氯乙烯系膠粘片和膠帶的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供受使用環(huán)境的溫度的影響少、并且由非鉛系穩(wěn)定劑與增塑劑的滲出造成的粘著特性的降低少的氯乙烯系薄膜基材的膠粘片和膠帶。一種氯乙烯系膠粘片和膠帶，其特征在于，其在基材的一個(gè)面具有膠粘劑層，在所述基材的與膠粘劑層相反的面具有背面處理層，所述背面處理層為聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合層，聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合比以質(zhì)量比計(jì)為聚硅氧烷：(甲基)丙烯酸類聚合物＝1：5～5：1，所述基材含有聚氯乙烯樹脂、甲基丙烯酸酯與苯乙烯與丁二烯的共聚物、穩(wěn)定劑以及增塑劑，所述膠粘劑層為(甲基)丙烯酸類聚合物，在所述氯乙烯系膠粘片和膠帶中，背面處理層側(cè)的靜摩擦系數(shù)為0.05～1.0。
【專利說明】氯乙烯系膠粘片和膠帶

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于金屬板的表面保護(hù)和半導(dǎo)體晶圓制造工序用途的氯乙烯系膠粘片和膠帶。

【背景技術(shù)】
[0002]作為以往用于金屬板的表面保護(hù)和半導(dǎo)體晶圓制造工序用途的膠粘片和膠帶，通常使用在由軟質(zhì)氯乙烯系薄膜形成的基材上涂布丙烯酸類膠粘劑等并形成厚度為I~100 μ m左右的膠粘劑層而成的膠粘片和膠帶。
[0003]然而，作為上述軟質(zhì)氯乙烯系薄膜基材的原料的聚氯乙烯(PVC)會由于起因于熱、紫外線、剪切力等物理能量導(dǎo)致的化學(xué)反應(yīng)等而變色、或者產(chǎn)生物理特性、機(jī)械特性或者電特性的劣化等。因此，在軟質(zhì)氯乙烯系薄膜基材的制造(典型的有使用壓延輥的壓延)時(shí)，為了防止或抑制成為上述劣化的原因的化學(xué)反應(yīng)，在氯乙烯系薄膜的成型材料(軟質(zhì)氯乙烯系薄膜組成物)中混合使用一種或兩種以上穩(wěn)定劑。上述穩(wěn)定劑(例如金屬穩(wěn)定劑)的選擇和配合量是對成型性(壓延操作性等)造成影響的重要因素。作為該穩(wěn)定劑，一直以來使用的是鉛系穩(wěn)定劑，但近年來有避免環(huán)境問題的傾向，有使用非鉛系穩(wěn)定劑的傾向。
[0004]另外，對于氯乙烯系薄膜基材而言，為了保持聚氯乙烯的軟質(zhì)性，用液狀的增塑劑來進(jìn)行控制，但難以根據(jù)使用環(huán)境而控制增塑劑量，例如，存在如下問題:由于夏季的高溫化變軟，反之在冬季的低溫下變得過硬。
[0005]另外，非鉛系穩(wěn)定劑和增塑劑會經(jīng)時(shí)后從氯乙烯系薄膜基材滲出到膠粘劑側(cè)，對膠粘劑的粘著特性造成不良影響，例如，在金屬板保護(hù)用途中，膠粘片和膠帶從金屬板剝離，無法實(shí)現(xiàn)金屬板的表面保護(hù)。
[0006]對于半導(dǎo)體晶圓而言，存在如下問題:由于粘著特性降低，在切割半導(dǎo)體晶圓時(shí)芯片飛散、在擴(kuò)展時(shí)也會芯片飛散、或者芯片間的間隙不均勻。
[0007]本發(fā)明的目的在于，提供受使用環(huán)境溫度影響少、并且由非鉛系穩(wěn)定劑與增塑劑的滲出造成的粘著特性的降低少的氯乙烯系薄膜基材的膠粘片和膠帶。
[0008]通常含有增塑劑的氯乙烯系薄膜基材等由于摩擦系數(shù)高，在金屬板的加工時(shí)因?yàn)槟Σ料禂?shù)高導(dǎo)致氯乙烯系薄膜基材斷裂；半導(dǎo)體晶圓在擴(kuò)展時(shí)因背面摩擦系數(shù)高導(dǎo)致半導(dǎo)體芯片間的間隙不均勻。


【發(fā)明內(nèi)容】

_9] 用于解決問題的方案
[0010]本發(fā)明人等為了解決前述問題而反復(fù)進(jìn)行了深入研究，其結(jié)果發(fā)現(xiàn)，利用由如以下所示的組成的氯乙烯系薄膜形成的膠帶用基材，能夠達(dá)成前述目的，從而完成了本發(fā)明。
[0011]即，本發(fā)明在由含有增塑劑和穩(wěn)定劑的氯乙烯系薄膜形成的膠帶用基材中，為了減少增塑劑量而含有具有共軛雙鍵的單體與乙烯基系單體的共聚物，且包含水滑石和堿土金屬皂以及鋅皂作為非鉛系穩(wěn)定劑，前述堿土金屬皂的至少一部分為硬脂酸的堿土金屬鹽，前述鋅皂的至少一部分為月桂酸鋅，通過含有而防止因穩(wěn)定劑和增塑劑的滲出造成的粘著特性降低，另外，通過對氯乙烯系薄膜基材的膠粘劑層的相反面進(jìn)行背面處理而使基材背面的表面的靜摩擦系數(shù)為0.05~1.0，從而靜摩擦系數(shù)降低，加工時(shí)的伸長變?nèi)菀?，由此可生產(chǎn)能在寬范圍環(huán)境條件下使用的氯乙烯系膠粘片和膠帶。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是示出本發(fā)明的氯乙烯系膠粘片和膠帶的一實(shí)施方式的示意圖。
[0013]附圖標(biāo)記說明
[0014]10 基材
[0015]20 膠粘劑層
[0016]30 背面處理層
[0017]100 膠帶

【具體實(shí)施方式】
[0018]作為本發(fā)明中使用的氯乙烯系基材的組成，作為聚氯乙烯樹脂，優(yōu)選使用聚合度為800~2000的聚氯乙烯樹脂。
[0019]作為增塑劑，沒有特別限定，例如，作為液狀的增塑劑，有苯二甲酸酯、己二酸酯、偏苯三酸酯、聚酯、磷酸酯、檸檬酸酯、環(huán)氧化植物油等等，可以含有至少I種或I種以上的液狀的增塑劑，作為液狀的增塑劑量的配合量，相對于聚氯乙烯樹脂100重量份，優(yōu)選為10重量份~40重量份,進(jìn)一步優(yōu)選為30重量份~40重量份。
[0020]若超過40重量份，則滲出變多并引起粘著特性的降低。
[0021]若低于10重量份，則低溫下的耐沖擊性能變差，基材容易斷裂。
[0022]其中，對于苯二甲酸酯系而言，存在環(huán)境問題等，如果配混苯二甲酸酯系增塑劑，則優(yōu)選DINP。
[0023]本申請中，尤其為了減少液狀的增塑劑而含有具有共軛雙鍵的單體與乙烯基系單體的共聚物。
