專利名稱：基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將大型基板浮起進(jìn)行輸送的基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，伴隨液晶顯示器(以下略稱為L(zhǎng)CD)和等離子體顯示板(以下略稱為PDP)等平板顯示器(以下略稱為FPD)的畫面大型化，用于FPD的玻璃基板的尺寸有逐年變大型化的趨勢(shì)。
以往，在FPD制造工序中，作為輸送大型玻璃基板的基板輸送裝置，從空氣吹出部件(基板浮起部件)向玻璃基板的下表面吹出壓縮空氣，使玻璃基板在空氣吹出部件上浮起(例如，參照日本特開(kāi)2000-193604號(hào)公報(bào)(圖3、圖4))。在這種結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，能夠容易輸送玻璃基板并且使其表面不受損傷。
并且，在該基板輸送裝置設(shè)有從下面?zhèn)戎闻c玻璃基板的行進(jìn)方向正交的寬度方向兩端的支撐滾子機(jī)構(gòu)；和接觸玻璃基板的寬度方向的兩端面的一對(duì)限制滾子機(jī)構(gòu)。限制滾子機(jī)構(gòu)通過(guò)從側(cè)部夾持從空氣吹出部件寬度方向端部(側(cè)端部)突出的玻璃基板寬度方向兩端部來(lái)限制寬度方向的位置。并且，支撐滾子機(jī)構(gòu)接近該限制滾子機(jī)構(gòu)配置。
但是，限制滾子機(jī)構(gòu)由于是離開(kāi)空氣吹出部件來(lái)夾持玻璃基板的寬度方向端部，所以在利用壓縮空氣使其浮起時(shí)，由限制滾子機(jī)構(gòu)夾持的玻璃基板的寬度方向端部相對(duì)通過(guò)壓縮空氣而浮起的玻璃基板表面而撓曲，不能水平地保持整個(gè)玻璃基板而輸送。
另外，由于利用限制滾子機(jī)構(gòu)夾持玻璃基板，所以向玻璃基板的寬度方向端部施加較大負(fù)荷，有可能致使玻璃基板受損。
而且，支撐滾子機(jī)構(gòu)接近該限制滾子機(jī)構(gòu)而配置，所以玻璃基板有時(shí)會(huì)在空氣吹出部件的側(cè)端部和支撐滾子機(jī)構(gòu)之間在下方撓曲。此處，玻璃基板基于壓縮空氣的浮起高度很小例如0.2mm，所以即使前述的玻璃基板的撓曲很小，也有可能因該撓曲致使玻璃基板接觸空氣吹出部件的側(cè)端部，使玻璃基板受損。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于提供一種基板輸送裝置，在將基板浮起進(jìn)行輸送時(shí)，減輕相對(duì)基板的外部負(fù)荷，同時(shí)可以水平地輸送基板并且使其不接觸空氣吹出部件。
為了達(dá)到上述目的，根據(jù)本發(fā)明提供的基板輸送裝置，以非接觸狀態(tài)使基板浮起進(jìn)行輸送，其特征在于，具有以非接觸狀態(tài)使基板浮起的基板浮起部件；保持在所述基板浮起部件上浮起的所述基板的側(cè)部并強(qiáng)制輸送的輸送機(jī)構(gòu)；和基板支撐機(jī)構(gòu)，設(shè)置在與所述基板的輸送方向平行的所述基板浮起部件的側(cè)部，從下面?zhèn)戎螐乃龌甯∑鸩考?cè)部在外側(cè)突出的所述基板的側(cè)部。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置，基板支撐機(jī)構(gòu)設(shè)在基板浮起部件的側(cè)部，從下面?zhèn)戎螐幕甯∑鸩考膫?cè)部在外側(cè)突出的基板的側(cè)部，所以能夠防止基板接觸基板浮起部件而受損。并且，即使玻璃基板向下方側(cè)翹曲時(shí)也能把玻璃基板矯正為水平狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的其他方式提供的基板輸送裝置，在平板顯示器的制造工序中以非接觸狀態(tài)使玻璃基板浮起進(jìn)行輸送，其特征在于，具有基板浮起部件，其寬度尺寸被設(shè)定成小于所述玻璃基板的寬度尺寸，并且與形成于所述玻璃基板上的圖形區(qū)域最外側(cè)的寬度尺寸大致相同，以非接觸狀態(tài)使所述玻璃基板浮起；輸送機(jī)構(gòu)，保持通過(guò)所述基板浮起部件浮起的所述玻璃基板的所述圖形區(qū)域以外的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部并強(qiáng)制輸送；和基板支撐機(jī)構(gòu)，沿著與所述玻璃基板的輸送方向平行的所述基板浮起部件的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部設(shè)置，從下面?zhèn)戎螐乃龌甯∑鸩考怀龅乃鰣D形區(qū)域以外的所述玻璃基板的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部，利用所述基板支撐機(jī)構(gòu)把從所述基板浮起部件的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部突出的所述玻璃基板的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部支撐為水平狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的其他方式提供的基板輸送裝置，在平板顯示器的制造工序中以非接觸狀態(tài)使玻璃基板浮起進(jìn)行輸送，其特征在于，具有基板浮起部件，其寬度尺寸被設(shè)定成小于所述玻璃基板的寬度尺寸，并且與形成于所述玻璃基板上的圖形區(qū)域最外側(cè)的寬度尺寸大致相同，以非接觸狀態(tài)使所述玻璃基板浮起；輸送機(jī)構(gòu)，沿著與所述基板浮起部件的輸送方向平行的一側(cè)側(cè)部配置，保持在所述基板浮起部件上浮起的所述玻璃基板的一方側(cè)部的前后和中間部并進(jìn)行輸送；和基板支撐機(jī)構(gòu)，沿著位于配置了與所述玻璃基板的輸送方向平行的所述輸送機(jī)構(gòu)的相反側(cè)的所述基板浮起部件的另一方側(cè)部配置，從下面?zhèn)戎嗡霾ＡЩ宓乃鰣D形區(qū)域以外的另一方側(cè)部，利用所述輸送機(jī)構(gòu)把在所述基板浮起部件上浮起的所述玻璃基板的一方側(cè)部保持為水平狀態(tài)進(jìn)行輸送，利用所述基板支撐機(jī)構(gòu)把從所述輸送機(jī)構(gòu)的相反側(cè)的所述基板浮起部件突出的所述玻璃基板的另一方側(cè)部支撐為水平狀態(tài)。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)具有設(shè)在所述基板浮起部件的側(cè)部的多個(gè)旋轉(zhuǎn)支撐部件，所述旋轉(zhuǎn)支撐部件在利用所述輸送機(jī)構(gòu)使所述基板向輸送方向移動(dòng)時(shí)，向在所述基板的下表面上滾動(dòng)的方向旋轉(zhuǎn)。
