專利名稱：：光固化性組合物、精細(xì)圖案形成體及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及光固化性組合物、精細(xì)圖案形成體及其制造方法。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，使表面具有精細(xì)圖案的模具按壓于基板，制造表面具有該精細(xì)圖案的反轉(zhuǎn)圖案的基板的方法，即納米壓印(nanoimprinttechnique)法正倍受注目。其中以下的制造方法受到關(guān)注，目卩，將光固化性組合物壓夾在基板的表面與模具的圖案面之間，接著，通過(guò)光照射使光固化性組合物中的單體聚合，得到由具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面的固化物所形成的精細(xì)圖案形成體，再將模具從固化物剝離，制造與基板一體的精細(xì)圖案形成體的方法(參考專利文獻(xiàn)1和2)。作為用于該方法的光固化性組合物，己知由至少l種的(甲基)丙烯酸酯類、光聚合引發(fā)劑以及含有含氟有機(jī)硅垸的表面活性劑形成的光固化性組合物(參考專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1日本專利特表2004-504718號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本專利特表2002-539604號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本專利特開2004-002702號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容但是專利文獻(xiàn)3中關(guān)于光固化性組合物中表面活性劑的含量，只記載了為了防止該光固化性組合物的相分離應(yīng)充分低。實(shí)際上，該含量在O.1質(zhì)量％以下。這種情況下，光固化性組合物的固化物的脫模性不充分，該固化物難以從模具順利剝離。因此，認(rèn)為難以制造高精度的精細(xì)圖案形成體。另外，專利文獻(xiàn)3中沒有記載不引起光固化性組合物的相分離的同時(shí)提高表面活性劑的含量的方法。因此，希望得到可以高效制得高精度的精細(xì)圖案形成體的光固化性組合物。本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，以各特定量含有特定的不含氟原子的單體、含氟單體、含氟表面活性劑及/或含氟聚合物、以及光聚合引發(fā)劑的組合物相溶形成光固化性組合物，而且該光固化性組合物的固化物可以從模具順利剝離。于是發(fā)現(xiàn)了，使用該光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具，可以高效制造高精度精細(xì)圖案形成體。艮卩，本發(fā)明的要旨如下。光固化性組合物，其特征在于，含有25。C時(shí)粘度為0.1100mPas的不含氟原子的單體5098質(zhì)量％、含氟單體0.145質(zhì)量％、含量大于0.1質(zhì)量％且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑及/或含氟聚合物、以及光聚合引發(fā)劑110質(zhì)量％，且實(shí)質(zhì)上不含溶劑。:如[l]所述的光固化性組合物，其中，上述光固化性組合物中，含氟單體的量相對(duì)于含氟表面活性劑和含氟聚合物的總量為1100倍質(zhì)量。:如[1]或[2]所述的光固化性組合物，其中，上述光固化性組合物在25。C時(shí)的粘度為0.1200mPas。:精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使[1][3]中任一項(xiàng)所述的光固化性組合物與表面具有精細(xì)圖案的模具的具有該精細(xì)圖案的表面接觸，接著，以使其與模具表面接觸的狀態(tài)使上述光固化性組合物光固化，之后，將光固化性組合物的固化物從模具剝離。:精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使用[1][3]中任一項(xiàng)所述的光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具，通過(guò)依次進(jìn)行下述工序A、下述工序B、下述工序C以及任選的下述工序D，得到表面具有精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體或與基板一體的該精細(xì)圖案形成體。工序A:將光固化性組合物夾在基板的表面與模具的圖案面之間，進(jìn)行按壓的工序。工序B:通過(guò)光照射使光固化性組合物固化，得到由固化物形成的精細(xì)圖案形成體的工序，該固化物具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面。工序C:將模具和基板的至少一方從固化物剝離，得到精細(xì)圖案形成體、與基板一體的精細(xì)圖案形成體或者與模具一體的精細(xì)圖案形成體的工序。工序D:上述工序C中得到與模具一體的精細(xì)圖案形成體時(shí)，將模具與精細(xì)圖案形成體剝離的工序。:如[4]或[5]所述的精細(xì)圖案形成體的制造方法，其中，上述模具的精細(xì)圖案是具有凸部和凹部的精細(xì)圖案，該凸部的間隔的平均值為lnm500um。:精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使[1]或[2]所述的光固化性組合物與表面具有精細(xì)圖案的模具的具有該精細(xì)圖案的表面接觸，接著，剝離模具，制造具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面的光固化性組合物的成形體，之后使上述光固化性組合物的成形體光固化。或[2]所述的光固化性組合物、基板以及在表面具有精細(xì)圖案的模具，通過(guò)依次進(jìn)行下述工序E、下述工序F、下述工序G以及任選的下述工序H，得到表面具有精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體或者與基板一體的該精細(xì)圖案形成體。工序E:使光固化性組合物按壓在基板的表面與模具的圖案面之間的工序。工序F:將模具從光固化性組合物剝離，得到與基板一體的、具有轉(zhuǎn)印了該模具的精細(xì)圖案的表面的該光固化性組合物的成形體。工序G:通過(guò)光照射使光固化性組合物的成形體固化，得到與基板一體的，由具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面的固化物所形成的精細(xì)圖案形成體。工序H:將基板與精細(xì)圖案形成體剝離的工序。:如[8]所述的精細(xì)圖案形成體的制造方法，其中，上述模具的精細(xì)圖案是具有凸部和凹部的精細(xì)圖案，該凸部的間隔的平均值為lnm500um。:精細(xì)圖案形成體，它是由固化物形成的具有由凸部和凹部構(gòu)成的精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體，所述固化物由使[1][3]中任一項(xiàng)所述的光固化性組合物固化而得，其特征在于，該凸部的間隔的平均值為lnm500um。本發(fā)明的光固化性組合物由于含有與特定的不含氟原子的單體、含氟表面活性劑以及含氟聚合物的相溶性高的含氟單體，因此即使含氟表面活性劑及/或含氟聚合物的含量高也不會(huì)發(fā)生相分離。另外，本發(fā)明的光固化性組合物以及該光固化性組合物的固化物氟含量高，脫模性優(yōu)良。因此，通過(guò)使用本發(fā)明的光固化性組合物，可以高效制造由該光固化性組合物的固化物形成的精細(xì)圖案形成體，該光固化性組合物具有高精度轉(zhuǎn)印了表面具有精細(xì)圖案的模具的該圖案的表面。