法并說明成形品的制造方法(成形方法)。首先，如圖2所示，在一對(duì)模具14開模的狀態(tài)下，對(duì)于上模16而言，利用工件保持部(未圖示)將通過裝載機(jī)(未圖示)運(yùn)進(jìn)到模具內(nèi)部的工件w吸附保持(設(shè)置)于上模16的模具面。對(duì)于下模17而言，首先，預(yù)先使模腔塊62相對(duì)于夾持件64移動(dòng)，使得模腔塊62的上端面來到待機(jī)位置。由此，模腔塊62的上端面以基座60的上端面為基準(zhǔn)變得比夾持件64的上端面低。另外，利用吸引部18、19將通過膜輸送部(未圖示)運(yùn)進(jìn)到模具內(nèi)部20的離型膜f吸附保持(設(shè)置)于下模17的包括模腔凹部12在內(nèi)的模具面。作為離型膜f，使用了具有能夠耐受一對(duì)模具14的加熱溫度的耐熱性、且容易地自下模17的模具面剝離、并具有柔軟性、伸展性的薄膜材料。具體地說，作為離型膜f，能夠使用例如ptfe、etfe、pet、fep、浸氟玻璃布、聚丙烯、聚偏二氯乙烯等。

接著，隔著離型膜f向模腔凹部12的底部中央供給樹脂r。由于一對(duì)模具14被加熱至預(yù)定溫度，因此，樹脂r自與模腔凹部12的底部(模腔塊62的上端面)相接觸的部位起發(fā)生熔融。作為樹脂r，使用例如液狀、顆粒狀、粉狀、片狀的樹脂。例如，能夠使用具有能夠填充并射出液狀樹脂的注射器的分配器來供給樹脂r。

此外，還能夠以如下方式向模腔凹部12內(nèi)供給樹脂r：在模具外部將樹脂r配置在離型膜f的中央部上，將樹脂r連同離型膜f一起運(yùn)進(jìn)到模具內(nèi)部。

接下來，如圖3所示，自一對(duì)模具14開模的狀態(tài)起朝向閉模狀態(tài)使上模16和下模17相靠近，使設(shè)于夾持件32的下端面的密封構(gòu)件33抵接(即密封圈接觸)于夾持件64的上端面。由此，包括模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20被密閉而構(gòu)成密閉空間。此時(shí)，通過使壓力調(diào)節(jié)部22的減壓部36工作，從而經(jīng)由多個(gè)連通通路34對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓，能夠設(shè)為任意的脫氣狀態(tài)。

在該情況下，例如，在欲使該整個(gè)密閉空間成為均勻的減壓狀態(tài)時(shí)，自全部的連通通路34以均勻的強(qiáng)度吸引空氣(氣氛)。在該情況下，例如在設(shè)想為夾持件32的通孔32a與1個(gè)連通通路34相連接的結(jié)構(gòu)時(shí)，通過自連通通路34進(jìn)行吸引，從而自該連通通路34經(jīng)由夾持件32的通孔32a的內(nèi)周面與中央模塊30的外周面之間的間隙吸引空氣。此時(shí)，在靠近該連通通路34的位置處，空氣被立刻開始吸引，而在遠(yuǎn)離連通通路34的位置處，空氣的吸引較晚。因此，在遠(yuǎn)離連通通路34的位置的位置處的減壓狀態(tài)變得不充分，從而容易產(chǎn)生未填充部位、氣孔。另外，為了提高生產(chǎn)率，工件w不斷大尺寸化，這導(dǎo)致在減壓時(shí)不得不進(jìn)行吸引的容積大幅度增大，空氣的吸引(減壓)的狀態(tài)容易變得更不均勻。與此相對(duì)，通過如本實(shí)施方式那樣設(shè)置多個(gè)連通通路34，即使工件w大尺寸化，也能夠確保均勻的減壓狀態(tài)。

接下來，如圖4所示，進(jìn)一步使上模16和下模17相靠近，利用上模16的中央模塊30和下模17的夾持件64隔著離型膜f夾持工件w(基板s)。由此，模腔凹部12的開口部被工件w(基板s)閉塞，從而形成模腔，向該模腔填充樹脂r并施加樹脂壓力。另外，密封構(gòu)件33被上模16的夾持件32和下模17的夾持件64按壓收縮，提高了模具內(nèi)部20的密閉性。此外，通過使未圖示的排氣槽預(yù)先形成于夾持件64的上端面，從而即使在夾持了離型膜f之后，也能夠進(jìn)行模腔凹部12(模腔)內(nèi)的減壓。

