專利名稱：涂布裝置及涂布方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種在基板上涂布涂布液的涂布裝置及其涂布方法。
技術背景在液晶顯示器和等離子顯示器等平板顯示器中，使用在玻璃基板上涂 布有抗蝕液的基板(稱為涂布基板)。該涂布基板是通過均勻地涂布抗蝕液 的涂布裝置而形成的。艮P，涂布裝置具有載置玻璃基板的載物臺、噴出抗蝕液的管頭、以及 將該管頭支承在載物臺上并使其沿著載物臺移動的門型支承架，通過在使 抗蝕液從管頭的細縫噴管噴出的同時，使支承架沿著玻璃基板的方向移動， 從而能夠形成形成了規(guī)定厚度的抗蝕液膜的涂布基板。而且，通過這樣的 涂布裝置形成涂布基板后，對涂布膜進行檢查，檢測有無涂布不均勻。具 體來說，通過涂布裝置生產(chǎn)了規(guī)定張數(shù)的涂布基板后，在與涂布工序不同 的其它涂布膜檢查工序中進行涂布基板的檢査。這樣的涂布裝置的支承架的構(gòu)成為，在載置載物臺的基臺上設置有向 一個方向延伸的石材制軌道，并能夠沿著該軌道移動。近年來，伴隨著平 板顯示器的大型化，必須生產(chǎn)大型的涂布基板，不得不進行載物臺的大型 化及軌道的長尺寸化。但是，當軌道被長尺寸化時，伴隨石材制軌道的長 尺寸化，不可避免會產(chǎn)生加工極限和涂布裝置的運送上的問題，因此在下 述專利文獻l中，公開有通過連接多個軌道部件構(gòu)成軌道的涂布裝置。專利文獻1日本特開2006—95665號公報如上述專利文獻1中所示，在通過連接軌道部件構(gòu)成軌道的情況下， 支承架在通過軌道的接縫處，即軌道的不連續(xù)面(分割部分)時支承架發(fā) 生變動，受其影響，存在發(fā)生涂布不均勻并容易生產(chǎn)出不良基板的問題。 但是， 一旦不良基板被生產(chǎn)出來，在該情況下，直到由后續(xù)工序的涂布膜 檢測工序檢測出不良基板的這段期間，涂布是在同樣條件下進行的。艮口，在發(fā)生涂布不均勻的條件下，由于就這樣保持原狀地持續(xù)生產(chǎn)規(guī)定張數(shù)的 涂布基板，所以存在不良基板被大量地生產(chǎn)出來的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題點而作出的，其目的是提供一種即使在引導支 承架行走的軌道被分割的情況下，也能夠防止大量地生產(chǎn)不良基板，并能 夠提高涂布基板的合格率的涂布裝置。為了解決上述課題，本發(fā)明的涂布裝置具有配設有保持基板的載物 臺的基臺、在上述基臺上以向特定方向延伸的狀態(tài)設置并被分隔為多個的 軌道、以及沿著上述軌道相對于上述基板相對地行走并且向上述基板涂布 涂布液的涂布單元，其特征在于，設置檢測上述涂布單元的動作變動的變 動檢測機構(gòu)，根據(jù)該變動檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果來判斷基板上的涂布液的涂 布狀態(tài)。根據(jù)上述涂布裝置，因為設置了檢測向基板上涂布涂布液的涂布單元 的動作變動的變動檢測機構(gòu)，所以通過監(jiān)視該變動檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果能 夠判斷是否生產(chǎn)了不良涂布基板。即，在涂布單元通過了軌道的連接部分 的情況下，因為涂布單元的動作產(chǎn)生錯亂，所以根據(jù)檢測出該動作的錯亂 能夠判斷是否發(fā)生了涂布不均勻。因此，即使在軌道被分割的情況下，因 為能夠檢測出涂布動作中涂布不均勻的發(fā)生，所以與以往那樣在生產(chǎn)了規(guī) 定張數(shù)的涂布基板后、通過其它工序的涂布膜檢査工序來檢測出涂布不均 勻的情況相比，能夠避免大量地生產(chǎn)不良基板的問題，并提高合格率。