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石英坩堝的熱風(fēng)烘箱的制作方法

文檔序號(hào):3749533閱讀:504來源:國(guó)知局
專利名稱:石英坩堝的熱風(fēng)烘箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
石英坩堝的熱風(fēng)烘箱
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及ー種熱風(fēng)烘箱,尤其是涉及ー種石英坩堝的熱風(fēng)烘箱。
背景技木在現(xiàn)有的石英坩堝生產(chǎn)エ藝中,大多需要根據(jù)客戶需求對(duì)石英坩堝的內(nèi)表面進(jìn)行添加鋇涂層,以便提高石英坩堝的質(zhì)量和成品率,在拉制單晶硅時(shí)通過鋇涂層隔離單晶硅與石英坩堝內(nèi)表面的腐蝕,避免坩堝自表面發(fā)生析晶和滲漏,防止拉制單晶硅時(shí)的斷苞和位錯(cuò),提高拉制單晶硅的質(zhì)量和合格率坩堝進(jìn)行涂層前需要達(dá)到較高的溫度,傳統(tǒng)的烘干烘箱都是開間式,整體升溫,產(chǎn)品在烘箱內(nèi)部緊密碼放,加熱時(shí)間長(zhǎng),耗電量大,升溫慢。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服背景技術(shù)中的不足,本實(shí)用新型公開了ー種石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,本實(shí)用新型通過在架體的石英板上放置石英坩堝,使得石英坩堝與腔體底部出現(xiàn)間距,熱風(fēng)可以同步加熱石英坩堝的任何部位,節(jié)約用電達(dá)到20%以上。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下ー種石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,包括箱體、箱門、架體和石英板,在箱體的腔體開ロ處設(shè)有箱門,所述箱體的腔體下部設(shè)有架體,在架體上間隔設(shè)有多塊石英板。所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,所述架體包括上部網(wǎng)狀板、豎支撐和橫支撐,在上部網(wǎng)狀板下部面上設(shè)有多根豎支撐,豎支撐的下端與橫支撐連接。所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,上部網(wǎng)狀板為長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)。通過上述公開內(nèi)容,本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,在現(xiàn)有的熱風(fēng)烘箱腔體內(nèi)加裝架體,并且在架體上放置石英板,通過在架體的石英板上放置石英坩堝,使得石英坩堝與腔體底部出現(xiàn)間距,熱風(fēng)可以同步加熱石英坩堝的任何部位,加熱速度大幅度提升,通過本實(shí)用新型改動(dòng)后處理相同產(chǎn)品數(shù)量,節(jié)約用電達(dá)到20%以上,間接為公司降低生產(chǎn)成本,増加企業(yè)效益。

圖I是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖;圖中1、腔體;2、箱體;3、豎支撐;4、石英板;5、架體;6、橫支撐;7、箱門。
具體實(shí)施方式結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說明;下面的實(shí)施例并不是對(duì)于本實(shí)用新型的限定,而是僅作為支持實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的方式,在本實(shí)用新型所公開的技術(shù)框架內(nèi)的任意等同結(jié)構(gòu)替換,均為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍;結(jié)合附圖I所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,包括箱體2、箱門7、架體5和石英板4,在箱體2的腔體I開ロ處設(shè)有箱門7,所述箱體2的腔體I下部設(shè)有架體5,在架體5上間隔設(shè)有多塊石英板4 ;所述架體5包括上部網(wǎng)狀板、豎支撐3和橫支撐6,上部網(wǎng)狀板為長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu),在上部網(wǎng)狀板下部面上設(shè)有多根豎支撐3,豎支撐3的下端與橫支撐6連接。實(shí)施本實(shí)用新型所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,在現(xiàn)有的熱風(fēng)烘箱腔體I內(nèi)設(shè)置架體5,由架體5形成與腔體I底部的間隔,在架體5上放置石英板4,將石英坩堝放在架體5的石英板4上,開始熱風(fēng)烘烤石英坩堝,由于本實(shí)用新型的石英坩堝加熱中與腔體底部留有間距,熱風(fēng)可以同步加熱石英坩堝的任何部位,加熱速度大幅度提升,通過本實(shí)用新型改 動(dòng)后處理相同產(chǎn)品數(shù)量,節(jié)約用電達(dá)到20%以上。本實(shí)用新型未詳述部分為現(xiàn)有技木。
權(quán)利要求1.ー種石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,包括箱體(2)、箱門(7)、架體(5)和石英板(4),在箱體(2)的腔體⑴開ロ處設(shè)有箱門(7),其特征是所述箱體⑵的腔體⑴下部設(shè)有架體(5),在架體(5)上間隔設(shè)有多塊石英板(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,其特征是所述架體(5)包括上部網(wǎng)狀板、豎支撐(3)和橫支撐出),在上部網(wǎng)狀板下部面上設(shè)有多根豎支撐(3),豎支撐(3)的下端與橫支撐(6)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,其特征是上部網(wǎng)狀板為長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)。
專利摘要石英坩堝的熱風(fēng)烘箱,涉及一種熱風(fēng)烘箱,包括箱體(2)、箱門(7)、架體(5)和石英板(4),在箱體(2)的腔體(1)開口處設(shè)有箱門(7),所述箱體(2)的腔體(1)下部設(shè)有架體(5),在架體(5)上間隔設(shè)有多塊石英板(4);本實(shí)用新型通過在架體的石英板上放置石英坩堝,使得石英坩堝與腔體底部出現(xiàn)間距,熱風(fēng)可以同步加熱石英坩堝的任何部位,節(jié)約用電達(dá)到20%以上。
文檔編號(hào)B05C9/14GK202447251SQ20112053831
公開日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者沈福茂 申請(qǐng)人:樂山市澤爾匯科技有限公司
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