這樣，通過(guò)本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)高精度的納米壓印工藝。具體實(shí)施例本說(shuō)明書中，粘度只要沒有特別的說(shuō)明，均指25'C時(shí)的粘度。本發(fā)明的光固化性組合物含有5098質(zhì)量％的粘度為0.1100mPas的不含氟原子的單體(以下，也簡(jiǎn)稱為主成分單體)，優(yōu)選含有5590質(zhì)量％，特別優(yōu)選含有6085質(zhì)量％。本發(fā)明的光固化性組合物由于含有50質(zhì)量％以上的主成分單體，因此容易調(diào)整成低粘性。本發(fā)明的光固化性組合物的粘度優(yōu)選為1200mPas，粘度特別優(yōu)選為1100tnPas。本發(fā)明中的主成分單體只要是具有聚合性基團(tuán)的單體就沒有特別的限定，優(yōu)選為具有丙烯?；蚣谆；膯误w、具有乙烯基的單體、具有烯丙基的單體或具有環(huán)氧乙烷基(oxiranyl)的單體，更優(yōu)選為具有丙烯?；蚣谆；膯误w。主成分單體中聚合性基團(tuán)的數(shù)量?jī)?yōu)選為14個(gè)，更加優(yōu)選為1或2,特別優(yōu)選為l個(gè)。具有聚合性基團(tuán)的單體可例舉如(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、乙烯醚、乙烯基酯、烯丙基醚、烯丙酯或者苯乙烯系化合物，特別優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酯。本說(shuō)明書中，將丙烯酸和甲基丙烯酸總稱為(甲基)丙烯酸，將丙烯酸酯與甲基丙烯酸酯總稱為(甲基)丙烯酸酯，將丙烯酰胺與甲基丙烯酰胺總稱為(甲基)丙烯酰胺。作為(甲基)丙烯酸酯的具體示例，可例舉如以下化合物'。(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸十八垸基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、四氫呋喃(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥乙基酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙基酯、(甲基)丙烯酸-N，N-二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸-N，N-二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸甲基金剛烷酯、(甲基)丙烯酸乙基金剛垸酯、(甲基)丙烯酸羥基金剛烷酯、(甲基)丙烯酸金剛垸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等單(甲基)丙烯酸酯。另外，可例舉如二(甲基)丙烯酸-1,3-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸-l，4-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸-1,6-己二醇酯、二(甲基)丙烯酸二甘醇酯、二(甲基)丙烯酸三甘醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙烯二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等二(甲基)丙烯酸酯。另外可例舉如三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等三(甲基)丙烯酸酯。并且可例舉如二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等具有4個(gè)以上聚合性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯。作為乙烯醚的具體示例，可例舉如乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、環(huán)己基乙烯基醚等垸基乙烯基醚，4-羥丁基乙烯基醚等(羥垸基)乙烯基醚。作為乙烯基酯的具體示例，可例舉如醋酸乙烯基酯、丙酸乙烯基酯、(異)丁酸乙烯基酯、戊酸乙烯基酯、環(huán)己垸羧酸乙烯基酯、苯甲酸乙烯基酯等乙烯基酯。作為烯丙基醚的具體示例，可例舉如乙基烯丙基醚、丙基烯丙基醚、(異)丁基烯丙基醚、環(huán)己基烯丙基醚等垸基烯丙基醚。具有環(huán)氧乙垸基的單體可例舉如具有環(huán)氧基的單體、具有氧雜環(huán)丁烷基(oxetane)的單體、具有嗯唑啉基(oxazoline)的單體。具有金剛烷基的單體與含氟單體、含氟表面活性劑的相溶性良好，因此特別優(yōu)選。另外，二(甲基)丙烯酸三甘醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯或新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯的固化性良好，因此特別優(yōu)選。另外，主成分單體可以使用1種主成分單體，也可以使用2種以上的主成分單體。主成分單體的分子量?jī)?yōu)選在100以上500以下，更優(yōu)選在200以上400以下。'本發(fā)明的光固化性組合物含有0.145質(zhì)量％的含氟單體(優(yōu)選為25'C時(shí)的粘度為1100mPa的含氟單體)。優(yōu)選含有1040質(zhì)量％。本發(fā)明的光固化性組合物由于含有與主成分單體、含氟表面活性劑以及含氟聚合物的相溶性高的含氟單體，因此不容易發(fā)生相分離。另外，該光固化性組合物不會(huì)出現(xiàn)相分離，容易形成固化物。本發(fā)明的含氟單體只要是具有聚合性基團(tuán)的含氟單體就沒有特別的限定，優(yōu)選為具有丙烯?；蚣谆；暮鷨误w、具有乙烯基的含氟單體、具有氟乙烯基的含氟單體、具有烯丙基的含氟單體或具有環(huán)氧乙垸基的含氟單體。含氟單體中聚合性基團(tuán)的數(shù)量?jī)?yōu)選為14個(gè)，更優(yōu)選為1或2個(gè)，特別優(yōu)選為1個(gè)。本發(fā)明的含氟單體中的氟含量?jī)?yōu)選為4070質(zhì)量％，特別優(yōu)選為4565質(zhì)量％。氟含量是指氟原子的質(zhì)量相對(duì)于構(gòu)成含氟單體的所有原子的總質(zhì)量的比例。含氟單體的氟含量在40質(zhì)量％以上時(shí)固化物的脫模性特別優(yōu)良。另外，含氟單體的氟含量在70質(zhì)量％以下時(shí)與光聚合引發(fā)劑的相溶性進(jìn)一步提高，容易將光固化性組合物調(diào)整均勻。含氟單體的分子量?jī)?yōu)選在200以上5000以下，更優(yōu)選在250以上1000以下。含氟單體可以使用1種含氟單體，也可以使用2種以上的含氟單體。含氟單體優(yōu)選為下述(1)或(2)的單體。(1)式CF2=CR'-Q-CR2二CH2所示的化合物(R'和R2分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳數(shù)13的烷基、或碳數(shù)13的氟烷基，Q表示氧原子、式-NR3-(R3表示氫原子、碳數(shù)16的烷基、烷基羰基或?qū)妆交酋；?所示的基團(tuán)、或者可具有官能團(tuán)的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)。以下同樣)。(2)式(CH2二CXCOO),所示的化合物(n表示14的整數(shù)，X表示氫原子、氟原子、甲基或三氟甲基，RF表示碳數(shù)130的n價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán))。