本實(shí)用新型涉及硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種用于石墨舟上下片裝置。

背景技術(shù)：

由于太陽(yáng)光照射到太陽(yáng)能電池的硅片上，其中一部分太陽(yáng)光會(huì)被反射，即使對(duì)將硅表面設(shè)計(jì)成絨面，雖然入射光會(huì)產(chǎn)生多次反射可以增加光的吸收率，但是，還是會(huì)有一部分的太陽(yáng)光會(huì)被反射，為了減少太陽(yáng)光的反射損失，通常所采取的辦法是在太陽(yáng)能電池的硅片表面覆蓋一層減反射膜，這層薄膜可以減少太陽(yáng)光的反射率，增加光電轉(zhuǎn)換效率，在晶體硅表面淀積減反射膜技術(shù)中，氮化硅膜具有高絕緣性、化學(xué)穩(wěn)定性好、致密性好、硬度高等特點(diǎn)，同時(shí)具有良好的掩蔽金屬和水離子沉積的能力，從而被廣泛采用。

在晶體硅太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中，制備氮化硅膜通常采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法，簡(jiǎn)稱(chēng)為PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，PECVD是利用強(qiáng)電場(chǎng)使所需的氣體源分子電離產(chǎn)生等離子體，等離子體中含有很多活性很高的化學(xué)基團(tuán)，這些基團(tuán)經(jīng)過(guò)經(jīng)一系列化學(xué)和等離子體反應(yīng)，在硅片表面形成固態(tài)薄膜。

目前，在晶體硅太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中，用于制備氮化硅膜的裝置主要包括設(shè)置有爐門(mén)的真空沉積室，真空沉積室內(nèi)設(shè)有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉積室上設(shè)有進(jìn)氣口與排氣口，所述進(jìn)氣口上連接有用于通入制程氣體的進(jìn)氣管，所述排氣口上連接有排放管，排放管末端連接有真空泵，真空泵的進(jìn)口與排放管的出口相連，真空泵的出口連接有尾排管，其中，在將硅片放置于石墨舟上或?qū)⒐杵瑥氖蹆?nèi)取出時(shí)通過(guò)人工實(shí)現(xiàn)硅片的取放，這是一種單調(diào)、重復(fù)的體力勞動(dòng)，效率非常低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種工作效率較高且能夠減少硅片受污染幾率的用于石墨舟上下片裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：該用于石墨舟上下片裝置，包括支架，所述支架上設(shè)置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方設(shè)置有用于取放硅片的機(jī)械手，所述支架上設(shè)置有硅片上料盒與硅片下料盒，所述機(jī)械手將硅片上料盒內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)放置的硅片取出放入硅片下料盒內(nèi)；所述硅片下料盒通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)固定在支架上，所述硅片上料盒上連接有支撐架，所述支架上設(shè)置有用于使支撐架上下移動(dòng)的升降裝置，所述硅片上料盒的外側(cè)設(shè)置有自動(dòng)上片裝置；

所述硅片上料盒包括底板，所述底板的上表面設(shè)置有第一擋板與第二擋板，所述第一擋板與第二擋板平行設(shè)置，所述第一擋板朝向第二擋板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第一卡槽，所述第二擋板朝向第一擋板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第二卡槽，多個(gè)第一卡槽與多個(gè)第二卡槽一一對(duì)應(yīng)，硅片的一端卡入第一卡槽內(nèi)，硅片的另一端卡入與第一卡槽對(duì)應(yīng)的第二卡槽內(nèi)，所述相鄰的兩個(gè)第一卡槽之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板之間的間距相同，所述第一卡槽的數(shù)量與卡板的數(shù)量相同，所述硅片下料盒與硅片上料盒的結(jié)構(gòu)相同；

