一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種直流磁控濺射沉積薄膜技術(shù)，具體涉及一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜太陽(yáng)能電池通常用磁控直流濺射技術(shù)沉積金屬背電極，背電極通常是幾層導(dǎo)電膜疊層構(gòu)成。以頂層金屬膜層選用鋁膜層為例，其良好的導(dǎo)電性可以作為電池的負(fù)極，收集電流，焊接工序中與焊帶焊接，將電流引出。以臥式直流磁控濺射設(shè)備沉積鋁膜層，此種方式可沉積大面積薄膜，成膜均勻性好，生產(chǎn)效率高。但其主要問(wèn)題是因靶材四周有陽(yáng)極框包圍，隨著使用時(shí)間加長(zhǎng)，靶材的壓條與外圍陽(yáng)極框間堆積大量的鋁粉塵，導(dǎo)致靶材陰極與陽(yáng)極連通發(fā)生短路。
[0003]基于直流磁控濺射技術(shù)，造成陰陽(yáng)極短路原因如下:靶材作為濺射陰極連通直流電源，靶材外圍區(qū)域?yàn)殛?yáng)極，陽(yáng)極所有材料均為不銹鋼材質(zhì)。濺射方式采用在腔式中通入氬氣，電離出氬離子，轟擊靶材表面，濺射出來(lái)的鋁原子絕大部分附著到基板上形成薄膜，但是有少部分由于能量不夠飄落到靶材周邊區(qū)域，即陽(yáng)極框附近，隨著使用時(shí)間加長(zhǎng)，使陽(yáng)極框與靶材壓條間存在大量的鋁粉末，最后連通陰陽(yáng)極，發(fā)生短路。
[0004]曾經(jīng)采用削薄靶材壓條，進(jìn)而增加壓條與陽(yáng)極框之間的距離來(lái)減緩短路現(xiàn)象的發(fā)生。但是，此方案不能完全解決短路問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明為解決現(xiàn)有靶材與陽(yáng)極框短路而導(dǎo)致制程無(wú)法啟動(dòng)或異常停止的問(wèn)題，進(jìn)而提出一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法。
[0006]本發(fā)明為解決上述問(wèn)題采取技術(shù)方案是:
[0007]所述方法是通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)的:
[0008]步驟一:確定粘結(jié)區(qū)域:陽(yáng)極框的四周通過(guò)螺栓固定在靶材底座的上端，聚四氟乙烯薄片的粘結(jié)區(qū)域設(shè)置在陽(yáng)極框的內(nèi)側(cè)面上且位于靶材底座的內(nèi)側(cè)；
[0009]步驟二:粘結(jié)聚四氟乙烯薄片:將聚四氟乙烯薄片按照粘結(jié)區(qū)域的形狀進(jìn)行剪切，將剪切好的聚四氟乙烯薄片通過(guò)耐高溫膠或耐高溫雙面膠帶粘結(jié)在陽(yáng)極框上的粘結(jié)區(qū)域上。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:使用聚四氟乙烯薄片粘貼在靶材陽(yáng)極框上，隔絕陽(yáng)極框與靶材壓條，以解決短路的問(wèn)題，使制程正常啟動(dòng)或進(jìn)行，提高產(chǎn)品的良率。另外在量產(chǎn)期間可大大延長(zhǎng)靶材保養(yǎng)周期，提高設(shè)備利用率，此種處理方式易于操作，成本投入低，主要表現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:
[0011]產(chǎn)品方面:1、靶座陰陽(yáng)極間不再發(fā)生短路。短路不再發(fā)生，工藝制程就不會(huì)在待命時(shí)無(wú)法啟動(dòng)或異常停止，產(chǎn)品也不再出現(xiàn)缺少金屬膜層的現(xiàn)象。2、不再發(fā)生短路現(xiàn)象，就不會(huì)發(fā)生因短路造成的“尖端放電“現(xiàn)象，即不再發(fā)生因尖端放電產(chǎn)生的火花灼傷產(chǎn)品膜層表面的現(xiàn)象。3、聚四氟乙烯(特氟龍)具有良好的導(dǎo)熱性，可以導(dǎo)走粉塵聚集處的熱量，避免其因熱膨脹而使金屬粉塵脫落在產(chǎn)品表面上。從以上三點(diǎn)出發(fā)考慮，可提高產(chǎn)品良率3%以上。
[0012]設(shè)備方面:此種處理大大降低了設(shè)備的保養(yǎng)頻率，即提高了設(shè)備稼動(dòng)率、產(chǎn)能，綜合考慮成本降低了 1%以上。按照四周陽(yáng)極框形狀，粘結(jié)聚四氟乙烯薄片的處理方式具有操作簡(jiǎn)單，投入成本低等特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明方法中所使用的直流磁控濺射裝置的整體結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是本發(fā)明方法中粘結(jié)區(qū)域3的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]【具體實(shí)施方式】一:結(jié)合圖1和圖2說(shuō)明，本實(shí)施方式所述一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法是通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)的:
