專利名稱：：含硼氯硅烷物流的后處理的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及從含硼氯硅烷混合物經(jīng)蒸餾分離富硼蒸餾物流制備貧硼氯硅烷的方法。本發(fā)明還涉及從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設(shè)備。
背景技術(shù)：
：已知例如用于光電元件或玻璃纖維或芯片的制造的多晶硅的制造中使用工業(yè)三氯硅烷(SiHCh，TCS)和/或四氯化硅(SiCl4，STC)作為原料。這些產(chǎn)物含有多種雜質(zhì)，例如其它硅烷，如二氯硅烷(SiH2Cl2,DCS)以及硼化合物，尤其是三氯化硼(BC13)。一般說來，含硼組分對(duì)進(jìn)一步應(yīng)用TCS和STC,例如上述應(yīng)用領(lǐng)域，是有害的，因此應(yīng)予以去除或降低至目標(biāo)值。在作為原料的氯硅烷中殘留的BCl3例如會(huì)阻礙純度極高的硅的有目的地雜化。典型的雜質(zhì)含量范圍約為0.1-5重量ppm,有時(shí)可達(dá)10重量ppm或更高。已知用蒸餾方式分離痕量組分在很多情況下是困難的。例如三氯化硼(12.5。C)和二氯硅烷(8.3°C)的沸點(diǎn)如此相近，以至于示于圖1的經(jīng)典蒸餾處理路線中含硼雜質(zhì)與二氯硅烷和高份額的三氯硅烷一道經(jīng)第二蒸餾塔(其用途是分離第一蒸餾塔的塔頂物流)的塔頂物流作為所謂的低沸物再次被分離。用這種方式分離的低沸餾分含硼雜質(zhì)(尤其含有三氯化硼)整體拋棄或者再進(jìn)行非蒸餾后處理。非蒸餾后處理可采用例如W006/054325所描述的絡(luò)合方法。在這種經(jīng)典的后處理路線中出現(xiàn)了有用物質(zhì)TCS和DCS的損失。因此，本發(fā)明的目標(biāo)在于，用純蒸餾法后處理含硼氯硅烷物流，可以得到高純氯硅烷餾分，尤其是貧硼二氯硅烷，三氯硅烷和/或四氯化硅，或者二氯硅烷和三氯硅烷的貧硼混合物，而且特別是由于分離富硼硅烷餾分的二氯硅烷和三氯硅烷的損失得到降低。
發(fā)明內(nèi)容所提目標(biāo)是通過從含硼氯硅烷混合物經(jīng)蒸餾分離貧硼蒸餾物流制備貧硼氯硅烷的方法達(dá)到的，其中在一個(gè)或多個(gè)蒸餾塔的裝置中至少在一個(gè)蒸餾塔中分流出富硼側(cè)物流。這股分流出的側(cè)物流可以進(jìn)行處置(entsorgen),或者導(dǎo)入到其它應(yīng)用。通過按照本發(fā)明分離富硼側(cè)物流就能得到由STC，DCS和TCS組成的貧硼物流，或者勿需另外后處理即可作多方面的應(yīng)用。只有殘留的含硼側(cè)物流需經(jīng)處置系統(tǒng)(例如洗滌和水解)處理，DCS和/或TCS的損失比圖1所示的經(jīng)典處理路線小。本發(fā)明的一個(gè)備選實(shí)施方案擬采用從含硼氯硅烷混合物中制備貧硼三氯硅烷的方法，其中在僅有一個(gè)蒸鎦塔的裝置中分流出貧硼的三氯硅烷側(cè)物流。該三氯硅烷可導(dǎo)入進(jìn)一步后處理或其它應(yīng)用。此外，在這種方法中還分流出富硼塔頂物流或側(cè)物流，這股物流經(jīng)處置或輸送到其它應(yīng)用。按照這個(gè)實(shí)施方案，貧硼氯硅烷以側(cè)物流的形式抽出，其中含硼化合物的去除通過其它側(cè)物流或者通過富硼塔頂物流實(shí)現(xiàn)(參見圖4和5)。上述兩種方法總的思路在于，經(jīng)過側(cè)物流分流出富硼-或貧硼的氯硅烷物流，以便最終得到貧硼氯硅烷，即貧硼的二氯硅烷，三氯硅烷和/或四氯化硅或者二氯硅烷和三氯硅烷的貧硼混合物在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，在上述兩種方法在蒸餾塔之一或最下面的蒸餾塔中分流出貧硼四氯硅烷的塔底物流，該塔底物流被輸送到進(jìn)一步后處理或其它應(yīng)用(參見圖2，3和4)。"