所述自動(dòng)上片裝置包括無(wú)頭的第一輸送帶、無(wú)頭的第二輸送帶、第一主動(dòng)輪、第二主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪、第二從動(dòng)輪，無(wú)頭的第一輸送帶依次繞過(guò)第一主動(dòng)輪和第一從動(dòng)輪并且第一輸送帶被第一主動(dòng)輪和第一從動(dòng)輪繃緊，無(wú)頭的第二輸送帶依次繞過(guò)第二主動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪并且第二輸送帶被第二主動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪繃緊，第一主動(dòng)輪與第二主動(dòng)輪分別與驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連，所述第一主動(dòng)輪與第二主動(dòng)輪的中心軸線(xiàn)互相重合，所述第一從動(dòng)輪與第二從動(dòng)輪的中心軸線(xiàn)互相重合，所述第一輸送帶與第二輸送帶互相平行且位于上層第一輸送帶與位于上層的第二輸送帶位于同一水平面，所述第一主動(dòng)輪靠近硅片上料盒；所述第一主動(dòng)輪、第二主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪、第二從動(dòng)輪均通過(guò)軸承固定在支架上，所述第一輸送帶與第二輸送帶之間設(shè)置有支撐平臺(tái)，所述支撐平臺(tái)的上表面設(shè)置有接近開(kāi)關(guān)，所述接近開(kāi)關(guān)位于第一輸送帶與第二輸送帶之間且接近開(kāi)關(guān)處于位于上層的第一輸送帶所在平面的下方，所述接近開(kāi)關(guān)上連接有控制器，所述控制器與升降裝置、驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連接；

所述機(jī)械手包括移動(dòng)平臺(tái)、兩個(gè)互相平行設(shè)置的第一滑軌，兩個(gè)第一滑軌固定在支架上，所述移動(dòng)平臺(tái)的下表面設(shè)置有兩個(gè)互相平行的第一滑槽，兩個(gè)第一滑軌分別卡入兩個(gè)第一滑槽內(nèi)，所述移動(dòng)平臺(tái)上連接有用于使移動(dòng)平臺(tái)來(lái)回移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述移動(dòng)平臺(tái)的上表面設(shè)置有第二滑槽，所述第二滑槽與第一滑槽互相垂直，所述第二滑槽內(nèi)設(shè)置有第一滑塊，所述第一滑塊沿第二滑槽來(lái)回滑動(dòng)，所述第二滑槽內(nèi)設(shè)置有用于使第一滑塊來(lái)回移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一滑塊上固定有第一支撐板，所述第一支撐板水平設(shè)置，所述第一支撐板的下表面固定有第一U形支撐架，所述第一支撐板與第一U形支撐架?chē)傻谝煌?，所述移?dòng)平臺(tái)穿過(guò)第一通孔，所述第一U形支撐架的底部固定有第二支撐板，所述第二支撐板豎直設(shè)置，所述第二支撐板的一側(cè)設(shè)置有第一支撐桿，所述第二支撐板上設(shè)置有用于使第一支撐桿上下移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一支撐桿上固定有第一支撐架，所述第一支撐架上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過(guò)軸承固定在第一支撐架上，所述第一支撐架上設(shè)置有用于使第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的末端連接有硅片吸取裝置；

所述硅片吸取裝置包括底座，所述底座的一側(cè)表面固定在第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的末端，底座的另一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板，多個(gè)卡板依次平行設(shè)置，相鄰的兩個(gè)卡板之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，且卡板的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每個(gè)卡板上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔，每個(gè)固定孔內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤(pán)，吸盤(pán)上連接有多個(gè)彈簧，多個(gè)彈簧與多個(gè)固定孔一一對(duì)應(yīng)，彈簧的一端固定在吸盤(pán)上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線(xiàn)槽，導(dǎo)線(xiàn)槽的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線(xiàn)槽與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線(xiàn)槽內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管，壓縮空氣管的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤(pán)相連，所述吸盤(pán)、多個(gè)彈簧、每個(gè)固定孔內(nèi)的固定板、每個(gè)導(dǎo)線(xiàn)槽內(nèi)的壓縮空氣管均位于卡板的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)。

進(jìn)一步的是，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二驅(qū)動(dòng)裝置、第三驅(qū)動(dòng)裝置均為電動(dòng)推桿。

進(jìn)一步的是，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置為旋轉(zhuǎn)電機(jī)。