在該情況下，通過進(jìn)一步使上模16和下模17相靠近，從而被供給到模腔凹部12的底部中央的樹脂r被工件w按壓，樹脂r開始向模腔凹部12的底部外周側(cè)擴(kuò)展。此時(shí)，考慮在模腔凹部12內(nèi)，因電子零件p的配置情況而產(chǎn)生樹脂r容易流動(dòng)(即流動(dòng)阻力較低)的部位和樹脂r難以流動(dòng)(流動(dòng)阻力較高)的部位。即使在這樣的情況下，采用具有壓力調(diào)節(jié)部22的樹脂成形裝置10，例如，能夠?qū)渲瑀容易流動(dòng)的部位的連通通路34較弱地進(jìn)行吸引(減壓)并對(duì)樹脂r難以流動(dòng)的部位的連通通路34較強(qiáng)地進(jìn)行吸引(減壓)。

接下來，進(jìn)一步使上模16和下模17相靠近(合模)，對(duì)填充于模腔凹部12的樹脂r進(jìn)行壓縮。具體而言，當(dāng)將一對(duì)模具14合模時(shí)，彈性構(gòu)件66被按壓收縮，夾持件64被施力的同時(shí)向基座60側(cè)移動(dòng)。

模腔塊62相對(duì)于該夾持件64移動(dòng)。此時(shí)，在模腔凹部12內(nèi)，模腔塊62的上端面的位置從較深的待機(jī)位置成為較淺的成形位置。接著，在對(duì)填充到模腔凹部12內(nèi)的樹脂r保持壓力的狀態(tài)(成形位置的狀態(tài))下熱固化預(yù)定時(shí)間。

此處，參照?qǐng)D5和圖6來具體地說明與由工件w的形狀(有無配置電子零件p)等引起的樹脂r的流動(dòng)的難易程度相應(yīng)的壓力調(diào)節(jié)部22的調(diào)節(jié)動(dòng)作。在圖5和圖6中，與保持于上模16的工件w的面內(nèi)位置相對(duì)應(yīng)地，將樹脂r自工件w的中心朝向外側(cè)流動(dòng)的方向分別表示為最容易流動(dòng)的方向d1(樹脂r的流動(dòng)未被電子零件p阻擋的方向)、最不容易流動(dòng)的方向d2(樹脂r的流動(dòng)被電子零件阻擋的方向)、流動(dòng)的難易程度中等的方向d3。另外，在圖5和圖6中，與保持于上模16的工件w的面內(nèi)位置相對(duì)應(yīng)地，按照初始位置t0(供給位置)、中途位置t1、中途位置t2(末期位置)的順序以時(shí)間序列示出了模腔塊62的上端面(模腔凹部12的底面)內(nèi)的樹脂r的擴(kuò)展位置(外形位置)。

例如，僅使壓力調(diào)節(jié)部22的減壓部36工作，一邊自與減壓部36相連通的多個(gè)連通通路34對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓(此外，在圖5、圖6中，空心箭頭表示減壓的大小)一邊將樹脂r按壓于工件w。在這種情況下，如圖5所示，在某一時(shí)間(例如，中途位置t1、中途位置t2時(shí))，樹脂r最先向方向d1流動(dòng)，隨后，樹脂r按照方向d3、方向d2的順序流動(dòng)(擴(kuò)展)。因而，在模腔凹部12內(nèi)產(chǎn)生先被填充的部位和后被填充的部位，根據(jù)情況，還可能容易在填充較晚的位置產(chǎn)生氣孔、未填充部位而使成形品的品質(zhì)降低。

因此，例如，當(dāng)一邊使壓力調(diào)節(jié)部22整體工作并利用流量調(diào)節(jié)部38調(diào)節(jié)與減壓部36相連通的多個(gè)連通通路34的氣體流量來對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓一邊將樹脂r按壓于工件w時(shí)，如圖6所示，在某一時(shí)間(例如，中途位置t1、中途位置t2時(shí))，與方向d1、d2、d3無關(guān)，樹脂r均等地流動(dòng)。具體而言，自位于最容易流動(dòng)的方向d1上的連通通路34最小程度地(較弱地)進(jìn)行減壓，自位于最不容易流動(dòng)的方向d2上的連通通路34最大程度地(較強(qiáng)地)進(jìn)行減壓，自位于流動(dòng)的難易程度中等的方向d3上的連通通路34中等程度地進(jìn)行減壓。由此，在模腔凹部12中，大致同時(shí)填充樹脂r。即，能夠防止在填充較晚的位置產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

接著，將一對(duì)模具14開模，使上模16和下模17遠(yuǎn)離，將工件w向模具外部取出(輸送)。進(jìn)一步，作為后處理，通過將工件w的樹脂成形部熱固化(二次固化)預(yù)定時(shí)間，從而完成工件w的電子零件p被樹脂r(樹脂成形部)樹脂密封后的成形品。