作為在上述涂布狀態(tài)的判斷中的具體方式，上述涂布裝置還進一步具 有控制裝置，該控制裝置能夠構(gòu)成為根據(jù)上述變動檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果 來判斷基板上的涂布狀態(tài)是否良好，在判斷為涂布狀態(tài)不適當?shù)那闆r下， 使上述涂布單元停止。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，涂布單元在做出會產(chǎn)生不良基板的涂布不均勻的動作的 情況下，能夠使涂布單元的動作自動停止。因此，能夠防止大量地生產(chǎn)不 良基板。另外，作為上述變動檢測機構(gòu)的具體方式，也可以為下述構(gòu)造上述 變動檢測機構(gòu)為檢測上述涂布單元的行走速度的速度檢測機構(gòu)，根據(jù)由該速度檢測機構(gòu)檢測出的涂布單元的行走速度的變化來判斷涂布狀態(tài)是否良 好。根據(jù)該構(gòu)造，通過上述速度檢測機構(gòu)，通過檢測涂布單元通過軌道的 分割部分時的行走速度的的變化，能夠檢測出涂布不均勻的發(fā)生。因此， 不用設置用于檢測涂布不均勻的復雜的裝置，能夠使用現(xiàn)有的涂布裝置上 的已有設備來檢測涂布不均勻的發(fā)生。另外，作為上述變動檢測機構(gòu)的其它的具體方式，也可以使用下述構(gòu) 造在上述涂布單元中具有通過向軌道表面供給空氣而使涂布單元從軌道 浮起的軸承部，在向該軸承部供給空氣的管路中，設置檢測管路內(nèi)的空氣 壓力變化的壓力檢測機構(gòu)，上述變動檢測機構(gòu)包含該壓力檢測機構(gòu)，通過 該壓力檢測機構(gòu)，根據(jù)所檢測出的涂布單元的壓力變化來判斷涂布狀態(tài)是 否良好。根據(jù)該構(gòu)造，通過由上述壓力檢測機構(gòu)檢測涂布單元通過了軌道的分 割部分時的上述管路內(nèi)的空氣壓力的變化，能夠檢測出涂布不均勻的發(fā)生。 因此，不用設置用于檢測涂布不均勻的復雜的裝置，就能夠檢測出涂布不 均勻的發(fā)生。另外，作為上述變動檢測機構(gòu)的另外一種其它具體方式，也可以使用 下述構(gòu)造在上述涂布單元中具有通過向軌道表面供給空氣而使涂布單元 從軌道浮起的軸承部，在向該軸承部供給空氣的管路中，設置檢測管路內(nèi) 空氣流量變化的流量檢測機構(gòu)，上述變動檢測機構(gòu)包含該流量檢測機構(gòu)， 通過該流量檢測機構(gòu)，根據(jù)所檢測出的涂布單元的流量變化來判斷涂布狀 態(tài)是否良好。根據(jù)該構(gòu)造，通過上述流量檢測機構(gòu)，根據(jù)檢測涂布單元通過軌道的 分割部分時的上述管路內(nèi)的空氣流量的變化，能夠檢測出涂布不均勻的發(fā) 生。因此，不用設置用于檢測涂布不均勻的復雜的裝置，就能夠檢測出涂 布不均勻的發(fā)生。另外，上述變動檢測機構(gòu)可以為如下構(gòu)造上述變動檢測機構(gòu)包含上 述速度檢測機構(gòu)、上述壓力檢測機構(gòu)、上述流量檢測機構(gòu)，在這些速度檢 測機構(gòu)、壓力檢測機構(gòu)、流量檢測機構(gòu)中的至少一個檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果 處于設定范圍以外的情況下，基板上的涂布狀態(tài)被判斷為不適當。根據(jù)該構(gòu)造，能夠提高判斷為基板上的涂布狀態(tài)不適當?shù)目煽啃浴?為了解決上述課題的本發(fā)明的涂布方法中，基板被保持在基臺上的載 物臺上，通過使涂布單元在沿著向特定方向延伸并且被分割成多個的軌道 相對于上述基板相對地行走的同時噴出涂布液，從而在基板上涂布涂布液， 其特征在于，通過檢測上述涂布單元的動作變動的變動檢測機構(gòu)，檢測向 基板噴出涂布液的上述涂布單元的動作變動，根據(jù)該檢測結(jié)果來判斷基板 上的涂布液的涂布狀態(tài)。