式CF2=CR'-Q-CW二CH2所示化合物中Q為2價(jià)有機(jī)基團(tuán)時(shí)，優(yōu)選為選自亞甲基、二亞甲基、三亞甲基、四亞甲基、氧亞甲基、氧二亞甲基、氧三亞甲基以及二氧基亞甲基的基團(tuán)作為主鏈，該主鏈中的氫原子可被選自氟原子、羥基、碳數(shù)16的垸基、碳數(shù)16的羥烷基、碳原子-碳原子之間插入有醚性氧原子的碳數(shù)16的烷基、以及在碳原子-碳原子之間插入有醚性氧原子的碳數(shù)16的羥烷基的基團(tuán)取代的基團(tuán)，且該基團(tuán)中形成碳原子-氫原子鍵的氫原子的1個(gè)以上被氟原子取代的基團(tuán)。其中，特別優(yōu)選_CF2C(CF3)(0H)CH2-、-CF2C(CF3)(OH)-、-CF2C(CF3)(OCH2OCH3)CH2—、-CH2CH(CH2C(CF3)20H)CH2—或-CH2CH(CH2C(CF..,)20H)-?；鶊F(tuán)的方向表示左側(cè)結(jié)合CF2二CR1-。作為式CF2==CR'-Q-CR2二CH2所示的化合物的具體示例，可例舉如下述化合物。CF2=CFCH2CH(C(CF:!)20H)CH2CH=CH2、CF2=CFCH2CH(C(CF:,)20H)CH=CH2、CF2=CFCH2CH(C(CF:,)20H)CH2CH2CH=CH2、CF2=CFCH2CH(CH2C(CF3)20H)CH2CH2CH=CH2、CF2=CFCH2C(CH3)(CH2S02F)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(0CH20CH3)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(0H)CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF.,)(OH)CH2CH二CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(OCH2OCH2CF3)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(OCH2OCH3)CH2CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(0(CF2):i0C2HjCH2CH=CH2、CF2=CF0CF2CF(OCF2CF2CH2NH2)CH2CH=CH2、CFfCF0CF2CF(0(CF2):iCN)CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(OCF2CF2S02F)CH2CH=CH2、CF2=CF0CF2CF(0(CF2)3P0(0C2H5)2)CH2CH=CH2、CF2二CF0CF2CF(OCF2CF2S02F)CH2CH=CH2。式(CH2^CXC00)nRp所示的化合物中n優(yōu)選為1或2。X優(yōu)選為氫原子或甲基。R'"的碳數(shù)特別優(yōu)選為424。n為1時(shí)，Ri"為1價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。1價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)優(yōu)選為具有可在碳原子-碳原子之間插入醚性氧原子的多氟烷基的1價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。作為該1價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)，特別優(yōu)選為式-(CH2)JF'、-S02NR4(CH2)nRF1或-(C=0)NR4(CH2),,Rn所示的基團(tuán)(fl表示13的整數(shù)，R"表示碳數(shù)416的可在碳原子-碳原子之間插入醚性氧原子的多氟烷基，R4表示氫原子、甲基或乙基)。作為多氟烷基(R卩1)優(yōu)選為全氟烷基，特別優(yōu)選為直鏈狀全氟烷基。n為2時(shí)，ff為2價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。2價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)優(yōu)選為可在碳原子-碳原子之間插入醚性氧原子的多氟亞烷基，特別優(yōu)選為式-(CH2)12RF2(CH2)「3-所示的基團(tuán)(f2和f3分別表示13的整數(shù)，R"表示碳數(shù)416的可在碳原子-碳原子之間插入醚性氧原子的多氟亞烷基)。作為多氟亞垸基(R"),優(yōu)選為全氟亞烷基，特別優(yōu)選為直鏈狀全氟亞烷基，以及在碳原子-碳原子之間插入醚性氧原子、且側(cè)鏈具有三氟甲基的全氟氧亞垸基。作為式(CH2=CXCOO)nRF所示化合物的具體示例，可例舉如下述化合物。CH2=CHC00(CH2)2(CF2)sF、CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)6F、CH2=C(CH:!)COO(CH2)2(CF2)8F、CH2=C(CH3)COO(CH2)2(CF2)6F、CH2=CHCOOCH2(CF2)7F、CH2=C(CH3)C00CH2(CF2)7F、CH2=CHCOOCH2CF2CF2H、CH2=CHC00CH2(CF2CF2)4H、CH2=C(CH3)C00CH2CF2CF2H、CH2=C(CH:i)C00CH2(CF2CF2)《H、CH2=CHCOOCH2CF2OCF2CF2OCF3、CH2=CHC00CH2CF20(CF2CF20):,CF3、CH2=C(CH3)COOCH2CF2OCF2CF2OCF3、CH2=C(CH:,)C00CH2CF20(CF2CF20)3CF3、CH2=CHC00CH2CF(CF3)0(CF2CF(CF;i)0)2(CF2)3F、CH2=C(CH:1)C00CH2CF(CF:i)0(CF2CF(CF。0)2(CF2)3F、CH2=CHCOOCH2CF20(CF2CF20)6CF2CH20C0CH=CH2、CH2=C(CH3)C00CH2CF20(CF2CF20)6CF2CH20C0C(CH3)=CH2、CH2=CHC00CH2(CF2)線OCOCH=CH2、CH2=C(CH3)C00CH2(CF2)XH20C0C(CH3)=CH2。本發(fā)明的光固化性組合物含有大于0.1質(zhì)量％且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑及/或含氟聚合物。優(yōu)選含有0.510質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15質(zhì)量％。此時(shí)，可以容易調(diào)制光固化性組合物，另外，該光固化性組合物不會(huì)出現(xiàn)相分離，容易形成固化物。光固化性組合物可以含有含氟表面活性劑和含氟聚合物，也可以僅含有含氟表面活性劑，也可以僅含有含氟聚合物。另外，光固化性組合物含有含氟表面活性劑和含氟聚合物時(shí)，上述含量表示含氟表面活性劑和含氟聚合物的總作為含氟表面活性劑，可以使用l種含氟表面活性劑，也可以使用2種以上的含氟表面活性劑。另外，作為含氟聚合物，可以使用l種含氟聚合物，也可以使用2種以上的含氟聚合物。光固化性組合物含有含氟表面活性劑時(shí)，光固化性組合物和該光固化性組合物的固化物的脫模性特別優(yōu)良，可以從模具順利剝離。光固化性組合物優(yōu)選含有大于0.1質(zhì)量％且小于等于5質(zhì)量％的含氟表面活性劑，特別優(yōu)選含有0.52.5質(zhì)量％。本發(fā)明中的含氟表面活性劑優(yōu)選是氟含量為1070質(zhì)量％的含氟表面活性劑，特別優(yōu)選氟含量為2040質(zhì)量％的含氟表面活性劑。含氟表面活性劑可以是水溶性也可以是脂溶性。含氟表面活性劑優(yōu)選為陰離子性含氟表面活性劑、陽(yáng)離子性含氟表面活性劑、兩性含氟表面活性劑或非離子性含氟表面活性劑。從分散性良好的觀點(diǎn)來(lái)看，特別優(yōu)選為非離子性含氟表面活性劑。陰離子性含氟表面活性劑優(yōu)選為多氟烷基羧酸鹽、多氟垸基磷酸酯或多氟烷基磺酸鹽。