優(yōu)選所述旋轉(zhuǎn)支撐部件是可以在所述輸送方向旋轉(zhuǎn)的寬度較窄的滾子。
優(yōu)選所述旋轉(zhuǎn)支撐部件是被支撐成在多個(gè)方向自由旋轉(zhuǎn)的滾珠。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的基板支撐機(jī)構(gòu)，利用旋轉(zhuǎn)支撐部件支撐基板，在輸送基板時(shí)作為旋轉(zhuǎn)支撐部件的滾子或滾珠在基板的下表面上滾動(dòng)，所以滾子或滾珠與基板的滑動(dòng)摩擦減小，能夠防止基板因該滑動(dòng)摩擦而受損。
并且，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)支撐部件，特別是通過(guò)使用滾珠，即使基板在與輸送方向正交的寬度方向移動(dòng)，滾珠也能接觸基板并自由旋轉(zhuǎn)，所以能夠可靠地防止基板受損。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)具有循環(huán)部件，該循環(huán)部件具有接觸軌道，使多個(gè)滾珠在與所述基板的下表面相對(duì)的所述基板浮起部件的輸送面上露出，并使其在所述基板的下表面上滾動(dòng)著移動(dòng)；循環(huán)軌道，連接所述接觸軌道的兩端，使所述滾珠向所述接觸軌道上循環(huán)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)支撐部件，通過(guò)使多個(gè)滾珠在接觸軌道和循環(huán)軌道上循環(huán)，可以抑制因與基板之間的滾動(dòng)摩擦造成的滾珠磨損，可以長(zhǎng)時(shí)間地連續(xù)使用滾珠而不需要更換。
優(yōu)選所述基板支撐機(jī)構(gòu)是朝向從所述基板浮起部件的側(cè)部在外側(cè)突出的所述基板的側(cè)部吹出壓縮空氣的空氣吹出部。
優(yōu)選所述空氣吹出部是不同于使所述基板浮起的所述基板浮起部件的空氣供給系統(tǒng)的其他系統(tǒng)，并被調(diào)整為高于所述基板浮起部件的空氣壓力。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)由多個(gè)支撐單元構(gòu)成，各支撐單元被設(shè)置成相對(duì)所述基板浮起部件可以更換并且可以自由裝卸。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的基板支撐機(jī)構(gòu)，通過(guò)形成相對(duì)基板浮起部件可以裝卸的多個(gè)單元，可以簡(jiǎn)單地更換所要求的單元。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)由多個(gè)支撐單元構(gòu)成，各支撐單元被設(shè)置成相對(duì)所述基板浮起部件可以調(diào)整高度。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)沿著所述基板浮起部件的側(cè)部接近配置。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，具有寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述基板浮起部件被分割成多個(gè)在輸送方向細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀部件，該寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)使各部件在寬度方向滑動(dòng)，調(diào)整各部件之間的間隔。
優(yōu)選在上述結(jié)構(gòu)的基板輸送裝置中，所述基板浮起部件在承載所述基板的上表面具有多個(gè)空氣吹出用空氣孔，在所述上表面具有將滯留在與通過(guò)所述各空氣孔吹出的空氣而浮起的所述基板之間的排出空氣的槽。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的基板支撐機(jī)構(gòu)，利用空氣支撐基板的端部，能夠以非接觸狀態(tài)輸送基板，所以能夠可靠地防止基板的下表面受損。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式涉及的基板輸送裝置的概略俯視圖。
圖2是圖1的基板輸送裝置的概略側(cè)視圖。
圖3A是表示在圖1的基板輸送裝置中具有多個(gè)滾子的支撐單元的放大側(cè)視圖。
圖3B是表示該支撐單元的放大正視剖面圖。
圖4是表示在圖1的基板輸送裝置中使玻璃基板在基板承載臺(tái)上浮起的狀態(tài)的概略側(cè)視圖。
圖5是表示在圖1的基板輸送裝置中玻璃基板的空氣輸送動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
圖6是表示在圖1的基板輸送裝置中玻璃基板的空氣輸送動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
圖7A是表示在本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的基板輸送裝置中具有多個(gè)滾珠的支撐單元的放大側(cè)視圖。
圖7B是表示該支撐單元的放大正視剖面圖。
圖8A是表示在本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的基板輸送裝置中，具有配置在接觸軌道和循環(huán)軌道上的多個(gè)滾珠的支撐單元的放大側(cè)視剖面圖。
圖8B是表示該支撐單元的放大正視剖面圖。
圖9A是表示在本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的基板輸送裝置中具有空氣吹出部的支撐單元的放大側(cè)視剖面圖。
圖9B是表示該支撐單元的放大正視剖面圖。
具體實(shí)施例方式
圖1～圖6表示本發(fā)明的一實(shí)施方式，此處說(shuō)明的實(shí)施方式是本發(fā)明適用于大型LCD或PDP等FPD制造工序中按順序(inline)檢查場(chǎng)合的玻璃基板輸送裝置。
構(gòu)成基板輸送裝置的搬入用基板承載臺(tái)1設(shè)在防震臺(tái)(除振臺(tái))2上，在其上面(輸送面)放置所搬入的玻璃基板3(制造多個(gè)FPD的可獲取多面基板的母體玻璃基板)?；宄休d臺(tái)1的寬度方向(相對(duì)玻璃基板3的輸送方向C垂直的方向)的尺寸短于玻璃基板3的寬度。該基板承載臺(tái)1構(gòu)成為在其上面設(shè)有空氣吹出用的多個(gè)空氣孔4并使玻璃基板3氣懸浮的基板浮起部件。空氣孔4大致均勻地設(shè)置在基板承載臺(tái)1的整個(gè)表面上。