根據(jù)上述涂布方法，即使在涂布單元所行走的軌道被分割的情況下， 因為能夠檢測出涂布動作中涂布不均勻的發(fā)生，所以與現(xiàn)有那樣的在生產(chǎn) 規(guī)定張數(shù)涂布基板后通過其它工序的涂布膜檢查工序來檢測出涂布不均勻 的情況相比，能夠避免大量地生產(chǎn)不良基板的問題，能夠提高合格率。另外，上述變動檢測機構(gòu)也可以為如下構(gòu)造上述變動檢測機構(gòu)包含 上述速度檢測機構(gòu)、上述壓力檢測機構(gòu)、上述流量檢測機構(gòu)，在這些速度 檢測機構(gòu)、壓力檢測機構(gòu)、流量檢測機構(gòu)中的至少一個檢測機構(gòu)的檢測結(jié) 果處于設定范圍以外的情況下，判斷為基板上的涂布狀態(tài)不適當。根據(jù)該構(gòu)造，能夠提高判斷為基板上的涂布狀態(tài)不適當?shù)目煽啃浴?根據(jù)本發(fā)明的涂布裝置及涂布方法，能夠避免大量地生產(chǎn)不良涂布基 板的問題，能夠提高合格率。


圖1為表示本發(fā)明的一個實施方式中的涂布裝置的立體圖。圖2為概略地表示上述涂布裝置的空氣軸承的空氣系統(tǒng)的圖。 圖3為表示上述涂布裝置的單元支持部附近的圖。 圖4為表示上述涂布裝置的控制系的框圖。 圖5為表示上述涂布裝置的動作的流程圖。圖6為表示上述涂布裝置的行走速度V、檢測壓力P、檢測流量F的檢 測結(jié)果與標尺位置S之間關系的圖，圖6 (a)為表示行走速度V與標尺位 置S之間關系的圖，圖6 (b)為表示檢測壓力P與標尺位置S之間關系的 圖，圖6 (c)為表示檢測流量F與標尺位置S之間關系的圖。附圖標記1涂布裝置2基板3基臺5涂布單元13軌道15a標尺讀取部15b標尺81管路82壓力計83流量計90控制裝置具體實施方式
使用附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1為表示本發(fā)明的一個實施方式的涂布裝置1的立體圖，圖2為概 略地表示涂布裝置1的空氣軸承14的空氣系統(tǒng)的圖，圖3為表示涂布單元 5的單元支持部7附近的圖。如圖1 圖3所示，涂布裝置1為向被供給的薄板狀的基板2涂布試劑 液或抗蝕劑等液狀物(以下稱為"涂布液")的裝置。該涂布裝置l具有 基臺3、用來載置基板2的載物臺4，以及被構(gòu)成為能夠相對于該載物臺4 向特定方向移動的涂布單元5。另外，在以下的說明中，將涂布單元5移動的方向作為X軸方向，將 在水平面上與該方向垂直的方向作為Y軸方向，將與X軸以及Y軸雙方都 垂直的方向作為Z軸方向進行說明。上述基臺3上，載置有各構(gòu)成部件，例如載物臺4、軌道13、以及涂 布單元5。上述載物臺4為將被運入的基板2載置并保持于其表面上的機構(gòu)。具 體來說，在載物臺4上，形成多個在其表面上開口的吸引孔(未圖示)，這 些吸引孔與真空泵9 (參照圖4)連通并連接在一起。并且，在載物臺4的表面上載置有基板2的狀態(tài)下通過使真空泵9工作，吸引孔中產(chǎn)生吸引力，使基板2被吸引到載物臺4的表面?zhèn)葟亩晃奖３?。另外，載物臺4上設置有使基板2做升降運動的基板升降機構(gòu)(未圖 示)。即，在載物臺4的表面上形成多個銷孔，該銷孔中埋設有能夠在Z軸 方向上做升降運動的提升銷。由此，在載物臺4的表面上載置有基板2的 狀態(tài)下通過使提升銷上升或下降，在提升銷的前端部分抵接于基板2的狀 態(tài)下，能夠使基板2進行升降運動，并能夠使基板2保持在規(guī)定的高度位 置。上述軌道13為引導涂布單元5的行走的機構(gòu)，被設置成沿X軸方向延 伸。在本實施方式中，在載物臺4的Y軸方向兩側(cè)沿著載物臺4設置有一 對軌道13。該軌道13通過連接多個軌道部件13a而構(gòu)成，圖1所示例子中， 兩個軌道部件13a通過連接部13b被連接起來。g卩，連接部13b大致上處 于軌道13的X軸方向的中央位置。