[0015]步驟一:確定粘結(jié)區(qū)域:陽(yáng)極框I的四周通過(guò)螺栓固定在靶材底座2的上端，聚四氟乙烯薄片的粘結(jié)區(qū)域3設(shè)置在陽(yáng)極框I的內(nèi)側(cè)面上且位于靶材底座2的內(nèi)側(cè)；
[0016]步驟二:粘結(jié)聚四氟乙烯薄片:將聚四氟乙烯薄片按照粘結(jié)區(qū)域3的形狀進(jìn)行剪切，將剪切好的聚四氟乙烯薄片通過(guò)耐高溫膠或耐高溫雙面膠帶粘結(jié)在陽(yáng)極框I上的粘結(jié)區(qū)域3上。
[0017]在直流磁控濺射過(guò)程中，靶材底座2的上端設(shè)有絕緣層4，絕緣層4通常采用聚四氟乙烯層，絕緣層4的上端的兩邊設(shè)有兩個(gè)靶材壓條5，絕緣層4的上端設(shè)有靶材6，靶材底座2的上端面上通過(guò)螺栓固定有陽(yáng)極框1，靶材6作為濺射陰極連通直流電源，靶材外圍區(qū)域?yàn)殛?yáng)極，陽(yáng)極所有材料均為不銹鋼材質(zhì)。濺射方式采用在腔式中通入氬氣，電離出氬離子，轟擊靶材6的表面，濺射出來(lái)的鋁原子絕大部分附著到基板上形成薄膜，但是有少部分由于能量不夠飄落到靶材周邊區(qū)域，即陽(yáng)極框I附近，在陽(yáng)極框I的內(nèi)側(cè)面上粘結(jié)有聚四氟乙烯薄片，將鋁粉末與陽(yáng)極框I之間隔離，有效的防止陽(yáng)極框I與靶材壓條5之間陰陽(yáng)極連通，發(fā)生短路。
[0018]此外，用直流磁控濺射設(shè)備沉積金屬膜層，在濺射過(guò)程中靶面的最高溫度可達(dá)400攝氏度(靶材背后有冷卻水為其冷卻降溫，暗區(qū)溫度接近300攝氏度)。為滿足此條件下對(duì)粘貼薄片的膠的要求，為滿足此環(huán)境要求，粘結(jié)聚四氟乙烯薄片的膠為耐高溫膠。
[0019]靶材6安裝使用前，用耐高溫膠或耐高溫雙面膠帶將聚四氟乙烯薄片粘附到陽(yáng)極框I上的粘結(jié)區(qū)域上，粘結(jié)區(qū)域即為陽(yáng)極框I上除去與靶材底座2固定區(qū)域以外的所有區(qū)域。
[0020]【具體實(shí)施方式】二:結(jié)合圖1和圖2說(shuō)明，本實(shí)施方式所述步驟二中，聚四氟乙烯薄片的厚度為100 ym?500 μm。其它方法步驟與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0021]為保證絕緣效果，聚四氟乙烯薄片的厚度為ΙΟΟμ???500 μπι，此外可用在陽(yáng)極框I上附著一定厚度的聚四氟乙烯涂層代替聚四氟乙烯薄片，也可以用其他耐高溫絕緣體材料代替聚四氟乙烯。
[0022]【具體實(shí)施方式】三:結(jié)合圖1和圖2說(shuō)明，本實(shí)施方式所述步驟二中，耐高溫膠為耐高溫硅膠。其它方法步驟與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0023]耐高溫膠可優(yōu)選用道康寧736有機(jī)硅膠，耐高溫雙面膠帶可優(yōu)選用上海的優(yōu)DY4589，耐高溫雙面膠帶的膠黏劑為日本信越有機(jī)硅壓敏膠，將聚四氟乙烯薄片粘結(jié)在粘結(jié)區(qū)域3上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法，其特征在于:所述方法是通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)的: 步驟一:確定粘結(jié)區(qū)域:陽(yáng)極框(I)的四周通過(guò)螺栓固定在靶材底座(2)的上端，聚四氟乙烯薄片的粘結(jié)區(qū)域(3)設(shè)置在陽(yáng)極框(I)的內(nèi)側(cè)面上且位于靶材底座(2)的內(nèi)側(cè)； 步驟二:粘結(jié)聚四氟乙烯薄片:將聚四氟乙烯薄片按照粘結(jié)區(qū)域(3)的形狀進(jìn)行剪切，將剪切好的聚四氟乙烯薄片通過(guò)耐高溫膠或耐高溫雙面膠帶粘結(jié)在陽(yáng)極框(I)上的粘結(jié)區(qū)域⑶上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法，其特征在于:所述步驟二中，聚四氟乙稀薄片的厚度為100 μ???500 μπι。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法，其特征在于:所述步驟二中，耐高溫膠為耐高溫硅膠。
【專利摘要】一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法。本發(fā)明涉及一種直流磁控濺射沉積薄膜技術(shù)，具體涉及一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法。本發(fā)明為解決現(xiàn)有靶材與陽(yáng)極框短路而導(dǎo)致制程無(wú)法啟動(dòng)或異常停止的問(wèn)題。一種通過(guò)粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法包括步驟一：確定粘結(jié)區(qū)域；步驟二：粘結(jié)聚四氟乙烯薄片。本發(fā)明主要用于直流磁控濺射沉積薄膜。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號(hào)】CN104947056
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510292857
【發(fā)明人】楊影
【申請(qǐng)人】黑龍江漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請(qǐng)日】2015年6月1日