作為這些表面活性劑的具體示例，可例舉如廿一7口>S-lll(商品名、七<、；少、；力A公司制)、7口，一卜'FC-143(商品名、^"一工厶公司制)、乂力"7"〃夕F-120(商品名、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制)等。陽(yáng)離子性含氟表面活性劑優(yōu)選多氟垸基羧酸的三甲基銨鹽或多氟烷基磺酰胺的三甲基銨鹽。作為這些表面活性劑的具體示例，可例舉如寸一7口>S-121(商品名、七<S少$力幾公司帝ij)、7口，一卜'FC-134(商品名、^U—二厶公司制)、乂力"777夕p一45o(商品名、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制)等。兩性含氟表面活性劑優(yōu)選為多氟烷基甜菜堿。作為這些表面活性劑的具體示例，可例舉如寸一7口>S-132(商品名、七<S少3力A公司制)、7口，一KFX-172(商品名、》U—工厶公司制)等。非離子性含氟表面活性劑可例舉如多氟烷基氧化胺、或者多氟烷基烯化氧加成物、或者含有基于具有氟垸基的單體的單體單元的低聚物或聚合物等。氟烷基優(yōu)選上述多氟烷基(R")。非離子性含氟表面活性劑優(yōu)選為含有基于具有氟烷基的單體的單體單元的低聚物或聚合物(質(zhì)均分子量為10008000)。具有氟烷基的單體優(yōu)選氟(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸氟烷基酯。(甲基)丙烯酸氟烷基酯優(yōu)選上式(CH2二CXC00)JT所示化合物中n為1、X為氫原子或甲基的化合物。作為這些非離子性含氟表面活性劑的具體示例，可例舉如卄一7口>S-145(商品名、七4S少S力A公司制)、寸一7口>S-393(商品名、七4S少S力少公司制)、廿一7口>KH-20(商品名、七<S少S力A公司制)、寸—7a^KH-40(商品名、七<$少3力A公司制)、7口，一卜"FC-170(商品名、乂)J—二厶公司制)、7口，一卜'.FC-430(商品名、A'J—工厶公司先U)、乂力'777夕f-444(商品名、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制)、乂力'7r7夕F-479(商品名、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司審U)等。光固化性組合物含有含氟聚合物時(shí)，光固化性組合物和該光固化性組合物的固化物的脫模性優(yōu)良，可以從模具順利剝離。另外，光固化性組合物的聚合中，在含氟聚合物的存在下進(jìn)行單體的聚合，因此得到體積收縮率小的固化物。因此，在該固化物的表面形成的上述反轉(zhuǎn)圖案形狀相對(duì)于模具的圖案形狀為高精度。另外，本說(shuō)明書中的"含氟聚合物"表示除了作為非離子性含氟表面活性劑例舉的含有基于具有氟烷基的單體的單體單元的低聚物或聚合物以外的聚合物。光固化性組合物優(yōu)選含有大于0.1質(zhì)量％小于等于10質(zhì)量％的含氟聚合物，更優(yōu)選含有O.57.5質(zhì)量％，特別優(yōu)選含有15質(zhì)量％。從與其它成分的相溶性的觀點(diǎn)來(lái)看，含氟聚合物的重均分子量?jī)?yōu)選為500100000，特別優(yōu)選為1000100000，特別優(yōu)選為300050000。從脫模性優(yōu)良的觀點(diǎn)來(lái)看，含氟聚合物優(yōu)選氟含量為3070質(zhì)量％的含氟聚合物，特別優(yōu)選氟含量為4570質(zhì)量％的含氟聚合物。另外，從相溶性的觀點(diǎn)來(lái)看，含氟聚合物優(yōu)選具有雜原子的含氟聚合物，更優(yōu)選含有氮原子、氧原子、硫原子或磷原子的含氟聚合物，特別優(yōu)選含有羥基、醚性氧原子、酯基、垸氧基羰基、磺?；⒘姿狨セ?、氨基、硝基或酮基的含氟聚合物。本發(fā)明中的含氟聚合物可例舉使式CF2=CR'-Q-CR2-CH2所示化合物聚合而得的含氟聚合物、使CF2二CF2與CH2^CHOCOCH3共聚而得的含氟聚合物。作為式CF2=CR'-Q-CR2二CH2所示化合物的具體示例可例舉如上述化合物。作為含氟聚合物，優(yōu)選使式CF2二CR1-Q-CR2二CH2所示的化合物聚合而得的含氟聚合物，R'為氟原子，R2為氫原子，Q特別優(yōu)選選自-CF2C(CF3)(OH)CH廠、-CF2C(CF:,)(OH)-、-CF2C(CF3)(0CH20CH3)CH2-、-CH2CH(CH2C(CF3)2OH)CH2-或-CH2CH(CH2C(CF3)20H)-的基團(tuán)。另外，本發(fā)明的光固化性組合物中，含氟單體的量相對(duì)于含氟表面活性劑和含氟聚合物的總量?jī)?yōu)選為1100倍質(zhì)量，更優(yōu)選為120倍質(zhì)量，特別優(yōu)選為110倍質(zhì)量。本發(fā)明的光固化性組合物含有光聚合引發(fā)劑110質(zhì)量％，優(yōu)選含有29質(zhì)量％，特別優(yōu)選含有38質(zhì)量％。通過(guò)含有該量，容易將光固化性組合物中的單體聚合，可以形成固化物，因此不需要進(jìn)行加熱等操作。另外，光聚合引發(fā)劑的殘?jiān)蝗菀鬃璧K固化物的物性。光聚合引發(fā)劑是通過(guò)光引發(fā)自由基反應(yīng)或離子反應(yīng)的化合物。作為光聚合引發(fā)劑可例舉如下述的光聚合引發(fā)劑。作為苯乙酮系光聚合引發(fā)劑，可例舉如苯乙酮、p-(叔丁基)-r,r，r-三氯苯乙酮、氯苯乙酮、2，，2，-二乙氧基苯乙酮、羥基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2，-苯基苯乙酮、2-氨基苯乙酮、二烷基氨基苯乙酮等。作為苯偶姻系光聚合引發(fā)劑，可例舉如二苯甲酰、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-2-甲基丙烷-1-酮、卜(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-l-酮、芐基二甲基酮等。作為二苯甲酮系光聚合引發(fā)劑，可例舉如二苯甲酮、芐基苯甲酸、芐基苯甲酸甲酯、甲基-o-苯甲酸芐酯、4-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、羥基丙基二苯甲酮、丙烯酰二苯甲酮、4,4'-二(二甲氨基)二苯甲酮等。作為噻噸酮系光聚合引發(fā)劑可例舉如噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、二乙基噻噸酮、二甲基噻噸酮等。作為含有氟原子的光聚合引發(fā)劑，可例舉如全氟(叔丁基過(guò)氧化物)、過(guò)氧化全氟苯甲酰等。作為其它的光聚合引發(fā)劑，可例舉如a-?；旷?、芐基-(o-乙酯基)-a-單肟、?；趸?、乙醛酸酯(日文夕''j才年〉二^于a)、3-酮香豆素、2-乙基蒽醌、樟腦醌、四甲基硫化秋蘭姆、偶氮二異丁腈、過(guò)氧化苯甲酰、二烷基過(guò)氧化物、叔丁基過(guò)氧化新戊酸酯。本發(fā)明的光固化性組合物實(shí)質(zhì)上不含溶劑。本發(fā)明的光固化性組合物由于含有對(duì)特定的不含氟原子的單體、含氟表面活性劑以及含氟聚合物的相溶性高的含氟單體，因此無(wú)需含溶劑就可形成均勻的組合物。由于不含溶劑，因此使用時(shí)不用進(jìn)行其它工序(溶劑的蒸去工序等)，就可以固化。另外，具有固化時(shí)光固化性組合物的體積收縮小的效果。實(shí)質(zhì)上不含溶劑是指不含溶劑，或者盡可能除去制備光固化性組合物中使用的溶劑。本發(fā)明的光固化性組合物也可以含有除主成分單體、含氟單體、含氟表面活性劑、含氟聚合物以及光聚合引發(fā)劑以外的成分(以下，稱為其它成分)。作為其它成分，可例舉如光增敏劑、無(wú)機(jī)材料、炭材、導(dǎo)電性高分子、酞菁等色素材料、葉啉等有機(jī)金屬絡(luò)合物、有機(jī)磁性體、有機(jī)半導(dǎo)體、液晶材料等。