專利名稱：光固化性轉(zhuǎn)印片、以及使用其的凹凸圖案的形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可有利地用于制造電子器件、光學(xué)部件、存儲(chǔ)介質(zhì)等的光固化性轉(zhuǎn)印片、以及使用其的凹凸圖案的形成方法，特別涉及微細(xì)加工技術(shù)的納米壓印。
背景技術(shù)：
使用光或電子射線的微細(xì)加工技術(shù)的進(jìn)展顯著，用光實(shí)現(xiàn)了 IOOnm的加工，用電子射線實(shí)現(xiàn)了 IOnm的加工。然而，由于這些微細(xì)加工裝置昂貴，因此需要更廉價(jià)的加工技術(shù)。根據(jù)這種目的，正在逐步確立通過納米壓印技術(shù)(nano-imprint technology)來在硅基板等上形成所需的電路圖案等的方法。與以往的沖壓技術(shù)(press technology)相比，納米壓印技術(shù)是用于實(shí)現(xiàn)更微小的結(jié)構(gòu)的微細(xì)加工技術(shù)。該技術(shù)本身沒有分辨率的界限，分辨率是由模具(即mold)的制作精度來決定的。因此，只要能制作模具，即可通過與現(xiàn)有的照相平版法相比更容易且廉價(jià)得多的裝置來形成極微細(xì)結(jié)構(gòu)。納米壓印技術(shù)根據(jù)被轉(zhuǎn)印的材料大致分為兩類。一類是將被轉(zhuǎn)印的材料加熱，通過模具(mold)來使之塑性變形，然后冷卻來形成圖案的熱納米壓印技術(shù)。另一類是在基板上在室溫下涂布液態(tài)的光固化性樹脂，然后將光透過性的模具按壓在樹脂上并照射光，從而使基板上的樹脂固化來形成圖案的光納米壓印技術(shù)。尤其是光納米壓印技術(shù)可以在室溫下形成圖案，因此不容易因由熱導(dǎo)致的基板、模具之間的線性膨脹系數(shù)差而產(chǎn)生變形，可以形成高精度的圖案，其作為半導(dǎo)體等的光刻技術(shù)的替代技術(shù)而受到關(guān)注。雖然通過納米壓印可以廉價(jià)地進(jìn)行圖案成形，但樹脂容易附著在作為母壓模 (mother stamper)的模具(mold)上，在附著有樹脂時(shí)，極難維修該模具。模具(mold)非常昂貴，因此從制造整體來看在很多情況下稱不上廉價(jià)。專利文獻(xiàn)1(日本特開2007-165812號(hào)公報(bào))中公開了基于兩道工序的壓印法。 即，在第一工序中，在具有形成了微米級(jí)或納米級(jí)的微細(xì)凹凸圖案的表面的模板(上述母壓模的反轉(zhuǎn)物)上，以表面與表面正對(duì)接觸的方式放置熱塑性聚合物等塑性聚合物箔 (plasticity polymer foil)，進(jìn)行壓印處理，從而在聚合物箔的表面形成模板表面的圖案的反轉(zhuǎn)圖案。接著，在第二工序中，對(duì)所得聚合物壓模(中間壓模)實(shí)施與上述同樣的處理， 在另一塑性聚合物箔的表面形成第二反轉(zhuǎn)拷貝(與模板相同的圖案)。該方法中，產(chǎn)品使用中間壓模來成型，因此不會(huì)使母壓模(模板)產(chǎn)生嚴(yán)重?fù)p傷。 然而，雖然由于在中間壓模的制作中使用熱塑性聚合物而可以使用大范圍的各種各樣的聚合物，但反之，存在的不利有成型需要加熱、冷卻這樣的大量能量，而且成型時(shí)間需要1分鐘以上的長時(shí)間。因此，在連續(xù)制造時(shí)難以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(tact time，處理所需的時(shí)間)。另外，專利文獻(xiàn)1中記載了在中間壓模制作時(shí)組合使用光固化性樹脂的例子，但由于光固化性樹脂是液態(tài)物，因此操作性差，另外固化收縮、厚度不均勻等也大，因而無法實(shí)現(xiàn)包括上述縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間等在內(nèi)的生產(chǎn)率的提高。進(jìn)而，存在如下問題與母壓模的剝離性低，以及，與從中間壓模轉(zhuǎn)印凹凸圖案得到的產(chǎn)品、即固化了的紫外線固化樹脂的剝離性低。