并且，在該基板承載臺(tái)1的上面沿著輸送方向C形成彼此隔開(kāi)規(guī)定間隔的兩個(gè)槽5。另外，在該基板承載臺(tái)1設(shè)有在搬入玻璃基板3時(shí)升降的多個(gè)(在圖示例中為9個(gè))升降銷6(lift pin)。
另外，基板承載臺(tái)1也可以分割成在輸送方向C細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀部件，調(diào)整被分割為多個(gè)的各部件之間(槽5)的間隔，根據(jù)各種玻璃基板的不同尺寸來(lái)改變基板承載臺(tái)1的寬度方向尺寸。該情況時(shí)，可以利用使位于基板承載臺(tái)1的寬度方向兩端的各部件在寬度方向滑動(dòng)的寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)(未圖示)任意調(diào)整基板承載臺(tái)1的寬度尺寸。
在與輸送方向C平行的基板承載臺(tái)1的一側(cè)側(cè)部(輸送方向C的左側(cè))設(shè)置搬入用輸送機(jī)械手7。該搬入用輸送機(jī)械手7利用未圖示的多關(guān)節(jié)臂一面使兩個(gè)輸送臂8旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)、后退，一面從盒中取出未檢查的玻璃基板3并搬入基板承載臺(tái)1上。
在基板承載臺(tái)1的下游側(cè)沿著輸送方向C并列設(shè)置輸送架臺(tái)9。該輸送架臺(tái)9的長(zhǎng)度形成為從玻璃基板3的搬入側(cè)直到搬出側(cè)。該輸送架臺(tái)9被放置在減震臺(tái)10上。
在該輸送架臺(tái)9的上面設(shè)置跨越輸送架臺(tái)9總長(zhǎng)度的基板浮起部件(檢查臺(tái))11。基板浮起部件11的寬度方向的尺寸和基板承載臺(tái)1相同，短于玻璃基板3的寬度。在該基板浮起部件11的上面(輸送面)，和基板承載臺(tái)1相同，也設(shè)置空氣吹出用的多個(gè)空氣孔12。這些空氣孔12大致均勻地設(shè)在基板浮起部件11的整個(gè)表面上。
并且，在該基板浮起部件11的上面，沿著輸送方向C形成彼此隔開(kāi)規(guī)定間隔的兩個(gè)槽13。該基板浮起部件11的上面高度和基板承載臺(tái)1的上面高度大致相同。
另外，該基板浮起部件11也和基板承載臺(tái)1相同，可以通過(guò)調(diào)整被分割為多個(gè)的各部件之間(槽13)的間隔來(lái)改變基板浮起部件11的寬度方向尺寸。
在沿著輸送方向C的輸送架臺(tái)9的大致中間位置，設(shè)置進(jìn)行以一定速度輸送的玻璃基板3的各種檢查的檢查部E。在該檢查部E設(shè)有門型臂14、顯微鏡、線路傳感器、CCD攝像機(jī)等的各種檢查用機(jī)器15。在該檢查部E，例如，利用在寬度方向排列的多個(gè)線路傳感器獲取玻璃基板3的圖像數(shù)據(jù)，對(duì)該圖像數(shù)據(jù)實(shí)施圖像處理等，進(jìn)行玻璃基板3的圖形檢查和缺陷檢查等。
在輸送架臺(tái)9的下游側(cè)沿著輸送方向C并列設(shè)置搬出用基板承載臺(tái)16。該基板承載臺(tái)16設(shè)在減震臺(tái)17上，為了將從基板浮起部件11輸送來(lái)的玻璃基板3搬出而用來(lái)臨時(shí)放置。基板承載臺(tái)16的寬度尺寸和基板承載臺(tái)1及基板浮起部件11相同，短于玻璃基板3的寬度。基板承載臺(tái)16和基板承載臺(tái)1及基板浮起部件11相同，構(gòu)成為在其上面(輸送面)設(shè)有空氣吹出用的多個(gè)空氣孔18并使玻璃基板3氣懸浮的基板浮起部件?？諝饪?8大致均勻地設(shè)置在基板承載臺(tái)16的整個(gè)表面上。
并且，在該基板承載臺(tái)16上沿著輸送方向C形成彼此隔開(kāi)規(guī)定間隔的兩個(gè)槽19，用于排出從各空氣孔18吹出的空氣。另外，在該基板承載臺(tái)16設(shè)有在搬出玻璃基板3時(shí)升降的多個(gè)(在圖示例中為9個(gè))升降銷20。該基板承載臺(tái)16的上面高度和基板浮起部件11的上面高度大致相同。
另外，該基板承載臺(tái)16也和基板承載臺(tái)1相同，可以通過(guò)調(diào)整被分割為多個(gè)的各部件之間(槽19)的間隔來(lái)改變基板承載臺(tái)16的寬度方向尺寸。
在與輸送方向C平行的基板承載臺(tái)16的一側(cè)側(cè)部(輸送方向C的左側(cè))設(shè)置搬出用輸送機(jī)械手21。該搬出用輸送機(jī)械手21利用未圖示的多關(guān)節(jié)臂一面使兩個(gè)手輸送臂22旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)、后退，一面將已檢查完畢的玻璃基板3收納在盒中。
在輸送架臺(tái)9和減震臺(tái)17上設(shè)置保持所浮起的玻璃基板3的一側(cè)部或兩側(cè)部并快速輸送的輸送機(jī)構(gòu)。該輸送機(jī)構(gòu)由以下部分構(gòu)成保持在基板浮起部件上浮起的玻璃基板的一側(cè)部或兩側(cè)部并強(qiáng)制輸送的輸送部；沿著與玻璃基板3的輸送方向C平行的基板浮起部件的一側(cè)部或兩側(cè)部配置的導(dǎo)向裝置。作為輸送機(jī)構(gòu)，可以使用由通過(guò)線圈勵(lì)磁在線性導(dǎo)向裝置(linear guide)(滑板(slider))上行走的移動(dòng)器(輸送部)構(gòu)成的線性電動(dòng)機(jī)。構(gòu)成線性導(dǎo)向裝置的滑板23～28以一對(duì)為一組，隔著基板浮起部件11和基板承載臺(tái)16，并沿著輸送方向C彼此平行地設(shè)置多組這種滑板。
位于輸送方向C的上游和下游側(cè)的兩組滑板23、24、27、28，設(shè)置在位于輸送方向C的中間部的一組滑板25、26的寬度方向外側(cè)。
在配置于從基板承載臺(tái)1的下游側(cè)到輸送架臺(tái)9的中間部之間的一對(duì)滑板23、24，分別設(shè)置吸附保持玻璃基板3并在輸送方向C及其反方向快速移動(dòng)的輸送部29、30。各輸送部29、30具有被安裝成在垂直方向可以伸縮并且自由旋轉(zhuǎn)的臂29a、30a；設(shè)在臂29a、30a的前端部，吸附保持與輸送方向C平行的玻璃基板3的兩側(cè)部下表面的吸附墊(吸著墊)29b、30b；設(shè)在輸送部29、30上，使臂29a、30a在輸送方向C及垂直方向移動(dòng)的推桿(plunger)。