這樣，采用本實(shí)施方式，設(shè)置與包括模腔在內(nèi)的密閉空間相連接的多個(gè)連通通路34，在該密閉空間中能夠設(shè)為均勻的減壓狀態(tài)或者使減壓狀態(tài)局部不同，由此，能夠防止例如在以圓形進(jìn)行樹脂成形時(shí)產(chǎn)生未填充那樣的不良情況，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

實(shí)施方式2

在所述實(shí)施方式1中，說明了使用開口部與俯視呈圓形形狀的工件w相對(duì)應(yīng)地形成為俯視呈圓形形狀的模腔凹部12的情況。在本實(shí)施方式中，參照?qǐng)D7～圖9說明包括一對(duì)模具14并進(jìn)行壓縮成形的樹脂成形裝置10，該一對(duì)模具14具有開口部與俯視呈矩形形狀的工件w相對(duì)應(yīng)地形成為俯視呈矩形形狀的模腔凹部12。圖7是用于說明本實(shí)施方式的樹脂成形裝置10的圖。圖8和圖9是用于說明圖7所示的樹脂成形裝置10的作用效果的圖。本實(shí)施方式的樹脂成形裝置10也與所述實(shí)施方式1同樣地包括一對(duì)模具14、壓力調(diào)節(jié)部22、控制部24、輸入部25以及顯示部26。另外，樹脂成形裝置10也可以包括參照?qǐng)D1說明的壓力測(cè)量部23。此外，在以下對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行的說明中，基本上省略與所述實(shí)施方式1同樣的結(jié)構(gòu)，而主要說明與所述實(shí)施方式1不同之處。

如圖7所示的俯視狀態(tài)那樣，上模16具有：基座28；矩形形狀的中央模塊30，其固定地組裝于基座28；以及夾持件32，其包圍中央模塊30且能夠進(jìn)退移動(dòng)(上下移動(dòng))地組裝于基座28。在包圍中央模塊30的夾持件32上形成有矩形形狀的通孔32a，中央模塊30以插入到該通孔32a中的方式組裝于基座28。另外，如圖7所示，上模16具有多個(gè)連通通路34(在圖7中，利用虛線來表示透視的狀態(tài))，該多個(gè)連通通路34將模具外部和包括與中央模塊30相對(duì)的模腔凹部12(在圖7中，利用單點(diǎn)劃線來表示相對(duì)的位置)在內(nèi)的模具內(nèi)部20(參照?qǐng)D3)相連通。多個(gè)連通通路34的靠模腔凹部12(模具內(nèi)部20)側(cè)的一端部在模腔凹部12的開口部的周圍開口，多個(gè)連通通路34的靠模具外部側(cè)的另一端部與壓力調(diào)節(jié)部22、壓力測(cè)量部23相連接。多個(gè)連通通路34的一端部在模腔凹部12的開口部周圍的預(yù)定的位置(例如在樹脂r容易自中心向外側(cè)流動(dòng)的方向、難以自中心向外側(cè)流動(dòng)的方向)開口。在本實(shí)施方式中，作為一個(gè)例子，在圖7所示的俯視狀態(tài)下，夾持件32的矩形形狀的通孔32a的邊中央部和角部的位置分別設(shè)有1個(gè)連通通路34，該連通通路34與壓力調(diào)節(jié)部22相連接。此外，連通通路34能夠自由地配置，還能夠僅配置于角部。

此處，參照?qǐng)D8和圖9來具體地說明與由模腔凹部12的形狀等引起的樹脂r的流動(dòng)的難易程度相應(yīng)的壓力調(diào)節(jié)部22的調(diào)節(jié)動(dòng)作。在圖8和圖9中，作為一個(gè)例子，是將液狀樹脂以外形呈圓形形狀地對(duì)俯視呈矩形形狀的工件w供給時(shí)的填充狀態(tài)進(jìn)行說明的說明圖。對(duì)于液狀樹脂，為了提高生產(chǎn)率，在工件w的中央的一處供給需要的預(yù)定量的樹脂。在該情況下，液狀樹脂因閉模而被模具按壓而擴(kuò)張，從而呈圓形形狀擴(kuò)大。

在這些圖中，與保持于上模16的工件w的面內(nèi)位置相對(duì)應(yīng)地，將樹脂r自工件w的中心朝向外側(cè)流動(dòng)的方向分別表示為流動(dòng)距離最短的方向d1、流動(dòng)距離最長的方向d2。另外，在圖8和圖9中，與保持于上模16的工件w的面內(nèi)位置相對(duì)應(yīng)地，按照初始位置t0(供給位置)、中途位置t1、中途位置t2、中途位置t3(末期位置)的順序以時(shí)間序列示出了模腔塊62的上端面(模腔凹部12的底面)內(nèi)的樹脂r的擴(kuò)展位置(外形位置)。