另一方面，專利文獻(xiàn)2中公開了如下方法在制作由紫外線固化樹脂形成的中間壓模時(shí)，在基材薄膜上的紫外線固化樹脂中添加內(nèi)部固化型有機(jī)硅樹脂，從而改善剝離性的方法。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-165812號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開平9-63130號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題然而，專利文獻(xiàn)2的紫外線固化樹脂也是液態(tài)物，無法解決上述的操作性差、固化收縮等問題。此外，在添加有機(jī)硅樹脂時(shí)，如果添加量少，則無法發(fā)揮剝離性改善效果，如果添加量多，則無法保持與基材薄膜的密合，因此，未必能說是充分的方法。通過本發(fā)明人等的研究可知，關(guān)于操作性等問題，作為轉(zhuǎn)印材料，通過代替紫外線固化性樹脂而使用片狀的光固化性樹脂(即光固化性轉(zhuǎn)印片)，操作性、固化收縮等得到了改善。但，如上所述，關(guān)于剝離性改善等問題，僅通過添加有機(jī)硅樹脂是說不上充分的。因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種光固化性轉(zhuǎn)印片，其為在制作電子器件、光學(xué)部件、存儲(chǔ)介質(zhì)等中有用的納米壓印加工法中，可有利地用于中間壓模的制作的光固化性轉(zhuǎn)印片，該光固化性轉(zhuǎn)印片與此時(shí)所使用的具有微細(xì)凹凸圖案的模具的剝離性、以及與從該中間壓模轉(zhuǎn)印凹凸圖案而得到的產(chǎn)品的光固化性樹脂的剝離性良好，且，與基材薄膜的密合性良好。進(jìn)而本發(fā)明的目的在于，提供使用上述光固化性轉(zhuǎn)印片形成微細(xì)的凹凸圖案的方法。用于解決問題的方案上述目的通過一種光固化性轉(zhuǎn)印片而實(shí)現(xiàn)，該光固化性轉(zhuǎn)印片的特征在于，其為具有可通過加壓變形的由光固化性組合物形成的光固化性轉(zhuǎn)印層的光固化性轉(zhuǎn)印片，其中，前述光固化性組合物作為潤滑劑含有有機(jī)硅系樹脂和/或含氟原子的烯屬化合物，光固化性轉(zhuǎn)印層的表面能超過20mN/m、不足30mN/m。由此，可制成一種光固化性轉(zhuǎn)印片，其與模具的剝離性良好，在作為中間壓模使用時(shí)，與轉(zhuǎn)印凹凸圖案得到的產(chǎn)品的光固化樹脂的剝離性也良好，且光固化性轉(zhuǎn)印片對(duì)基材薄膜的密合性良好。這里，表面能是指如下的值從通過接觸角儀(Drop-master (協(xié)和界面公司制造)、標(biāo)準(zhǔn)溶劑水、1-溴化萘、二碘甲烷)測得的接觸角的數(shù)值，根據(jù)基于北崎、畑的擴(kuò)展R)wkes式的幾何學(xué)平均法進(jìn)行分析(北崎寧昭、畑敏雄等、日本接著協(xié)會(huì)誌、第8卷 (3) 131-141頁(1972年))而求得的值。本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片的優(yōu)選的實(shí)施方式如下。(1)前述有機(jī)硅系樹脂為改性聚硅氧烷。(2)改性聚硅氧烷為含有(甲基)丙烯酰基的聚硅氧烷。(3)前述含氟原子的烯屬化合物為氟代(甲基)丙烯酸酯類。
(4)在前述光固化性轉(zhuǎn)印層的一側(cè)的表面具備具有易粘接層和透明薄膜的易粘接薄膜，且該易粘接層被設(shè)置成與光固化性轉(zhuǎn)印層接觸。(5)前述透明薄膜為聚酯薄膜。(6)前述易粘接層含有選自聚酯樹脂、聚氨酯樹脂和丙烯酸類樹脂中的至少一種樹脂。此外，上述目的還可通過包括下述工序的凹凸圖案的形成方法來實(shí)現(xiàn)工序(1)，將表面具有微細(xì)的凹凸圖案的模具的表面載置于本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片的轉(zhuǎn)印層，使得該模具的凹凸圖案面與該轉(zhuǎn)印層的表面接觸，并按壓，從而形成轉(zhuǎn)印層的表面沿凹凸圖案表面密合的層疊體；工序O)，通過紫外線照射來使帶有模具的層疊體的轉(zhuǎn)印層固化；和工序(3)，通過除去模具，在該轉(zhuǎn)印層的表面形成微細(xì)的反轉(zhuǎn)凹凸圖案。