并且，在設(shè)于從輸送架臺(tái)9的中間部到下游側(cè)端部之間的一對(duì)滑板25、26也分別設(shè)置可以在輸送方向C及其反方向移動(dòng)的輸送部31、32。各輸送部31、32和前述的輸送部29、30相同，具有臂31a、32a和吸附墊31b、32b。
另外，在設(shè)于從輸送架臺(tái)9的下游側(cè)端部到基板承載臺(tái)16的下游側(cè)端部之間的一對(duì)滑板27、28也分別設(shè)置可以在輸送方向C及其反方向移動(dòng)的輸送部33、34。各輸送部33、34和前述的輸送部29、30相同，具有臂33a、34a和吸附墊33b、34b。
另外，位于輸送方向C的上游及下游側(cè)的兩組滑板23、24、27、28，設(shè)置在位于輸送方向C的中間部的一組滑板25、26的外側(cè)，所以設(shè)定各臂29a、30a、33a、34a的長(zhǎng)度，使吸附墊29b、30b、33b、34b和吸附墊31b、32b的寬度方向位置相同。
這種基板輸送裝置除上述結(jié)構(gòu)外，具有壓縮空氣供給部46、真空吸附部47、移動(dòng)控制部48及基板支撐機(jī)構(gòu)49。
壓縮空氣供給部46通過(guò)配管連通搬入用基板承載臺(tái)1、基板浮起部件11和搬出用基板承載臺(tái)16的各空隙部，向各空隙部選擇性地供給壓縮空氣，從各空氣孔4、12、18吹出壓縮空氣。利用該壓縮空氣可以使玻璃基板3在搬入用基板承載臺(tái)1、基板浮起部件11或搬出用基板承載臺(tái)16上浮起。并且，該壓縮空氣供給部46也可以從各空氣孔4、12、18吹出具有除靜電效果的空氣，例如，被離子化成正離子或負(fù)離子的空氣。利用這些空氣孔4、12、18和壓縮空氣供給部46構(gòu)成使玻璃基板3浮起的基板浮起機(jī)構(gòu)101。
真空吸附部47通過(guò)配管連通各吸附墊29b～34b，對(duì)這些吸附墊29b～34b選擇性地抽真空，以吸附保持玻璃基板3。移動(dòng)控制部48用于進(jìn)行各滑板23～28上的輸送部29～34的移動(dòng)控制。
利用這些滑板23～28、輸送部29～34、真空吸附部47和移動(dòng)控制部48構(gòu)成使玻璃基板3在輸送方向C移動(dòng)的輸送機(jī)構(gòu)102。
基板支撐機(jī)構(gòu)49設(shè)置在與輸送方向C平行的基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的兩側(cè)部或接近兩側(cè)部配置，用于從下面?zhèn)戎尾ＡЩ?的兩側(cè)部。該基板支撐機(jī)構(gòu)49具有多個(gè)支撐單元51，其被安裝成相對(duì)基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的兩側(cè)部可以更換并且自由裝卸。
在各支撐單元51按照?qǐng)D3A、圖3B所示，安裝可以旋轉(zhuǎn)的多個(gè)滾子(旋轉(zhuǎn)支撐部件)53作為旋轉(zhuǎn)支撐部件，各滾子53被設(shè)置成使其圓周面的一部分在距基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11上面的高度和基板浮起高度大致相同的位置突出。具有調(diào)整基板浮起部件11的高度的高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，以使各滾子53的突出長(zhǎng)度達(dá)到基于壓縮空氣的玻璃基板3的浮起高度。并且，在輸送方向C相鄰并列的滾子53的接觸玻璃基板3的圓周面由合成樹(shù)脂等比玻璃基板3更柔軟的耐磨損材料構(gòu)成，接近配置但彼此不接觸。這些滾子53在玻璃基板3向輸送方向C移動(dòng)時(shí)，向在玻璃基板3的下表面上滾動(dòng)的方向(J方向)旋轉(zhuǎn)。并且，滾子53具有較窄的寬度尺寸，以便能得到相對(duì)玻璃基板3不滑動(dòng)的摩擦力。
另外，在玻璃基板3形成多個(gè)(例如4面、6面)構(gòu)成顯示器的圖形區(qū)域G，基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的寬度尺寸被設(shè)定成和與輸送方向C平行的圖形區(qū)域G的最外側(cè)的寬度尺寸大致相同。由此，未形成圖形區(qū)域G的玻璃基板3的兩側(cè)部從基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的兩側(cè)部突出。并且，各滾子53沿著基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的兩側(cè)部按照?qǐng)D3A所示緊密配置，按照?qǐng)D3B所示從下面?zhèn)戎尾ＡЩ?的兩側(cè)部。
下面，說(shuō)明如上構(gòu)成的基板輸送裝置的動(dòng)作。
在基板承載臺(tái)1上放置玻璃基板3時(shí)，如圖1、圖2所示，預(yù)先使位于搬入側(cè)的滑板23、24上的輸送部29、30移動(dòng)到基板承載臺(tái)1側(cè)并待機(jī)。
從該狀態(tài)起，搬入用機(jī)械手7使手輸送臂8一面旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)及后退一面從盒中取出未檢查的玻璃基板3，輸送到基板承載臺(tái)1的上方。并且，在輸送的同時(shí)，基板承載臺(tái)1的各升降銷6上升。然后，搬入用機(jī)械手7使手輸送臂8下降，把玻璃基板3放置在各升降銷6上后退出。各升降銷6下降，由此玻璃基板3被放置在基板承載臺(tái)1上。
在該狀態(tài)下，玻璃基板3的寬度尺寸長(zhǎng)于基板承載臺(tái)1的寬度，所以與輸送方向C平行的玻璃基板3的兩側(cè)部從基板承載臺(tái)1的兩側(cè)部突出。并且，在該狀態(tài)下，如圖3B所示，位于圖形區(qū)域G外側(cè)的玻璃基板3的側(cè)部下面接觸滾子53。
在完成玻璃基板3的放置后，位于搬入側(cè)的輸送部29、30如圖4所示，分別使臂29a、30a上升，同時(shí)利用真空吸附部47進(jìn)行吸附墊29b、30b的抽真空，使吸附墊29b、30b吸附在玻璃基板3的下表面上。這些吸附墊29b、30b的吸附位置相比前述的滾子53的接觸位置處于玻璃基板3的寬度方向的外方側(cè)，而且是朝向輸送方向C的玻璃基板3的前方側(cè)。在該狀態(tài)下，吸附墊29b、30b相比基板承載臺(tái)1的上面高度略微上升，位于和玻璃基板3與滾子53的接觸位置(基板浮起高度)大致相同的高度。