軌道部件13a具有平坦且平滑的引導面13c。該引導面13c形成在與后 述涂布單元5的空氣軸承14 (本發(fā)明的軸承部)相對置的位置上。g卩，在 本實施方式中，形成在各個軌道部件13a上的與Z軸方向垂直的方向和與 Y軸方向垂直的方向上這兩處。而且，在連接軌道部件13a組成軌道13的 狀態(tài)下，該引導面13c形成為在特定方向(X軸方向)上連續(xù)并延伸的狀 態(tài)。并且，在軌道部件13a彼此的接口、即連接部13b上，各個軌道部件 13a的引導面13c彼此連接，連接為大致平坦狀。由此，涂布單元5在軌道 13上平滑地移動。上述涂布單元5為用于向載置于載物臺4上的基板2涂布涂布液的機 構(gòu)，具有向一個方向延伸并噴出涂布液的管頭部6和設置在該管頭部6的 兩端部分的單元支承部7。上述單元支承部7為支承管頭部6使其能夠做升降運動、并且用于使 該管頭部6在X軸方向上移動的機構(gòu)。即，該單元支承部7具有使管頭部 6做升降運動的升降裝置20和使管頭部6行走的行走裝置10。升降裝置20為使管頭部6做升降運動的機構(gòu)，具有在Z軸方向上延伸 的導軌21、以及與管頭部6連接的滑塊22。在該導軌21上，沿著導軌21 可自由滑動地安裝有滑塊22。另外，滑塊22上安裝有通過伺服電動機23驅(qū)動的滾珠螺桿機構(gòu)，通過驅(qū)動控制該伺服電動機23，使滑塊22在Z軸 方向上移動，并且能夠在任意位置停止。由此，管頭部6向Z軸方向的升 降運動被驅(qū)動控制，能夠相對于載物臺4進行可接觸或分離的運動。行走裝置10如圖3所示，是用于使管頭部6在X軸方向上行走的裝置， 具有滑動支承部11和線性電動機12。該滑動支承部11通過設置在其與軌道13之間的空氣軸承14 (本發(fā)明 的軸承部)而被支承在軌道13上。并且，通過驅(qū)動控制安裝在滑動支承部 11上的線性電動機12，使滑動支承部11在X軸方向上移動。具體來說， 如圖2、圖3所示，在滑動支承部11上設置的空氣軸承14上介由管路81 連接有壓縮機80，通過使該壓縮機80工作，從空氣軸承14向引導面13c 側(cè)供給空氣。并且，通過向空氣軸承14與引導面13c之間供給空氣，使滑 動支承部11維持從引導面13c浮起的狀態(tài)。并且，在滑動支承部11處于浮 起狀態(tài)下，通過驅(qū)動線性電動機12，使滑動支承部11在X軸方向上移動。 即，通過驅(qū)動線性電動機12，在空氣軸承14從軌道13浮起的狀態(tài)下，涂 布單元5能夠沿X軸方向行走。另外，在管路81中，測量被供給到空氣軸承14的空氣的壓力的壓力 計82被設置在各個空氣軸承14上。另外，測量被供給的空氣的流量的流 量計83被設置在各個空氣軸承14上。這些壓力計82及流量計83與后述 的控制裝置連接，使得測量結(jié)果被取入控制裝置。另外，滑動支承部11上被設置為使得涂布單元5的在X軸方向的位置 被檢測出來。S卩，在軌道13上，沿著引導面13c設置有標尺15b。并且， 滑動支承部11上，在與該標尺15b相對置的位置上安裝有標尺讀取部15a， 通過使用該標尺讀取部15a來讀取標尺15b，即使涂布單元5處于行走中， 也能夠精確地檢測出當前涂布單元5的位置。另外，標尺讀取部15a與后 述控制裝置連接，基于該位置信息而計算出涂布單元5的行走速度。由此， 能夠總是檢測出涂布單元的行走速度。上述管口部6為向基板2上涂布涂布液的裝置。該管口部6為具有向Y 軸方向延伸的形狀的柱狀部件，形成有向與載物臺4的表面相對置的一側(cè) 噴出涂布液的噴嘴61 (參照圖3)。該噴嘴61向載物臺4的表面?zhèn)韧怀觯?在該突出部分上形成有向Y軸方向延伸的形狀的狹縫。g卩，通過該狹縫被供給到管口部6的涂布液被噴出到基板2的表面上。下面，利用圖4所示的框圖對上述涂布裝置1的控制系統(tǒng)的構(gòu)成進行 說明。圖4為表示設置在該涂布裝置上的控制裝置90的控制系統(tǒng)的框圖。