技術(shù)編號：40574543
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及石英基板制備，具體涉及一種制備光掩模石英基板的燒結(jié)槽沉一體化系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)、石英玻璃是由單一組分二氧化硅組成的非晶態(tài)材料，是特種工業(yè)技術(shù)玻璃，具有膨脹系數(shù)低、耐高溫、耐熱震，以及化學(xué)穩(wěn)定性和電絕緣性良好等特點(diǎn)，并且能透過紫外線和紅外線，廣泛應(yīng)用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)體通信裝置、激光器，光學(xué)儀器等工業(yè)領(lǐng)域。就半導(dǎo)體光掩模基板而言，由石英玻璃制成的基板，其化學(xué)穩(wěn)定性最優(yōu)，具有高硬度、低膨脹系數(shù)和透光性強(qiáng)等優(yōu)勢，適用于較高精度要求的產(chǎn)品生產(chǎn)，廣泛應(yīng)用于ic用光掩膜等。、合成石...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。