[0024]“共軛雙鍵”是指，在含有兩個(gè)以上的雙鍵夾著單鍵的體系時(shí)的該雙鍵。作為具有這樣的共軛雙鍵的單體，沒有特別限定，例如可列舉出丁二烯系單體等，可單獨(dú)使用或組合2種以上使用。另外，上述乙烯基系單體是指除了上述具有共軛雙鍵的單體以外的單體，例如可列舉出丙烯腈系單體、苯乙烯系單體、甲基丙烯酸甲酯系單體等，可單獨(dú)使用或組合2種以上使用。并且，作為這樣的具有共軛雙鍵的單體與乙烯基系單體的共聚物，沒有特別限定，例如可列舉出丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物、丙烯腈-丁二烯共聚物、丁二烯-苯乙烯共聚物等，可單獨(dú)使用或組合2種以上使用。這種特定的共聚物對聚氯乙烯樹脂起到一種增塑劑的作用，從而保持低溫下的柔軟性并且還具備提高耐沖擊性的功能，而且發(fā)揮能夠適當(dāng)?shù)刭x予高溫下的硬度這樣的特有效果。
[0025] 上述丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物等特定的共聚物的含有比例需要設(shè)定為相對于上述聚氯乙烯樹脂100重量份(以下簡稱為“份”)為I~40份的范圍，優(yōu)選為3~30份的范圍。即，這是因?yàn)?含有比例低于1份時(shí)，得不到良好的施工操作性、低溫下的耐沖擊性以及粘接性，超過40份時(shí)橡膠彈性增大，變得容易產(chǎn)生剝離等，不適合作為膠帶而使用。
[0026]作為用于本發(fā)明的穩(wěn)定劑，可以使用用作非鉛系的、鋇/鋅復(fù)合系、鈣/鋅復(fù)合系、亞磷酸系、水滑石系中的任一種，也可以使用多種穩(wěn)定劑。
[0027]優(yōu)選的是，加工時(shí)不產(chǎn)生黑色劣化的水滑石系是理想的。但是，水滑石系已知有堿性而導(dǎo)致加工后的穩(wěn)定劑滲出，需要選擇配混劑。
[0028]本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，作為金屬穩(wěn)定劑使用的非鉛系金屬皂在氯乙烯系薄膜的表面滲出的現(xiàn)象與增塑劑同樣地成為引起粘著特性降低的重要因素。并且發(fā)現(xiàn)，通過組合使用彼此酸根(酸成分)不同的特定的金屬鹽作為上述非鉛系金屬皂，可得到高度抑制上述滲出的氯乙烯系薄膜，以及未觀察到以該氯乙烯系薄膜為基材的膠粘片和膠帶的粘著特性的降低，從而完成了本發(fā)明。
[0029]根據(jù)本發(fā)明，提供在由氯乙烯系薄膜形成的基材上具有膠粘劑層的膠粘片和膠帶。前述氯乙烯系薄膜是將包含聚氯乙烯樹脂和金屬皂的氯乙烯系組合物成型而成的。前述金屬皂包含堿土金屬皂和鋅皂。
[0030]此處，前述堿土金屬皂的至少一部分為硬脂酸的堿土金屬鹽，前述鋅皂的至少一部分為月桂酸鋅。
[0031]金屬皂在氯乙烯系薄膜的表面滲出的現(xiàn)象(可因壓延加工時(shí)、膠粘劑組合物的涂布干燥時(shí)等的加熱而被促進(jìn)。)也可以僅通過單純地減少金屬皂的配合量來防止。然而，若將金屬皂的配合量減少至某程度以上，則無法充分得到該金屬皂作為穩(wěn)定劑的效果，有在氯乙烯系薄膜的成型過程等中導(dǎo)致該氯乙烯系薄膜劣化的擔(dān)心。
[0032]另外，金屬皂在使聚氯乙烯穩(wěn)定化的基礎(chǔ)上還有提高壓延操作性(輥活性)的效果，因此該金屬皂的配合量過少時(shí)，上述壓延操作性降低，壓延加工變困難。
[0033]本發(fā)明的膠粘片中，用于基材的氯乙烯系薄膜是將組合使用了作為金屬皂的硬脂酸堿土金屬鹽(例如硬脂酸鈣)和月桂酸鋅的氯乙烯系組合物成型而成的。通過組合使用該特定的金屬皂，能夠確保良好的壓延操作性并且高度抑制該金屬皂的滲出。因此，利用在上述氯乙烯系薄膜上具有由膠粘劑組合物形成的膠粘劑層的膠粘片和膠帶，可實(shí)現(xiàn)良好的粘著性。換言之，利用上述金屬皂的組合，能夠適宜地兼顧由氯乙烯系組合物形成氯乙烯系薄膜時(shí)的成型性(壓延操作性等)和膠粘片的粘著性。
[0034]前述氯乙烯系組合物優(yōu)選的是，相對于該組合物所含的聚氯乙烯每100重量份，含有總計(jì)大概0.3~3.5重量份(更優(yōu)選為大概0.4~2.5重量份)的前述金屬皂。利用該氯乙烯系組合物，能更好地兼顧氯乙烯系薄膜的成型性和以該薄膜為基材的膠粘片的粘著性。
[0035]前述氯乙烯系組合物優(yōu)選的是，相對于該組合物所含的聚氯乙烯每100重量份，含有總計(jì)大概0.15~2重量份(更優(yōu)選為大概0.2~1.5重量份)的前述鋅皂。利用該氯乙烯系組合物，能更好地兼顧氯乙烯系薄膜的成型性和以該薄膜為基材的膠粘片的粘著性。
[0036]在優(yōu)選的一個(gè)實(shí)施方式中，前述氯乙烯系組合物所含的前述鋅皂總量的大概30質(zhì)量％以上(典型的為大概30~100質(zhì)量％、例如大概50~100質(zhì)量％ )為月桂酸鋅。利用由該氯乙烯系組合物得到的氯乙烯系薄膜，能構(gòu)成顯示出更加良好的粘著性的膠粘片。
[0037]在優(yōu)選的另一實(shí)施方式中，前述氯乙烯系組合物所含的堿土金屬皂總量的大概50質(zhì)量％以上(典型的為大概50~100質(zhì)量％ )為硬脂酸的堿土金屬鹽。該氯乙烯系組合物能使制造氯乙烯系薄膜時(shí)的成型性更加良好。
[0038]前述氯乙烯系組合物優(yōu)選的是，該氯乙烯系組合物所含的金屬皂總量的大概30~90質(zhì)量％為硬脂酸鹽。利用該氯乙烯系組合物，能更好地兼顧氯乙烯系薄膜的成型性和以該薄膜為基材的膠粘片的粘著性。
[0039]在優(yōu)選的一個(gè)實(shí)施方式中，前述氯乙烯系組合物還包含水滑石。該水滑石可作為聚氯乙烯的穩(wěn)定劑而有效地發(fā)揮作用。因此，利用在上述金屬皂的基礎(chǔ)上包含水滑石的組成的氯乙烯系組合物，能實(shí)現(xiàn)更高的穩(wěn)定化效果(換言之，防止聚氯乙烯的劣化的效果)。
[0040]用于本發(fā)明的基材的厚度優(yōu)選為20 μ m~120 μ m,更優(yōu)選為30 μ m~100 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為40 μ m~80 μ m,最優(yōu)選為50 μ m~75 μ m。通過將本發(fā)明的基材的厚度調(diào)節(jié)到上述范圍內(nèi)，本發(fā)明的效果可更加容易地顯現(xiàn)。若基材的厚度過薄，則有處理性變差的擔(dān)心，尤其在構(gòu)成膠帶時(shí)有貼合操作變困難的擔(dān)心。若基材的厚度過厚，則有對拉伸等變形的追隨性變差的擔(dān)心。
[0041]在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，用于本發(fā)明的基材可以包含任意適當(dāng)?shù)钠渌煞帧?br> [0042]<膠粘劑層>