該方法中，由于使用本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片來轉(zhuǎn)印模具的表面的微細(xì)的凹凸圖案，因此光固化性轉(zhuǎn)印片與模具的剝離性良好，轉(zhuǎn)印層的一部分不會(huì)附著在模具上，可在轉(zhuǎn)印層上形成沒有缺陷的反轉(zhuǎn)凹凸圖案。此外，由此，可無損傷地使用昂貴的模具。進(jìn)而，還可通過包括下述工序的凹凸圖案的形成方法來實(shí)現(xiàn)工序0)，將通過上述的方法形成了前述模具的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)凹凸圖案的光固化性轉(zhuǎn)印片(中間壓模)的微細(xì)的反轉(zhuǎn)凹凸圖案的表面載置于形成在基板上的由光固化性樹脂組合物形成的光固化性樹脂層，使得中間壓模的反轉(zhuǎn)凹凸圖案面與光固化性樹脂層的表面接觸，并按壓，從而形成光固化性樹脂層的表面沿反轉(zhuǎn)凹凸圖案表面密合的層疊體；工序(5)，通過紫外線照射來使帶有中間壓模的層疊體的光固化性樹脂層固化； 和工序(6)，通過除去中間壓模，在光固化性樹脂層的表面形成與前述模具相同的微細(xì)的凹凸圖案。該方法中，由于將形成了模具的反轉(zhuǎn)凹凸圖案的本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片作為中間壓模使用，將微細(xì)的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到形成在基板上的光固化性樹脂層，因此，中間壓模與固化了的光固化性樹脂層的剝離性良好，光固化性樹脂層的一部分不會(huì)附著于中間壓模， 可形成沒有缺陷的與模具同樣的凹凸圖案。本發(fā)明的凹凸圖案的形成方法的優(yōu)選的實(shí)施方式如下。(1)前述光固化性樹脂組合物是液態(tài)的。本發(fā)明的方法中，即便為液態(tài)的光固化性樹脂組合物，其剝離性也良好，是有效的。(2)前述模具為壓模。本發(fā)明的方法對(duì)于使用了用于納米壓印加工法中的壓模的凹凸圖案的形成是有效的。發(fā)明效果本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片為如下的光固化性轉(zhuǎn)印片由于其光固化性轉(zhuǎn)印層與具有微細(xì)凹凸圖案的壓模等模具的剝離性、以及與產(chǎn)品的固化了的光固化性樹脂的剝離性良好，且與基材薄膜的密合性良好，因此，可照原樣地轉(zhuǎn)印模具的圖案，不會(huì)因樹脂的附著而損傷模具，且膜自支撐性優(yōu)異。因此，使用本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片的、光納米壓印加工法等微細(xì)的凹凸圖案的形成方法，可照原樣地形成模具的圖案，不會(huì)損傷昂貴的壓模。此外， 光固化性轉(zhuǎn)印片的膜自支撐性良好，因此片的處理性優(yōu)異，通過縮短連續(xù)制造時(shí)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(tact time，處理所需的時(shí)間)，可提高生產(chǎn)率、可實(shí)現(xiàn)降低成本。
因此，通過本發(fā)明的凹凸圖案的形成方法，通過本發(fā)明的凹凸圖案的形成方法，可以有利地得到電子顯示器肋(display rib)、電子器件(光刻、晶體管)、光學(xué)部件(微透鏡陣列、波導(dǎo)、濾光器、光子晶體)、生物關(guān)聯(lián)材料(DNA芯片、微型反應(yīng)器)、存儲(chǔ)介質(zhì)(晶格介質(zhì)(patterned media)、DVD)。


