半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，尤其是一種半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]蒸發(fā)鍍膜是將熔點(diǎn)較低的金屬進(jìn)行加熱，使得金屬蒸發(fā)并附著于待加工的圓片之上以形成鍍膜的工藝。現(xiàn)有鍍膜工藝中，金屬蒸發(fā)產(chǎn)生的氣相金屬通過(guò)自由運(yùn)動(dòng)與圓片相接觸，其勢(shì)必導(dǎo)致加工過(guò)程中，大量的金屬得以揮發(fā)至工作腔室內(nèi)其余區(qū)域，從而使得原料產(chǎn)生不必要的浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其可使得金屬鍍膜原料朝向待加工圓片位置運(yùn)動(dòng)，以避免原料的浪費(fèi)。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其包括有工作腔室，工作腔室下端面設(shè)置有用于放置金屬物料的放置臺(tái)，放置臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有電熱源，工作腔室上端部設(shè)置有用于固定圓片的固定臺(tái)，固定臺(tái)由設(shè)置在工作腔室外部的電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；所述放置臺(tái)的側(cè)端部設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向管道，其連通至設(shè)置在工作腔室外部的空氣壓縮機(jī)，多個(gè)導(dǎo)向管道關(guān)于放置臺(tái)的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，且其均朝向固定臺(tái)的軸線進(jìn)行延伸。
[0005]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述工作腔室的上端部設(shè)置有輔助導(dǎo)向管道，其連通至設(shè)置在工作腔室外部的真空吸附栗；所述輔助導(dǎo)向管道成環(huán)形分布，且其直徑在豎直方向上由下至上逐漸增加，輔助導(dǎo)向管道于工作腔室內(nèi)部的端部直徑與固定臺(tái)的直徑相同。采用上述設(shè)計(jì)，其可通過(guò)輔助導(dǎo)向管道的結(jié)構(gòu)設(shè)置，使得其形成自固定臺(tái)軸線朝向其邊部進(jìn)行擴(kuò)散的氣流，從而使得在導(dǎo)向管道作用下朝向固定臺(tái)端面上運(yùn)動(dòng)的氣相金屬得以在固定臺(tái)各個(gè)范圍內(nèi)均勻分布，從而使得鍍膜均度與精度均可得以改善。
[0006]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述輔助導(dǎo)向管道與真空吸附栗之間通過(guò)多根吸附管道進(jìn)行連接，多根吸附管道關(guān)于固定臺(tái)的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱；每一根吸附管道的直徑均在真空吸附栗朝向輔助導(dǎo)向管道的延伸方向上逐漸增加。采用上述設(shè)計(jì)，其可通過(guò)吸附管道的位置設(shè)置使得輔助導(dǎo)向管道各個(gè)位置可產(chǎn)生均勻的吸附作用。
[0007]采用上述技術(shù)方案的半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其可通過(guò)導(dǎo)向管道所輸出的流動(dòng)氣體，使得金屬蒸發(fā)后產(chǎn)生的氣相金屬得以在氣流作用下朝向固定臺(tái)的端面進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，從而避免了氣相金屬無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)而導(dǎo)致的鍍膜原料浪費(fèi)現(xiàn)象，同時(shí)亦可顯著改善圓片鍍膜的效果。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本發(fā)明示意圖； 附圖標(biāo)記列表:
1一工作腔室、2—放置臺(tái)、3—固定臺(tái)、4一電機(jī)、5—導(dǎo)向管道、6—空氣壓縮機(jī)、7—輔助導(dǎo)向管道、8—真空吸附栗、9 一吸附管道。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解下述【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。
[0010]實(shí)施例1
如圖1所示的一種半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其包括有工作腔室1，工作腔室1下端面設(shè)置有用于放置金屬物料的放置臺(tái)2，放置臺(tái)2內(nèi)部設(shè)置有電熱源，工作腔室1上端部設(shè)置有用于固定圓片的固定臺(tái)3，固定臺(tái)3由設(shè)置在工作腔室1外部的電機(jī)4進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；所述放置臺(tái)2的側(cè)端部設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向管道5，其連通至設(shè)置在工作腔室1外部的空氣壓縮機(jī)6，多個(gè)導(dǎo)向管道5關(guān)于放置臺(tái)2的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，且其均朝向固定臺(tái)3的軸線進(jìn)行延伸。