進(jìn)一步的是，每個(gè)卡板上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形。

進(jìn)一步的是，所述第一擋板的上端與第二擋板的上端通過(guò)U形連接板相連。

進(jìn)一步的是，所述可拆卸結(jié)構(gòu)為卡扣。

進(jìn)一步的是，所述升降裝置為步進(jìn)電機(jī)。

進(jìn)一步的是，所述支架上設(shè)置有限位擋塊，所述限位擋塊與位于硅片上料盒的內(nèi)側(cè)，所述限位擋塊的上表面與位于上層的第一輸送帶所在平面之間的間距等于第一卡槽的槽寬。

進(jìn)一步的是，所述第一輸送帶的外側(cè)設(shè)置有推板，推板上連接有電動(dòng)氣缸，所述電動(dòng)氣缸與控制器相連接，所述第二輸送帶的外側(cè)設(shè)置有擋板，所述擋板與推板相對(duì)設(shè)置且二者互相平行，所述接近開(kāi)關(guān)位于推板與擋板之間。

本實(shí)用新型的有益效果是：該用于石墨舟上下片裝置在工作時(shí)，只需將石墨舟放置在托架的指定位置，接著利用自動(dòng)上片裝置將上一個(gè)工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒內(nèi)，然后利用機(jī)械手將硅片上料盒內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)放置的硅片取出放入硅片下料盒內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動(dòng)化，取締人工單調(diào)、繁復(fù)的體力勞動(dòng)，大大降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，節(jié)約了人力成本，而且每次取出和放入的硅片數(shù)量較多，大大提高了工作效率，同時(shí)，整個(gè)過(guò)程中，減少了硅片與人的接觸，降低了硅片被污染的幾率。