最下面的蒸餾塔，，是指在多個(gè)蒸餾塔裝置中在氯硅烷混合物的最高沸騰溫度范圍內(nèi)運(yùn)行的塔，在該塔中還視需要分流出作為塔底物流的四氯硅烷。"最上面的蒸餾塔，，相應(yīng)地是指在最低的沸騰溫度范圍內(nèi)運(yùn)行的塔，在該塔中視需要分離出塔頂物流，也即惰性氣體和低沸物。本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案還設(shè)想，在蒸餾塔之一或至少一個(gè)蒸餾塔中分流出貧硼的三氯硅烷的側(cè)物流或塔底物流，并輸送到進(jìn)一步后處理或其它應(yīng)用(參見圖2和4)。本發(fā)明的一個(gè)特殊實(shí)施方案設(shè)想，在多個(gè)蒸餾塔的情況下從不在最下面的蒸餾塔之一中分流出貧硼的三氯硅烷塔底物流(參見圖2)。本發(fā)明的另一個(gè)特殊的實(shí)施方案設(shè)想，在多個(gè)蒸餾塔的情況下，從這些蒸餾塔之一中分流出側(cè)物流，并在前述蒸餾塔之上的其它蒸餾塔之一中分流出貧硼三氯硅烷塔底物流，其中任選地兩股貧硼三氯硅烷物流可以匯集(參見圖3)。表述"前迷蒸餾塔之上"是指與位于下面的蒸餾塔相比分離較高沸點(diǎn)的餾分的蒸餾塔。此外，本發(fā)明的方法還設(shè)想，在蒸餾塔中或者在多個(gè)蒸餾塔的情況下在不處于最下面的蒸餾塔之一中分離出貧硼二氯硅烷塔頂物流，并且任選地與一股或多股貧硼三氯硅烷物流匯集(參見圖2，3和4)或輸送到其它應(yīng)用。此外，在本發(fā)明的方法中還可以優(yōu)選設(shè)想，從蒸餾塔或最上面的蒸餾塔的塔頂物流分離惰性氣體。此處"惰性氣體"應(yīng)理解為不隨冷水或一般的冷混合物冷凝的溶解氣體，例如&,H2和/或HC1。在本發(fā)明的方法中蒸餾在0.5-22bar,優(yōu)選1-10bar,更優(yōu)選1.5-5bar,的壓力進(jìn)行，其中在多個(gè)蒸熘塔的情況下，各塔的壓力可作相互獨(dú)立選擇。在上述壓力范圍內(nèi)選擇各塔的壓力也要考慮經(jīng)濟(jì)方面，其中操作介質(zhì)(Betriebsmittel)的選才奪，例如為了冷凝冷凝選4奪例如環(huán)境溫度的冷水，或者為了蒸發(fā)選擇低壓段的蒸汽，例如4bar的蒸汽。蒸餾塔優(yōu)選裝備冷凝系統(tǒng)(冷凝器)以便形成各塔的回流，和一個(gè)或多個(gè)蒸發(fā)器以便調(diào)整塔底溫度。塔配備有蒸餾填料，填充物，蒸餾塔板等，后者用來確定分離效率和塔的壓降。蒸餾優(yōu)選在-20。C~200°C的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行，優(yōu)選0°C-160°C,尤其優(yōu)選20。C~140°C。各較低的溫度與主冷凝器(也即冷凝大部分塔蒸氣(塔汽)的冷凝器)的冷凝溫度有關(guān)。通常，主冷凝器是冷凝路徑中的第一冷凝器。塔的分離效率主要由分離主要組分STC,TCS和DCS所需的分離效率確定。塔的分離塔板為10-120，優(yōu)選采用20-90理論分離塔板，更優(yōu)選30-80或更少的理論分離塔板。本發(fā)明方法的一個(gè)特殊實(shí)施方案中，導(dǎo)入蒸餾后處理的含硼氯硅烷混合物均優(yōu)選含2-98重量％,優(yōu)選4Q-95重量％,尤其優(yōu)選7G-90重量。/。四氯硅烷，1-97重量％,優(yōu)選5-50重量％,尤其優(yōu)選10-30重量％三氯硅烷；0.01-20重量％,優(yōu)選G.05-5重量％，尤其優(yōu)選0，075-1重量°/二氯珪烷以及0.1-20重量ppmBCh,優(yōu)選0.5-5重量ppmBCl3。送入的質(zhì)量流量可為1000-800GOOkg/h。在本發(fā)明方法的一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方案中，分流出的、優(yōu)選處置的富硼側(cè)物流含導(dǎo)入到蒸餾后處理中的氯硅烷混合物(蒸餾進(jìn)料)中所含的BCl3的量的至少20%,優(yōu)選至少50%,尤其優(yōu)選大于80%。