作為光增敏劑的具體示例，可例舉如正丁胺、二正丁胺、三正丁基膦、烯丙基硫脲、s-芐基異硫脲鎩-P-甲苯亞硫酸酯、三乙胺、甲基丙烯酸二乙氨基乙酯、三亞乙基四胺、4,4'-二(二垸基氨基)二苯甲酮等。作為無(wú)機(jī)材料的具體示例，可例舉如硅化合物(硅單體、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、硅鍺、硅鐵等。)、金屬(鉑、金、銠、鎳、銀、鈦、鑭系元素、銅、鐵、鋅等。)、金屬氧化物(氧化鈦、氧化鋁、氧化鋅、IT0、氧化鐵、氧化銅、氧化鉍、氧化錳、氧化鉿、氧化釔、氧化錫、氧化鈷、氧化鈰、氧化銀等。)、無(wú)機(jī)化合物鹽(鈦酸鋇等強(qiáng)電介體材料、鋯鈦酸鉛(leadzirconiumtitanate)等壓電材料、鋰鹽等電池材料等)、金屬合金(鐵氧體系磁石、釹系磁石等磁性體、鉍/碲合金、鎵/砷合金等半導(dǎo)體、氮化鎵等熒光材料等)等。作為碳材料的具體示例，可例舉如富勒烯、納米炭管、納米炭角、石墨、金剛石或活性炭等。本發(fā)明的光固化性組合物是被光照射發(fā)生固化反應(yīng)的組合物。優(yōu)選使該光固化性組合物固化而得的固化物為精細(xì)圖案形成體。本發(fā)明的光固化性組合物優(yōu)選作為提供以下精細(xì)圖案形成體的光固化性組合物來(lái)使用，該精細(xì)圖案形成體為，將表面具有精細(xì)圖案的模具按壓于該光固化性組合物，轉(zhuǎn)印該精細(xì)圖案之后經(jīng)光照射形成固化物，而得到的表面具有該精細(xì)圖案的反轉(zhuǎn)圖案的精細(xì)圖案形成體?？梢詫⒈景l(fā)明的光固化性組合物夾在模具的精細(xì)圖案面與基板表面之間按壓后保持該狀態(tài)使之固化，也可以將其夾在模具的精細(xì)圖案面與基板表面之間按壓后，使模具剝離再使之固化。精細(xì)圖案形成體由光固化性組合物的固化物(以下，簡(jiǎn)稱為固化物)形成，存在于成形的固化物表面，或者存在于成形的固化物(下述突起體)所結(jié)合的基板表面上?？梢詫⑶罢叱尚蔚墓袒锱c基板層疊(精細(xì)圖案存在于層疊面以外的固化物表面)。本發(fā)明中"與基板一體的精細(xì)圖案形成體"表示上述成形的固化物所結(jié)合的基板，以及上述成形的固化物與基板的層疊物兩者。精細(xì)圖案由凹凸結(jié)構(gòu)形成，該凹凸結(jié)構(gòu)由固化物形成或由固化物和基板表面形成。由固化物形成的凹凸結(jié)構(gòu)是成形的固化物表面的結(jié)構(gòu)，由固化物與基板表面形成的凹凸結(jié)構(gòu)是由在基板表面獨(dú)立存在的多個(gè)突起體(該突起體由固化物形成)和不存在該突起體的基板表面形成的結(jié)構(gòu)。無(wú)論哪一種情況，形成凸結(jié)構(gòu)的部分均由固化性組合物的固化物形成。另外，精細(xì)圖案也可具有在基板表面的不同位置兼有該2種結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。形成精細(xì)圖案的凸結(jié)構(gòu)的部分、突起體(以下，將兩者稱為凸結(jié)構(gòu)部)在固化物層表面、基板表面以線狀、點(diǎn)狀存在，對(duì)該線、點(diǎn)的形狀沒有特別的限定。線狀的凸結(jié)構(gòu)部不限于直線，也可以是曲線、彎折形狀。另外，該線也可以多條平行的狀態(tài)存在形成條紋狀。對(duì)線狀的凸結(jié)構(gòu)部的截面形狀(相對(duì)于線的延伸方向?yàn)橹苯欠较虻慕孛嫘螤?沒有特別的限定，可例舉如長(zhǎng)方形、梯形、三角形、半圓形等。對(duì)點(diǎn)狀的凸結(jié)構(gòu)部的形狀也沒有特別的限定?？衫e如底面形狀為長(zhǎng)方形、正方形、菱形、六角形、三角形、圓形等的柱狀、錐狀的形狀、半球形、多面體形等。線狀的凸結(jié)構(gòu)部的寬度(指底部的寬度)的平均值優(yōu)選為lnm100tim，特別優(yōu)選為10nm10um。點(diǎn)狀的凸結(jié)構(gòu)部的底面的長(zhǎng)度的平均值優(yōu)選為lnm100wm，特別優(yōu)選為10nm10ura。該點(diǎn)狀的凸結(jié)構(gòu)部的底面的長(zhǎng)度是指，當(dāng)點(diǎn)延長(zhǎng)至接近線的形狀時(shí)，為與其延伸方向呈直角方向的長(zhǎng)度；當(dāng)不是這種情況時(shí)是指底面形狀的最大長(zhǎng)度。線狀和點(diǎn)狀的凸結(jié)構(gòu)部的高度的平均值優(yōu)選為lnm100ym，更優(yōu)選為10nra10um，更加優(yōu)選為10nm2um，特別優(yōu)選為10mi!500nm。另外，在凹凸結(jié)構(gòu)密集的部分中，鄰接的凸結(jié)構(gòu)部之間的距離(指底部之間的距離)的平均優(yōu)選為lnni500yra，更優(yōu)選為10訓(xùn)50nm，特別優(yōu)選為10nm5um。這樣，凸結(jié)構(gòu)中這些的最小尺寸優(yōu)選在500iara以下，更優(yōu)選在50um以下，再更優(yōu)選在500nm以下，特別優(yōu)選在50nm以下。下限優(yōu)選為lnm。該最小尺寸是指上述凸結(jié)構(gòu)部的寬度、高度以及凸結(jié)構(gòu)部之間的距離中最小的。本發(fā)明中"凸部的間隔的平均值"是指凸結(jié)構(gòu)部密集的部分中，相鄰的凸結(jié)構(gòu)部之間的距離的平均值。使本發(fā)明的光固化性組合物固化而得的固化物對(duì)水的接觸角優(yōu)選為7598度，更優(yōu)選為8098度。本發(fā)明的光固化性組合物的聚合時(shí)的體積收縮率優(yōu)選在20%以下。精細(xì)圖案形成體由使用具有精細(xì)圖案的模具將光固化性組合物成形、并使之光固化而得。該成形是指使光固化性組合物與模具接觸，將模具表面的精細(xì)圖案轉(zhuǎn)印至光固化性組合物的表面。光固化性組合物的光固化在將精細(xì)圖案轉(zhuǎn)印至光固化性組合物的表面之后，可以在光固化性組合物與模具接觸的狀態(tài)下進(jìn)行，也可以在不接觸的狀態(tài)下進(jìn)行。后者為，向光固化性組合物的表面轉(zhuǎn)印了精細(xì)圖案后將模具從光固化性組合物的表面剝離，之后在維持光固化性組合物表面的精細(xì)圖案的狀態(tài)下進(jìn)行光固化。在與模具接觸的狀態(tài)下進(jìn)行光固化的方法以下稱為精細(xì)圖案形成體的制造方法1，剝離模具之后進(jìn)行光固化的方法以下稱為精細(xì)圖案形成體的制造方法2。精細(xì)圖案形成體的制造方法1為，使光固化性組合物與表面具有精細(xì)圖案的模具的具有該精細(xì)圖案的表面接觸，接著，在使其與模具表面相接觸的狀態(tài)下使上述光固化性組合物光固化，之后，將光固化性組合物的固化物從模具剝離，從而制造精細(xì)圖案形成體的方法。更詳細(xì)地說(shuō)，優(yōu)選為以下的制造方法。艮口，使用本發(fā)明的光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具，按照下述工序A、下述工序B、下述工序C以及任選的下述工序D的順序來(lái)進(jìn)行，得到表面具有精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體或與基板一體的該精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案形成體的制造方法。工序A:將光固化性組合物夾在基板的表面與模具的圖案面之間，進(jìn)行按壓的工序。工序B:通過(guò)光照射使光固化性組合物固化，得到由固化物形成的精細(xì)圖案形成體的工序，該固化物具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面。工序C:將模具和基板的至少一方從固化物剝離，得到精細(xì)圖案形成體、與基板一體的精細(xì)圖案形成體或者與模具一體的精細(xì)圖案形成體的工序。