[0043]本發(fā)明中的膠粘劑層含有(甲基)丙烯酸類聚合物。前述(甲基)丙烯酸類聚合物可以為僅I種，也可以為2種以上。需要說明的是，在本說明書中，“(甲基)丙烯酸”是指丙烯酸和/或甲基丙烯酸，“(甲基)丙烯酸酯”是指丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。本發(fā)明中的(甲基)丙烯酸類聚合物的含量可根據(jù)目的而適當(dāng)設(shè)定。
[0044]作為用于本發(fā)明的(甲基)丙烯酸類聚合物，是由包含(甲基)丙烯酸類單體作為主要單體成分構(gòu)成的樹脂。構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的(甲基)丙烯酸類單體的含有比率優(yōu)選為50重量％以上，更優(yōu)選為70重量％~100重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為90重量％~100重量％,特別優(yōu)選為95重量％~100重量％。上述單體成分中的單體可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0045]作為本發(fā)明中使用的(甲基)丙烯酸類單體，可優(yōu)選列舉出(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸。
[0046]作為(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉出:碳數(shù)為I~30的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯、含羥基(甲基)丙烯酸酯等。(甲基)丙烯酸酯可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0047]作為碳數(shù)為I~30的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯，例如可列舉出:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戍酯((meth)acrylic acid pentyl)、(甲基)丙烯酸戍酯((meth)acrylic acid amyl)、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸十九烷基酷、(甲基)丙稀酸二十烷基酷、(甲基)丙稀酸月桂酷等碳數(shù)為I~30的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯等。這些(甲基)丙烯酸酯當(dāng)中，優(yōu)選碳數(shù)為2~20的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙稀酸烷基酷，更優(yōu)選碳數(shù)為4~18的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯，最優(yōu)選(甲基)丙烯酸丁酯。
[0048]作為含羥基(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉出:(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯等。
[0049]為了充分顯現(xiàn)作為膠粘劑的效果，構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分優(yōu)選包含選自含羥基單體、含羧基單體的至少I種。更優(yōu)選為含羧基單體。
[0050]另外，為了充分顯現(xiàn)作為膠粘劑的效果，構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分可以含有丙烯腈。
[0051]作為含羥基單體，例如可列舉出:(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯、烯丙醇等。含羥基單體可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0052]作為含羧基單體，例如可列舉出:(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸羧乙酯、(甲基)丙烯酸羧戊酯、巴豆酸、馬來酸、富馬酸、衣康酸等。含羧基單體可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0053]構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分含有含羥基單體時(shí)，構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的含羥基單體的含有比率優(yōu)選為0.1質(zhì)量％~20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.1質(zhì)量％~10質(zhì)量％。構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分含有含羧基單體時(shí)，構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的含羧基單體的含有比率優(yōu)選為0.1質(zhì)量％~20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.1質(zhì)量％~10質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為1.5質(zhì)量％~5質(zhì)量％，最優(yōu)選為2質(zhì)量％~3質(zhì)量％。像這樣，通過使構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分含有選自含羥基單體、含羧基單體的至少I種，在使用交聯(lián)劑的情況下，可以更有效地發(fā)生與該交聯(lián)劑的交聯(lián)反應(yīng)，能夠充分顯現(xiàn)作為膠粘劑的效果。進(jìn)而，通過調(diào)節(jié)構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的含羥基單體的含有比率、構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的含羧基單體的含有比率而使其處于上述范圍內(nèi)，能夠有效地防止剝離操作時(shí)被粘物的破裂。構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的含羥基單體的含有比率、構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的含羧基單體的含有比率相比上述范圍過多時(shí)，粘著力變得過大，在剝離操作時(shí)有容易產(chǎn)生被粘物的破裂的擔(dān)心。