其中，富硼側(cè)物流中富集的BCh的含量是最上面塔的塔頂物流中(該物流還尤其含惰性氣體和低沸物)BCh含量的1.5倍，優(yōu)選2.5倍，尤其優(yōu)選5倍或5倍以上。典型的BCh含量為100重量ppm-2重量％,優(yōu)選250-8000重量ppm。分流的質(zhì)量流量可為1-10Gkg/h。本發(fā)明方法的另一優(yōu)選實(shí)施方案中，一股或多股貧硼的三氯硅烷側(cè)物流和塔底物流含90重量％,優(yōu)選大于99重量％的三氯硅烷，特別優(yōu)選含高純?nèi)裙柰?，而且BCl3的份額低于導(dǎo)入的含硼氯硅烷混合物(蒸餾進(jìn)料)中的份額。導(dǎo)出的質(zhì)量流量或者至少一股導(dǎo)出的質(zhì)量流量可為1000-50000kg/h。本發(fā)明方法又一優(yōu)選實(shí)施方案中，貧硼塔頂物流含低沸物，主要是二氯硅烷，惰性氣體和含導(dǎo)入的含硼氯硅烷混合物(蒸餾進(jìn)料)中所含的BCl3的量的最多60%，優(yōu)選最多達(dá)50%,尤其優(yōu)選最多為30%。導(dǎo)出質(zhì)量流量可為10-1000kg/h。在本發(fā)明方法的一個(gè)特殊的實(shí)施方案中，匯集的三氯硅烷和二氯硅烷的貧硼物流主要含三氯硅烷和二氯硅烷，其中BCh的份額低于導(dǎo)入的含硼氯硅烷混合物(蒸餾進(jìn)料)中的份額。純化和導(dǎo)出的質(zhì)量流量可為1000-50000kg/h。本發(fā)明的另一主題是從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設(shè)備，包括a)適宜于蒸餾含硼氯硅烷混合物的一個(gè)或多個(gè)蒸餾塔，b)用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔內(nèi)，并適宜于導(dǎo)入優(yōu)選1000-800000kg/h的質(zhì)量流量，c)用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔內(nèi)，并適宜于導(dǎo)出優(yōu)選500-750G00kg/h的質(zhì)量流量，d)用于分離貧硼三氯硅烷側(cè)物流或塔底物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在至少一個(gè)蒸餾塔內(nèi)并適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1000-50000kg/h的質(zhì)量流量，e)用于分離貧硼低沸物、主要是二氯硅烷，的塔頂物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在不處于最下面的蒸餾塔的至少之一內(nèi)并適宜于導(dǎo)出優(yōu)選10-1000kg/h的質(zhì)量流量，f)用于從蒸餾塔或者在多個(gè)蒸餾塔的情況下從最上面的蒸餾塔的塔頂物流分離惰性氣體的機(jī)構(gòu)，以及g)任選地，用于匯集來自塔頂物流的貧硼低沸物，主要是二氯硅烷，與一種或多種之前分離出的貧硼三氯硅烷物流的機(jī)構(gòu)，以及用于導(dǎo)出經(jīng)提純氯硅烷物流的機(jī)構(gòu)，其中后者適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1000-50000kg/h的質(zhì)量流量，其中至少在蒸餾塔之一中設(shè)置用于分離富硼側(cè)物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1-100kg/h的質(zhì)量流量。前述設(shè)備的各種實(shí)施方案的例子示于圖2-4。