附圖說(shuō)明

圖1本實(shí)用新型所述用于石墨舟上下片裝置的主視圖；

圖2本實(shí)用新型所述用于石墨舟上下片裝置的俯視圖；

圖3本實(shí)用新型所述用于石墨舟上下片裝置的部分結(jié)構(gòu)三維示意圖；

圖4本實(shí)用新型所述機(jī)械手的部分結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型所述硅片吸取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本實(shí)用新型所述卡板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本實(shí)用新型所述硅片上料盒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記說(shuō)明：支架1、托架2、機(jī)械手3、移動(dòng)平臺(tái)301、第一滑軌302、第一滑槽303、第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二滑槽305、第一滑塊306、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第一支撐板308、第一U形支撐架309、第一通孔310、第二支撐板311、第一支撐桿312、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第一支撐架314、第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315、第四驅(qū)動(dòng)裝置316、硅片吸取裝置317、底座31701、卡板31702、固定孔31703、固定板31704、吸盤(pán)31705、彈簧31706、導(dǎo)線(xiàn)槽31707、壓縮空氣管31708、硅片上料盒4、底板401、第一擋板402、第二擋板403、第一卡槽404、第二卡槽405、U形連接板406、硅片下料盒5、自動(dòng)上片裝置6、第一輸送帶601、第二輸送帶602、第一主動(dòng)輪603、第一從動(dòng)輪604、驅(qū)動(dòng)電機(jī)605、支撐平臺(tái)606、接近開(kāi)關(guān)607、控制器608、推板609、電動(dòng)氣缸610、擋板611、支撐架7、升降裝置8、限位擋塊9。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1至7所示，該用于石墨舟上下片裝置，包括支架1，所述支架1上設(shè)置有托架2，所述托架2用于放置石墨舟，所述托架2上方設(shè)置有用于取放硅片的機(jī)械手3，所述支架1上設(shè)置有硅片上料盒4與硅片下料盒5，所述機(jī)械手3將硅片上料盒4內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)放置的硅片取出放入硅片下料盒5內(nèi)；所述硅片下料盒5通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)固定在支架1上，所述硅片上料盒4上連接有支撐架7，所述支架1上設(shè)置有用于使支撐架7上下移動(dòng)的升降裝置8，所述硅片上料盒4的外側(cè)設(shè)置有自動(dòng)上片裝置6；所述硅片上料盒4包括底板401，所述底板401的上表面設(shè)置有第一擋板402與第二擋板403，所述第一擋板402與第二擋板403平行設(shè)置，所述第一擋板402朝向第二擋板403的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第一卡槽404，所述第二擋板403朝向第一擋板402的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第二卡槽405，多個(gè)第一卡槽404與多個(gè)第二卡槽405一一對(duì)應(yīng)，硅片的一端卡入第一卡槽404內(nèi)，硅片的另一端卡入與第一卡槽404對(duì)應(yīng)的第二卡槽405內(nèi)，所述相鄰的兩個(gè)第一卡槽404之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距相同，所述第一卡槽404的數(shù)量與卡板31702的數(shù)量相同，所述硅片下料盒5與硅片上料盒4的結(jié)構(gòu)相同；所述自動(dòng)上片裝置6包括無(wú)頭的第一輸送帶601、無(wú)頭的第二輸送帶602、第一主動(dòng)輪603、第二主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪604、第二從動(dòng)輪，無(wú)頭的第一輸送帶601依次繞過(guò)第一主動(dòng)輪603和第一從動(dòng)輪604并且第一輸送帶601被第一主動(dòng)輪603和第一從動(dòng)輪604繃緊，無(wú)頭的第二輸送帶602依次繞過(guò)第二主動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪并且第二輸送帶602被第二主動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪繃緊，第一主動(dòng)輪603與第二主動(dòng)輪分別與驅(qū)動(dòng)電機(jī)605相連，所述第一主動(dòng)輪603與第二主動(dòng)輪的中心軸線(xiàn)互相重合，所述第一從動(dòng)輪604與第二從動(dòng)輪的中心軸線(xiàn)互相重合，所述第一輸送帶601與第二輸送帶602互相平行且位于上層第一輸送帶601與位于上層的第二輸送帶602位于同一水平面，所述第一主動(dòng)輪603靠近硅片上料盒4；所述第一主動(dòng)輪603、第二主動(dòng)輪、第一從動(dòng)輪604、第二從動(dòng)輪均通過(guò)軸承固定在支架1上，所述第一輸送帶601與第二輸送帶602之間設(shè)置有支撐平臺(tái)606，所述支撐平臺(tái)606的上表面設(shè)置有接近開(kāi)關(guān)607，所述接近開(kāi)關(guān)607位于第一輸送帶601與第二輸送帶602之間且接近開(kāi)關(guān)607處于位于上層的第一輸送帶601所在平面的下方，所述接近開(kāi)關(guān)607上連接有控制器608，所述控制器608與升降裝置、驅(qū)動(dòng)電機(jī)605相連接；所述機(jī)械手3包括移動(dòng)平臺(tái)301、兩個(gè)互相平行設(shè)置的第一滑軌302，兩個(gè)第一滑軌302固定在支架1上，所述移動(dòng)平臺(tái)301的下表面設(shè)置有兩個(gè)互相平行的第一滑槽303，兩個(gè)第一滑軌302分別卡入兩個(gè)第一滑槽303內(nèi)，所述移動(dòng)平臺(tái)301上連接有用于使移動(dòng)平臺(tái)301來(lái)回移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置304，所述移動(dòng)平臺(tái)301的上表面設(shè)置有第二滑槽305，所述第二滑槽305與第一滑槽303互相垂直，所述第二滑槽305內(nèi)設(shè)置有第一滑塊306，所述第一滑塊306沿第二滑槽305來(lái)回滑動(dòng)，所述第二滑槽305內(nèi)設(shè)置有用于使第一滑塊306來(lái)回移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置307，所述第一滑塊306上固定有第一支撐板308，所述第一支撐板308水平設(shè)置，所述第一支撐板308的下表面固定有第一U形支撐架309，所述第一支撐板308與第一U形支撐架309圍成第一通孔310，所述移動(dòng)平臺(tái)301穿過(guò)第一通孔310，所述第一U形支撐架309的底部固定有第二支撐板311，所述第二支撐板311豎直設(shè)置，所述第二支撐板311的一側(cè)設(shè)置有第一支撐桿312312，所述第二支撐板311上設(shè)置有用于使第一支撐桿312312上下移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置313，所述第一支撐桿312312上固定有第一支撐架314，所述第一支撐架314上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315通過(guò)軸承固定在第一支撐架314上，所述第一支撐架314上設(shè)置有用于使第