[0054]上述丙烯酸類聚合物可以利用公知慣用的聚合方法將上述單體成分聚合而制備，例如可列舉出:溶液聚合方法、乳液聚合方法、懸浮聚合、本體聚合法、利用活性能量射線照射的聚合方法(活性能量射線聚合方法)等。
[0055]上述之中，從特性、成本等方面出發(fā)，優(yōu)選乳液聚合方法、溶液聚合方法、活性能量射線聚合方法，更優(yōu)選為溶液聚合方法。
[0056]膠粘劑層優(yōu)選包含交聯(lián)劑。膠粘劑層包含交聯(lián)劑時(shí)，膠粘劑層中的交聯(lián)劑的含有比率可根據(jù)目的而適當(dāng)設(shè)定，相對于主要樹脂成分(優(yōu)選為(甲基)丙烯酸類聚合物)100重量份，優(yōu)選為0.01重量份~20重量份。
[0057]作為交聯(lián)劑，例如可列舉出:環(huán)氧系交聯(lián)劑、異氰酸酯系交聯(lián)劑、三聚氰胺系交聯(lián)劑、過氧化物系交聯(lián)劑、金屬醇鹽系交聯(lián)劑、金屬螯合物系交聯(lián)劑、金屬鹽系交聯(lián)劑、碳二亞胺系交聯(lián)劑、噁唑啉系交聯(lián)劑、氮丙啶系交聯(lián)劑、胺系交聯(lián)劑等。交聯(lián)劑可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0058]從能夠充分顯現(xiàn)本發(fā)明的效果的方面出發(fā)，優(yōu)選環(huán)氧系交聯(lián)劑、三聚氰胺系交聯(lián)劑、異氰酸酯系交聯(lián)劑。
[0059]膠粘劑層也可以包含增塑劑。尤其在氯乙烯系薄膜基材的情況下，由于使增塑劑包含在基材中，基材的增塑劑向膠粘劑側(cè)遷移，因此預(yù)先在膠粘劑側(cè)含有增塑劑，從而能夠減少來自基材的遷移量，因此膠粘劑的設(shè)計(jì)變?nèi)菀住?br> [0060]膠粘劑層包含增塑劑時(shí)，膠粘劑層中的增塑劑的含有比率可根據(jù)目的而適當(dāng)設(shè)定，相對于主要樹脂成分(優(yōu)選為(甲基)丙烯酸類聚合物)100重量份，為0.1重量份~70重量份。通過使膠粘劑層中的增塑劑的含有比率處于上述范圍內(nèi)，可以更加有效地顯現(xiàn)本發(fā)明的效果。相對于主要樹脂成分(優(yōu)選為(甲基)丙烯酸類聚合物)100重量份，膠粘劑層中的增塑劑的含有比率若比70重量份大，則膠粘劑層變得過于柔軟，有容易產(chǎn)生殘膠、污染被粘物的擔(dān)心。
[0061]作為上述增塑劑，例如可列舉出:苯二甲酸酯系、偏苯三酸酯系(DAINIPPON INKCORPORAT1N、W-700、偏苯三酸三辛酯等)、己二酸酯系(J-PLUS C0.，Ltd、D620、己二酸二辛酯、己二酸二異壬酯等)、磷酸酯系(磷酸三甲苯酯等)、己二酸系酯、檸檬酸酯(乙?；鶛幟仕崛□サ?、癸二酸酯、壬二酸酯、馬來酸酯、苯甲酸酯、聚醚系聚酯、環(huán)氧系聚酯(環(huán)氧化大豆油、環(huán)氧化亞麻籽油等)、聚酯(由羧酸和二醇形成的低分子聚酯等)等。在本發(fā)明中，優(yōu)選使用酯系增塑劑。增塑劑可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0062]為了促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)等，膠粘劑層可以包含任意適量的催化劑。膠粘劑層包含催化劑時(shí)，膠粘劑層中的催化劑的含有比率可根據(jù)目的而適當(dāng)設(shè)定，相對于主要樹脂成分(優(yōu)選為(甲基)丙烯酸類聚合物)100重量份，為0.01重量份~20重量份。通過使膠粘劑層中的催化劑的含有比率處于上述范圍內(nèi)，可以更加有效地顯現(xiàn)本發(fā)明的效果。
[0063]在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，膠粘劑層可以包含任意適當(dāng)?shù)奶砑觿?。作為這樣的添加劑，例如可列舉出:紫外線吸收劑、填充劑、防老劑、增粘劑、顏料、染料、硅烷偶聯(lián)劑等。
[0064]本發(fā)明的膠粘劑層的厚度優(yōu)選為I μ m~30 μ m,更優(yōu)選為2 μ m~20 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為5 μ m~15 μ m,最優(yōu)選為8 μ m~12 μ m。膠粘劑層的厚度小于1.0 μ m時(shí),有無法充分顯現(xiàn)粘著力的擔(dān)心。膠粘劑層的厚度大于30 μ m時(shí)，根據(jù)用途，有因粘著力過大而剝離等操作時(shí)導(dǎo)致被粘物破裂的擔(dān)心。
[0065]本發(fā)明的膠帶也可以在膠粘劑層的表面具備剝離襯墊。
[0066]作為剝離襯墊，可以采用任意適當(dāng)?shù)母綦x體。作為這種剝離襯墊，例如可列舉出:具有利用聚硅氧烷系、長鏈烷基系、氟系、硫化鑰等剝離劑進(jìn)行過表面處理的塑料薄膜、紙等剝離層的基材；由聚四氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚氟化乙烯、聚偏氟乙烯、四氟乙烯.六氟丙烯共聚物、氯氟乙烯.偏氟乙烯共聚物等氟系聚合物形成的低粘接性基材；由烯烴系樹月旨(例如，聚乙烯、聚丙烯等)等無極性聚合物形成的低粘接性基材；等。
[0067]作為在基材上設(shè)置膠粘劑層的方法，在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)可以采用任意適當(dāng)?shù)氖侄巍Ｗ鳛檫@樣的手段，優(yōu)選為通過將形成膠粘劑層的涂覆液涂覆到基材上來設(shè)置膠粘劑層的方法。
[0068]作為涂覆方式，在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)可以采用任意適當(dāng)?shù)耐扛卜绞?。作為這樣的涂覆方式，例如可列舉出:逆轉(zhuǎn)方式、直接方式、組合有計(jì)量棍(metering roll)等的各種方式。
[0069]<背面處理層>