本發(fā)明的一個(gè)替代實(shí)施方案是用于從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設(shè)備，包括a)適宜于蒸餾含硼氯硅烷混合物的蒸鎦塔，b)設(shè)置在蒸餾塔內(nèi)的用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)入優(yōu)選1000-800000kg/h的質(zhì)量流量，c)設(shè)置在蒸餾塔內(nèi)的用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)，該^/l構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選500-750000kg/h的質(zhì)量流量，d)設(shè)置在蒸餾塔內(nèi)的用于分離貧硼三氯硅烷側(cè)物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1000-50GOOkg/h的質(zhì)量流量，和e)用于從蒸餾塔塔頂物流分離惰性氣體的機(jī)構(gòu)，其中在蒸餾塔內(nèi)設(shè)置用于分離富硼塔頂物流或側(cè)物流的機(jī)構(gòu)，以便分離硼，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1-100kg/h的質(zhì)量流量。本發(fā)明的上述替代設(shè)備的兩個(gè)實(shí)施例示于圖4和5。所有按照本發(fā)明分流側(cè)物流的地方也可用隔墻塔(Trennwandkolo加e)代替簡單的無隔墻塔進(jìn)行這種分流。用這種方式可以達(dá)到高純和改善節(jié)能的目的。對(duì)于TCS側(cè)物流而言，例如BCl3含量平均可達(dá)低至ppb范圍。圖1示出了傳統(tǒng)的蒸餾裝置；圖2示出了本發(fā)明蒸餾裝置的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案；圖3示出了本發(fā)明蒸餾裝置的另一優(yōu)選實(shí)施方案；圖4示出了本發(fā)明的蒸餾裝置的一個(gè)備選實(shí)施方案；圖5示出了本發(fā)明的蒸餾裝置的一個(gè)備選實(shí)施方案。具體實(shí)施方式實(shí)施例對(duì)比例1傳統(tǒng)連接圖1示出了傳統(tǒng)的蒸餾裝置，它由包括蒸發(fā)器la和冷凝器lb的第一蒸餾塔l，包括蒸發(fā)器2a和冷凝器2b的第二蒸鎦塔2，用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)3,用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)4，用于從第一蒸餾塔1將低沸物塔頂物流輸送入第二蒸餾塔2的機(jī)構(gòu)5，用于將貧硼三氯硅烷塔底物流從第二蒸餾塔2分離的機(jī)構(gòu)6,用于將塔頂物流從第二蒸餾塔導(dǎo)出的機(jī)構(gòu)7，從塔頂物流分離出惰性氣體流8和低沸物餾分9(含BC13,DCS和TCS,將被廢棄或輸送到進(jìn)一步后處理)。表l列出了對(duì)比例1裝置中各部分物流中各組分的質(zhì)量份額，同時(shí)給出了各自的質(zhì)量流量。這里所給出的值只是關(guān)于對(duì)比例1的"傳統(tǒng)連接"中各個(gè)組分的質(zhì)量份額的一個(gè)具體實(shí)施例<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>實(shí)施例2低沸塔側(cè)物流排硼(Borausschle訓(xùn)ng)圖2表示本發(fā)明蒸餾裝置的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案，它包括含蒸發(fā)器11a和冷凝器lib的第一蒸餾塔11,含蒸發(fā)器12a和冷凝器12b的第二蒸餾塔12，用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