在進(jìn)行該玻璃基板3的吸附的同時(shí)，壓縮空氣供給部46通過(guò)配管向搬入用基板承載臺(tái)1和基板浮起部件11的空隙部供給壓縮空氣，從空氣孔4、12吹出壓縮空氣。
此時(shí)，在基板承載臺(tái)1和玻璃基板3之間形成空氣層，玻璃基板3從基板承載臺(tái)1的上面浮起。并且，從空氣孔4吹出的空氣在所述空氣層不停留地通過(guò)基板承載臺(tái)1的槽5流通。因此，玻璃基板3以保持平面度的狀態(tài)在基板承載臺(tái)1上浮起。另外，滾子53和通過(guò)壓縮空氣而浮起的玻璃基板3的下面高度大致相同，所以即使玻璃基板3在下方翹曲或撓曲時(shí)，也能通過(guò)各滾子53把玻璃基板3的兩側(cè)部矯正為水平狀態(tài)，玻璃基板3浮起且不會(huì)接觸基板承載臺(tái)1的輸送面。
然后，如圖5所示，移動(dòng)控制部48使具有吸附在玻璃基板3下面的吸附墊29b、30b的兩個(gè)輸送部29、30以相同速度在各滑板23、24上向輸送方向C同步移動(dòng)。由此，玻璃基板3利用來(lái)自各空氣孔4、12的壓縮空氣從基板承載臺(tái)1和基板浮起部件11的上面浮起，通過(guò)輸送部29、30快速?gòu)幕宄休d臺(tái)1輸送到基板浮起部件11。此時(shí)，設(shè)在基板承載臺(tái)1和基板浮起部件11的滾子53接觸位于圖形區(qū)域G的外方側(cè)的玻璃基板3的兩側(cè)部下面，并向J方向旋轉(zhuǎn)。
在完成玻璃基板3向基板浮起部件11的輸送時(shí)，壓縮空氣供給部46停止向搬入用基板承載臺(tái)1的空氣孔4供給壓縮空氣。并且，此時(shí)，移動(dòng)控制部48使位于中間部的兩個(gè)滑板25、26上的輸送部31、32向輸送方向C的反方向移動(dòng)。
這些輸送部31、32在到達(dá)玻璃基板3的下方時(shí)停止在滑板25、26上的基板轉(zhuǎn)移基準(zhǔn)位置，使各臂31a、32a上升，利用真空吸附部47把吸附墊31b、32b吸附在玻璃基板3的下面。這些吸附墊31b、32b的吸附位置相比滾子53的接觸位置處于玻璃基板3的寬度方向的外方側(cè)，并且是朝向輸送方向C的玻璃基板3的前方側(cè)。
在吸附墊31b、32b吸附在玻璃基板3上時(shí)，基于真空吸附部47的輸送部29、30的各吸附墊29b、30b的吸附被解除，各臂29a、30a下降。由此，玻璃基板3的吸附保持從輸送部29、30轉(zhuǎn)移到輸送部31、32。然后，兩個(gè)輸送部29、30在各自的滑板23、24上向輸送方向C的反方向移動(dòng)，停止在搬入用基板承載臺(tái)1的基板轉(zhuǎn)移基準(zhǔn)位置并待機(jī)。
在完成玻璃基板3的轉(zhuǎn)移后，吸附保持玻璃基板3的輸送部31、32如圖6所示，以相同速度在各滑板25、26上向輸送方向C同步快速移動(dòng)。此時(shí)，接近基板浮起部件11的兩側(cè)部設(shè)置的滾子53接觸位于圖形區(qū)域G的外方側(cè)的玻璃基板3的寬度方向兩端部下面，并向J方向旋轉(zhuǎn)。由此，在基板浮起部件11上浮起的玻璃基板3被輸送部31、32牽拉著到達(dá)檢查部E。
在檢查部E，把輸送部29、30的速度從高速控制為低速，以使玻璃基板3達(dá)到適合檢查的速度，例如，使用具有線路傳感器的檢查用機(jī)器15獲取玻璃基板3的圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行玻璃基板3的圖形檢查、缺陷檢查等。
在檢查部E的檢查結(jié)束后，吸附保持玻璃基板3的輸送部31、32以相同速度在各滑板25、26上同步快速移動(dòng)，向輸送方向C輸送玻璃基板3。此時(shí)，設(shè)在基板浮起部件11和基板承載臺(tái)16的滾子53接觸位于圖形區(qū)域G的外方側(cè)的玻璃基板3的兩側(cè)部下面，并向J方向旋轉(zhuǎn)。
在玻璃基板3到達(dá)基板浮起部件11的下游側(cè)時(shí)，玻璃基板3的吸附保持從位于基板浮起部件11側(cè)的輸送部31、32轉(zhuǎn)移(受け渡す)到位于搬出用基板承載臺(tái)16側(cè)的輸送部33、34，同時(shí)壓縮空氣供給部46向搬出用基板承載臺(tái)16的空氣孔18供給壓縮空氣。從這些輸送部31、32向輸送部33、34的玻璃基板3的轉(zhuǎn)移，與從前述的輸送部29、30向輸送部31、32的轉(zhuǎn)移相同。
在玻璃基板3的轉(zhuǎn)移結(jié)束后，輸送部33、34在滑板27、28上快速移動(dòng)，向輸送方向C輸送玻璃基板3。并且，在玻璃基板3到達(dá)搬出用基板承載臺(tái)16上方時(shí)，各輸送部33、34停止在基板轉(zhuǎn)移基準(zhǔn)位置。
在基板承載臺(tái)16，壓縮空氣供給部46停止向基板承載臺(tái)16的空氣孔18供給壓縮空氣。此時(shí)，解除通過(guò)真空吸附部47對(duì)玻璃基板3的下表面的吸附，使各臂33a、34a下降，同時(shí)使升降銷20上升，拿起玻璃基板3。由此，玻璃基板3被放置在升降銷20上。搬出用輸送機(jī)械手21一面使手輸送臂22旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)及后退，一面從升降銷20上取出已檢查完畢的玻璃基板3并收納在盒中。
之后，針對(duì)多個(gè)玻璃基板3，順序地反復(fù)進(jìn)行向基板承載臺(tái)1的搬入、空氣輸送、檢查及從基板承載臺(tái)16搬出。
如上所述，根據(jù)該基板輸送裝置，滾子53接觸并支撐從基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的兩側(cè)部突出的玻璃基板3的側(cè)部下面，所以在輸送玻璃基板3時(shí)，可以阻止玻璃基板3的兩側(cè)部在下方側(cè)撓曲，并且即使玻璃基板3在下方側(cè)翹曲時(shí)也能把玻璃基板3矯正為水平狀態(tài)。
因此，利用壓縮空氣使玻璃基板3的圖形區(qū)域G從輸送面浮起，并且利用滾子53支撐玻璃基板3的兩側(cè)部，由此可以穩(wěn)定快速地輸送玻璃基板3并且使其兩側(cè)部不與基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11接觸，而且可以防止玻璃基板3接觸基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11而受損。另外，利用滾子53支撐玻璃基板3的圖形區(qū)域G外側(cè)沒(méi)有圖形的兩側(cè)部，由此可以使?jié)L子53不接觸玻璃基板3的圖形區(qū)域G進(jìn)行輸送，因此能夠防止對(duì)應(yīng)該圖形區(qū)域G的玻璃基板3的下表面受損。
