技術(shù)特征：

1.一種制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)，其特征在于，包括燒結(jié)爐、槽沉爐、稱重機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及槽沉模具；

2.如權(quán)利要求1所述的制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)，其特征在于，所述燒結(jié)爐包括爐芯管，所述爐芯管的外周從上到下套設(shè)第一保溫層、第一加熱器和第二保溫層。

3.如權(quán)利要求1所述的制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)，其特征在于，所述槽沉爐包括爐體，所述爐體上部的外周設(shè)置第二加熱器，所述槽沉模具位于所述第二加熱器包圍的區(qū)域內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)，其特征在于，還包括位于所述槽沉爐內(nèi)的支撐平臺(tái)，所述支撐平臺(tái)設(shè)置于所述槽沉模具的下方，所述槽沉爐的底部設(shè)置可升降爐門(mén)，所述支撐平臺(tái)設(shè)置于所述爐門(mén)上方。

5.如權(quán)利要求1所述的制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)，其特征在于，所述槽沉模具內(nèi)放置石墨紙，所述石墨紙的厚度為0.5-1.0mm，灰分＜20ppm。

6.一種光掩模石英基板制備方法，采用權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于，包括如下步驟：

7.如權(quán)利要求6所述的光掩模石英基板制備方法，其特征在于，s2中，所述石英棒的下降速度為0.5-10mm/min，旋轉(zhuǎn)速度為0.1-10r/min。

8.如權(quán)利要求6所述的光掩模石英基板制備方法，其特征在于，s3中，所述稱重機(jī)構(gòu)檢測(cè)石英棒的重量變化，并通過(guò)plc聯(lián)動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)石英棒的下降速度，以使所述石英棒重量減少的速率為0.5-5kg/min。

9.如權(quán)利要求6所述的光掩模石英基板制備方法，其特征在于，s5中，所述降溫至室溫具體為：以3-10℃/h的速率降溫至600-700℃后，自然降溫至室溫。

10.如權(quán)利要求6所述的光掩模石英基板制備方法，其特征在于，s2中，稱重機(jī)構(gòu)檢測(cè)石英棒的重量，用于檢測(cè)石英棒在燒結(jié)致密化過(guò)程是否斷裂。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)及方法，包括燒結(jié)爐、槽沉爐、稱重機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和槽沉模具，稱重機(jī)構(gòu)連接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接石英棒，燒結(jié)爐的底端與槽沉爐的頂端連接且二者的內(nèi)部腔體連通，槽沉模具設(shè)置于槽沉爐內(nèi)。本發(fā)明將燒結(jié)爐與槽沉爐一體化設(shè)置，石英棒在燒結(jié)后直接進(jìn)行槽沉整形，有效縮短生產(chǎn)時(shí)長(zhǎng)，降低生產(chǎn)成本；通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)吊掛驅(qū)動(dòng)石英棒下降，經(jīng)燒結(jié)區(qū)致密化后進(jìn)入槽沉爐，由底部開(kāi)始逐漸熔融攤開(kāi)在槽沉模具內(nèi)，避免因石英棒長(zhǎng)徑比過(guò)大導(dǎo)致折疊、傾倒，進(jìn)而造成產(chǎn)品中出現(xiàn)條紋、氣泡、均勻性差以及應(yīng)力大的問(wèn)題；實(shí)現(xiàn)了大尺寸、低缺陷、高性能、高純度產(chǎn)品的生產(chǎn)，可應(yīng)用于IC光掩膜基板的開(kāi)發(fā)。

技術(shù)研發(fā)人員：李建均,肖華,李旭偉,王俊,劉利,鐘媛,劉寶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇亨芯石英科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2