)13,用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)14，用于將低沸物塔頂物流從第一蒸餾塔11輸送入第二蒸餾塔12的機(jī)構(gòu)15,用于分離貧硼三氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)16，用于分離貧硼低沸物塔頂物流的機(jī)構(gòu)17，從該物流分離出惰性氣體18和二氯硅烷餾分19,以及用于分離第二蒸餾塔12貧硼側(cè)物流的機(jī)構(gòu)20，其中分流出的側(cè)物流20用于排硼。圖2還示出用于導(dǎo)出經(jīng)純化的二氯石圭烷物流19和三氯石圭烷物流16的機(jī)構(gòu)21。表2根據(jù)一個(gè)具體實(shí)施例列出了根據(jù)實(shí)施例2裝置中各部分物流各組分的質(zhì)量份額，并給出各質(zhì)量流量<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>實(shí)施例3以側(cè)物流的形式制備TCS和在低沸塔側(cè)物流有效排硼，圖3表示本發(fā)明蒸餾裝置的另一優(yōu)選實(shí)施方案，該蒸餾裝置包括含蒸發(fā)器31a和冷凝器31b的第一蒸餾塔31,含蒸發(fā)器32a和冷凝器32b的第二蒸餾塔32,用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)33,用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)34，將低沸物塔頂物流從第一蒸餾塔31輸送入第二蒸餾塔32的機(jī)構(gòu)35,用于分離第二蒸餾塔32的貧硼三氯硅烷的塔底物流的機(jī)構(gòu)36,用于分離第一蒸餾塔31的貧硼三氯硅烷側(cè)物流的機(jī)構(gòu)42,用于分離貧硼低沸物塔頂物流的^L構(gòu)37，由該物流分離出惰性氣體38和二氯硅烷餾分39，以及用于分離第二蒸餾塔32的富硼側(cè)物流的才凡構(gòu)40,其中分流出的側(cè)物流40用于排硼。此外，圖3還示出了用于導(dǎo)出經(jīng)凈化二氯硅烷物流39和三氯硅烷物流36和42的機(jī)構(gòu)41。表3根據(jù)一個(gè)具體實(shí)施例列出了根據(jù)實(shí)施例3裝置中各部分物流中各組分的質(zhì)量份額并給出各質(zhì)量流量<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>實(shí)施例4作為側(cè)物流制取TCS,經(jīng)塔頂物流回收DCS,在側(cè)物流中排硼圖4示出了本發(fā)明的蒸餾裝置的一個(gè)備選實(shí)施方案，它包括含蒸發(fā)器51a和冷凝器51b的蒸餾塔51,用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)53，用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)54，用于分離貧硼三氯硅烷側(cè)物流的機(jī)構(gòu)56，用于分離貧硼低沸物塔頂物流的機(jī)構(gòu)57,從該塔頂物流分離出惰性氣體58和二氯硅烷餾分59,以及用于分離蒸餾塔51的富硼側(cè)物流的才幾構(gòu)60,其中該分流出來的側(cè)物流60用于排硼。此外，圖4還示出了用于導(dǎo)出經(jīng)凈化的二氯硅烷物流59和三氯硅烷物流56的機(jī)構(gòu)61。