本申請(qǐng)涉及納米壓印，尤其涉及一種納米壓印模板膠及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、納米壓印技術(shù)是一個(gè)將母版上的微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至晶圓上面的過(guò)程。具體的，是在母版上涂敷模板膠，而后固化成型得到帶有印有母版圖案的軟膜，之后再將軟膜轉(zhuǎn)印至晶圓。在此過(guò)程中，軟膜作為帶有壓印特征的載體直接決定著晶圓壓印圖型的質(zhì)量，要實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的壓印復(fù)型，必須要有高質(zhì)量的壓印模板。

2、現(xiàn)有的納米壓印模板膠在固化成型的過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)固化不完全的現(xiàn)象，固化后形成的聚合物膜層也存在機(jī)械性能較差、強(qiáng)度較低的現(xiàn)象，因此在制備軟膜的過(guò)程中，容易出現(xiàn)軟膜在脫模過(guò)程中發(fā)生破損、母版上殘留殘膠、母版難以清洗的情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N納米壓印模板膠及其制備方法，旨在解決現(xiàn)有的模板膠在轉(zhuǎn)印過(guò)程時(shí)容易出現(xiàn)母版殘膠且難以清洗母版殘膠的情況，以及在壓印后存在難以脫模的問(wèn)題。

2、第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N納米壓印模板膠，所述納米壓印模板膠由以下原料制得：聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑。

3、第二方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N納米壓印模板膠的制備方法，所述制備方法包括：

4、提供聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑；

5、利用所述聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑，制備得到所述納米壓印模板膠。

6、本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N納米壓印模板膠及其制備方法，以聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂和全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂為主體制備得到納米壓印模板膠，利用了聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂和全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂形成交聯(lián)單體，使得納米壓印模板膠固化后形成牢固的三維交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)，從而能夠大大改善固化不完全的現(xiàn)象。全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂的引入還可以提高膜層的彈性和強(qiáng)度，并降低膜層的表面能，在成膜后可以整體剝離或用溶劑清洗掉，使得膜層具有較好的剝離和去膠效果，還可以實(shí)現(xiàn)去除母版殘膠，利于進(jìn)行多次精密壓印。

技術(shù)特征：

1.一種納米壓印模板膠，其特征在于，所述納米壓印模板膠由以下原料制得：聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，以重量百分比計(jì)，所述聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂的含量為40％-55％，所述全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂的含量為20％-35％，所述氟碳稀釋劑的含量為15％-25％，所述多官能團(tuán)交聯(lián)劑的含量為5％-10％，所述助劑的含量為1％-3％，所述陽(yáng)離子引發(fā)劑的含量為1％-5％，所述自由基引發(fā)劑的含量為1％-2％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，固化后的所述納米壓印模板膠包括主鏈和多個(gè)支鏈，所述主鏈包括多個(gè)氟醚鏈段和聚氨酯鏈段，所述支鏈為含氟支鏈。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的納米壓印模板膠，其特征在于，至少兩條所述含氟支鏈的長(zhǎng)度不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂為廣州精圖環(huán)材的改性二官聚氨酯丙烯酸酯p-2012、廣州精圖環(huán)材的改性二官聚氨酯丙烯酸酯p-2018、dic的聚氨酯改性丙烯酸酯zhu-1998、dic的聚氨酯改性丙烯酸酯zhu-2047、廣州三旺化工的聚氨酯改性丙烯酸酯sw201中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂為蘇州倉(cāng)慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-1000、蘇州倉(cāng)慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-1500、蘇州倉(cāng)慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-2000、蘇州倉(cāng)慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-3000、索爾維fluorolink?ad1700和福州泰普達(dá)新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述氟碳稀釋劑為丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸六氟丁酯、丙烯酸八氟戊酯、丙烯酸十二氟庚酯、甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸六氟丁酯、甲基丙烯酸八氟戊酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯中的至少一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述多官能團(tuán)交聯(lián)劑為二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯中的至少一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述助劑為廣州市精圖環(huán)材的2061、廣州市精圖環(huán)材的2063、上海薈研新材料的hy-rc902、上海薈研新材料的hy-1203中的至少一種。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述陽(yáng)離子引發(fā)劑為anthracureuvs-1331、anthracureuvs-1101、easepi?6992、easepi?1176、easepi?250中的至少一種。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印模板膠，其特征在于，所述自由基引發(fā)劑為1173、184、tpo、tpo-l、127、369、itx、bdk、819、754、380、bmf中的至少一種。

12.一種納米壓印模板膠的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制備方法，其特征在于，所述利用所述聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑，制備得到所述納米壓印模板膠，包括：

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的制備方法，其特征在于，所述第一攪拌參數(shù)包括第一攪拌溫度、第一攪拌速度和第一攪拌時(shí)長(zhǎng)，所述第一攪拌溫度為21°-25°，所述第一攪拌速度為500-1000r/min，所述第一攪拌時(shí)長(zhǎng)為60分鐘；第二攪拌參數(shù)包括第二攪拌溫度、第二攪拌速度和第二攪拌時(shí)長(zhǎng)，所述第二攪拌溫度為21°-25°，所述第二攪拌速度為1000r/min，所述第二攪拌時(shí)長(zhǎng)為30-120分鐘。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了一種納米壓印模板膠及其制備方法，涉及納米壓印技術(shù)領(lǐng)域。該制備方法包括：提供聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑；利用所述聚氨酯改性丙烯酸酯樹(shù)脂、全氟聚醚丙烯酸酯樹(shù)脂、氟碳稀釋劑、多官能團(tuán)交聯(lián)劑、助劑、陽(yáng)離子引發(fā)劑以及自由基引發(fā)劑，制備得到所述納米壓印模板膠。本申請(qǐng)旨在解決現(xiàn)有的模板膠在轉(zhuǎn)印過(guò)程時(shí)容易出現(xiàn)母版殘膠且難以清洗母版殘膠的情況，以及在壓印后存在難以脫模的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：陳廷忠,周興,王兆民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：珠海莫界科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6