一種直拉重?fù)缴榈碗娮韫鑶尉У难b置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種直拉硅單晶的裝置，特別涉及一種重?fù)缴榈碗娮韫鑶尉У难b置。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前市場對電阻率< 0.003 Ω.cm的8英寸直拉重?fù)缴楣鑶尉У男枨笤絹碓蕉?，而采用直拉法常?guī)工藝?yán)频闹負(fù)缴閱尉щ娮杪势毡闉?lt; 0.004 Ω.cm,為滿足市場對低電阻重?fù)缴楣鑶尉У男枨?，必需特制相?yīng)的工具來降低電阻率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種可以在拉晶過程中連續(xù)對溶液中揮發(fā)的砷雜質(zhì)給予補(bǔ)償，同時(shí)在爐膛氣氛中增加雜質(zhì)濃度，減少溶液擴(kuò)散的速率，具體技術(shù)方案是，一種直拉重?fù)缴榈碗娮韫鑶尉У难b置，包括熱屏內(nèi)膽、熱屏外膽、石英鍋、碳?xì)帧⑹h(huán)、石英環(huán)導(dǎo)向管，其特征在于:石英環(huán)為用高純石英拉制出的石英管和在其上有數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管導(dǎo)通管，且數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管相對石英管成垂直彎曲，熱屏內(nèi)膽、碳?xì)帧崞镣饽懮嫌信c石英環(huán)導(dǎo)氣管數(shù)量相同的通孔，石英環(huán)導(dǎo)向管固定于孔內(nèi)，使石英環(huán)導(dǎo)向管外壁距石英鍋內(nèi)壁20-100mm，石英環(huán)導(dǎo)氣管插于石英環(huán)導(dǎo)向管內(nèi)并可自由滑動(dòng)，使用時(shí)，砷置于石英管內(nèi)，通過在爐蓋上安裝的提升裝置使石英環(huán)上下升降于石英鍋內(nèi)硅熔液液面之上。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)效果是，結(jié)構(gòu)簡單，改造容易，通過石英環(huán)的上下升降，讓重?fù)缴殡s質(zhì)的揮發(fā)速率能夠滿足低阻的要求。
【附圖說明】
[0005]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0006]下面根據(jù)實(shí)例作進(jìn)一步說明，爐壓在90T0RR、，首摻次的預(yù)摻量在600g。
[0007]如圖1所示，一種直拉重?fù)缴榈碗娮韫鑶尉У难b置，包括熱屏內(nèi)膽1、熱屏外膽2、石英鍋3、碳?xì)?、石英環(huán)5、石英環(huán)導(dǎo)向管6，石英環(huán)5為用石英拉制出一石英管5-1和在其上有數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管5-2的導(dǎo)通管，且數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管5-2相對石英管5-1成垂直彎曲，熱屏內(nèi)膽1、碳?xì)?、熱屏外膽2上有與石英環(huán)導(dǎo)氣管5-2數(shù)量相同的通孔，石英環(huán)導(dǎo)向管6固定于孔內(nèi)，使石英環(huán)導(dǎo)向管6外壁距石英鍋3內(nèi)壁20-100mm，石英環(huán)導(dǎo)氣管5_2插于石英環(huán)導(dǎo)向管6內(nèi)并可自由滑動(dòng)，使用時(shí)，砷置于石英內(nèi)，通過在爐蓋上安裝的提升裝置使石英環(huán)上下升降于石英鍋3內(nèi)娃恪液液面之上30-300mm，拉制出電阻率低于0.003 Ω.cm的低阻重?fù)缴閱尉У谋壤颊脝尉У?0%，。
[0008]原理是，在單晶未保持的過程中，將裝置5提升與爐膛中的低溫區(qū)，讓砷雜質(zhì)不達(dá)到揮發(fā)的溫度，在正常拉晶過程中對石英環(huán)的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，石英環(huán)5內(nèi)砷熔化為氣體，降低石英環(huán)5高度，利用其升華作用的壓力，使砷進(jìn)入硅熔液內(nèi)，在對流的影響下對5進(jìn)行調(diào)節(jié)，拉制出電阻率低于0.003 Ω.cm的低阻重?fù)缴閱尉?，另一方面由于爐膛有氬氣的流通，在砷雜質(zhì)氣氛作用下使氬氣沿石英鍋3及熱屏外膽2間隙位置流出，防止氬氣直接與單晶接觸導(dǎo)致斷包。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種直拉重?fù)缴榈碗娮韫鑶尉У难b置，包括熱屏內(nèi)膽(1)、熱屏外膽(2)、石英鍋(3)、碳?xì)?4)、石英環(huán)(5)、石英環(huán)導(dǎo)向管(6)，其特征在于:石英環(huán)(5)為用高純石英拉制出的石英管(5-1)和在其上有數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管(5-2)導(dǎo)通管，且數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管(5-2)相對石英管(5-1)成垂直彎曲，熱屏內(nèi)膽(1 )、碳?xì)?4)、熱屏外膽(2)上有與石英環(huán)導(dǎo)氣管(5-2)數(shù)量相同的通孔，石英環(huán)導(dǎo)向管(6)固定于孔內(nèi)，使石英環(huán)導(dǎo)向管(6)外壁距石英鍋(3)內(nèi)壁20-100mm，石英環(huán)導(dǎo)氣管(5_2)插于石英環(huán)導(dǎo)向管(6)內(nèi)并可自由滑動(dòng)，使用時(shí)，砷置于石英管(5-1)內(nèi)，通過在爐蓋上安裝的提升裝置使石英環(huán)上下升降于石英鍋(3)內(nèi)硅熔液液面之上。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種重?fù)缴榈碗娮韫鑶尉У难b置，包括熱屏內(nèi)膽、熱屏外膽、石英鍋、碳?xì)帧⑹h(huán)、石英環(huán)導(dǎo)向管，石英環(huán)為用石英拉制出一石英管和在其上有數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管導(dǎo)通管，且數(shù)根石英環(huán)導(dǎo)氣管相對石英管成垂直彎曲，熱屏內(nèi)膽、碳?xì)?、熱屏外膽上有與石英環(huán)導(dǎo)氣管數(shù)量相同的通孔，石英環(huán)導(dǎo)向管固定于孔內(nèi)，使石英環(huán)導(dǎo)向管外壁距石英鍋內(nèi)壁20-100mm,石英環(huán)導(dǎo)氣管插于石英環(huán)導(dǎo)向管內(nèi)并可自由滑動(dòng)，使用時(shí)，砷置于石英管內(nèi)，通過在爐蓋上安裝的提升裝置使石英環(huán)上下升降于石英鍋內(nèi)硅熔液液面之上，技術(shù)效果是，結(jié)構(gòu)簡單，改造容易，通過石英環(huán)的上下升降，讓重?fù)缴殡s質(zhì)的揮發(fā)速率能夠滿足低阻的要求。
【IPC分類】C30B15/04, C30B29/06
【公開號】CN105369346
【申請?zhí)枴緾N201510904680
【發(fā)明人】王林, 高潤飛, 宋都明, 陳建梅, 張壽星, 張頌越, 王淼
【申請人】天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年12月9日