如 圖4所示，該涂布裝置1設置有控制上述各種單元的驅(qū)動的控制裝置90。 該控制裝置90具有控制主體部91、驅(qū)動控制部92、位置檢測部93、壓力 檢測部94、流量檢測部95、輸入輸出裝置控制部96、以及外部裝置控制部 97。控制主體部91具有執(zhí)行邏輯運算的公知的CPU、預先存儲有控制該 CPU的各種程序等的ROM、臨時存儲裝置動作中的各種數(shù)據(jù)的RAM、存 儲各種程序和OS、特別是生產(chǎn)程序等各種數(shù)據(jù)的HDD等。并且，控制主 體部91具有主控制部91a、判斷部91b、以及存儲部91c。主控制部91a應根據(jù)預先存儲的程序執(zhí)行一連串的涂布運動，通過驅(qū) 動控制部92對各種單元的驅(qū)動裝置等進行驅(qū)動控制，并且進行該涂布運動 中所需的各種運算。本實施方式中，基于來自標尺讀取部15a的位置信息， 能夠運算涂布單元5的行走速度。判斷部91b為在涂布單元5行走并且進行向基板2涂布涂布液的涂布 運動時，判斷涂布單元5的行走速度、供給到空氣軸承14的空氣的壓力、 以及空氣的流量是否適當?shù)难b置。即，針對涂布單元5的行走速度，根據(jù) 由標尺讀取部15a檢測出的位置信息而判斷由主控制部91a運算出的行走速 度是否滿足規(guī)定的條件。并且，針對空氣的壓力及流量，判斷通過壓力計 82及流量計83檢測出的檢測壓力P及檢測流量F是否滿足規(guī)定的條件。具 體來說，后述存儲部91c中存儲有發(fā)生涂布不均勻的情況的條件(涂布不 均勻發(fā)生條件)，判斷檢測出的行走速度V、檢測壓力P、檢測流量F是否 處于該涂布不均勻發(fā)生條件的范圍內(nèi)。即，對行走速度V、檢測壓力P以 及檢測流量F分別設定閾值，超出該閾值的情況下則判斷為發(fā)生涂布不均 勻。本實施方式中，在行走速度V、檢測壓力P、以及檢測流量F中的任何 一個超過設定的閾值的情況下，判斷為發(fā)生涂布不均勻，主控制部91a通 過驅(qū)動控制部92停止各伺服電動機23、線性電動機12等的驅(qū)動，并且發(fā) 出警告。存儲部91C為存儲各種數(shù)據(jù)、并且用于臨時存儲運算結(jié)果、檢測結(jié)果等的裝置。本實施方式中，隨時存儲根據(jù)標尺讀取部15a的檢測結(jié)果而運 算出的行走速度V，還有通過壓力計82、流量計83檢測出的檢測壓力P和 檢測流量F。具體來說，行走速度V、檢測壓力P和檢測流量F在與根據(jù) 標尺讀取部15a讀取的標尺位置S (標尺15b上的涂布單元5的位置)關聯(lián) 在一起的狀態(tài)下被存儲。另外，該存儲部91c中存儲有涂布不均勻發(fā)生條件。該涂布不均勻發(fā) 生條件由發(fā)生的涂布不均勻在允許范圍內(nèi)的情況下的最大值、最小值、以 及變動值等閾值構(gòu)成，例如，將超過閾值的情況、或者將超出由這些多個 閾值設定的范圍的情況設定為涂布不均勻的發(fā)生條件。該涂布不均勻發(fā)生 條件根據(jù)由預先進行涂布裝置1的涂布運動而求得的實驗條件來設定。另 外，該存儲部91c中存儲的涂布不均勻發(fā)生條件可以由鍵盤98或觸摸板99 進行變更。驅(qū)動控制部92為根據(jù)來自主控制部91a的控制信號對線性電動機12 和伺服電動機23等進行驅(qū)動控制的裝置。具體來說，通過控制線性電動機 12及伺服電動機23，來對涂布單元5上的行走裝置10以及升降裝置20進 行驅(qū)動控制。位置檢測部93為通過標尺讀取部15a讀取標尺15b、并對涂布單元5 的位置進行檢測的裝置。該檢測結(jié)果由存儲部91c隨時存儲。并且，根據(jù) 該檢測結(jié)果，通過主控制部91a來運算涂布單元5的行走速度V。壓力檢測部94為對由壓力計82測量的壓力進行測量的裝置。該被檢 測出的檢測壓力P由存儲部91c隨時存儲。流量檢測部95為對由流量計83測量的流量進行檢測的裝置。該被檢 測出的檢測流量F由存儲部91c隨時存儲。