[0011]采用上述技術(shù)方案的半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其可通過(guò)導(dǎo)向管道所輸出的流動(dòng)氣體，使得金屬蒸發(fā)后產(chǎn)生的氣相金屬得以在氣流作用下朝向固定臺(tái)的端面進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，從而避免了氣相金屬無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)而導(dǎo)致的鍍膜原料浪費(fèi)現(xiàn)象，同時(shí)亦可顯著改善圓片鍍膜的效果。
[0012]實(shí)施例2
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述工作腔室1的上端部設(shè)置有輔助導(dǎo)向管道7，其連通至設(shè)置在工作腔室1外部的真空吸附栗8 ;所述輔助導(dǎo)向管道7成環(huán)形分布，且其直徑在豎直方向上由下至上逐漸增加，輔助導(dǎo)向管道7于工作腔室1內(nèi)部的端部直徑與固定臺(tái)3的直徑相同。采用上述設(shè)計(jì)，其可通過(guò)輔助導(dǎo)向管道的結(jié)構(gòu)設(shè)置，使得其形成自固定臺(tái)軸線朝向其邊部進(jìn)行擴(kuò)散的氣流，從而使得在導(dǎo)向管道作用下朝向固定臺(tái)端面上運(yùn)動(dòng)的氣相金屬得以在固定臺(tái)各個(gè)范圍內(nèi)均勻分布，從而使得鍍膜均度與精度均可得以改善。
[0013]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述輔助導(dǎo)向管道7與真空吸附栗8之間通過(guò)四根吸附管道9進(jìn)行連接，多根吸附管道9關(guān)于固定臺(tái)3的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱；每一根吸附管道9的直徑均在真空吸附栗8朝向輔助導(dǎo)向管道7的延伸方向上逐漸增加。采用上述設(shè)計(jì)，其可通過(guò)吸附管道的位置設(shè)置使得輔助導(dǎo)向管道各個(gè)位置可產(chǎn)生均勻的吸附作用。
[0014]本實(shí)施例其余特征與優(yōu)點(diǎn)均與實(shí)施例1相同。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其包括有工作腔室，工作腔室下端面設(shè)置有用于放置金屬物料的放置臺(tái)，放置臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有電熱源，工作腔室上端部設(shè)置有用于固定圓片的固定臺(tái)，固定臺(tái)由設(shè)置在工作腔室外部的電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；其特征在于，所述放置臺(tái)的側(cè)端部設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向管道，其連通至設(shè)置在工作腔室外部的空氣壓縮機(jī)，多個(gè)導(dǎo)向管道關(guān)于放置臺(tái)的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，且其均朝向固定臺(tái)的軸線進(jìn)行延伸。2.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述工作腔室的上端部設(shè)置有輔助導(dǎo)向管道，其連通至設(shè)置在工作腔室外部的真空吸附栗；所述輔助導(dǎo)向管道成環(huán)形分布，且其直徑在豎直方向上由下至上逐漸增加，輔助導(dǎo)向管道于工作腔室內(nèi)部的端部直徑與固定臺(tái)的直徑相同。3.按照權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述輔助導(dǎo)向管道與真空吸附栗之間通過(guò)多根吸附管道進(jìn)行連接，多根吸附管道關(guān)于固定臺(tái)的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱；每一根吸附管道的直徑均在真空吸附栗朝向輔助導(dǎo)向管道的延伸方向上逐漸增加。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其包括有工作腔室，工作腔室下端面設(shè)置有用于放置金屬物料的放置臺(tái)，工作腔室上端部設(shè)置有用于固定圓片的固定臺(tái)；所述放置臺(tái)的側(cè)端部設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向管道，其連通至設(shè)置在工作腔室外部的空氣壓縮機(jī)，多個(gè)導(dǎo)向管道關(guān)于放置臺(tái)的軸線成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，且其均朝向固定臺(tái)的軸線進(jìn)行延伸；采用上述技術(shù)方案的半導(dǎo)體加工用蒸發(fā)臺(tái)的鍍膜原料導(dǎo)向裝置，其可通過(guò)導(dǎo)向管道所輸出的流動(dòng)氣體，使得金屬蒸發(fā)后產(chǎn)生的氣相金屬得以在氣流作用下朝向固定臺(tái)的端面進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，從而避免了氣相金屬無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)而導(dǎo)致的鍍膜原料浪費(fèi)現(xiàn)象，同時(shí)亦可顯著改善圓片鍍膜的效果。
【IPC分類】C23C14/24
【公開(kāi)號(hào)】CN105316626
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510806222
【發(fā)明人】史進(jìn), 伍志軍
【申請(qǐng)人】蘇州賽森電子科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月10日
【申請(qǐng)日】2015年11月20日