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315轉(zhuǎn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)裝置316，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315的末端連接有硅片吸取裝置317；所述硅片吸取裝置317包括底座31701，所述底座31701的一側(cè)表面固定在第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315的末端，底座31701的另一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板31702，多個(gè)卡板31702依次平行設(shè)置，相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，且卡板31702的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每個(gè)卡板31702上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔31703，每個(gè)固定孔31703內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板31704，所述固定板31704的厚度小于卡板31702的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤(pán)31705，吸盤(pán)31705上連接有多個(gè)彈簧31706，多個(gè)彈簧31706與多個(gè)固定孔31703一一對(duì)應(yīng)，彈簧31706的一端固定在吸盤(pán)31705上，另一端固定在固定板31704上，所述卡板31702的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線(xiàn)槽31707，導(dǎo)線(xiàn)槽31707的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線(xiàn)槽31707與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線(xiàn)槽31707內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管31708，壓縮空氣管31708的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤(pán)31705相連，所述吸盤(pán)31705、多個(gè)彈簧31706、每個(gè)固定孔31703內(nèi)的固定板31704、每個(gè)導(dǎo)線(xiàn)槽31707內(nèi)的壓縮空氣管31708均位于卡板31702的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)。該用于石墨舟上下片裝置的工作原理如下所述：在需要將硅片放入石墨舟時(shí)，首先將石墨舟放置在托架2的指定位置，并利用自動(dòng)上片裝置6將上一個(gè)工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒4內(nèi)，直至裝滿(mǎn)硅片上料盒4，由于相鄰的兩個(gè)第一卡槽404之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距相同，因此可以控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使每個(gè)卡板31702均插入硅片上料盒4內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片之間，且由于第一卡槽404的數(shù)量與卡板31702的數(shù)量相同，每個(gè)硅片都會(huì)對(duì)應(yīng)一個(gè)卡板31702，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤(pán)31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，由于相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，因此控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316可以使卡板31702從硅片上料盒4內(nèi)取出并插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，同時(shí)利用自動(dòng)上片裝置6將上一個(gè)工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒4內(nèi)，直至裝滿(mǎn)硅片上料盒4，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤(pán)31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開(kāi)，硅片落入石墨舟內(nèi)，由于卡板31702的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每次可以放置一排硅片，然后控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使卡板31702從石墨舟內(nèi)取出并插入硅片上料盒4內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片之間，進(jìn)行下一次硅片放置，重復(fù)上述過(guò)程便可以將硅片依次放入石墨舟內(nèi)，而且通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313可以控制卡板31702的上下左右前后三個(gè)方向的位移，通過(guò)第四驅(qū)動(dòng)裝置316控制卡板31702的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)卡板31702的精確定位，在需要將硅片從石墨舟取出時(shí)，首先控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使每個(gè)卡板31702均插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤(pán)31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，由于卡板31702的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每次可以取出一排硅片，然后再控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使卡板31702從石墨舟內(nèi)取出并插入硅片下料盒5內(nèi)，并且使每個(gè)硅片的兩端都插入一個(gè)第一卡槽404和第二卡槽405內(nèi)，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤(pán)31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開(kāi)，硅片落入硅片上料盒4內(nèi)，同時(shí)將滿(mǎn)的硅片下料盒5取下?lián)Q上空的硅片下料盒5，再控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使卡板31702從硅片下料盒5內(nèi)取出并插入石墨舟內(nèi)具有硅片的石墨板之間，進(jìn)行下一次硅片取出，重復(fù)上述過(guò)程便可以將硅片依次取出石墨舟并放入硅片下料盒5內(nèi)，整個(gè)過(guò)程可以自動(dòng)進(jìn)行，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動(dòng)化，取締人工單調(diào)、繁復(fù)的體力勞動(dòng)，大大降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，而且每次取出和放入的硅片數(shù)量較多，大大提高了工作效率，同時(shí)，整個(gè)過(guò)程中，減少了硅片與人的接觸，降低了硅片被污染的幾率。