[0070]本發(fā)明中，可以在基材的膠粘劑層的相反面設(shè)置背面處理層，作為背面處理劑，可以是長鏈烷基的背面處理劑，根據(jù)情況，也可以是聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合層。
[0071]基材背面的表面優(yōu)選具有凹凸結(jié)構(gòu)。通過使基材背面的表面具有凹凸結(jié)構(gòu)，能夠有效地抑制對底座的過度密合。關(guān)于該凹凸結(jié)構(gòu)，具體而言，基材背面的算術(shù)平均表面粗糙度Ra優(yōu)選為0.1 μ m以上，更優(yōu)選為0.1 μ m~3.0 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2 μ m~2.0 μ m，特別優(yōu)選為0.3 μ m~2.0 μ m,最優(yōu)選為0.5 μ m~2.0 μ m。通過使基材背面的算術(shù)平均表面粗糙度Ra處于上述范圍內(nèi)，能夠抑制在進(jìn)行利用負(fù)壓的吸附固定時(shí)出現(xiàn)過度密合。其中，基材背面的算術(shù)平均表面粗糙度Ra利用以下的方法來測定。
[0072]<算術(shù)平均表面粗糙度Ra〉
[0073]使用OLYMPUS制造的共焦激光顯微鏡“LEXT3000”，用20倍物鏡以3D模式進(jìn)行測定。3D模式的觀察范圍的確定如下進(jìn)行:將使透鏡上下移動(dòng)時(shí)的CF圖像(共焦圖像)變?yōu)槿诘奈恢梅謩e設(shè)定為觀察范圍的Top和Bottom。3D模式下的圖像獲取方法通過Step方式以0.2 μ m的間距進(jìn)行圖像獲取。算術(shù)平均表面粗糙度Ra的測量通過分析模式的粗糙度分析來測量任意位置的Ra。其中，值是通過η = 5的平均算出。
[0074]基材背面處理層包含(甲基)丙烯酸類聚合物時(shí)，背面處理劑中的(甲基)丙烯酸類聚合物的 SP 值優(yōu)選為 9.0 (cal/cm3) °'5 ~12.0 (cal/cm3) °'5,更優(yōu)選為 9.5 (cal/cm3) °'5 ~
11.5 (cal/cm3)0.5,進(jìn)一步優(yōu)選為 9.5 (cal/cm3)0.5 ~11.0 (cal/cm3)0.5。SP 值是根據(jù) Small公式算出的溶解度參數(shù)。SP值的計(jì)算可以利用公知的文獻(xiàn)(例如，Journal of AppliedChemistry, 3,71,1953.等)所記載的方法進(jìn)行。
[0075]背面處理層優(yōu)選具有相分離結(jié)構(gòu)。通過使背面處理層具有相分離結(jié)構(gòu)，可在該背面處理層的表面有效地形成微小的凹凸結(jié)構(gòu)。這大概可推測為:例如以背面處理層為聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合層的情況為例，由于相分離結(jié)構(gòu)生成時(shí)的聚硅氧烷、(甲基)丙烯酸類聚合物的物質(zhì)移動(dòng)性的差異而生成凹凸。由于該凹凸結(jié)構(gòu)的形成，在本發(fā)明的膠帶中，可抑制在進(jìn)行利用負(fù)壓的吸附固定時(shí)出現(xiàn)過度密合。
[0076]背面處理層的相分離結(jié)構(gòu)是通過含有如上所述的包含聚硅氧烷多于(甲基)丙烯酸類聚合物的富聚硅氧烷相和包含(甲基)丙烯酸類聚合物多于聚硅氧烷的富(甲基)丙烯酸類聚合物相的分離而實(shí)現(xiàn)，這種結(jié)構(gòu)可以通過任意適當(dāng)?shù)姆椒ㄟM(jìn)行觀察。作為這樣的觀察方法，例如可列舉出:使用透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)等電子顯微鏡對基材背面截面進(jìn)行形態(tài)觀察的方法。2層分離結(jié)構(gòu)能夠通過形態(tài)觀察圖像的深淺來辨識。另外，也可列舉出如下方法:利用基于全反射法的紅外吸收分光，從背面處理層空氣界面?zhèn)鹊絻?nèi)部，一邊改變探針光深度，一邊觀測組成中所含的硅、碳等的含量變化，由此進(jìn)行觀察。另外，還可列舉出利用X射線顯微分析儀、X射線光電子能譜進(jìn)行觀察的方法。另外，也可以適當(dāng)?shù)亟M合這些方法來進(jìn)行觀察。
[0077]本發(fā)明中的背面處理層中的聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合比以質(zhì)量比計(jì)，優(yōu)選為聚硅氧烷:(甲基)丙烯酸類聚合物=1:5~5:1，更優(yōu)選為聚硅氧烷:(甲基)丙烯酸類聚合物=1:4~4:1，進(jìn)一步優(yōu)選為聚硅氧烷:(甲基)丙烯酸類聚合物=I:3~3:1，特別優(yōu)選為聚硅氧烷:(甲基)丙烯酸類聚合物=1:2~2:1。若背面處理層中的聚硅氧烷的含有比例過大，則與基材(尤其是塑料薄膜)背面的化學(xué)親和性變低，有難以適應(yīng)基材(尤其是塑料薄膜)背面的擔(dān)心。另外，若背面處理層中的聚硅氧烷的含有比率過大，則在制成膠帶時(shí)，對拉伸等變形的追隨性變差，有背面處理層破裂而成為污染的原因的擔(dān)心。若基材背面中的(甲基)丙烯酸類聚合物的含有比率過大，則有背面處理層作為丙烯酸類膠粘劑發(fā)揮作用的擔(dān)心，有容易產(chǎn)生粘連的擔(dān)心。
[0078]作為聚硅氧烷，可以采用任意適當(dāng)?shù)木酃柩跬椤Ｗ鳛檫@樣的聚硅氧烷，例如可列舉出:將鉬系化合物作為催化劑，使含烯基聚二烷基硅氧烷與聚二烷基氫聚硅氧烷通過加成反應(yīng)固化形成剝離性皮膜而得到的加成型聚硅氧烷；使用錫系催化劑的、使含羥甲基聚二烷基硅氧烷與聚二烷基氫聚硅氧烷反應(yīng)而得到的縮合型聚硅氧烷等。作為加成型聚硅氧烷的例子，例如可列舉出:SHIN-ETSU SILICONE制造的“KS-776A”、“KS-839L”等。作為縮合型聚硅氧烷的例子，例如可列舉出:SHIN-ETSU SILICONE制造的“KS723A/B”。此外，在制造聚硅氧烷時(shí)，除了鉬系催化劑、錫系催化劑以外，還可以適當(dāng)?shù)厥褂闷渌宦?lián)劑、交聯(lián)促進(jìn)劑等。另外，作為聚硅氧烷的性狀，可分類成:溶解在甲苯等有機(jī)溶劑中的類型、將它們?nèi)橐夯傻娜橐盒?、僅包含聚硅氧烷的無溶劑型等。另外，除了加成型聚硅氧烷、縮合型聚硅氧烷以外，能夠使用聚硅氧烷/丙烯酸接枝聚合物、聚硅氧烷/丙烯酸嵌段聚合物等。作為聚硅氧烷/丙烯酸接枝聚合物，例如可列舉出:SYMAC GS-30、GSlOl、US-270、US-350、US-380(以上為東亞合成株式會社制造)等。作為聚硅氧烷/丙烯酸嵌段聚合物，例如可列舉出:M0DIPER FS700、FS710、FS720、FS730、FS770(以上為日油株式會社制造)等。