例如，使壓力調(diào)節(jié)部22的減壓部36工作，一邊自與減壓部36相連通的多個(gè)連通通路34對(duì)模具內(nèi)部20均勻地減壓(此外，在圖8、圖9中，空心箭頭表示減壓的大小)一邊填充樹脂r。此時(shí)，由于自模腔凹部12的中心起到外側(cè)的邊的中央部為止的距離(方向d1的距離)與自模腔凹部12的中心起到外側(cè)的角部為止的距離(方向d2的距離)不同，因此，如圖8所示，即使向方向d1流動(dòng)的樹脂r到達(dá)了邊部，向方向d2流動(dòng)的樹脂r也未到達(dá)角部，填充較晚(參照位置t2)。

因此，例如，當(dāng)一邊使壓力調(diào)節(jié)部22整體工作并利用流量調(diào)節(jié)部38調(diào)節(jié)與減壓部36相連通的多個(gè)連通通路34的氣體流量來對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓一邊填充樹脂r時(shí)，如圖9所示，比起方向d1，樹脂r優(yōu)先向方向d2流動(dòng)。具體而言，自位于距離最短的方向d1上的連通通路34最弱地進(jìn)行減壓，自位于距離最長的方向d2上的連通通路34最強(qiáng)地進(jìn)行減壓。換言之，比起邊中央部的連通通路34，在角部的連通通路34中較強(qiáng)地吸引空氣而進(jìn)行減壓。由此，樹脂r容易朝向被較強(qiáng)地減壓后的角部流動(dòng)，樹脂r被優(yōu)先地朝向角部填充。因而，在模腔凹部12中，在朝向其邊中央部的方向和朝向角部的方向上，填充狀態(tài)的差異變小，即使在呈圓形供給的液狀樹脂相對(duì)于矩形的模腔凹部12填充的情況下，也能夠均勻地填充。即，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

此外，在與邊中央部的連通通路34相比在角部的連通通路34中較強(qiáng)地吸引空氣從而進(jìn)行減壓的情況下，既可以是，僅自角部的連通通路34吸引空氣而進(jìn)行減壓，也可以是，一邊自邊中央部的連通通路34進(jìn)行空氣加壓一邊自角部的連通通路34進(jìn)行減壓。

實(shí)施方式3

在所述實(shí)施方式中，說明了對(duì)進(jìn)行壓縮成形的一對(duì)模具14中的密閉空間進(jìn)行減壓的情況。在本實(shí)施方式中，參照?qǐng)D10～圖14說明包括壓力調(diào)節(jié)部22的樹脂成形裝置10a，該壓力調(diào)節(jié)部22用于對(duì)與由包圍成形部14a的腔室部14b形成的模具內(nèi)部20相連通的多個(gè)連通通路34的氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié)。圖10是用于說明本實(shí)施方式的樹脂成形裝置10a的圖。圖11～圖14是圖10所示的動(dòng)作中的樹脂成形裝置10a的主要部分的示意性剖視圖，樹脂成形裝置10a相對(duì)于罐84(柱塞86)的軸線呈左右對(duì)稱，因此，提取出左側(cè)的模腔凹部12進(jìn)行表示。

本實(shí)施方式的樹脂成形裝置10a是通過在工件w上傳遞成型樹脂成形部(樹脂r)來制造封裝產(chǎn)品的裝置，與所述實(shí)施方式1同樣地，樹脂成形裝置10a包括一對(duì)模具14(上模16和下模17)、壓力調(diào)節(jié)部22、控制部24、輸入部25以及顯示部26。另外，樹脂成形裝置10a也可以包括參照?qǐng)D1說明的壓力測(cè)量部23。另外，在樹脂成形裝置10a中，在上模16上設(shè)有模腔凹部12，在下模17上設(shè)有用于保持工件w的工件保持部74(凹部)。成形前的工件w(被成形品)具有俯視呈矩形形狀的基板s(例如布線基板)和以矩陣配置安裝在基板s上的多個(gè)電子零件p(例如半導(dǎo)體芯片)(參照?qǐng)D11)。成形后的工件w(成形品)還具有將多個(gè)電子零件p密封的樹脂成形部(樹脂r)(參照?qǐng)D14)。

上模16具有：基座28，其具有開口部形成為俯視呈矩形形狀的凹部28a；以及中央模塊30，其在凹部28a內(nèi)固定地組裝于基座28。在本實(shí)施方式中，在中央模塊30的模具面上，以積存部(日文：カル)76為中心在兩側(cè)連通地設(shè)有橫澆口78和模腔凹部12。這樣，一對(duì)模具14在上模16處具有多個(gè)模腔凹部12，多個(gè)模腔凹部12的開口部以形成為例如俯視呈矩形形狀的方式形成于中央模塊30。