輸入輸出裝置控制部96為對鍵盤98、觸摸板99等各輸入輸出裝置進 行動作控制的裝置。具體來說，由操作員從鍵盤98及觸摸板99進行涂布 條件的設定。另外，在根據(jù)滿足涂布不均勻的發(fā)生條件而判斷出生產(chǎn)出不 良涂布基板2的情況下，在觸摸板上會進行對操作員進行督促警告的警告 顯示。另外，在出現(xiàn)警告顯示的情況下，操作員可以從觸摸板99上進行設 定，以使此時的閾值作為涂布不均勻的發(fā)生條件。外部裝置控制部97為根據(jù)來自主控制部91a的控制信號進行外部裝置 的驅(qū)動控制的裝置。在本實施方式中，與壓縮機80連接，通過驅(qū)動該壓縮 機80，向空氣軸承14供給空氣。接下來，參照圖5所示的流程圖對該涂布裝置1的涂布動作進行說明。 另外，在本實施方式中，對如下情況進行說明作為涂布不均勻發(fā)生條件， 將涂布單元5的行走速度V的最大值Va和最小值Vb、檢測壓力P的最大 值Pa和最小值Pb、以及檢測流量F的最大值Fa和最小值Fb分別作為閾 值進行設定，這些行走速度V、檢測壓力P、以及檢測流量F處于由閾值設 定的范圍(由最大值和最小值設定的范圍)以外的情況下，判斷為發(fā)生了 涂布不均勻。首先，在步驟S1中進行基板2的保持。具體來說，多個提升銷以突出 于載物臺4的表面的狀態(tài)待機，基板2載置在這些提升銷的前端部分上。 然后，使提升銷下降而將基板2載置于載物臺4的表面，通過在該狀態(tài)下 使真空泵9工作并使吸引孔中產(chǎn)生吸引力，基板2被吸附并保持在載物臺4 的表面上。接下來開始涂布單元5的行走(步驟S2)。具體來說，在通過從壓縮機 80向空氣軸承14供給空氣使涂布單元5處于浮起的狀態(tài)下，通過驅(qū)動控制 線性電動機12使管口部6行走到基板2上的規(guī)定位置。接下來，開始對行走速度V、檢測壓力P和檢測流量F的監(jiān)視(步驟 S3)。具體來說，從來自標尺讀取部15a的涂布單元5的位置信息運算出涂 布單元5的行走速度V，該運算出的行走速度V被存儲在存儲部91c中。 另外，通過壓力計82檢測出由壓縮機80供給到空氣軸承14的空氣的壓力， 并且通過流量計83檢測出空氣的流量，該檢測出的壓力值P及檢測出的流 量值F被存儲在存儲部91c中。并且，接下來，涂布液被涂布到基板上(步驟S4)。具體來說，在對行 走速度V等進行監(jiān)視的狀態(tài)下，使涂布單元5行走至規(guī)定位置。并且，涂 布單元5到達規(guī)定位置時，通過驅(qū)動控制升降裝置20將管口部6設定在距 基板2為規(guī)定高度的位置，通過在該狀態(tài)下驅(qū)動控制線性電動機12，使管 口部6在X軸方向上行走。即，通過在從管口部6的狹縫噴出涂布液的同 時使管口部6行走，在基板2上以均勻的厚度涂布涂布液。此時，行走速度V、檢測壓力P和檢測流量F被分別存儲在存儲部91c中。接下來，判斷是否發(fā)生了涂布不均勻(步驟S5)。具體來說，根據(jù)行走 速度V、檢測壓力P和檢測流量F是否處于由閾值設定的范圍(從最大值(Va、 Pa、 Fa)到最小值(Vb、 Pb、 Fb)的范圍)以外來判斷。在這里， 圖6為表示行走速度V、檢測壓力P、檢測流量F的檢測結(jié)果與標尺位置S 的關系的圖，圖6(a)為表示行走速度V與標尺位置S的關系的圖，圖6(b)為表示檢測壓力P與標尺位置S的關系的圖，圖6 (c)為表示檢測流 量F與標尺位置S的關系的圖。如該圖6 (a) 圖6 (c)所示，在涂布單元5在軌道13的引導面13c 上行走的狀態(tài)下，行走速度V、檢測壓力P和檢測流量F大致顯示為恒定 值，但是在軌道13的連接部13b (軌道位置S的中央部分So)處，行走速 度V、檢測壓力P和檢測流量F發(fā)生錯亂。g卩，由于涂布單元5通過軌道 13的連接部13b (不連續(xù)面)時的涂布單元5的動作的錯亂，以及從空氣 軸承14向軌道13供給的空氣的錯亂，使得行走速度V、檢測壓力P和檢 測流量F發(fā)生變化。