[0079]作為(甲基)丙烯酸類聚合物，可以采用任意適當(dāng)?shù)?甲基)丙烯酸類聚合物。本發(fā)明中，“(甲基)丙烯酸”是指“丙烯酸和/或甲基丙烯酸”。
[0080](甲基)丙烯酸類聚合物是由包含(甲基)丙烯酸類單體作為主要單體的單體成分構(gòu)成的聚合物。構(gòu)成上述(甲基)丙烯酸類聚合物的單體成分中的(甲基)丙烯酸類單體的含有比率優(yōu)選為50重量％以上，更優(yōu)選為70重量％~100重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為90重量~100重量％,特別優(yōu)選為95重量％~100重量％。上述單體成分中的單體可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0081]作為(甲基)丙烯酸類單體，可優(yōu)選列舉出(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸。
[0082]作為(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉出:碳數(shù)為I~30的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯、含羥基(甲基)丙烯酸酯等。(甲基)丙烯酸酯可以為僅I種，也可以為2種以上。
[0083]作為碳數(shù)為I~30的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯，例如可列舉出:(甲基)丙烯酸甲酯、 (甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戍酯((meth)acrylic acid pentyl)、(甲基)丙烯酸戍酯((meth)acrylic acid amyl)、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸十九烷基酷、(甲基)丙稀酸十烷基酷、(甲基)丙稀酸月桂酷等碳數(shù)為I~30的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯等。這些(甲基)丙烯酸酯當(dāng)中，優(yōu)選碳數(shù)為2~20的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙稀酸烷基酷，更優(yōu)選碳數(shù)為4~18的烷基(也包括環(huán)烷基)的(甲基)丙烯酸烷基酯。作為本發(fā)明中的碳數(shù)為I~30的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯，優(yōu)選丙烯酸丁酯。作為本發(fā)明中的碳數(shù)為I~30的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯的適宜的組合，優(yōu)選甲基丙烯酸甲酯與丙烯酸丁酯的組合。
[0084]作為含羥基(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉出:(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯等。作為本發(fā)明中的含羥基(甲基)丙烯酸酯，優(yōu)選(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯。
[0085]作為本發(fā)明中的(甲基)丙烯酸酯的適宜的組合，優(yōu)選甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及丙烯酸-2-羥基乙酯的組合。
[0086]作為本發(fā)明中使用的背面處理層的(甲基)丙烯酸類聚合物，構(gòu)成其的單體成分中的含羥基(甲基)丙烯酸酯的含有比率優(yōu)選為2質(zhì)量％~30質(zhì)量％，更優(yōu)選為3質(zhì)量％~20質(zhì)量％,特別優(yōu)選為5質(zhì)量％~15質(zhì)量％,最優(yōu)選為6質(zhì)量％~10質(zhì)量％。如果處于上述范圍內(nèi)，則在背面處理層的表面更有效地形成微小的凹凸結(jié)構(gòu)，通過該凹凸結(jié)構(gòu)的形成，在本發(fā)明的膠帶中，進(jìn)行利用負(fù)壓的吸附固定時(shí)可以進(jìn)一步抑制出現(xiàn)過度密合。
[0087](甲基)丙烯酸類聚合物可通過任意適當(dāng)?shù)木酆戏椒▉碇圃臁?br> [0088]在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，背面處理層可以包含任意適當(dāng)?shù)奶砑觿Ｗ鳛檫@樣的添加劑，例如可列舉出:催化劑、紫外線吸收劑、填充劑、防老劑、增粘劑、顏料、染料、硅烷偶聯(lián)劑等。
[0089]背面處理層的厚度優(yōu)選為0.01 μ m~10 μ m、更優(yōu)選為0.1 μ m~5 μ m、進(jìn)一步優(yōu)選為0.1ym~2μπι。背面處理層的厚度低于0.01 μ m時(shí)，變得容易產(chǎn)生粘連。背面處理層的厚度若大于1ym,則有對拉伸等變形的追隨性變差的擔(dān)心。背面處理層的厚度若小于
0.01 μ m,則有本發(fā)明的效果難以顯現(xiàn)、制造變困難的擔(dān)心。
[0090]作為在基材(尤其是塑料薄膜)的單面形成背面處理層的方法，例如可列舉出:通過在基材(尤其是塑料薄膜)的單面涂布背面處理層的材料并進(jìn)行干燥來形成背面處理層的方法。作為上述涂布的方法，例如可列舉出:使用棒涂機(jī)、凹版涂布機(jī)、旋涂機(jī)、輥涂機(jī)、刮刀涂布機(jī)、涂抹器等的方法。
[0091]通過如上述那樣設(shè)置背面處理層，使背面處理層的表面的靜摩擦系數(shù)為0.05~
1.0，優(yōu)選為0.1~0.5。如果表面的靜摩擦系數(shù)為0.05以上且1.0以下，則在金屬板的壓制加工時(shí)以及半導(dǎo)體晶圓的擴(kuò)展時(shí)的氯乙烯系薄膜的背面的滑動(dòng)可平穩(wěn)地進(jìn)行。
[0092]實(shí)施例
