技術(shù)編號：3441991
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種化工產(chǎn)品的制備裝置，特別是一種硅烷制備的分子篩提純裝 置，適合于硅烷提高純度。背景技術(shù)目前，微電子技術(shù)是現(xiàn)代信息技術(shù)和軍事技術(shù)的主要基石，是推動科技進(jìn)步、產(chǎn)業(yè) 發(fā)展、經(jīng)濟(jì)騰飛和社會前進(jìn)的關(guān)鍵因素之一。集成電路是微電子技術(shù)的核心，其發(fā)展水平和 產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個國家經(jīng)濟(jì)實力的重要標(biāo)志。電子特種氣體(如硅烷)，尤其是高純 電子氣體作為電子化工材料這一新門類，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。隨 著電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，集成度越來越...
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