工序D:上述工序C中得到與模具一體的精細(xì)圖案形成體時(shí)，將模具與精細(xì)圖案形成體剝離的工序。制造方法1中的基板可以是平面狀的基板，也可以是曲面狀的基板。作為基板，可例舉如硅晶片、玻璃、石英玻璃、金屬等無(wú)機(jī)材料制基板；含氟樹脂、有機(jī)硅樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂等有機(jī)材料制基板。可以采用經(jīng)表面處理(硅烷偶聯(lián)處理、硅氮烷處理等)與光固化性組合物的密著性有所提高的基板。模具在表面具有精細(xì)圖案。模具的精細(xì)圖案是與上述精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案中的凹凸結(jié)構(gòu)相反(即，凹成為凸，凸成為凹)的圖案。模具中精細(xì)圖案的形狀具有與上述精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案相對(duì)應(yīng)的凹凸結(jié)構(gòu)。即，上述精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案的凸結(jié)構(gòu)部的形狀成為模具中凹結(jié)構(gòu)部的形狀。模具的精細(xì)圖案的凹結(jié)構(gòu)部的形狀、尺寸與上述精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案的形狀、尺寸相對(duì)應(yīng)。模具的精細(xì)圖案的凹結(jié)構(gòu)部的深度(與上述精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案的凸結(jié)構(gòu)部的高度相對(duì)應(yīng))有時(shí)與上述精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案的凸結(jié)構(gòu)部的高度不同。也包括這種情況，模具的精細(xì)圖案的凹結(jié)構(gòu)的最小尺寸優(yōu)選在500um以下，更優(yōu)選在50ym以下，再更優(yōu)選在500nm以下，特別優(yōu)選在50腦以下。另外，下限優(yōu)選為lnm。本發(fā)明的光固化性組合物即使為模具中的這樣精細(xì)的圖案，也可以形成高精度轉(zhuǎn)印了精細(xì)圖案的固化物。作為制造方法1中的模具，可例舉硅晶片、SiC、云母等非透光材料制模具；玻璃、聚二甲基硅氧烷、透明含氟樹脂等透光材料制模具。制造方法l中使用透光材料制基板或透光材料制模具。作為工序A的具體方式，可例舉如下述工序A1、下述工序A2以及下述工序A3。工序A1:將光固化性組合物配置在基板表面，接著將該光固化性組合物夾在該基板和上述模具之間進(jìn)行按壓，以使其與模具的圖案面接觸的工序。工序A2:將光固化性組合物配置在模具的圖案面，接著將其夾在上述基板和該模具之間進(jìn)行按壓，使該基板表面與該光固化性組合物接觸的工序。工序A3:將基板和模具組合，在基板表面與模具的圖案面之間形成空隙，接著，向該空隙中填充光固化性組合物，將固化性組合物夾在模具的圖案面與基板之間進(jìn)行按壓的工序。工序Al中光固化性組合物的配置優(yōu)選使用灌注法(potting)、旋涂法、輥涂法、流延法、浸漬涂布法、模涂法、濕式成膜法(Langmuir-Blodgett)法、真空蒸鍍法等方法，將光固化性組合物覆蓋在基板表面來(lái)進(jìn)行。可以使光固化性組合物覆蓋整個(gè)基板面，也可以僅覆蓋部分基板。按壓基板與模具時(shí)的加壓壓力(計(jì)示壓力)優(yōu)選大于0且小于等于10MPa，再更好為0.15MPa。工序A2中光固化性組合物的配置優(yōu)選使用灌注法、旋涂法、輥涂法、流延法、浸漬涂布法、模涂法、濕式成膜法法、真空蒸鍍法等方法，將光固化性組合物覆蓋在模具的圖案面來(lái)進(jìn)行?？梢允构夤袒越M合物覆蓋整個(gè)圖案面，也可以僅覆蓋部分圖案面。將基板和模具壓合時(shí)的加壓壓力(計(jì)示壓力)優(yōu)選大于0且小于等于10MPa，再更好為0.15MPa。工序A3中，作為在空隙中填充光固化性組合物的方法，可例舉如通過(guò)毛細(xì)管現(xiàn)象，將光固化性組合物吸至空隙的方法。工序B中，經(jīng)光照射的單體的聚合在使用透光材料制模具時(shí)優(yōu)選通過(guò)從該模具側(cè)進(jìn)行光照射的方法來(lái)進(jìn)行，當(dāng)使用透光材料制基板時(shí)優(yōu)選從該基板側(cè)進(jìn)行光照射的方法來(lái)進(jìn)行。光優(yōu)選為波長(zhǎng)200400nm的光。由于本發(fā)明的光固化性組合物低粘性且固化性高，因此優(yōu)選在低溫(優(yōu)選為060°C)進(jìn)行工序A和工序B。另外，該光固化性組合物的固化物的脫模性高，因此可以從模具順利剝離，因此優(yōu)選在低溫(優(yōu)選為060°C)進(jìn)行工序C和工序D。因此，本發(fā)明的制造方法1的所有工序可以在低溫(優(yōu)選為06crc)下進(jìn)行，因此有利。精細(xì)圖案形成體的制造方法2為，使光固化性組合物與表面具有精細(xì)圖案的模具的具有該精細(xì)圖案的表面接觸。接著剝離模具，制造具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面的光固化性組合物的成形體，之后，使上述光固化性組合物的成形體光固化的方法。更具體優(yōu)選下述的制造法。艮P，使用本發(fā)明的光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具，按照下述工序E、下述工序F、下述工序G以及任選的下述工序H的順序進(jìn)行，得到表面具有精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體或者與基板一體的該精細(xì)圖案形成體的精細(xì)圖案形成體的制造方法。工序E:將光固化性組合物按壓在基板的表面與模具的圖案面之間的工序。工序F:從光固化性組合物剝離模具，得到與基板一體的，具有轉(zhuǎn)印了該模具的精細(xì)圖案的表面的該光固化性組合物的成形體的工序。工序G:通過(guò)光照射使光固化性組合物的成形體固化，得到與基板一體的由固化物形成的精細(xì)圖案形成體的工序，所述固化物具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面。工序H:將基板與精細(xì)圖案形成體剝離的工序。制造方法2中的模具和基板可以使用與制造方法1相同的模具和基板。另外，制造方法2中模具的形狀也可以為滾筒型。由于本發(fā)明的光固化性組合物低粘性且固化性高，因此優(yōu)選在低溫(優(yōu)選為06(TC)下進(jìn)行工序E和工序F。另外，由于該光固化性組合物的固化物的脫模性高，可以從模具順利剝離，因此優(yōu)選在低溫下(優(yōu)選為06(TC)進(jìn)行工序G和工序H。因此，本發(fā)明的制造方法2的所有工序可以在低溫(優(yōu)選為06(TC)下進(jìn)行，因而有利。由本發(fā)明的制造方法得到的精細(xì)圖案形成體優(yōu)選為，由本發(fā)明的光固化性組合物的固化物形成的精細(xì)突起體形成精細(xì)圖案，配置在基板表面的精細(xì)圖案形成體。該精細(xì)圖案形成體的耐熱性、耐化學(xué)性、脫模性、光學(xué)特性(透明性、低折射率性)等物性優(yōu)良。由本發(fā)明的制造方法所得的精細(xì)圖案形成體在表面上高精度地轉(zhuǎn)印有模具的精細(xì)圖案。該精細(xì)圖案形成體作為微透鏡組、光波導(dǎo)元件、光開關(guān)元件、菲涅耳帶板元件、二元光學(xué)元件、閃耀光學(xué)元件、光子學(xué)結(jié)晶等光學(xué)元件、防反射部件、生物芯片部件、微反應(yīng)器芯片部件、催化劑載體部件、記錄媒體、顯示材料、濾波器、傳感部件等有用。