專利名稱：靶材的真空包裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及濺射靶材的保存方法，特別涉及一種靶材的真空包裝方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體工藝所用靶材的純度要求很高，除了生產(chǎn)過程中生產(chǎn)技術(shù)的不斷提高以符合生產(chǎn)要求，在包裝、運(yùn)輸、保存等過程中，也要盡量排除掉對(duì)靶材品質(zhì)的影響因素。當(dāng)前，大多數(shù)靶材的包裝都是真空包裝。真空包裝相對(duì)于普通包裝方法來說，有著防潮防氧化等優(yōu)點(diǎn)。但是現(xiàn)有的真空包裝方式一般都是采取將包裝袋內(nèi)空氣排出即進(jìn)行塑封的方式。這樣不能確?？諝獗慌诺暮芨蓛簦绻锌諝鈿埩?，容易造成靶材在包裝后仍生銹的現(xiàn)象。生銹的靶材不僅外觀不美，而且影響濺射的金屬膜的質(zhì)量，濺射出的金屬膜參數(shù)會(huì)異常。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種更好的確保包裝袋內(nèi)沒有容易引起靶材生銹或表面被氧化的空氣的真空包裝方法。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種靶材的真空包裝方法，其特征在于，包括靶材裝入包裝袋，對(duì)包裝袋進(jìn)行第一次抽真空；向包裝袋充入惰性氣體；對(duì)包裝袋進(jìn)行第二次抽真空；將包裝袋封口?？蛇x的，進(jìn)行第一次抽真空、第二次抽真空或充入惰性氣體或氮?dú)鈺r(shí)，用壓板壓住所述包裝袋的開口，僅留2 3mm的孔便于正好插入用于抽真空或充氣的氣閥?？蛇x的，在進(jìn)行第一次抽真空與充惰性氣體，或充惰性氣體與第二次抽真空的轉(zhuǎn)換時(shí)，所述氣閥關(guān)閉，使得包裝袋被密封?？蛇x的，所述第一次或第二次抽真空過程中，包裝袋內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)停止抽真空?？蛇x的，充惰性氣體時(shí)，包裝袋內(nèi)被惰性氣體填充滿時(shí)停止充氣?？蛇x的，第二次抽真空結(jié)束的同時(shí)對(duì)包裝袋進(jìn)行所述封口的操作?？蛇x的，所述真空包裝方法在半導(dǎo)體凈化室環(huán)境或其它同等凈化標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)境中進(jìn)行?？蛇x的，所述惰性氣體包括稀有氣體與氮?dú)?。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，更好的排出掉包裝袋中的空氣，排除掉能引起靶材生銹的因素，保證空氣盡可能都排除，加上惰性氣體本來就不容易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，充惰性氣體再抽真空可有效的防止靶材生銹。


通過附圖中所示的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的更具體說明，本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢(shì)將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實(shí)際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。圖1是第一實(shí)施例中靶材裝入包裝袋，對(duì)包裝袋第一次抽真空之前的示意圖。圖2是第一實(shí)施例中對(duì)包裝袋進(jìn)行第一次抽真空結(jié)束時(shí)的示意圖。圖3是第一實(shí)施例中對(duì)包裝袋進(jìn)行充惰性氣體結(jié)束時(shí)的示意圖。圖4是第一實(shí)施例中第二次抽真空結(jié)束，且包裝袋被封好口的示意圖。圖5是第二實(shí)施例中靶材裝入包裝袋，對(duì)包裝袋第一次抽真空之前的示意圖。圖6是第二實(shí)施例中對(duì)包裝袋進(jìn)行第一次抽真空結(jié)束時(shí)的示意圖。圖7是第二實(shí)施例中對(duì)包裝袋進(jìn)行充惰性氣體結(jié)束時(shí)的示意圖。圖8是第二實(shí)施例中第二次抽真空結(jié)束，且包裝袋被封好口的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明為了有效的保證靶材包裝嚴(yán)密、不生銹，確保包裝袋內(nèi)空氣或別的容易引起靶材生銹的因素都被排除，采用在第一次抽真空后，充入惰性氣體，再進(jìn)行第二次抽真空的方法，有效防止了包裝好的靶材生銹的問題。本發(fā)明可按照以下步驟進(jìn)行Sl 靶材裝入包裝袋，用壓板壓住所述包裝袋的開口，僅留2 3mm的孔使得氣閥正好插入。S2:對(duì)包裝袋進(jìn)行第一次抽真空，包裝袋內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)，停止抽真空，氣閥關(guān)閉保持包裝袋內(nèi)不漏氣。