另外，上模16具有將模腔凹部12的開口部的周圍和模具外部相連通的多個(gè)連通通路70。例如，連通通路70通過對(duì)中央模塊30進(jìn)行穿孔而構(gòu)成，連通通路70的靠模腔凹部12的開口部側(cè)的一端部在中央模塊30的模具面(下端面)開口，連通通路70的靠模具外部側(cè)的另一端部經(jīng)由管路與吸引部18相連接。在此的吸引部18用于在閉模之后進(jìn)行減壓。

下模17具有：基座60，其具有開口部形成為俯視呈矩形形狀的凹部60a；模套80，其在凹部60a內(nèi)組裝于基座60；嵌件82，其在通過模套80形成的凹部80a內(nèi)組裝于模套80；罐84，其設(shè)有多個(gè)，該多個(gè)罐84排成一列地設(shè)于嵌件82的中央部，該多個(gè)罐84被供給有樹脂r；以及柱塞86，其設(shè)于罐84內(nèi)。該柱塞86成為能夠通過樹脂成形裝置10a所包括的公知的驅(qū)動(dòng)源(未圖示)進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)。另外，下模17為了將模具內(nèi)部20密閉而具有設(shè)于基座60的模具面(上端面)的、將上模16(基座28)與下模17(基座60)之間密封的密封構(gòu)件33(例如o形密封圈)。

另外，下模17為了將模具內(nèi)部20密閉而具有設(shè)于模套80的模具面(上端面)的、將上模16(中央模塊30)與下模17(模套80)之間密封的密封構(gòu)件90(例如o形密封圈)。

另外，如圖10所示，下模17具有將模具外部和包括與嵌件82相對(duì)的模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20(參照?qǐng)D12)相連通的多個(gè)連通通路34(在圖10中，利用虛線來表示透視的狀態(tài))。多個(gè)連通通路34的靠模腔凹部12(模具內(nèi)部20)側(cè)的一端部在將罐84和其周圍的多個(gè)模腔凹部12視為一體的整體的周圍開口，多個(gè)連通通路34的靠模具外部側(cè)的另一端部與壓力調(diào)節(jié)部22相連接。例如，多個(gè)連通通路34通過對(duì)基座60進(jìn)行穿孔而構(gòu)成，多個(gè)連通通路34的一端部與基座60的凹部60a的內(nèi)壁面相連通，多個(gè)連通通路34的另一端部經(jīng)由管路與壓力調(diào)節(jié)部22相連通并連接。

這樣的一對(duì)模具14具有：成形部14a，其具有模腔凹部12，該成形部14a使填充到模腔凹部12中的樹脂r熱固化；以及腔室部14b，其以包圍成形部14a的方式設(shè)置，該腔室部14b將模具外部和模具內(nèi)部分隔開。成形部14a構(gòu)成為具有上模16中的中央模塊30，下模17中的模套80、嵌件82以及罐84。另外，腔室部14b構(gòu)成為具有上模16的基座28、下模17的基座60以及被基座28和基座60夾持的密封構(gòu)件33，腔室部14b能夠形成密閉后的模具內(nèi)部20(基座內(nèi)周區(qū)域)。在本實(shí)施方式中，多個(gè)連通通路34的一端部在腔室部14b(更具體而言為下模17的基座60)的、處于模腔凹部12的開口部的周圍的部分開口。據(jù)此，例如，即使是具有用于進(jìn)行傳遞成型的成形部14a的一對(duì)模具14，也易于利用壓力調(diào)節(jié)部22對(duì)模腔凹部12內(nèi)樹脂r容易流動(dòng)的部位的連通通路34較弱地進(jìn)行吸引(減壓)并對(duì)模腔凹部12內(nèi)樹脂r難以流動(dòng)的部位的連通通路14較強(qiáng)地進(jìn)行吸引(減壓)。

接下來，說明樹脂成形裝置10a的動(dòng)作方法并說明成形品的制造方法(成形方法)。首先，如圖11所示，在一對(duì)模具14開模的狀態(tài)下，對(duì)于下模17而言，將利用裝載機(jī)(未圖示)運(yùn)進(jìn)到模具內(nèi)部的工件w配置(設(shè)置)于工件保持部74。另外，向使柱塞86退避后的罐84內(nèi)供給(設(shè)置)樹脂r。此時(shí)，由于一對(duì)模具14被加熱至預(yù)定溫度，因此，供給到罐84內(nèi)的樹脂r發(fā)生熔融。