實(shí)施例以下通過(guò)實(shí)施例、比較例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，本發(fā)明不限于這些。高壓汞燈使用在1.52.0kHz下，在255、315以及365nm具有主波長(zhǎng)的高壓汞燈。使用下述化合物nl(粘度18mPas)或下述化合物n2(粘度17mPas)作為主成分單體，使用下述化合物fl(粘度4.2mPa.s)作為含氟單體。CH3CH2=CHCOOCH2=CHCOO(CH2CH20)4COCH=CH2(n2)CH2=CHCOOCH2CH2(CF2)6F(f1)聚合引發(fā)劑使用光聚合引發(fā)劑(f、'力<年一7《〉\'J亍<—公司制、商品名<A力￥二7651)。含氟表面活性劑使用作為非離子性含氟表面活性劑的氟代丙烯酸酯(012=CHCOO(CH2)2(CF丄F)的共低聚合物(氟含量約30質(zhì)量％、重均分子量約3000)。含氟聚合物使用使CF2=CFCF2C(CF》(OH)CH2CH=CH2均聚而得的含有下式(l)所示單體單元的含氟聚合物(氟含量56.3質(zhì)量％、重均分子量為4800)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>體積收縮率為，在25'c下，在試驗(yàn)管(玻璃制)中封入i;高度的光固化性組合物之后，照射15秒高壓汞燈(1.52.0kHz，在255、315以及365nm具有主波長(zhǎng)的光源)，所形成的固化物高度為1^時(shí)，求得的[(L1-L2)/L']的百分比。接觸角表示對(duì)水的接觸角。對(duì)光固化性組合物的固化物的脫模性進(jìn)行以下的評(píng)價(jià)。在載玻片的中央部滴下光固化性組合物，使之與另一塊載玻片重合。照射高壓汞燈15秒，使組合物固化之后，剝離載玻片確認(rèn)脫模性。如下評(píng)價(jià)，用手可以剝離的情況記為◎、使用平頭螺絲刀可以剝離時(shí)記為O、使用平頭螺絲刀也不能剝離時(shí)記為X。滾筒型模具的制造例硅晶片上層疊大小為縱*橫2cm的透明含氟樹脂制(旭硝子公司制、商品名廿<卜'77)的片(膜厚100"m)。在16(TC加熱硅晶片，使硅晶片的該片側(cè)與具有多個(gè)凹結(jié)構(gòu)(寬60nm、深100nm、長(zhǎng)5mm、凹部的間隔平均值為75nm)的硅制模具的該凹結(jié)構(gòu)側(cè)接觸，保持該狀態(tài)以lOMPa(計(jì)示壓力)加壓。將硅晶片冷卻至25t:之后，將模具與硅晶片剝離，得到層疊有透明含氟樹脂制的片的硅晶片，該透明含氟樹脂的片的表面形成有反轉(zhuǎn)了該凹結(jié)構(gòu)的多個(gè)凸結(jié)構(gòu)(寬60nm、高100nm、長(zhǎng)5mm、凸部的間隔的平均值為75擺)。接著，將該片巻取到直徑1.6cm的圓柱狀的玻璃棒，將其巻取端用膠帶固定，得到表面具有多個(gè)凸結(jié)構(gòu)(寬60mn、高100nm、長(zhǎng)5mm、凸部的間隔的平均值為75mn)的滾筒型模具。光固化性組合物的制備例組合物1的制備例向管瓶(vial)容器(內(nèi)容積6mL)中添加1.16g化合物nl、0.83g化合物n2、1.08g化合物fl以及O.08g含氟聚合物，再添加0.1lg光聚合引發(fā)劑進(jìn)行混合，得到粘度為22mPas的光固化性組合物(稱為組合物1)。組合物1的體積收縮率為4%，組合物1的固化物的接觸角為75度。組合物2的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中添加1.16g化合物nl、0.83g化合物n2、1.08g化合物fl、0.08g含氟聚合物以及0.03g含氟表面活性劑，再添加O.llg光聚合引發(fā)劑進(jìn)行混合，得到粘度為24mPas的光固化性組合物(稱為組合物2)。組合物2的體積收縮率為5%，組合物2的固化物的接觸角為82度。組合物3的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中添加0.30g化合物nl、0.40g化合物n2、0.25g化合物fl以及0.Olg含氟表面活性劑，再添加光聚合引發(fā)劑O.04g進(jìn)行混合，得到粘度為12mPas的光固化性組合物(稱為組合物3)。組合物3的體積收縮率為9%，組合物3的固化物的接觸角為95度。組合物4的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中添加0.35g化合物nl、0.38g化合物n2、0.22g化合物fl以及0.Olg含氟表面活性劑，再加入光聚合引發(fā)劑0.04g進(jìn)行混合，制得粘度為12mPas的光固化性組合物(稱為組合物4)。組合物4的體積收縮率為10%，組合物4的固化物的接觸角為94度。組合物5的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中加入0.35g化合物nl、0.26g化合物n2、0.30g化合物fl、0.04g含氟聚合物以及0.Olg含氟表面活性劑，再添加光聚合引發(fā)劑O.04g進(jìn)行混合，制得粘度為19mPas的光固化性組合物(稱為組合物5)。組合物5的體積收縮率為5%，組合物5的固化物的接觸角為％度。組合物6的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6raL)中加入0.30g化合物nl、0.40g化合物n2、0.25g化合物fl，接著添加光聚合引發(fā)劑0.04g進(jìn)行混合，得到粘度為10mpa*s的光固化性組合物(稱為組合物6)。組合物6的體積收縮率為11%,組合物6的固化物的接觸角為73度。組合物7的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中加入0.36g化合物nl、0.59g化合物n2以及0.Olg含氟表面活性劑，再加入光聚合引發(fā)劑0.04g進(jìn)行混合。劇烈起泡，生成微小的凝膠，過(guò)濾性顯著降低，不能得到均一的組合物。組合物8的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中加入0.17g化合物nl、0.28g化合物n2、0.50g化合物fl以及0.Olg含氟表面活性劑，再加入光聚合引發(fā)劑0.04g進(jìn)行混合。光聚合引發(fā)劑不完全溶解，不能得到均一的組合物。組合物9的制備例向管瓶容器(內(nèi)容積6mL)中加入0.30g化合物nl、0.40g下述化合物n3(粘度130mPa's)、0.25g化合物fl以及0.Olg含氟表面活性劑，再添加0.04g光聚合引發(fā)劑進(jìn)行混合。整體白濁，不能得到均勻的組合物?；衔飊3表示R'CH2[C(CH:,)(R5)CH2]2CH2R'(R'表示-NHC02CH2CH202CC(CH:,)=CH2，R5表示氫原子或甲基)所示的二氨基甲酸乙酯二甲基丙烯酸酯(7AKU'乂千公司制)。對(duì)于組合物19，將單體(化合物nl、化合物n2以及化合物fl)、含氟表面活性劑、含氟聚合物以及光聚合引發(fā)劑的各含量(質(zhì)量％)示于表1。另外，對(duì)于組合物19，將體積收縮率、接觸角以及脫模性的評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>[例3]精細(xì)圖案形成體的制備例精細(xì)圖案形成體的制備例(之一)在25。C下在硅晶片上滴加1滴組合物l，得到組合物1均勻涂布的硅晶片。將表面具有多個(gè)凹結(jié)構(gòu)(寬800mn、深180mn、長(zhǎng)10"m、凹部的間隔的平均值800nm)的石英制模具壓附在硅晶片上的組合物1偵lj，在該狀態(tài)下以0.5MPa(計(jì)示壓力)進(jìn)行加壓。接著，在25"從模具側(cè)照射高壓汞燈15秒鐘，得到組合物l的固化物。在25。C下，從硅晶片剝離模具，得到在硅晶片上形成有組合物1的固化物的精細(xì)圖案形成體，該組合物1的固化物在表面上具有反轉(zhuǎn)了模具的凹結(jié)構(gòu)的凸結(jié)構(gòu)。