圖1為示出本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片的代表例的剖面示意圖。
圖2為示出本發(fā)明的微細(xì)凹凸圖案形成方法的代表例的剖面示意圖。
圖3為示出本發(fā)明的微細(xì)凹凸圖案形成方法的代表例的剖面示意圖(從圖2繼續(xù)進(jìn)行的情形)。
圖4為示出根據(jù)本發(fā)明的微細(xì)凹凸圖案的連續(xù)形成方法的代表例的剖面示意圖。
附圖標(biāo)記說明
10,30光固化性轉(zhuǎn)印片
11,31光固化性轉(zhuǎn)印層
11c,31c光固化性轉(zhuǎn)印層(固化后)
12,32透明薄膜
12a易粘接層
12b聚合物薄膜
13,33剝離片
14壓模
15,40基板
16,41光固化性樹脂層
20中間壓模
34壓模部
35,45UV透射型壓合部
36a輸送輥
36b、36f卷取輥
36c、36d、36e 導(dǎo)向輥
37,47UV燈
具體實(shí)施例方式下面參照附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1為示出本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印片10的實(shí)施方式的代表例的剖面圖。在光固化性轉(zhuǎn)印層11的一側(cè)的表面設(shè)置有由具有易粘接層12a的聚合物薄膜12b構(gòu)成的透明薄膜12，并且在另一側(cè)的表面設(shè)置有剝離片13。透明薄膜12通過易粘接層1 而強(qiáng)力粘接于光固化性轉(zhuǎn)印層11。因此，易粘接層1 顯示與光固化性轉(zhuǎn)印層11、固化后的光固化性轉(zhuǎn)印層11和聚合物薄膜12b的優(yōu)異粘接性。另外，通過聚合物薄膜12b，可賦予光固化性轉(zhuǎn)印片10和固化后的光固化性轉(zhuǎn)印片10以膜自支撐性。剝離片13是用于保護(hù)光固化性轉(zhuǎn)印層的片，可以沒有該剝離片，但在超長片中使用時(shí)等在處理性方面優(yōu)選設(shè)置該剝離片。剝離片一般是在塑料片上設(shè)置剝離層而得到的，剝離層以與光固化性轉(zhuǎn)印層11的表面接觸的方式設(shè)置，通常在使用時(shí)除去。本發(fā)明的光固化性轉(zhuǎn)印層11為通過加壓容易變形的層，且固化后與模具的剝離性優(yōu)異，在作為中間壓模使用時(shí)，與轉(zhuǎn)印凹凸圖案得到的產(chǎn)品的光固化性樹脂的剝離性也優(yōu)異，且與透明薄膜12的密合性良好，使得可通過按壓模具(優(yōu)選為壓模)的微細(xì)凹凸圖案表面而精確地轉(zhuǎn)印。即，光固化性轉(zhuǎn)印層11由光固化性組合物(通常包含聚合物和具有光聚合性官能團(tuán)的反應(yīng)性稀釋劑)形成，作為潤滑劑含有有機(jī)硅系樹脂和/或含氟原子的烯屬化合物，且，光固化性轉(zhuǎn)印層11的表面能超過20mN/m、不足30mN/m。由此，可制成如下的適合的光固化性轉(zhuǎn)印層11，雖然固化的光固化性轉(zhuǎn)印層11的表面容易與模具剝離，從而在作為中間壓模使用時(shí)，成為容易與轉(zhuǎn)印凹凸圖案而得到的產(chǎn)品的光固化性樹脂剝離的狀態(tài)，但是其也維持著與透明薄膜12高的密合性。光固化性轉(zhuǎn)印層11的表面能為20mN/m以下時(shí)，與透明薄膜12的密合性不充分，作為中間壓模使用時(shí)，會(huì)排斥掉產(chǎn)品的光固化性樹脂，凹凸圖案的轉(zhuǎn)印變不充分。另一方面，表面能為30mN/m以上時(shí)，與模具的剝離性、與產(chǎn)品的光固化性樹脂的剝離性變不充分。本發(fā)明中，光固化性組合物由如下物質(zhì)構(gòu)成聚合物、具有光聚合性官能團(tuán)(一般為碳-碳雙鍵基團(tuán)、優(yōu)選為(甲基)丙烯?；?的反應(yīng)性稀釋劑(單體和低聚物)、光聚合性引發(fā)劑、作為潤滑劑的有機(jī)硅系樹脂和/或含氟原子的烯屬化合物、以及根據(jù)期望的其他添加劑。作為光固化性組合物的聚合物，優(yōu)選含有玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)為80°C以上的聚合物。