接下來，如圖12所示，一對(duì)模具14自開模的狀態(tài)起朝向閉模狀態(tài)使上模16和下模17相靠近，使設(shè)于下模17的基座60的上端面的密封構(gòu)件33抵接(即密封圈接觸)于上模16的基座28的下端面。由此，包括模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20被密閉。此時(shí)，通過預(yù)先使壓力調(diào)節(jié)部22的減壓部36(參照?qǐng)D1)工作，從而經(jīng)由多個(gè)連通通路34對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓，能夠設(shè)為任意的脫氣狀態(tài)。

然后，通過進(jìn)一步使上模16和下模17相靠近，從而使設(shè)于下模17的模套80的上端面的密封構(gòu)件90抵接(即密封圈接觸)于上模16的中央模塊30的下端面，由此，利用吸引部18開始對(duì)密封構(gòu)件90的內(nèi)部的更狹小的范圍內(nèi)的空氣進(jìn)行減壓。

接著，通過進(jìn)一步使上模16和下模17相靠近，如圖13所示，從而利用上模16的中央模塊30和下模16的嵌件82隔著離型膜(未圖示)夾持工件w(基板s)。由此，模腔凹部12的開口部被工件w(基板s)閉塞而形成模腔。此外，在中央模塊30的下端面設(shè)置將連通通路70和模腔凹部12相連結(jié)的排氣槽(未圖示)，由此，即使在通過上模16的中央模塊30和下模16的嵌件82的夾持而使模具面之間不存在間隙之后，也能夠?qū)δＧ话疾?2(模腔)內(nèi)進(jìn)行減壓。

接著，如圖14所示，使罐84內(nèi)的柱塞86伸出而將樹脂r擠出，將樹脂r經(jīng)由積存部76和橫澆口78壓送到模腔凹部12，利用樹脂r填充模腔凹部12。此時(shí)，考慮在模腔凹部12內(nèi)，因電子零件p的配置情況而產(chǎn)生樹脂r容易流動(dòng)(即流動(dòng)阻力較低)的部位和樹脂r難以流動(dòng)(流動(dòng)阻力較高)的部位。即使在這樣的情況下，也能夠利用壓力調(diào)節(jié)部22預(yù)先進(jìn)行例如如下操作：對(duì)樹脂r容易流動(dòng)的部位的連通通路34較弱地進(jìn)行吸引(減壓)，對(duì)樹脂r難以流動(dòng)的部位的連通通路34較強(qiáng)地進(jìn)行吸引(減壓)。因而，能夠防止在各模腔凹部12產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠減少各成形品的品質(zhì)偏差。

在該情況下，還能夠利用壓力調(diào)節(jié)部22，經(jīng)由連通通路34相對(duì)于樹脂r容易流動(dòng)的部位壓入氣體而對(duì)模具內(nèi)部20加壓，使填充狀態(tài)均勻或不同。

接著，在對(duì)填充到模腔凹部12內(nèi)的樹脂r保持壓力的狀態(tài)下熱固化預(yù)定時(shí)間。接著，將一對(duì)模具14開模，使上模16和下模17遠(yuǎn)離，將工件w向模具外部取出(輸送)。進(jìn)一步，作為后處理，通過將工件w的樹脂成形部熱固化(二次固化)預(yù)定時(shí)間，從而完成工件w的電子零件p被樹脂r(樹脂成形部)樹脂密封后的成形品。

另外，在圖11所示的狀態(tài)下，被供給到罐84內(nèi)的樹脂r會(huì)因其組成、制法而在熔融時(shí)產(chǎn)生包括水蒸氣等在內(nèi)的大量的氣體。在該氣體中含有的成分會(huì)附著于模腔凹部12的開口部等而使脫模性降低，有時(shí)對(duì)成形品質(zhì)造成不良影響。與此相對(duì)，能夠在氣體的排出結(jié)束之前不自隔著模腔凹部12位于與罐84相反側(cè)的位置的連通通路34吸引空氣，而自位于靠近罐84的位置的連通通路34排出該氣體。接著，從氣體的排出結(jié)束之后的時(shí)刻起，也自隔著模腔凹部12位于與罐84相反側(cè)的位置的連通通路34吸引空氣。由此，能夠減少對(duì)模具面(尤其是模腔凹部12)帶來的不良影響。在該情況下，還能夠是，通過自隔著模腔凹部12位于與罐84相反側(cè)的位置的連通通路34壓入空氣、非活性氣體，從而使由樹脂r產(chǎn)生的氣體不向模腔凹部12流動(dòng)，以防止氣體與模腔凹部12接觸。通過進(jìn)行這樣的對(duì)策，例如，從防止脫模性降低的觀點(diǎn)考慮，對(duì)含有氧化釔、氧化鋯的低貼附性的模具材質(zhì)(包括母材或進(jìn)行了表面處理的情況)也是有效的。