精細(xì)圖案形成體的制備例(之二)除了使用組合物2代替例3-l中的組合物l之外，使用相同的方法，得到由形成于硅晶片上的組合物2的固化物形成的精細(xì)圖案形成體，該組合物2的固化物在表面具有反轉(zhuǎn)了模具的凹結(jié)構(gòu)的凸結(jié)構(gòu)。精細(xì)圖案形成體的制備例(之三)在例1所得的滾筒型模具上壓貼滲透了組合物3的棉布，將組合物3涂布在滾筒型模具上。接著，將該模具壓附在硅晶片上，同時(shí)使之旋轉(zhuǎn)，將被涂布在模具上的組合物3轉(zhuǎn)印到硅晶片上。之后立刻從硅晶片上面照射高壓汞燈15秒，使組合物3固化。對(duì)在硅晶片上形成的組合物3的固化物進(jìn)行分析，結(jié)果，在該固化物的表面形成與例1所用的模具的凹結(jié)構(gòu)相當(dāng)?shù)木?xì)圖案。產(chǎn)業(yè)上利用的可能性通過(guò)本發(fā)明可以高效制造作為微透鏡組、光波導(dǎo)元件、光開關(guān)元件、菲涅耳帶板元件、二元光學(xué)元件、閃耀光學(xué)元件、光子學(xué)結(jié)晶等光學(xué)元件、防反射部件、生物芯片部件、微反應(yīng)器芯片部件、催化劑載體等有用的，具有有精細(xì)圖案的固化物層的精細(xì)圖案形成體。另外，在此引用2005年4月21日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2005-123583號(hào)以及2005年6月27日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2005-186742號(hào)的說(shuō)明書、權(quán)利要求以及摘要的全部?jī)?nèi)容，作為本發(fā)明說(shuō)明書的公開內(nèi)容。權(quán)利要求1.光固化性組合物，其特征在于，含有25℃時(shí)粘度為0.1～100mPa·s的不含氟原子的單體50～98質(zhì)量％、含氟單體0.1～45質(zhì)量％、含量大于0.1質(zhì)量％且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑及/或含氟聚合物、以及光聚合引發(fā)劑1～10質(zhì)量％，且實(shí)質(zhì)上不含溶劑。2.如權(quán)利要求1所述的光固化性組合物，其特征在于，上述光固化性組合物中，含氟單體的量相對(duì)于含氟表面活性劑和含氟聚合物的總量為1100倍質(zhì)量。3.如權(quán)利要求1或2所述的光固化性組合物，其特征在于，上述光固化性組合物在25T時(shí)的粘度為0.1200mPas。4.精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使權(quán)利要求13中任一項(xiàng)所述的光固化性組合物與表面具有精細(xì)圖案的模具的具有該精細(xì)圖案的表面接觸，再以使其與模具表面接觸的狀態(tài)使上述光固化性組合物光固化，之后將光固化性組合物的固化物從模具剝離。5.精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求13中任一項(xiàng)所述的光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具，通過(guò)依次進(jìn)行下述工序A、下述工序B、下述工序C以及任選的下述工序D，得到表面具有精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體或與基板一體的該精細(xì)圖案形成體，工序A:將光固化性組合物夾在基板的表面與模具的圖案面之間，進(jìn)行按壓的工序；工序B:通過(guò)光照射使光固化性組合物固化，得到由固化物形成的精細(xì)圖案形成體的工序，該固化物具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面；工序C:將模具和基板的至少一方從固化物剝離，得到精細(xì)圖案形成體、與基板一體的精細(xì)圖案形成體或者與模具一體的精細(xì)圖案形成體的工序；工序D:上述工序C中得到與模具一體的精細(xì)圖案形成體時(shí)，將模具與精細(xì)圖案形成體剝離的工序。6.如權(quán)利要求4或5所述的精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，上述模具的精細(xì)圖案是具有凸部和凹部的精細(xì)圖案，該凸部的間隔的平均值為lnm500Pm。7.精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使權(quán)利要求1或2所述的光固化性組合物與表面具有精細(xì)圖案的模具的具有該精細(xì)圖案的表面接觸，再剝離模具，制造具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面的光固化性組合物的成形體，之后使上述光固化性組合物的成形體光固化。8.精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1或2所述的光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具，通過(guò)依次進(jìn)行下述工序E、下述工序F、下述工序G以及任選的下述工序H，得到表面具有精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體或與基板一體的該精細(xì)圖案形成體，工序E:使光固化性組合物按壓在基板的表面與模具的圖案面之間的工序；工序F:將模具從光固化性組合物剝離，得到與基板一體的、具有轉(zhuǎn)印了該模具的精細(xì)圖案的表面的該光固化性組合物的成形體的工序；工序G:通過(guò)光照射使光固化性組合物的成形體固化，得到與基板一體的由固化物形成的精細(xì)圖案形成體的工序，該固化物具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面；工序H:將基板與精細(xì)圖案形成體剝離的工序。9.如權(quán)利要求8所述的精細(xì)圖案形成體的制造方法，其特征在于，上述模具的精細(xì)圖案為具有凸部和凹部的精細(xì)圖案，該凸部的間隔的平均值為1nm500um。10.精細(xì)圖案形成體，它是由固化物形成的具有由凸部和凹部構(gòu)成的精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體，所述固化物由權(quán)利要求13中任一項(xiàng)所述的光固化性組合物固化而得，其特征在于，該凸部的間隔的平均值為lnm500jim。全文摘要提供了可以高效制造耐熱性、耐化學(xué)性、脫模性、光學(xué)特性(透明性、低折射率性)等物性優(yōu)良的精細(xì)圖案形成體的光固化性組合物，以及可以在表面高精度轉(zhuǎn)印模具的精細(xì)圖案的精細(xì)圖案形成體的制造方法。該光固化性組合物的特征在于，含有25℃時(shí)的粘度為0.1～100mPa·s的不含氟原子的單體50～98質(zhì)量％、含氟單體0.1～45質(zhì)量％、含量大于0.1質(zhì)量％且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑及/或含氟聚合物、以及光聚合引發(fā)劑1～10質(zhì)量％，且實(shí)質(zhì)上不含溶劑。使用該光固化性組合物、基板以及表面具有精細(xì)圖案的模具的、由固化物形成的精細(xì)圖案形成體或與基板一體的該精細(xì)圖案形成體的制造方法，該固化體具有轉(zhuǎn)印了模具的精細(xì)圖案的表面。文檔編號(hào)C08F220/10GK101160331SQ20068001290公開日2008年4月9日申請(qǐng)日期2006年3月22日優(yōu)先權(quán)日2005年4月21日發(fā)明者川口泰秀,川昭彥申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社