由此，模具的微細(xì)凹凸圖案可以容易地轉(zhuǎn)印，固化也可以高速進(jìn)行。另外，由于固化得到的形狀也具有高Tg，因此其形狀不會(huì)變化而可長期維持。作為玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為80°C 以上的聚合物，具有聚合性官能團(tuán)時(shí)，可以與反應(yīng)性稀釋劑反應(yīng)，有利于固化的高速化。另外，通過具有羥基，通過使光固化性轉(zhuǎn)印層11含有二異氰酸酯，可以使聚合物少量交聯(lián)，特別有利于形成可大幅度抑制轉(zhuǎn)印層滲出、層厚變化的層。二異氰酸酯對(duì)于無羥基的聚合物也有一定程度的效果。光固化性組合物中作為潤滑劑而添加的有機(jī)硅系樹脂，只要是可調(diào)整光固化性轉(zhuǎn)印層11的表面能的物質(zhì)，則可以是任何物質(zhì)。例如，可列舉非改性或改性聚硅氧烷。為了可減少從光固化性成分的滲出(bleed)，優(yōu)選改性聚硅氧烷。作為非改性聚硅氧烷的例子，可列舉二甲基硅油、甲基苯基硅油、甲基含氫硅油。此外，作為改性聚硅氧烷的例子，有上述聚硅氧烷的、在側(cè)鏈、兩末端或一末端具有官能團(tuán)的物質(zhì)，作為該官能團(tuán)的例子，可列舉氨基、 環(huán)氧基、脂環(huán)式環(huán)氧基、甲醇基、巰基、羧基、丙烯?；⒓谆；８男跃酃柩跬楫?dāng)中， 特別是優(yōu)選丙烯酰基和/或甲基丙烯?；男跃酃柩跬椤４送?甲基)丙烯?；梢酝ㄟ^聚環(huán)氧烷與聚硅氧烷結(jié)合。作為潤滑劑而添加的含氟原子的烯屬化合物，只要是可調(diào)整光固化性轉(zhuǎn)印層的表面能的物質(zhì)，則可以是任何物質(zhì)。從容易調(diào)整表面能的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選氟代(甲基)丙烯酸酯類。作為氟代(甲基)丙烯酸酯類的例子，可列舉2，2，2-三氟乙基丙烯酸酯、2，2，2-三氟乙基甲基丙烯酸酯、2，2,3,3-四氟丙基丙烯酸酯、1H，1H，5H-八氟戊基丙烯酸酯、1H，1H， 5H-八氟戊基甲基丙烯酸酯等。
這些潤滑劑可單獨(dú)或?qū)⒍喾N組合使用。為了將光固化性轉(zhuǎn)印層11的表面能調(diào)整為超過20mN/m、不足30mN/m，可根據(jù)潤滑劑的種類來適當(dāng)調(diào)整潤滑劑的添加量。表面能如下求得。即，通過接觸角儀(Drop-master (協(xié)和界面公司制造)，作為標(biāo)準(zhǔn)溶劑使用水、1-溴化萘、二碘甲烷來測定光固化性轉(zhuǎn)印層的接觸角。從所得數(shù)值，根據(jù)基于北崎、畑的擴(kuò)展i^owkes式的幾何學(xué)平均法進(jìn)行分析(北崎、畑等、日本接著協(xié)會(huì)誌、第8 卷(3) 131-141頁(1972年))，求出表面能。S卩，使用上述文獻(xiàn)中記載的標(biāo)準(zhǔn)溶劑的表面能數(shù)據(jù)(表1)和下述數(shù)學(xué)式1，算出標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和光固化性轉(zhuǎn)印層的粘附功(work of adhesion)。[表1]
權(quán)利要求
1.一種光固化性轉(zhuǎn)印片，其特征在于，所述光固化性轉(zhuǎn)印片具有可通過加壓變形的由光固化性組合物形成的光固化性轉(zhuǎn)印層，其中，所述光固化性組合物作為潤滑劑含有有機(jī)硅系樹脂和/或含氟原子的烯屬化合物，光固化性轉(zhuǎn)印層的表面能超過20mN/m、不足30mN/m。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固化性轉(zhuǎn)印片，所述有機(jī)硅系樹脂為改性聚硅氧烷。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光固化性轉(zhuǎn)印片，改性聚硅氧烷為含有(甲基)丙烯?；木酃柩跬椤?