[0093]〔實(shí)施例1〕
[0094]基材的制造
[0095]氯乙烯系薄膜A
[0096]將聚氯乙烯樹脂(聚合度1100) 100重量份、增塑劑(花王株式會社制品、商品名“VINYCIZER90” (DINP)) 15 重量份、聚酯系增塑劑(DIC CORPORAT1N 制、商品名 W2310) 13重量份、甲基丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯的共聚物(MITSUBISHI RAYON C0.，Ltd.、商品名METABLEN C-223A) 5重量份、作為鋅皂的月桂酸鋅(三津和化學(xué)藥品株式會社)0.25重量份、硬脂酸鋅(KISHIDA CHEMICAL C0.，Ltd.)0.25重量份、作為堿土金屬皂的硬脂酸鈣(KISHIDA CHEMICAL C0.，Ltd.)0.5重量份、以及水滑石(協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會社、商品名“ALCAMIZER” ) 2重量份進(jìn)行混合，制備氯乙烯系組合物。使用壓延成型機(jī)，在成型溫度150°C下將上述氯乙烯系組合物成型為厚度120 μ m的薄膜狀，由此制作氯乙烯系薄膜A。
[0097]作為膠粘劑組合物，向丙烯酸丁酯80重量份、丙烯腈17.5重量份、丙烯酸2.5重量份中投入作為引發(fā)劑的AIBN(商品名V-60、和光純藥工業(yè)制)0.1重量份，以乙酸乙酯100重量份作為溶劑，進(jìn)行2小時(shí)的N2置換，然后，在60°C下進(jìn)行8小時(shí)聚合，得到平均分子量100萬的丙烯酸類共聚物。
[0098]相對于前述丙烯酸類共聚物100重量份(固體成分)，配混增塑劑(花王株式會社、商品名“VINYCIZER90”(DINP))15重量份、異氰酸酯系交聯(lián)劑(日本聚氨酯株式會社、商品名CORONATE L) 3重量份和三聚氰胺系交聯(lián)劑(商品名SUPER BECKAMINE L-117-60) 1.5重量份，得到膠粘劑組合物。
[0099]將前述膠粘劑組合物涂布在前述氯乙烯系薄膜A上，使得膠粘劑組合物的干燥后的厚度為?ο μ m，作為背面處理層，將聚硅氧烷樹脂(KS-723A、信越化學(xué)工業(yè)制)60重量份、聚硅氧烷樹脂(KS-723B、信越化學(xué)工業(yè)制)40重量份、丙烯酸類共聚物(甲基丙烯酸甲酯(MMA)/丙烯酸丁酯(BA)/丙烯酸-2-羥基乙酯(HEA) = 70/30/10) 50重量份、錫系催化劑(信越化學(xué)工業(yè)、Cat-PS3) 10重量份以溶液狀態(tài)進(jìn)行混合，得到背面處理劑(I)。背面處理劑(I)中的聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合比以質(zhì)量比計(jì)為聚硅氧烷:(甲基)丙烯酸類聚合物=2:1。
[0100]在前述氯乙烯系薄膜A的一個(gè)面涂布上述背面處理液并干燥，形成厚度1.0 μ m、算術(shù)平均表面粗糙度Ra = 0.5 μ m的背面處理層，制作成卷狀的實(shí)施例1的膠帶。
[0101]〔實(shí)施例2〕
[0102]相對于聚合度P = 1100的聚氯乙烯樹脂100重量份，增塑劑(花王株式會社、商品名“VINYCIZER90” (DINP))為30重量份、沒有配混聚酯系增塑劑、甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯 / 丁二烯共聚物(MITSUBISHI RAYON C0.，Ltd.、商品名 METABLEN C-223A)為 10 重量份，除此以外，用與氯乙烯系薄膜A相同的方法制作氯乙烯系薄膜B。
[0103]除了將實(shí)施例1的氯乙烯系薄膜A變更為氯乙烯系薄膜B以外，與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的實(shí)施例2的膠帶。
[0104]〔實(shí)施例3〕
[0105]基于氯乙烯系薄膜B的制作方法，將甲基丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯的共聚物(MITSUBISHI RAYON C0.，Ltd.、商品名METABLEN C-223A)變更為20重量份來制作氯乙烯系薄膜C。除了將實(shí)施例1的氯乙烯系薄膜A變更為氯乙烯系薄膜C以外，與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的實(shí)施例3的膠帶。
[0106]〔實(shí)施例4〕
[0107]基于氯乙烯系薄膜B的制作方法，將甲基丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯的共聚物(MITSUBISHI RAYON C0.，Ltd.、商品名METABLEN C-223A)變更為40重量份來制作氯乙烯系薄膜D。除了將實(shí)施例1的氯乙烯系薄膜A變更為氯乙烯系薄膜D以外，與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的實(shí)施例4的膠帶。
[0108]〔實(shí)施例5〕
[0109]基于氯乙烯系薄膜B的制作方法，將穩(wěn)定劑變更為使用硬脂酸鈣(KISHIDACHEMICAL C0.，Ltd.) I 重量份、硬脂酸鋅(KISHIDA CHEMICAL C0.，Ltd.)0.25 重量份、月桂酸鋅(三津和化學(xué)藥品株式會社)0.25重量份、環(huán)氧化大豆油(DIC CORPORAT1N) 3.0重量份、烷基烯丙基亞磷酸酯(ADEKA CORPORAT1N、商品名MARK C) I重量份來制作氯乙烯系薄膜E。將實(shí)施例2的氯乙烯系薄膜B變更為氯乙烯系薄膜E，除此以外與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的實(shí)施例5的膠帶。
[0110]〔實(shí)施例6〕
[0111]基于氯乙烯系薄膜B的制作方法，將穩(wěn)定劑變更為使用硬脂酸鋇(昭和化學(xué)株式會社)I重量份、月桂酸鋅(三津和化學(xué)藥品株式會社)0.5重量份、環(huán)氧化大豆油(DICCORPORAT1N) 3.0重量份、烷基烯丙基亞磷酸酯(ADEKA CORPORAT1N、商品名MARK C) I重量份來制作氯乙烯系薄膜F。將實(shí)施例2的氯乙烯系薄膜B變更為氯乙烯系薄膜F，除此以外與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的實(shí)施例6的膠帶。