表4根據(jù)一個(gè)具體實(shí)施例列出了根據(jù)實(shí)施例4的裝置的各部分物流中各組分的質(zhì)量份額并給出各質(zhì)量流量<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>實(shí)施例5在側(cè)物流中制取TCS,經(jīng)塔頂物流排硼，不回收DCS圖5示出了本發(fā)明蒸餾裝置的另一備選實(shí)施方案，它包括含蒸發(fā)器71a和冷凝器71b的蒸餾塔71，用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)73,用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)74,用于分離貧硼三氯硅烷側(cè)物流的機(jī)構(gòu)76,用于分離富硼低沸物塔頂物流的機(jī)構(gòu)77,從該塔頂物流分離出惰性氣體78和富硼硅烷餾分79,而且此股硅烷物流79用于排硼。權(quán)利要求1.從含硼氯硅烷混合物經(jīng)蒸餾分離富硼蒸餾物流來制備貧硼氯硅烷的方法，其中在一或多個(gè)蒸餾塔的裝置中，至少在一個(gè)蒸餾塔中分流出富硼的側(cè)物流并進(jìn)行處置或輸送到其它應(yīng)用中。2.從含硼氯硅烷混合物經(jīng)蒸餾分離富硼蒸餾物流來制備貧硼三氯硅烷的方法，其中在只有一個(gè)蒸餾塔的裝置中分流出貧硼三氯硅烷側(cè)物流并豐餘送到進(jìn)一步后處理或其它應(yīng)用中，以及富硼」答頂物流或側(cè)物流被分流出并進(jìn)行處置或輸送到其它應(yīng)用中。3.權(quán)利要求1或2的方法，其中在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔中分流出貧硼四氯硅烷塔底物流并輸送到進(jìn)一步后處理或其它應(yīng)用中。4.上述權(quán)利要求之一的方法，其中至少在一個(gè)蒸餾塔分流出貧硼三氯硅烷的側(cè)物流或塔底物流并輸送到進(jìn)一步后處理或其它應(yīng)用中。5.權(quán)利要求4的方法，其中在多個(gè)蒸餾塔的情況下在不處于最下面的蒸餾塔之一中分流出貧硼三氯硅烷塔底物流。6.權(quán)利要求4的方法，其中在多個(gè)蒸餾塔的情況下在這些蒸餾塔之一中分流出側(cè)物流，和在位于上述蒸餾塔之上的其它蒸餾塔之一中分流出貧硼三氯硅烷塔底物流，其中任選地將兩股貧硼三氯硅烷物流匯集。7.上述權(quán)利要求之一的方法，其中在蒸餾塔中或者在多個(gè)蒸餾塔的情況下在不處于最下面的蒸餾塔的至少之一中分流出貧硼二氯硅烷塔頂物流，并且任選地與一股或多股貧硼三氯硅烷物流匯集或被輸送到其它應(yīng)用中。8.權(quán)利要求7的方法，其中從蒸餾塔或最上面的蒸餾塔的塔頂物流中分離出惰性氣體。9.上述權(quán)利要求之一的方法，其中蒸餾在0.5-22bar,優(yōu)選在1-10bar的壓力進(jìn)行，而且在多個(gè)蒸餾塔的情況下各自壓力可相互獨(dú)立。10.權(quán)利要求1-9之一的方法，其中含硼氯硅烷混合物含2-98重量°/,優(yōu)選40-95重量％的四氯>5圭烷；1-97重量％,優(yōu)選5-50重量％的三氯硅烷；0.01-20重量％,優(yōu)選0.05-5重量％二氯硅烷以及0.1-20重量ppm,優(yōu)選0.5-5重量ppm的BC13。11.權(quán)利要求1_9之一的方法，其中富硼側(cè)物流至少含蒸餾進(jìn)料中所含的BCh量的20%,優(yōu)選至少含其50%。12.權(quán)利要求1-9之一的方法，其中一股或多股貧硼三氯硅烷側(cè)物流和/或塔頂物流含多于90重量％,優(yōu)選99重量％的三氯硅烷，而且BC13份額低于蒸餾進(jìn)料中的份額。13.權(quán)利要求1-9之一的方法，其中貧硼低沸物塔頂物流含惰性氣體和含蒸耀進(jìn)料所含BCh的量的最多60%，優(yōu)選含其最多50%。14.權(quán)利要求8的方法，其中匯集的貧硼三氯硅烷和二氯硅烷物流中BCl3的份額低于蒸餾進(jìn)料中的份額。15.