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固化性轉(zhuǎn)印片，所述含氟原子的烯屬化合物為氟代(甲基)丙烯酸酯類。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的光固化性轉(zhuǎn)印片，在所述光固化性轉(zhuǎn)印層的一側(cè)的表面具備具有易粘接層和聚合物薄膜的透明薄膜，且該易粘接層被設(shè)置成與光固化性轉(zhuǎn)印層接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光固化性轉(zhuǎn)印片，所述透明薄膜為聚酯薄膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的光固化性轉(zhuǎn)印片，所述易粘接層含有選自聚酯樹脂、聚氨酯樹脂和丙烯酸類樹脂中的至少一種樹脂。
8.—種凹凸圖案的形成方法，包括下述工序工序(1)，將表面具有微細(xì)的凹凸圖案的模具的表面載置于權(quán)利要求1 7中的任一項(xiàng)所述的光固化性轉(zhuǎn)印片的轉(zhuǎn)印層，使得該模具的凹凸圖案面與該轉(zhuǎn)印層的表面接觸，并按壓，從而形成轉(zhuǎn)印層的表面沿凹凸圖案表面密合的層疊體；工序O)，通過紫外線照射來使帶有模具的層疊體的轉(zhuǎn)印層固化；和，工序( ，通過除去模具，在該轉(zhuǎn)印層的表面形成微細(xì)的反轉(zhuǎn)凹凸圖案。
9.一種凹凸圖案的形成方法，包括下述工序工序G)，將通過權(quán)利要求8所述的方法形成了所述模具的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)凹凸圖案的光固化性轉(zhuǎn)印片即中間壓模的微細(xì)的反轉(zhuǎn)凹凸圖案的表面載置于形成在基板上的由光固化性樹脂組合物形成的光固化性樹脂層，使得該中間壓模的反轉(zhuǎn)凹凸圖案面與光固化性樹脂層的表面接觸，并按壓，從而形成光固化性樹脂層的表面沿反轉(zhuǎn)凹凸圖案表面密合的層疊體；工序(5)，通過紫外線照射來使帶有中間壓模的層疊體的光固化性樹脂層固化；和工序(6)，通過除去中間壓模，在光固化性樹脂層的表面形成與所述模具相同的微細(xì)的凹凸圖案。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，所述光固化性樹脂組合物是液態(tài)的。
11.根據(jù)權(quán)利要求8 10中的任一項(xiàng)所述的方法，所述模具為壓模。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光固化性轉(zhuǎn)印片，其為在納米壓印加工法中，可有利地用于中間壓模的制作的光固化性轉(zhuǎn)印片，該光固化性轉(zhuǎn)印片與此時(shí)所使用的具有微細(xì)凹凸圖案的模具的剝離性、以及與從該中間壓模轉(zhuǎn)印凹凸圖案而得到的產(chǎn)品的光固化樹脂的剝離性良好，且，與基材薄膜的密合性良好；進(jìn)而提供使用了該光固化性轉(zhuǎn)印片的形成微細(xì)的凹凸圖案的方法。光固化性轉(zhuǎn)印片(10)，其特征在于，其為具有可通過加壓變形的由光固化性組合物形成的光固化性轉(zhuǎn)印層(11)的光固化性轉(zhuǎn)印片(10)，其中，前述光固化性組合物作為潤滑劑含有有機(jī)硅系樹脂和/或含氟原子的烯屬化合物，光固化性轉(zhuǎn)印層(11的表面能超過20mN/m、不足30mN/m。進(jìn)而，提供使用了該光固化性轉(zhuǎn)印片10的形成凹凸圖案的方法。
文檔編號(hào)B29K83/00GK102272887SQ201080004245
公開日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2010年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月8日
發(fā)明者橋元賢志, 甲斐田榮三, 稻宮隆人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社普利司通