并且，在變化后的行走速度V、檢測壓力P和檢測流 量F超出由閾值設定的范圍的情況下，判斷為發(fā)生涂布不均勻。即，圖6 中表示的例子中，因為連接部13b附近的行走速度V超過設定的閾值(Va、 Vb)，判斷部91b判斷發(fā)生涂布不均勻。并且，在判斷發(fā)生涂布不均勻的情 況下，進入步驟S6，在觸摸板99上進行警告顯示，由此對操作者進行警告 督促，并使涂布裝置l停止。另外，在步驟S5中，不滿足涂布不均勻發(fā)生條件、即行走速度V、檢 測壓力P和檢測流量F全部處于由閾值設定的范圍內(nèi)，由此判斷為沒有發(fā) 生涂布不均勻的情況下，進入步驟S7，使涂布基板2被排出。然后，判斷 是否生產(chǎn)出規(guī)定張數(shù)的涂布基板2，在沒有達到規(guī)定張數(shù)的情況下，重復自 步驟S1開始的處理(步驟S8)。這樣，根據(jù)本實施方式的涂布裝置l，通過監(jiān)視涂布動作中的涂布單元 5的行走速度V、供給到空氣軸承14的空氣的壓力值P和流量值F，能夠 判斷是否生產(chǎn)出不良涂布基板。因此，即使在為了生產(chǎn)大型涂布基板而不 得不分割軌道的情況下，因為能夠檢測出涂布動作中涂布不均勻的發(fā)生， 與現(xiàn)有的生產(chǎn)規(guī)定張數(shù)的涂布基板后通過其它工序的涂布膜檢查工序來檢測涂布不均勻的情況相比，能夠避免大量地生產(chǎn)不良基板的問題，從而提 高合格率。另外，上述實施方式中，關于涂布不均勻發(fā)生條件，對將行走速度V、 檢測壓力P和檢測流量F各自的最大值及最小值作為閾值進行設定的例子 進行了說明，但是不限定于此。例如，可以只將最大值作為閾值，超過該 閾值的情況下判斷為發(fā)生涂布不均勻。另外，也可在行走速度V、空氣的檢測壓力P和檢測流量F顯示為規(guī) 定的變化量時發(fā)生涂布不均勻的情況下，將該變化量作為閾值進行設定。具體來說，對于檢測出的行走速度V，運算其微分分量，在該微分分量超過預先設定的微分分量(閾值)的情況下，也可判斷為發(fā)生涂布不均勻。由此，因為能夠連續(xù)地監(jiān)視涂布單元5的變動，與設定最大值及最小值作 為閾值的情況相比，即使在涂布單元5發(fā)生微小變動的情況下也能夠有效 地檢測出涂布不均勻的發(fā)生。因此，在伴隨著涂布裝置的組裝的高精度化， 連接部13b上的軌道13之間的間隔變得很小，涂布單元5的變動變得微小 的情況下特別的有效。另外，上述實施方式中，雖然對行走速度V、檢測壓力P和檢測流量F 中的任何一個超出由閾值設定的范圍以外時判斷為涂布不均勻的例子進行 了說明，但也可以在例如檢測壓力P和檢測流量F雙方均超出由閾值設定 的范圍以外的情況下判斷為發(fā)生涂布不均勻。即，也可從行走速度V、檢 測壓力P和檢測流量F中選擇兩個以上的要素，在超出由閾值設定的范圍 以外的情況下判斷為發(fā)生涂布不均勻。另外，上述實施方式中，雖然對在初始階段設定涂布不均勻發(fā)生條件 的情況進行了說明，但也可通過操作者進行適當變更。例如，在即使生產(chǎn) 出發(fā)生涂布不均勻的不良涂布基板、涂布動作也不停止的情況下，也可由 操作員從觸摸板9輸入生產(chǎn)出該不良涂布基板的涂布不均勻發(fā)生條件，由 此更新各閾值，并反映在其之后的涂布基板的生產(chǎn)中。由此，可以避免僅 僅利用初期設定的涂布不均勻發(fā)生條件而大量地生產(chǎn)出不良涂布基板的問 題。
權利要求
1、一種涂布裝置，具有配設有保持基板的載物臺的基臺、在所述基臺上以向特定方向延伸的狀態(tài)設置并被分隔為多個的軌道、以及沿著所述軌道相對于所述基板相對地行走并且向所述基板涂布涂布液的涂布單元，其特征在于，設置檢測所述涂布單元的動作變動的變動檢測機構(gòu)，根據(jù)該變動檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果來判斷基板上的涂布液的涂布狀態(tài)。