從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設(shè)備，包括a)適宜于蒸餾含硼氯硅烷混合物的一個(gè)或多個(gè)蒸餾塔，b)用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔內(nèi)，并適宜于導(dǎo)入優(yōu)選1000-800000kg/h的質(zhì)量流量，c)用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在蒸餾塔或最下面的蒸鎦塔內(nèi)，并適宜于導(dǎo)出優(yōu)選500-750000kg/h的質(zhì)量流量，d)用于分離貧硼三氯硅烷側(cè)物流或塔底物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在至少一個(gè)蒸餾塔內(nèi)并適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1000-50GOOkg/h的質(zhì)量流量，e)用于分離貧硼低沸物、主要是二氯硅烷，的塔頂物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)設(shè)置在不處于最下面的蒸餾塔的至少之一內(nèi)并適宜于導(dǎo)出優(yōu)選10-1000kg/h的質(zhì)量流量，f)用于從蒸餾塔或者在多個(gè)蒸餾塔的情況下從最上面的蒸餾塔的塔頂物流分離惰性氣體的機(jī)構(gòu)，以及g)任選地，用于匯集來自塔頂物流的貧硼低沸物，主要是二氯硅烷，與一種或多種之前分離出的貧硼三氯硅烷物流的機(jī)構(gòu)，以及用于導(dǎo)出經(jīng)提純氯硅烷物流的機(jī)構(gòu)，其中后者適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1000-50000kg/h的質(zhì)量流量，其中至少在蒸餾塔之一中設(shè)置用于分離富硼側(cè)物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1_100kg/h的質(zhì)量流量。16.用于從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設(shè)備，包括a)適宜于蒸餾含硼氯硅烷混合物的蒸餾塔，b)設(shè)置在蒸鎦塔內(nèi)的用于導(dǎo)入含硼氯硅烷混合物的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)入優(yōu)選1000-800000kg/h的質(zhì)量流量，C)設(shè)置在蒸餾塔內(nèi)的用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選500-750000kg/h的質(zhì)量流量，d)設(shè)置在蒸餾塔內(nèi)的用于分離貧硼三氯硅烷側(cè)物流的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1000-50000kg/h的質(zhì)量流量，和e)用于從蒸餾塔塔頂物流分離惰性氣體的機(jī)構(gòu)，其中在蒸餾塔內(nèi)設(shè)置用于分離富硼塔頂物流或側(cè)物流的機(jī)構(gòu)，以便分離硼，該機(jī)構(gòu)適宜于導(dǎo)出優(yōu)選1-100kg/h的質(zhì)量流量。全文摘要本發(fā)明涉及從含硼氯硅烷混合物經(jīng)蒸餾分離出富硼蒸餾物流制備貧硼氯硅烷的方法，其中在一或多個(gè)蒸餾塔的裝置中，至少在一個(gè)蒸餾塔中分流出富硼的側(cè)物流并進(jìn)行處置或輸送到其它應(yīng)用中。本方法還涉及從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設(shè)備。文檔編號(hào)C01B33/00GK101269815SQ200810086559公開日2008年9月24日申請(qǐng)日期2008年3月20日優(yōu)先權(quán)日2007年3月21日發(fā)明者A·內(nèi)爾特,C·施瓦茨,D·施瓦茨,H·勞勒德,H·塞勒,I·波利申請(qǐng)人:贏創(chuàng)德固賽有限責(zé)任公司