實(shí)施方式4

在所述實(shí)施方式3中，說明了隔著柱塞86地配置工件w的情況。在本實(shí)施方式中，參照?qǐng)D15～圖16說明在模腔凹部12的開口部的周圍設(shè)有多個(gè)連通通路34的一端部和罐84的樹脂成形裝置10b。圖15是用于說明本實(shí)施方式的樹脂成形裝置10b的圖。圖16是動(dòng)作中的樹脂成形裝置10b的主要部分的示意性俯視圖，示出了自罐84中被柱塞86壓送的樹脂r按照(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)的順序在模腔凹部12內(nèi)的工件w上流動(dòng)的樣子。

樹脂成形裝置10b是通過在工件w上傳遞成型樹脂成形部(樹脂r)來制造wlp產(chǎn)品的裝置，與所述實(shí)施方式1同樣地，樹脂成形裝置10b包括一對(duì)模具14(上模16和下模17)、壓力調(diào)節(jié)部22、控制部24、輸入部25以及顯示部26。在本實(shí)施方式中，在上模16上設(shè)有模腔凹部12，在下模17上設(shè)有用于保持工件w的工件保持部74(凹部)。另外，樹脂成形裝置10b包括吸引部(未圖示)，該吸引部以沿著上模16的包括模腔凹部12在內(nèi)的模具面吸附并保持離型膜f的方式對(duì)離型膜f進(jìn)行吸引。成形前的工件w(被成形品)具有俯視呈圓形形狀的基板s(例如承載板、晶圓或布線基板)和隔著凸塊以矩陣配置倒裝安裝在基板s上的多個(gè)電子零件p(例如半導(dǎo)體芯片)。成形后的工件w(成形品)還具有進(jìn)行模制底部填充而將多個(gè)電子零件p密封的樹脂成形部(樹脂r)，電子零件p的表面(與形成有凸塊的面相反的面)暴露。此外，也可以是，利用上述樹脂成形裝置10b，在俯視呈圓形形狀以外形狀的基板s上以矩陣配置不使用倒裝安裝地搭載多個(gè)電子零件p而成的工件w上，進(jìn)行不實(shí)施模制底部填充的樹脂成形(樹脂密封)。

上模16具有基座60、能夠進(jìn)退移動(dòng)地組裝于基座60的俯視呈圓形形狀的模腔塊62以及形成有供模腔塊62插入的俯視呈圓形形狀的通孔64a的夾持件64。一對(duì)模具14在上模16具有模腔凹部12，模腔凹部12的底部由模腔塊62的下端面構(gòu)成，模腔凹部12的側(cè)部由夾持件64的內(nèi)側(cè)面(通孔64a的內(nèi)壁面)構(gòu)成。因此，模腔凹部12的開口部形成為俯視呈圓形形狀。另外，在上模16的模具面的、夾持件64的下端面形成有與模腔凹部12相連通的積存部76和橫澆口78。夾持件64包圍模腔塊62，并借助彈性構(gòu)件66(例如彈簧)能夠上下移動(dòng)(進(jìn)退移動(dòng))地組裝于基座60。在這樣的上模16中成為以下結(jié)構(gòu)：模腔塊62和夾持件64為能夠相對(duì)移動(dòng)的關(guān)系，模腔凹部12的開口部的深度(即容積)能夠變化。在模腔塊62的外側(cè)面與夾持件64的內(nèi)側(cè)面之間形成有間隙，但將間隙用作用于沿著上模16的包括模腔凹部12在內(nèi)的模具面吸附保持離型膜f的吸引通路。由于在利用上模16的模腔塊62和下模17的嵌件82夾持工件w時(shí)離型膜f貼附于電子零件p的表面，因此，在脫模后，電子零件p的表面暴露出來。

在本實(shí)施方式中，在下模17中，沿著模腔凹部12的開口部的周圍設(shè)有多個(gè)連通通路34的一端部和罐84。在圖16中，示出了在模腔凹部12內(nèi)的工件w上流動(dòng)的樹脂r的樣子，示出了連通通路34的一端部在工件w的周圍的具有空心箭頭的位置開口的情況。另外，利用該空心箭頭的朝向，示出了自連通通路34對(duì)包括模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20進(jìn)行的吸引(減壓)、空氣壓縮(加壓)。采用這樣的樹脂成形裝置10b，通過對(duì)空氣的減壓、加壓的空氣的流動(dòng)的朝向、所述減壓及加壓的強(qiáng)度、動(dòng)作的時(shí)刻等進(jìn)行控制，能夠提高模腔凹部12的樹脂填充性。此外，在模腔凹部12的開口部周圍，并不限于1個(gè)罐84(柱塞86)，既可以在隔著模腔凹部12相對(duì)的位置設(shè)置兩個(gè)罐84(柱塞86)，也可以以預(yù)定間隔(例如每隔90°)設(shè)置多個(gè)罐84(柱塞86)。