S3:向包裝袋充惰性氣體，包裝袋內(nèi)被惰性氣體填充滿時(shí)停止充氣，氣閥關(guān)閉保持包裝袋內(nèi)不漏氣。S4:對(duì)包裝袋進(jìn)行第二次抽真空，包裝袋內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)停止抽真空， 氣閥關(guān)閉保持包裝袋內(nèi)不漏氣，并同時(shí)將包裝袋封口。本發(fā)明的方法可適用于所有靶材，如在空氣中放久了會(huì)氧化的鋁靶、鈦靶、鉭靶， 尤其是對(duì)容易生銹的銅靶有明顯的效果。本發(fā)明所用的惰性氣體可以用任何一種稀有氣體，因?yàn)橄∮袣怏w最外電子層的電子已“滿”(即已達(dá)成八隅體狀態(tài))，所以它們非常穩(wěn)定，極少進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。通常經(jīng)氣體液化和分餾方法可從空氣中獲得氖、氬、氪和氙；氦氣通常從天然氣提取出來；氡氣則通常由鐳化合物經(jīng)放射性衰變后分離出來。氦氣相對(duì)別的惰性氣體而言更容易獲取，在工業(yè)生產(chǎn)中運(yùn)用比較廣泛，故較多情況下可以利用氦氣。氮?dú)馐腔瘜W(xué)性質(zhì)不活潑的氣體，這里也可以選用。因而這里所說的惰性氣體也包括氮?dú)?。因?yàn)榘胁氖怯糜诎雽?dǎo)體工藝的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，故本發(fā)明的實(shí)施是在半導(dǎo)體凈化間中進(jìn)行的，保證靶材的品質(zhì)在包裝過程中不被環(huán)境影響品質(zhì)。另外，為了盡可能的保證包裝袋內(nèi)的空氣被排干凈，在步驟S3中，可以使惰性氣體能夠較充分地充滿包裝袋，再維持惰性氣體較長時(shí)間的通入，另外設(shè)置出氣口，使得惰性氣體不斷充入的同時(shí)能夠?qū)⒅暗臍怏w排出。為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施的限制。其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本發(fā)明實(shí)施例時(shí)，為便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是實(shí)例，其在此不應(yīng)限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。實(shí)施例一進(jìn)行步驟Sl 銅靶材2裝入包裝袋1，插入氣閥4，氣閥4兩側(cè)的開口用壓板3壓住，抵住氣閥4。這樣包裝袋1的開口被壓板3壓住，僅留了 2 3mm的孔正好讓氣閥插入， 保持了袋內(nèi)密閉。如圖1所示。氣閥4連在抽真空/充氣的機(jī)器內(nèi)部，機(jī)器內(nèi)可以對(duì)抽真空和充氣的狀態(tài)進(jìn)行轉(zhuǎn)換。氣閥4在進(jìn)行抽真空和充氣的轉(zhuǎn)換過程中，可以關(guān)閉，保持包裝袋1內(nèi)的密封。進(jìn)行步驟S2 對(duì)包裝袋1進(jìn)行第一次抽真空，同時(shí)，會(huì)有檢測(cè)裝置檢測(cè)包裝袋1內(nèi)真空度，當(dāng)檢測(cè)到包裝袋1內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)，停止抽真空，氣閥4關(guān)閉保持包裝袋1內(nèi)不漏氣。如圖2所示。進(jìn)行步驟S3:向包裝袋1充氦氣，由于原本包裝袋1內(nèi)已經(jīng)被抽真空，故包裝袋1 呈現(xiàn)緊縮狀態(tài)，當(dāng)充入氦氣時(shí)，包裝袋1漸漸漲起來，當(dāng)包裝袋1內(nèi)被氦氣填充滿時(shí)即停止充氣，不需要充入過多氦氣，免得包裝袋1被充入的氣體撐破。氣閥4關(guān)閉保持包裝袋1內(nèi)不漏氣。如圖3所示。進(jìn)行步驟S4 對(duì)包裝袋1進(jìn)行第二次抽真空，對(duì)包裝袋1進(jìn)行第二次抽真空，同時(shí)，會(huì)有檢測(cè)裝置檢測(cè)包裝袋1內(nèi)真空度，當(dāng)檢測(cè)到包裝袋1內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)， 停止抽真空，氣閥4關(guān)閉保持包裝袋內(nèi)不漏氣。并同時(shí)在壓板處3，通過升溫加壓等方式將包裝袋1封口。在氣閥4抽出的同時(shí)，壓板3滑過去，將開始預(yù)留給氣閥4的開口封口，最后，包裝袋開口處形成封口 5。如圖4所示。實(shí)施例二進(jìn)行步驟Si，銅靶材2’裝入包裝袋1’，包裝袋1’具有兩個(gè)開口。分別插入氣閥4’、如’，氣閥4’、4a’兩側(cè)的開口分別用壓板3’、3a’壓住，抵住氣閥4’、4a’。這樣包裝袋1，的開口被壓板3’、3a’壓住，各自僅留了 2 3mm的孔正好讓氣閥4’、4a’插入，保持袋內(nèi)密閉。如圖5所示。氣閥4’、4a’連在抽真空/充氣的機(jī)器內(nèi)部，機(jī)器內(nèi)可以對(duì)抽真空和充氣的狀態(tài)進(jìn)行轉(zhuǎn)換。