專利名稱：硅烷制備的分子篩提純裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種化工產(chǎn)品的制備裝置，特別是一種硅烷制備的分子篩提純裝 置，適合于硅烷提高純度。
背景技術(shù)：
目前，微電子技術(shù)是現(xiàn)代信息技術(shù)和軍事技術(shù)的主要基石，是推動(dòng)科技進(jìn)步、產(chǎn)業(yè) 發(fā)展、經(jīng)濟(jì)騰飛和社會(huì)前進(jìn)的關(guān)鍵因素之一。集成電路是微電子技術(shù)的核心，其發(fā)展水平和 產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個(gè)國(guó)家經(jīng)濟(jì)實(shí)力的重要標(biāo)志。電子特種氣體(如硅烷)，尤其是高純 電子氣體作為電子化工材料這一新門類，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。隨 著電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，集成度越來(lái)越高，對(duì)基礎(chǔ)原材料(如硅烷)的純度要求已經(jīng)提 高到了 6N級(jí)(99. 9999% )，甚至7N以上，因此制備高純電子特種氣體技術(shù)更顯得迫在眉 睫。而有能力生產(chǎn)6N級(jí)以上高純電子氣體的只有少數(shù)國(guó)家，而高純氣體在電子產(chǎn)品、航空 航天、高效太陽(yáng)能電池、軍事工業(yè)方面有著廣泛的應(yīng)用，硅烷的制備技術(shù)尚未完善，制作方 法工藝復(fù)雜，較難掌握，生產(chǎn)的產(chǎn)品尚不能全面滿足相關(guān)電子產(chǎn)品的需要，質(zhì)量差，問(wèn)題多， 只能用于制造低規(guī)格的產(chǎn)品，因此，給用戶帶來(lái)了較大的麻煩，這種狀況嚴(yán)重地制約了電子 技術(shù)的發(fā)展。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的問(wèn)題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種硅烷制備的 分子篩提純裝置。該裝置不僅設(shè)計(jì)合理，制作簡(jiǎn)單，而且為硅烷提高純度打下了基礎(chǔ)。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是純硅烷出口、過(guò)濾器、純尾氣出口、蛇管柱、取樣 口、u管柱、4A分子篩吸附柱、5A分子篩吸附柱、粗硅烷進(jìn)入口、流量計(jì)、真空泵接口、放空水 封池、油封按其系統(tǒng)功能通過(guò)其中間連接的閥門。壓力表的連接管線組裝一體而構(gòu)成。使 用時(shí)，粗硅烷由粗硅烷進(jìn)入口進(jìn)入本裝置，經(jīng)過(guò)濾器過(guò)濾，打開所需閥門，4A分子篩吸附柱 主要吸附粗硅烷氣體中分子直徑為4A的雜質(zhì)性氣體如NH3等。5A分子篩吸附柱主要吸附 分子直徑為5A的雜質(zhì)性氣體如IIIA、vA族元素的氫化物和碳?xì)浠衔锏?。吸附柱可以多次重?fù)使用，且潔凈度會(huì)愈來(lái)愈高。當(dāng)5Α分子篩終端在線檢測(cè)出現(xiàn) 乙硅烷時(shí)，說(shuō)明分子篩的吸附能力已接近飽和，必須進(jìn)行分子篩的重新活化。經(jīng)分子篩吸附提純，經(jīng)U管柱和蛇管柱從純硅烷出口)流出的氣流是硅烷與氫氣 的二元混合氣。02、N2、C0、C02、CH4、H20等雜質(zhì)均可降到10_6，IIIA、vA族元素的氫化物含量 均可降到10_9以下。從而制備出高純度5N(純度達(dá)99. 9999%)以上的硅烷氣產(chǎn)品。本實(shí)用新型的有益效果是，設(shè)計(jì)合理，使用方便，是硅烷產(chǎn)品提高純度的理想裝 置。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。[0009]


圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖編號(hào)為1、純硅烷出口，2、過(guò)濾器，3、純尾氣出口，4、蛇管柱，5、取樣口，6、U 管柱，7、4A分子篩吸附柱，8、5A分子篩吸附柱，9、粗硅烷進(jìn)入口，10、流量計(jì)，11、真空泵接 口，12、放空水封池，13、油封，14、連接管線，15壓力表，16、閥門。
具體實(shí)施方式
參照
圖1，純硅烷出口(1)、過(guò)濾器(2)、純尾氣出口(3)、蛇管柱(4)、取樣口(5)、 U管柱(6)、4A分子篩吸附柱(7)、5A分子篩吸附柱(8)、粗硅烷進(jìn)入口(9)、流量計(jì)(10)、真 空泵接口(11)、放空水封池(12)、油封(13)按其系統(tǒng)功能通過(guò)其中間連接的閥門(16)、壓 力表(15)的連接管線(14)組裝一體而構(gòu)成。使用時(shí)，粗硅烷由粗硅烷進(jìn)入口(9)進(jìn)入本 裝置，經(jīng)過(guò)濾器(2)過(guò)濾，打開所需閥門，4A分子篩吸附柱(7)主要吸附粗硅烷氣體中分子 直徑為4A的雜質(zhì)性氣體如NH3等。5A分子篩吸附柱(8)主要吸附分子直徑為5A的雜質(zhì)性 氣體如IIIA、νΑ族元素的氫化物和碳?xì)浠衔锏取Ｎ街梢远啻沃貜?fù)使用，且潔凈度會(huì)愈來(lái)愈高。當(dāng)5A分子篩終端在線檢測(cè)出現(xiàn) 乙硅烷時(shí)，說(shuō)明分子篩的吸附能力已接近飽和，必須進(jìn)行分子篩的重新活化。經(jīng)分子篩吸附提純，經(jīng)U管柱(6)和蛇管柱(4)從純硅烷出口(1)流出的氣流是 硅烷與氫氣的二元混合氣。02、N2、C0、C02、CH4、H20等雜質(zhì)均可降到10_6，IIIA、vA族元素的 氫化物含量均可降到10_9以下。從而制備出高純度5N(純度達(dá)99. 9999% )以上的硅烷氣
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權(quán)利要求一種硅烷制備的分子篩提純裝置，其特征在于純硅烷出口、過(guò)濾器、純尾氣出口、蛇管柱、取樣口、U管柱、4A分子篩吸附柱、5A分子篩吸附柱、粗硅烷進(jìn)入口、流量計(jì)、真空泵接口、放空水封池、油封通過(guò)其中間連接的閥門，壓力表的連接管線組裝一體而構(gòu)成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅烷制備的分子篩提純裝置，主要由純硅烷出口、過(guò)濾器、純尾氣出口、蛇管柱、取樣口、U管柱、4A分子篩吸附柱、5A分子篩吸附柱、粗硅烷進(jìn)入口、流量計(jì)、真空泵接口、放空水封池、油封按其系統(tǒng)功能通過(guò)其中間連接的閥門。壓力表的連接管線組裝一體而構(gòu)成。該裝置不僅設(shè)計(jì)合理，制作簡(jiǎn)單，而且為硅烷提高純度提供了理想的工具。
文檔編號(hào)C01B33/04GK201686495SQ20102013419
公開日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2010年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月18日
發(fā)明者李中元 申請(qǐng)人:天津市泰亨氣體有限公司