另外，通過(guò)吸附保持玻璃基板的側(cè)部下面，與以往利用限制滾子機(jī)構(gòu)夾持玻璃基板3的兩側(cè)緣部時(shí)相比，可以減輕相對(duì)玻璃基板3的外部負(fù)荷。
并且，在使玻璃基板3在基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11上向輸送方向C移動(dòng)時(shí)，滾子53旋轉(zhuǎn)并且向玻璃基板3的輸送方向C滾動(dòng)，所以玻璃基板3和滾子53的滑動(dòng)摩擦非常小。因此，能夠防止玻璃基板3因該滑動(dòng)摩擦而受損。
另外，在更換滾子53時(shí)，使安裝了多個(gè)滾子53的多個(gè)支撐單元51相對(duì)基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11可以裝卸，由此可以簡(jiǎn)單地更換所要求的支撐單元51，可以將每個(gè)支撐單元51一并更換多個(gè)滾子53。因此，能夠在短時(shí)間內(nèi)容易進(jìn)行滾子53的更換。
另外，在上述實(shí)施方式中，在支撐單元51安裝向輸送方向C旋轉(zhuǎn)的滾子53，但不限于此，例如圖7A、7B所示，也可以在支撐單元51安裝在多個(gè)方向可以旋轉(zhuǎn)的多個(gè)滾珠55。
即，各滾珠55通過(guò)滾珠保持器57被保持成以滾珠55的中心點(diǎn)為軸可以旋轉(zhuǎn)，該滾珠保持器57被固定在支撐單元51上。并且，各滾珠55和滾子53的情況相同，被配置成在距基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的上面的高度和基板浮起高度大致相同的位置突出，并且接觸玻璃基板3的下面。
在該結(jié)構(gòu)中，不僅在玻璃基板3向輸送方向C移動(dòng)時(shí)，即使在向與輸送方向C正交的基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的寬度方向移動(dòng)時(shí)，在玻璃基板3和滾珠55之間也不產(chǎn)生滑動(dòng)摩擦，所以能夠可靠防止玻璃基板3受損。特別是在進(jìn)行玻璃基板3的定位(校直)的情況下，在使玻璃基板3以氣懸浮狀態(tài)向與輸送方向C正交的方向移動(dòng)時(shí)，與使用滾子53相比，滑動(dòng)摩擦減小，而且容易定位，能夠防止玻璃基板3的背面受損。
并且，例如圖8A、8B所示，也可以形成下述結(jié)構(gòu)，在相對(duì)基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11可以裝卸的支撐單元63設(shè)置循環(huán)部件，該循環(huán)部件具有沿著輸送方向C形成的、在基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的上面?zhèn)嚷冻龅慕佑|軌道59；和離開(kāi)基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的上面?zhèn)榷纬傻?、將接觸軌道59的形成方向的兩端彼此連接的循環(huán)軌道61，在這些接觸軌道59和循環(huán)軌道61可以配置多個(gè)滾珠55。另外，各滾珠55優(yōu)選配置成接觸相鄰的其他滾珠55。
在這種結(jié)構(gòu)中，在使玻璃基板3向輸送方向C移動(dòng)時(shí)，接觸玻璃基板3的滾珠55滾動(dòng)，并且從接觸軌道59的一端59a移動(dòng)到另一端59b。并且，到達(dá)接觸軌道59的另一端59b的滾珠55通過(guò)離開(kāi)玻璃基板3的循環(huán)軌道61返回到接觸軌道59的一端59a側(cè)。
在這種結(jié)構(gòu)中，滾珠55在接觸軌道59內(nèi)和循環(huán)軌道61內(nèi)循環(huán)并且一面在多個(gè)方向改變方向一面滾動(dòng)，所以一個(gè)滾珠55經(jīng)常接觸玻璃基板3，所以不會(huì)形成不對(duì)稱磨損。因此，能夠抑制因與玻璃基板3之間的滾動(dòng)摩擦造成的滾珠55的磨損，可以長(zhǎng)時(shí)間地連續(xù)使用滾珠55且不用更換。
并且，作為支撐位于圖形區(qū)域G外側(cè)的玻璃基板3的兩側(cè)部的基板支撐機(jī)構(gòu)，不限于滾子53和滾珠55，例如圖9A、9B所示，也可以向玻璃基板3的側(cè)部下面吹出壓縮空氣進(jìn)行非接觸支撐。
即，在相對(duì)基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11可以裝卸的支撐單元64形成基板支撐機(jī)構(gòu)65。該基板支撐機(jī)構(gòu)65具有在和基板承載臺(tái)1、16及基板浮起部件11的上面大致相同的高度露出，并沿著輸送方向C并列的多個(gè)空氣孔(空氣吹出部)67；連接這些多個(gè)空氣孔67和壓縮空氣供給部46的連通通道69。
在這種結(jié)構(gòu)中，通過(guò)從基板支撐機(jī)構(gòu)65的各空氣孔67向玻璃基板3的下面吹出壓縮空氣，玻璃基板3的兩側(cè)部可以利用壓縮空氣在上方被頂起并支撐，能夠以非接觸狀態(tài)輸送在基板承載臺(tái)16和基板浮起部件11上浮起的整個(gè)玻璃基板3，所以能夠可靠防止玻璃基板3受損。
并且，在多個(gè)支撐單元64分別設(shè)置吹出壓縮空氣的多個(gè)空氣孔67，所以通過(guò)使各支撐單元64相對(duì)基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11可以裝卸，可以簡(jiǎn)單地更換所要求的支撐單元64，能夠?qū)⒚總€(gè)支撐單元64一并更換多個(gè)空氣孔67。因此，能夠在短時(shí)間內(nèi)容易進(jìn)行空氣孔67的更換。
另外，如上所述，在利用壓縮空氣支撐玻璃基板3的側(cè)部的情況下，也可以直接形成沿著與輸送方向C平行的基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的側(cè)部向玻璃基板3的側(cè)部吹出壓縮空氣的空氣孔。
該情況時(shí)，構(gòu)成基板支撐結(jié)構(gòu)65的空氣孔(空氣吹出部)67成為與使玻璃基板3從輸送面浮起的空氣孔4、12、18不同的其他壓縮空氣供給系統(tǒng)，并將壓力設(shè)定得高于基板浮起用壓縮空氣的壓力，同時(shí)形成為可以根據(jù)玻璃基板3的翹曲來(lái)調(diào)整壓力的結(jié)構(gòu)。
并且，支撐玻璃基板3的兩側(cè)部的空氣吹出部不限于從沿著輸送方向C排列的多個(gè)空氣孔吹出的結(jié)構(gòu)，例如，也可以形成為從沿著輸送方向C形成的細(xì)長(zhǎng)切槽吹出的結(jié)構(gòu)。