在上述實(shí)施方式中，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313均為電動(dòng)推桿，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置316為旋轉(zhuǎn)電機(jī)。這樣便可以通過(guò)PLC控制程序?qū)Φ谝或?qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316進(jìn)行參數(shù)的自由設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)精確控制，且省時(shí)又省力。

為了使硅片吸取裝置317在移動(dòng)過(guò)程中避免發(fā)生硅片掉落，每個(gè)卡板31702上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形，這樣每個(gè)硅片用三個(gè)吸盤(pán)31705將其吸住，且吸盤(pán)31705組成一個(gè)等腰三角形，其吸力均勻可以牢牢將硅片吸住，避免發(fā)生硅片掉落。

為了保證硅片上料盒4與硅片下料盒5的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，所述第一擋板402的上端與第二擋板403的上端通過(guò)U形連接板406相連。

為了方便將硅片下料盒5安裝在支架1上，同是也便于將其拆卸下來(lái)，所述可拆卸結(jié)構(gòu)優(yōu)選為卡扣。

在利用自動(dòng)上片裝置6將上一個(gè)工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒4內(nèi)時(shí)，只需在開(kāi)始時(shí)通過(guò)升降機(jī)構(gòu)調(diào)整硅片上料盒4的位置，使硅片上料盒4的最下面一個(gè)第一卡槽的下側(cè)面與位于上層的第一輸送帶601所在的平面重合，這樣第一輸送帶601上的硅片便可以直接送入第一卡槽404內(nèi)，由于設(shè)置了接近開(kāi)關(guān)607，當(dāng)硅片從接近開(kāi)關(guān)607上方通過(guò)時(shí)，接近開(kāi)關(guān)607發(fā)出一個(gè)信號(hào)給控制器608，控制器608接收到該信號(hào)后延遲一到兩秒后控制升降裝置8使硅片上料盒4下降一段距離，所述硅片上料盒4下降的距離與第一卡槽404的槽寬相同，這樣可以保證下一個(gè)相鄰的卡槽的下側(cè)面與位于上層的第一輸送帶601所在的平面重合，重復(fù)上述步驟便可以裝滿(mǎn)硅片上料盒4，為了精確控制每次升降的距離，所述升降裝置8優(yōu)選為步進(jìn)電機(jī)。

為了避免硅片在送入硅片上料盒4后從另一側(cè)掉落，所述支架1上設(shè)置有限位擋塊9，所述限位擋塊9與位于硅片上料盒4的內(nèi)側(cè)，所述限位擋塊9的上表面與位于上層的第一輸送帶601所在平面之間的間距等于第一卡槽404的槽寬。

另外，為了保證輸送帶上的硅片能夠精準(zhǔn)的送入硅片上料盒4內(nèi)，所述第一輸送帶601的外側(cè)設(shè)置有推板609，推板609上連接有電動(dòng)氣缸610，所述電動(dòng)氣缸610與控制器608相連接，所述第二輸送帶602的外側(cè)設(shè)置有擋板611，所述擋板611與推板609相對(duì)設(shè)置且二者互相平行，所述接近開(kāi)關(guān)607位于推板609與擋板611之間。當(dāng)硅片達(dá)到推板609與擋板611之間時(shí)，接近開(kāi)關(guān)607發(fā)出一個(gè)信號(hào)給控制器608，控制器608給驅(qū)動(dòng)電機(jī)605發(fā)出控制信號(hào)使其暫停運(yùn)行，然后控制電動(dòng)氣缸610工作，電動(dòng)氣缸610將推板609朝向擋板611推出，進(jìn)而將硅片扶正，接車(chē)電動(dòng)氣缸610縮回，控制器608再給驅(qū)動(dòng)電機(jī)605發(fā)出控制信息使其繼續(xù)運(yùn)行，進(jìn)而將扶正的硅片精準(zhǔn)的送入硅片上料盒4內(nèi)。