接下來，說明樹脂成形裝置10b的動(dòng)作方法并說明成形品的制造方法(成形方法)。在圖16(a)所示的初始階段中，例如自所有的連通通路34對(duì)模腔凹部12內(nèi)的空氣進(jìn)行吸引而對(duì)模具內(nèi)部20進(jìn)行減壓。接著，在圖16(b)所示的填充初始階段中，自位于與罐84相反側(cè)的位置的連通通路34吸引空氣，并自除此以外的連通通路34進(jìn)行空氣壓縮。由此，來自罐84的樹脂r以通過工件w的中央部的方式流動(dòng)，如圖16(c)所示，樹脂r以沿直徑方向橫穿工件w的方式流動(dòng)到與罐84所在側(cè)相反的一側(cè)。

在未形成上述那樣的空氣的流動(dòng)的情況下，樹脂r一邊在工件w的外周流動(dòng)一邊填充。其原因在于，在工件w的外周，有較大的未搭載有電子零件p(阻擋物)區(qū)域，樹脂r容易流動(dòng)。在這樣的情況下也確認(rèn)到，樹脂r沿工件w的外周優(yōu)先地填充，由此，以包圍工件w的方式填充了的樹脂r繼續(xù)向模腔凹部12的中央填充，容易在模腔凹部12的中央產(chǎn)生氣孔、未填充部位。與此相對(duì)，通過進(jìn)行本實(shí)施方式那樣的控制，樹脂r被首先填充于模腔凹部12的中央，由此能夠可靠地防止在模腔凹部12的中央產(chǎn)生氣孔、未填充部位。

由此，樹脂r遍布到沿工件w的直徑方向安裝的各電子零件p之間。接著，如圖16(d)所示，進(jìn)行切換而自所有的連通通路34吸引空氣，如圖16(e)、圖16(f)所示，通過將橫穿工件w的中央部后的樹脂r向與該樹脂r交叉的方向壓送，從而樹脂r通過該方向上的電子零件p之間而將模腔凹部12均勻地填充。

這樣，采用樹脂成形裝置10b，例如，即使在相對(duì)于大型的圓形形狀的工件w進(jìn)行樹脂成形的情況下，也能夠利用與多個(gè)連通通路34相連接的壓力調(diào)節(jié)部22使樹脂r集中于工件w的中央部之后，自該中央部的樹脂向外周部均勻地?cái)U(kuò)展，將模腔凹部12內(nèi)填充。因而，能夠防止產(chǎn)生氣孔、未填充部位，從而能夠提高成形品的品質(zhì)。

以上，根據(jù)實(shí)施方式具體地說明了本發(fā)明，但本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施方式，如下述那樣，當(dāng)然能夠在不脫離其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。

例如，在所述實(shí)施方式1中，說明了向?qū)⒍鄠€(gè)電子零件安裝于整個(gè)基板而成的工件的中心供給樹脂并以使樹脂自該中心向外側(cè)擴(kuò)展的方式利用樹脂來填充模腔凹部內(nèi)的情況。并不限于此，通過不在基板的中心安裝電子零件而向該空出來的空間供給樹脂，以使樹脂向外側(cè)擴(kuò)展的方式利用樹脂來填充模腔凹部內(nèi)，能夠提高填充性。

另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)于與包括模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20相連通的連通通路34，說明了任意地控制空氣的減壓、加壓的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不限定于此。即，對(duì)于為了吸附并保持膜f而配置的連通通路70、72，也能夠與連通通路34同樣地設(shè)置多個(gè)，并單獨(dú)地進(jìn)行控制。據(jù)此，能夠防止由于板面大尺寸化所導(dǎo)致的、膜f的吸附強(qiáng)度的不均衡。

另外，通過分別設(shè)置多個(gè)為了吸附并保持膜f而配置的連通通路70、72和與包括模腔凹部12在內(nèi)的模具內(nèi)部20相連通的連通通路34這兩者并能夠單獨(dú)地進(jìn)行控制，還能夠使它們連動(dòng)而獲得協(xié)同作用。采用這樣的結(jié)構(gòu)，即使由于工件w的大尺寸化而在減壓時(shí)必須吸引的容積大幅度增大而需要在短時(shí)間內(nèi)較強(qiáng)地進(jìn)行減壓、且產(chǎn)生了對(duì)覆蓋較大的模具面的膜進(jìn)行吸附的需要，也能夠在利用通路34進(jìn)行減壓的狀態(tài)保持均衡的情況下均勻地進(jìn)行減壓。由此，能夠在整體上均勻地吸附膜f。據(jù)此，例如，能夠防止模腔中的減壓和吸附的平衡被打破而使一部分的膜f被拉向與吸附面相反的那一面從而自模具面剝離。