[0112]〔比較例I〕
[0113]基于實(shí)施例1的氯乙烯系薄膜A的制作方法，制作將聚酯系增塑劑(DICCORPORAT1N制、商品名W2310)變更為15重量份、并且沒有配混甲基丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯的共聚物(MITSUBISHI RAYON C0.，Ltd.、商品名METABLEN C-223A)的氯乙烯系薄膜G。將實(shí)施例1的氯乙烯系薄膜A變更為氯乙烯系薄膜G，并且不設(shè)置背面處理劑層，除此以外與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的比較例I的膠帶。
[0114]〔比較例2〕
[0115]基于比較例I的氯乙烯系薄膜G的制作方法，制作沒有配混穩(wěn)定劑的硬脂酸鋅和月桂酸鋅的氯乙烯系薄膜H。將比較例I的氯乙烯系薄膜G變更為氯乙烯系薄膜H，并且不設(shè)置背面處理劑層，除此以外與實(shí)施例1同樣地制作卷狀的比較例2的膠帶。
[0116]評價(jià)
[0117][粘著力和加熱促進(jìn)后粘著力]
[0118]在23°C、65% RH的測定環(huán)境下，將卷狀的膠帶切成19mm的幅寬，解卷并用2kg的輥勻速往復(fù)I次，將該膠帶壓接在作為被粘物的SUS304不銹鋼板上。將其在上述測定環(huán)境下保持30分鐘后，依照J(rèn)IS Z0237，以拉伸速度300mm/分鐘、180°剝離的條件測定對SUS粘著力[N/19mm] ?加熱促進(jìn)后粘著力(N/19mm)。
[0119]加熱促進(jìn)后粘著力為將膠帶(卷)投入40°C下的環(huán)境中14天后的粘著力。
[0120]加熱促進(jìn)粘著力比(*% )=加熱促進(jìn)后粘著力/粘著力X 100%
[0121][低溫剝離性]
[0122]將上述膠帶在0°C的環(huán)境下保持2小時(shí)后，在同一環(huán)境下，試驗(yàn)操作者用手將膠帶以大致90°解卷，通過手感來評價(jià)此時(shí)的剝離力。將對剝離穩(wěn)定地顯示適當(dāng)?shù)淖枇Φ挠洖椤颉⒎€(wěn)定地顯示在實(shí)用上為充分的阻力的記為〇、將雖然顯示在實(shí)用上為充分的阻力但發(fā)出咔咔的剝離音(即阻力不穩(wěn)定)的記為Λ、將對剝離的阻力過小而超過預(yù)計(jì)地進(jìn)行剝離的記為X，其結(jié)果示于表1。
[0123][靜摩擦系數(shù)測定方法]
[0124]依照J(rèn)IS K-7125進(jìn)行測定，在以下的條件下進(jìn)行測定。
[0125]樣品尺寸3cmX3cm、載荷100g、速度100mm/min,測定實(shí)施例和比較例的試樣的背面處理面層對PET薄膜(Lumirror S10、厚度50 μ m、TORAY INDUSTRIES, INC.制)的靜摩擦系數(shù)。
[0126][薄膜的壓延加工性]
[0127]按照以下的基準(zhǔn)來判定氯乙烯系樹脂混合物的基于利用壓延加工的壓延時(shí)的熱劣化的壓延加工性。將氯乙烯系樹脂混合物能夠成膜化、沒有熱劣化的情況記為“〇”、將氯乙烯系樹脂混合物發(fā)生熱劣化而無法成膜化的情況記為“ X ”。
[0128][切割]
[0129]將形成有回路圖案的直徑4英寸的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行背面研磨處理而使其厚度為0.25mm，在該晶圓上粘貼實(shí)施例和比較例的膠帶并粘接固定，用切割裝置(DISCOCORPORAT1N、DFD-651)對其以切割速度 80m/min、切割刀片(DISCO CORPORAT1N、2050HFDD)的轉(zhuǎn)速4萬r.p.m.、實(shí)施例和比較例的膠帶切入深度30 μ m的條件進(jìn)行全切割，切成ImmX Imm的芯片。
[0130][芯片間隔]
[0131 ] 在前述切割試驗(yàn)后，將膠帶擴(kuò)展，測定芯片間的間隔。
[0132]作為在擴(kuò)展時(shí)使用的切割環(huán)，使用2-6-1 (DISCO CORPORAT1N、內(nèi)徑19.5cm)，
[0133]作為固晶機(jī)(die bonder)，使用CPS-100 (NEC機(jī)械)，使拖落量為10mm。
[0134]將全部芯片間的間隔為80 μ m以上的情況記為〇，將只要有I處為80 μ m以下的情況就記為X。
[0135]評價(jià)結(jié)果
[0136]

【權(quán)利要求】
1.一種氯乙烯系膠粘片和膠帶，其特征在于，其在基材的一個(gè)面具有膠粘劑層，在所述基材的與膠粘劑層相反的面具有背面處理層，所述背面處理層為聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合層，聚硅氧烷與(甲基)丙烯酸類聚合物的混合比以質(zhì)量比計(jì)為聚硅氧烷:(甲基)丙烯酸類聚合物=1:5~5:1，所述基材含有聚氯乙烯樹脂、具有共軛雙鍵的單體與乙烯基系單體的共聚物、穩(wěn)定劑以及增塑劑，所述具有共軛雙鍵的單體與乙烯基系單體的共聚物為甲基丙烯酸酯與苯乙烯與丁二烯的共聚物，所述膠粘劑層為由(甲基)丙烯酸類聚合物形成的層，在所述氯乙烯系膠粘片和膠帶中，背面處理層側(cè)的靜摩擦系數(shù)為0.05 ~1.0。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氯乙烯系膠粘片和膠帶，其特征在于，作為所述穩(wěn)定劑，包含屬于非鉛系穩(wěn)定劑的水滑石和堿土金屬皂以及鋅皂，所述堿土金屬皂的至少一部分為硬脂酸的堿土金屬鹽，所述鋅皂的至少一部分為月桂酸鋅。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氯乙烯系膠粘片和膠帶，其特征在于，所述增塑劑的總量相對于聚氯乙烯樹脂100重量份為40重量份以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氯乙烯系膠粘片和膠帶，其特征在于，將所述氯乙烯系膠粘片和膠帶投入40°C下的環(huán)境中14天后的粘著力與投入前的粘著力相比較，為40%以上。
【文檔編號】C09J7/02GK104130724SQ201410353589
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月23日
【發(fā)明者】潘健, 劉兵, 彭偉忠 申請人:日東電工（上海松江）有限公司