并且，為了使接觸玻璃基板3側(cè)部的壓縮空氣排出到基板承載臺(tái)1、16或基板浮起部件11的側(cè)部外方，通過(guò)將壓縮空氣的吹出方向設(shè)定成傾斜地朝向外側(cè)，可以使玻璃基板3穩(wěn)定浮起進(jìn)行輸送，并且從空氣孔67吹出的壓縮空氣不會(huì)繞入玻璃基板3的內(nèi)方向，所以是優(yōu)選結(jié)構(gòu)。
另外，使吹向玻璃基板3側(cè)部的壓縮空氣的壓力高于基板浮起用壓縮空氣的壓力，可以在上方拿起玻璃基板3的側(cè)部，能夠把玻璃基板3的兩側(cè)部向下方側(cè)的翹曲矯正為水平狀態(tài)，所以是優(yōu)選結(jié)構(gòu)。
并且，根據(jù)玻璃基板3的翹曲量或撓曲量可以調(diào)整端部浮起機(jī)構(gòu)65的壓縮空氣的壓力，能夠確實(shí)地在輸送面上方拿起玻璃基板3的側(cè)部并穩(wěn)定輸送，所以是優(yōu)選結(jié)構(gòu)。
并且，在上述實(shí)施方式中，玻璃基板3通過(guò)從基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件1 1的空氣孔4、12、18吹出的壓縮空氣而浮起，但不限于此，例如也可以利用靜電方式實(shí)現(xiàn)浮起。這種結(jié)構(gòu)時(shí)，只要能夠進(jìn)行相對(duì)玻璃基板的除靜電即可。
并且，輸送玻璃基板3的輸送部29～34在設(shè)于基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的兩側(cè)部的滑板23～28上移動(dòng)，但不限于此。即，例如可以在基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的一對(duì)槽5、13、19配置滑板，把輸送部設(shè)置在該滑板上并使其可以移動(dòng)。
另外，各吸附墊29b～34b的吸附位置是與玻璃基板3的輸送方向C平行的玻璃基板3的兩側(cè)部前方側(cè)，但不限于此，例如可以是玻璃基板3的后方側(cè)或中央部的任一位置，也可以在這些各個(gè)位置排列多個(gè)。并且，在往返輸送玻璃基板3時(shí)，通過(guò)在玻璃基板3的至少前后方向的各端部配置吸附墊，可以穩(wěn)定輸送玻璃基板3并且不會(huì)因玻璃基板3的往返移動(dòng)而搖動(dòng)，所以是優(yōu)選結(jié)構(gòu)。
并且，基于吸附墊的玻璃基板3的吸附保持位置只要是從圖形區(qū)域G偏離的部分，可以是玻璃基板3的上面或上面及下面，也可以利用從上下面夾持玻璃基板的卡盤來(lái)代替吸附墊。
另外，玻璃基板3在基板承載臺(tái)1上的放置及玻璃基板3從基板承載臺(tái)16的取出，可以使用除輸送機(jī)械手7、21以外的其他任何機(jī)構(gòu)，也可以是從其他線路采用氣動(dòng)輸送等的基板浮起輸送單元。
并且，在上述實(shí)施方式中，使輸送機(jī)構(gòu)形成為沿著基板浮起部件的兩側(cè)部配置、保持并輸送通過(guò)基板浮起部件而浮起的玻璃基板的兩端角部的輸送雙軸輸送方式，利用基板支撐機(jī)構(gòu)支撐從基板浮起部件的兩側(cè)面部在外側(cè)突出的玻璃基板的兩側(cè)部，但不限于此，也可以使輸送機(jī)構(gòu)形成為在基板浮起部件的一側(cè)部配置、整體保持并輸送從基板浮起部件突出的玻璃基板的一側(cè)部(與輸送方向C平行的一邊)的前后和中間部的輸送單軸輸送方式，在位于該輸送機(jī)構(gòu)的相反側(cè)的基板浮起部件的另一側(cè)部配置支撐玻璃基板的另一側(cè)部的基板支撐機(jī)構(gòu)。
通過(guò)采用在基板浮起部件的一側(cè)配置輸送機(jī)構(gòu)的單軸輸送方式，與雙軸輸送方式相比，可以減小基板輸送裝置的寬度尺寸。特別是隨著制造平板顯示器時(shí)使用的玻璃基板(母體玻璃基板)的逐年大型化，最近出現(xiàn)了超過(guò)2000mm的大型基板，在運(yùn)送對(duì)應(yīng)這種大型玻璃基板的基板輸送裝置時(shí)，由于道路限制，運(yùn)送也變得困難。通過(guò)采用單軸輸送方式，可以把基板輸送裝置的寬度尺寸減小到最小限度，所以能夠解決上述的運(yùn)送問(wèn)題。
并且，利用輸送機(jī)構(gòu)可以水平地整體支撐玻璃基板的一側(cè)部，所以能夠省略一側(cè)的基板支撐機(jī)構(gòu)，同時(shí)可以省略一側(cè)的輸送機(jī)構(gòu)，能夠降低成本。
該情況時(shí)，不限于在支撐單元51安裝可以旋轉(zhuǎn)的滾子53，也可以安裝可以在多個(gè)方向旋轉(zhuǎn)的多個(gè)滾珠55。并且，可以在支撐單元51設(shè)置循環(huán)部件，在其上配置多個(gè)滾珠55。另外，也可以吹出壓縮空氣來(lái)進(jìn)行支撐。
僅在基板承載臺(tái)1、16和基板浮起部件11的寬度方向的一端部設(shè)置支撐單元51時(shí)，玻璃基板3通過(guò)各輸送部29～34的吸附墊29b～34b被吸附保持著，所以沒(méi)必要將限制玻璃基板3的寬度方向位置的單元設(shè)置成接觸玻璃基板3的寬度方向一端或兩端，可以設(shè)置適當(dāng)?shù)念愃茊卧?br> 以上參照附圖詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但具體結(jié)構(gòu)不限于該實(shí)施方式，也包括不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)的設(shè)計(jì)變更等。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送裝置，其以非接觸狀態(tài)使基板浮起進(jìn)行輸送，其特征在于，具有以非接觸狀態(tài)使基板浮起的基板浮起部件；保持著在所述基板浮起部件上浮起的所述基板的側(cè)部并強(qiáng)制輸送的輸送機(jī)構(gòu)；基板支撐機(jī)構(gòu)，設(shè)置在與所述基板的輸送方向平行的所述基板浮起部件的側(cè)部，從下面?zhèn)戎螐乃龌甯∑鸩考?cè)部在外側(cè)突出的所述基板的側(cè)部。