氣閥4’、4a’在進(jìn)行抽真空和充氣的轉(zhuǎn)換過程中，可以關(guān)閉，保持包裝袋1，內(nèi)的密封。進(jìn)行步驟S2’ 通過氣閥4’對(duì)包裝袋1’進(jìn)行第一次抽真空，同時(shí)，氣閥4a’為關(guān)閉狀態(tài)保持包裝袋1’內(nèi)不漏氣。在抽真空的同時(shí)，會(huì)有檢測(cè)裝置檢測(cè)包裝袋1’內(nèi)真空度，當(dāng)檢測(cè)到包裝袋1’內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)，停止抽真空，氣閥4’關(guān)閉保持包裝袋1’內(nèi)不漏氣。如圖2所示。進(jìn)行步驟S3，通過氣閥如’向包裝袋1，充氦氣，由于原本包裝袋1，內(nèi)已經(jīng)被抽真空，故包裝袋1’呈現(xiàn)緊縮狀態(tài)，當(dāng)充入氦氣時(shí)，包裝袋1’漸漸漲起來，當(dāng)包裝袋1內(nèi)被氦氣填充滿鼓起來時(shí)，氣閥4’打開。
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進(jìn)行步驟S4’ 氣閥4’打開時(shí)開始進(jìn)行第二次抽真空。保持充氣和抽真空的狀態(tài) 2 5min，關(guān)閉充氣氣閥，即停止充氣。如圖3所示。繼續(xù)保持抽真空狀態(tài)，同時(shí)，會(huì)有檢測(cè)裝置檢測(cè)包裝袋1’內(nèi)真空度，當(dāng)檢測(cè)到包裝袋1’內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)，停止抽真空，氣閥4’關(guān)閉保持包裝袋內(nèi)不漏氣。并同時(shí)在壓板3’、3a’處，通過升溫加壓等方式將包裝袋1’封口。在氣閥4’、4a’抽出的同時(shí)，壓板3’、3a’滑過去，將開始預(yù)留給氣閥4’、4a’ 的開口封口，最后，包裝袋開口處形成封口 5’、5a’。如圖4所示。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此， 凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種靶材的真空包裝方法，其特征在于，包括靶材裝入包裝袋，對(duì)包裝袋進(jìn)行第一次抽真空；向包裝袋充入惰性氣體；對(duì)包裝袋進(jìn)行第二次抽真空；將包裝袋封口。
2.如權(quán)利要求1所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，進(jìn)行第一次抽真空、第二次抽真空或充入惰性氣體時(shí)，用壓板壓住所述包裝袋的開口，僅留2 3mm的孔便于正好插入用于抽真空或充氣的氣閥。
3.如權(quán)利要求2所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，在進(jìn)行第一次抽真空與充惰性氣體，或充惰性氣體與第二次抽真空的轉(zhuǎn)換時(shí)，所述氣閥關(guān)閉，使得包裝袋被密封。
4.如權(quán)利要求1所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，所述第一次或第二次抽真空過程中，包裝袋內(nèi)真空度達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)停止抽真空。
5.如權(quán)利要求1所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，充惰性氣體時(shí)，包裝袋內(nèi)被惰性氣體填充滿時(shí)停止充氣。
6.如權(quán)利要求1所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，第二次抽真空結(jié)束的同時(shí)對(duì)包裝袋進(jìn)行所述封口的操作。
7.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，所述真空包裝方法在半導(dǎo)體凈化室環(huán)境或其它同等凈化標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)境中進(jìn)行。
8.如權(quán)利要求1所述的靶材的真空包裝方法，其特征在于，所述惰性氣體包括稀有氣體與氮?dú)狻?br> 全文摘要
一種靶材的真空包裝方法，包括靶材裝入包裝袋，對(duì)包裝袋進(jìn)行第一次抽真空；向包裝袋充入惰性氣體；對(duì)包裝袋進(jìn)行第二次抽真空；將包裝袋封口。利用本發(fā)明的方法，可以很好的確保包裝袋內(nèi)沒有容易引起靶材生銹或表面被氧化的空氣。
文檔編號(hào)B65B31/02GK102424134SQ201110329880
公開日2012年4月25日 申請(qǐng)日期2011年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月26日
發(fā)明者姚力軍, 潘杰, 王學(xué)澤, 鄭文翔 申請(qǐng)人:余姚康富特電子材料有限公司