2、 如權利要求l所述的涂布裝置，其特征在于，所述涂布裝置還具有 控制裝置，該控制裝置根據(jù)所述變動檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果來判斷基板上的 涂布狀態(tài)是否良好，在判斷為涂布狀態(tài)不適當?shù)那闆r下，使所述涂布單元 停止。
3、 如權利要求1或2所述的涂布裝置，其特征在于，所述變動檢測機構(gòu)為檢測所述涂布單元的行走速度的速度檢測機構(gòu)，根據(jù)由該速度檢測機 構(gòu)檢測出的涂布單元的行走速度的變化來判斷涂布狀態(tài)是否良好。
4、 如權利要求1至3中任意一項所述的涂布裝置，其特征在于，在所 述涂布單元中具有通過向軌道表面供給空氣而使涂布單元從軌道浮起的軸 承部，在向該軸承部供給空氣的管路中，設置檢測管路內(nèi)的空氣壓力變化 的壓力檢測機構(gòu)，所述變動檢測機構(gòu)包含該壓力檢測機構(gòu)，通過該壓力檢 測機構(gòu)根據(jù)所檢測出的涂布單元的壓力變化來判斷涂布狀態(tài)是否良好。
5、 如權利要求1至4中任意一項所述的涂布裝置，其特征在于，在所 述涂布單元中具有通過向軌道表面供給空氣而使涂布單元從軌道浮起的軸 承部，在向該軸承部供給空氣的管路中，設置檢測管路內(nèi)空氣流量變化的 流量檢測機構(gòu)，所述變動檢測機構(gòu)包含該流量檢測機構(gòu)，通過該流量檢測 機構(gòu)根據(jù)所檢測出的涂布單元的流量變化來判斷涂布狀態(tài)是否良好。
6、 如權利要求1至5中任意一項所述的涂布裝置，其特征在于，所述變動檢測機構(gòu)包含所述速度檢測機構(gòu)、所述壓力檢測機構(gòu)、所述流量檢測 機構(gòu)，在這些速度檢測機構(gòu)、壓力檢測機構(gòu)、流量檢測機構(gòu)中的至少一個 檢測機構(gòu)的檢測結(jié)果處于設定范圍以外的情況下，基板上的涂布狀態(tài)被判 斷為不適當。
7、 一種涂布方法，其中，基板被保持在基臺上的載物臺上，通過使涂 布單元在沿著向特定方向延伸并且被分割成多個的軌道相對于所述基板相 對地行走的同時噴出涂布液，從而在基板上涂布涂布液，其特征在于，通過檢測所述涂布單元的動作變動的變動檢測機構(gòu)來檢測向基板噴出 涂布液的所述涂布單元的動作變動，根據(jù)該檢測結(jié)果來判斷基板上的涂布 液的涂布狀態(tài)。
8、 如權利要求7所述的涂布方法，其特征在于，所述變動檢測機構(gòu)包 含所述速度檢測機構(gòu)、所述壓力檢測機構(gòu)、所述流量檢測機構(gòu)，在這些速 度檢測機構(gòu)、壓力檢測機構(gòu)、流量檢測機構(gòu)中的至少一個檢測機構(gòu)的檢測 結(jié)果處于設定范圍以外的情況下，判斷為基板上的涂布狀態(tài)不適當。
全文摘要
本發(fā)明提供一種即使在引導支承架行走的導軌被分割的情況下，也能夠避免大量地生產(chǎn)不良基板、并能夠提高涂布基板的合格率的涂布裝置及涂布方法。該涂布裝置具備配設有保持基板的載物臺的基臺、在上述基臺上被設置成沿特定方向延伸的狀態(tài)且被分割成多個的軌道、以及沿上述軌道相對上述基板進行相對行走并向上述基板上涂布涂布液的涂布單元；該涂布裝置具有如下構(gòu)成設置了檢測上述涂布單元的動作的變動的檢測機構(gòu)，根據(jù)該變動檢測機構(gòu)檢測出的結(jié)果來判斷基板上的涂布狀態(tài)是否良好，在判斷涂布狀態(tài)不適當?shù)那闆r下，使上述涂布單元停止。
文檔編號B05C11/02GK101274313SQ20081008749
公開日2008年10月1日 申請日期2008年3月28日 優(yōu)先權日2007年3月29日
發(fā)明者中澤源伸, 森俊裕 申請人:東麗工程株式會社