2.一種基板輸送裝置，其在平板顯示器的制造工序中以非接觸狀態(tài)使玻璃基板浮起進(jìn)行輸送，其特征在于，具有基板浮起部件，其寬度尺寸被設(shè)定成小于所述玻璃基板的寬度尺寸，并且與形成于所述玻璃基板上的圖形區(qū)域最外側(cè)的寬度尺寸大致相同，以非接觸狀態(tài)使所述玻璃基板浮起；輸送機(jī)構(gòu)，保持著通過(guò)所述基板浮起部件浮起的所述玻璃基板的所述圖形區(qū)域以外的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部并強(qiáng)制輸送；基板支撐機(jī)構(gòu)，沿著與所述玻璃基板的輸送方向平行的所述基板浮起部件的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部設(shè)置，從下面?zhèn)戎螐乃龌甯∑鸩考怀龅乃鰣D形區(qū)域以外的所述玻璃基板的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部，利用所述基板支撐機(jī)構(gòu)把從所述基板浮起部件的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部突出的所述玻璃基板的一側(cè)側(cè)部或兩側(cè)側(cè)部支撐為水平狀態(tài)。
3.一種基板輸送裝置，其在平板顯示器的制造工序中以非接觸狀態(tài)使玻璃基板浮起進(jìn)行輸送，其特征在于，具有基板浮起部件，其寬度尺寸被設(shè)定成小于所述玻璃基板的寬度尺寸，并且與形成于所述玻璃基板上的圖形區(qū)域最外側(cè)的寬度尺寸大致相同，以非接觸狀態(tài)使所述玻璃基板浮起；輸送機(jī)構(gòu)，沿著與所述基板浮起部件的輸送方向平行的一側(cè)側(cè)部配置，保持著在所述基板浮起部件上浮起的所述玻璃基板的一方側(cè)部的前后和中間部進(jìn)行輸送；基板支撐機(jī)構(gòu)，沿著位于配置了與所述玻璃基板的輸送方向平行的所述輸送機(jī)構(gòu)的相反側(cè)的所述基板浮起部件的另一方側(cè)部配置，從下面?zhèn)戎嗡霾ＡЩ宓乃鰣D形區(qū)域以外的另一方側(cè)部，利用所述輸送機(jī)構(gòu)把在所述基板浮起部件上浮起的所述玻璃基板的一方側(cè)部保持為水平狀態(tài)進(jìn)行輸送，利用所述基板支撐機(jī)構(gòu)把從所述輸送機(jī)構(gòu)的相反側(cè)的所述基板浮起部件突出的所述玻璃基板的另一方側(cè)部支撐為水平狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板支撐機(jī)構(gòu)具有設(shè)在所述基板浮起部件的側(cè)部的多個(gè)旋轉(zhuǎn)支撐部件，所述旋轉(zhuǎn)支撐部件在利用所述輸送機(jī)構(gòu)使所述基板向輸送方向移動(dòng)時(shí)，向在所述基板的下表面上滾動(dòng)的方向旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)支撐部件是可以在所述輸送方向旋轉(zhuǎn)的寬度較窄的滾子。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)支撐部件是被支撐成在多個(gè)方向自由旋轉(zhuǎn)的滾珠。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板支撐機(jī)構(gòu)具有循環(huán)部件，該循環(huán)部件具有接觸軌道，使多個(gè)滾珠在與所述基板的下表面相對(duì)的所述基板浮起部件的輸送面上露出，并使其在所述基板的下表面上滾動(dòng)著移動(dòng)；循環(huán)軌道，連接所述接觸軌道的兩端，使所述滾珠向所述接觸軌道上循環(huán)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板支撐機(jī)構(gòu)是朝向從所述基板浮起部件的側(cè)部在外側(cè)突出的所述基板的側(cè)部吹出壓縮空氣的空氣吹出部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述空氣吹出部是不同于使所述基板浮起的所述基板浮起部件的空氣供給系統(tǒng)的其他系統(tǒng)，并被調(diào)整為高于所述基板浮起部件的空氣壓力。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板支撐機(jī)構(gòu)由多個(gè)支撐單元構(gòu)成，各支撐單元被設(shè)置成相對(duì)所述基板浮起部件可以更換并且可以自由裝卸。
11.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板支撐機(jī)構(gòu)由多個(gè)支撐單元構(gòu)成，各支撐單元被設(shè)置成相對(duì)所述基板浮起部件可以調(diào)整高度。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板支撐機(jī)構(gòu)沿著所述基板浮起部件的側(cè)部接近配置。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，該基板輸送裝置具有寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述基板浮起部件被分割成多個(gè)在輸送方向細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀部件，該寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)使各部件在寬度方向滑動(dòng)，調(diào)整各部件之間的間隔。
14.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述基板浮起部件在承載所述基板的上表面形成多個(gè)空氣吹出用空氣孔，在所述上表面形成將滯留在與通過(guò)所述各空氣孔吹出的空氣而浮起的所述基板之間的空氣排出的槽。
全文摘要
一種基板輸送裝置，其特征在于，具有以非接觸狀態(tài)使基板(3)浮起的基板浮起部件(1、11、16)；保持在該基板浮起部件(1、11、16)上浮起的所述基板(3)的端部進(jìn)行輸送的輸送機(jī)構(gòu)；和基板支撐機(jī)構(gòu)(49)，設(shè)置在與所述基板(3)的輸送方向(C)正交的方向的所述基板浮起部件(1、11、16)的兩側(cè)部或接近該兩側(cè)部的位置，從下面?zhèn)戎螐乃龌甯∑鸩考?cè)部(1、11、16)的兩側(cè)部在所述正交方向突出的所述基板(3)的兩端部。在使基板在基板浮起部件上浮起進(jìn)行輸送時(shí)，可以水平地輸送基板并且使其不接觸基板浮起部件。
文檔編號(hào)B65G49/06GK1608961SQ20041008564
公開(kāi)日2005年4月27日 申請(qǐng)日期2004年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月17日
發(fā)明者中村郁三, 加藤洋 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社