專利名稱：襯底支撐結(jié)構(gòu)、含有上述襯底支撐結(jié)構(gòu)的反應(yīng)腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及襯底支撐結(jié)構(gòu)和含有上述襯底支撐結(jié)構(gòu)的反應(yīng)腔室。
背景技術(shù)：
MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種化學(xué)氣相外延沉積工藝。它以III族、II族元素的有機(jī)化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長的源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行沉積工藝，生長各種III-V族、II-VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。下面對現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積工藝的原理進(jìn)行說明。具體地，請參考圖I所示的現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。反應(yīng)腔室10內(nèi)形成有相對設(shè)置的噴淋頭11和襯底支撐盤12。所述噴淋頭11內(nèi)可以設(shè)置多個通孔，所述噴淋頭11用于提供反應(yīng)氣體。所述襯底支撐盤12的材質(zhì)通常為石墨，所述襯底支撐盤12的正面(即所述襯底支撐盤12的朝向噴淋頭11 一側(cè)的表面)用于放置襯底121。所述襯底支撐盤12的背面(即所述襯底支撐盤12的遠(yuǎn)離所述噴淋頭11一側(cè)的表面)下方還形成有加熱單元13，所述加熱單元13對襯底支撐盤12進(jìn)行加熱。為了保證襯底121的受熱均勻性和沉積的外延材料層的均勻性，所述襯底支撐盤12在MOCVD工藝過程中會以一定的速度進(jìn)行圍繞一軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述軸線為襯底支撐盤12的正面的中垂線。在MOCVD工藝結(jié)束后，所述襯底支撐盤12連同上方的襯底121從反應(yīng)腔室10中取出。在實(shí)際中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的襯底支撐盤在轉(zhuǎn)動過程中不穩(wěn)定，尤其是在轉(zhuǎn)動的起始和結(jié)束階段，襯底支撐盤容易飛出去。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例解決的問題是提供了襯底支撐結(jié)構(gòu)，解決了放置襯底的襯底支撐盤在轉(zhuǎn)動過程中容易飛出去、轉(zhuǎn)動不穩(wěn)定的問題。為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種襯底支撐結(jié)構(gòu)，包括襯底支撐盤和圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體豎直設(shè)置，所述襯底支撐盤支撐于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端；所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端具有支撐件突起或支撐件凹槽，所述襯底支撐盤具有與對應(yīng)所述支撐件突起或支撐件凹槽相對應(yīng)的支撐盤凹槽或支撐盤突起，所述支撐件突起與支撐盤凹槽之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動或所述支撐件凹槽與支撐盤突起之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動，將所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。可選地，所述支撐件突起或支撐件凹槽包括第一支撐件突起或支撐件凹槽和第二支撐件突起或支撐件凹槽，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽可以相對所述第二支撐件突起或支撐件凹槽運(yùn)動，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽相對所述第二支撐件突起或支撐件凹槽運(yùn)動沿第一方向運(yùn)動時，使得所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體；所述第一支撐件突起或支撐件凹槽相對所述第二支撐件突起或支撐件凹槽沿與第一方向相反的第二方向運(yùn)動時，使得所述襯底支撐盤從所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體松開?？蛇x地，所述支撐盤凹槽或支撐盤突起固定于所述襯底支撐盤上?？蛇x地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成第一卡合結(jié)構(gòu)，所述第一卡合結(jié)構(gòu)在所述第一支撐件突起或支撐件凹槽相對所述襯底支撐盤沿第一方向運(yùn)動時卡合；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述襯底支撐盤上的支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成第二卡合結(jié)構(gòu)，所述第二卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐盤突起或支撐盤凹槽相對所述襯底支撐盤沿第二方向運(yùn)動時卡合?？蛇x地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽為第一支撐件突起，所述第一支撐件突起具有位于第一方向一側(cè)的第一側(cè)面，所述第一側(cè)面向第一方向傾斜?？蛇x地，所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件突起，所述第二支撐件突起具有位于第二方向一側(cè)的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面向第二方向傾斜?？蛇x地，所述第一支撐件突起或第二支撐件突起的形狀為三角形、菱形或梯形?？蛇x地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽為第一支撐件凹槽，所述第一支撐件凹槽具有位于第一方向一側(cè)的第一側(cè)面，所述第一側(cè)面向第二方向傾斜?？蛇x地，所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件凹槽，所述第二支撐件凹槽具有位于第二方向一側(cè)的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面向第一方向傾斜?？蛇x地，所述第一支撐件凹槽或第二支撐件凹槽的形狀為三角形、菱形或梯形?？蛇x地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)用于限定所述第一支撐盤突起或支撐盤凹槽相對所述襯底支撐盤沿第一方向的運(yùn)動；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)，所述卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐件突起或支撐件凹槽相對所述襯底支撐盤沿所述第二方向運(yùn)動時卡合。可選地，所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件突起，所述第二支撐件突起具有位于第二方向一側(cè)的側(cè)面，所述側(cè)面向第二方向傾斜?？蛇x地，所述第二支撐件突起的形狀為三角形、菱形或梯形?？蛇x地，所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件凹槽，所述支撐件突起具有位于第一方向一側(cè)的側(cè)面，所述側(cè)面向第二方向傾斜?？蛇x地，所述支撐件凹槽的形狀為三角形、菱形或梯形?？蛇x地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽為第一支撐件突起，所述第一支撐件突起的形狀矩形或柱狀?？蛇x地，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體包括第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體和與之配合的第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽設(shè)置在所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽設(shè)置在所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。可選地，所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體嵌套于第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體?？蛇x地，所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體能夠相對所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動。可選地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體一體成型；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體一體成型?？蛇x地，本實(shí)用新型還提供一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室，包括所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端具有支撐件突起或支撐件凹槽，通過與所述支撐件突起或支撐件凹槽配合的支撐盤凹槽或支撐盤突起，將所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上，從而與現(xiàn)有技術(shù)利用支撐柱將襯底支撐盤固定、襯底支撐盤不穩(wěn)定相比，支撐件突起與支撐盤凹槽的相互運(yùn)動或支撐件凹槽與支撐盤突起的相互運(yùn)動，使得襯底支撐盤與圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的位置關(guān)系更加穩(wěn)定，并且由于襯底支撐盤中部的下方?jīng)]有了原先的支撐柱，可以改善襯底支撐盤中部的加熱的均勻度；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)用于限定所述第一支撐盤突起或支撐盤凹槽相對所述襯底支撐盤沿第一方向的運(yùn)動；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)，所述卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐件突起或支撐件凹槽相對所述襯底支撐 盤沿所述第二方向運(yùn)動時卡合。所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體包括第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，通過調(diào)整第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上的第一突起和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上的第二突起之間的相對位置關(guān)系，使得圓筒狀旋轉(zhuǎn)體分別能夠位于放松位置和鎖定位置，在放松位置時，能夠靈活的將襯底支撐盤放置于支撐結(jié)構(gòu)上或?qū)⒁r底支撐盤與支圓筒狀旋轉(zhuǎn)體松開(以便于將轉(zhuǎn)盤與支撐結(jié)構(gòu)分離)，在鎖定位置時，能夠?qū)⒁r底支撐盤固定在圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上，從而對襯底支撐盤的固定更加牢固，進(jìn)一步減小了在襯底支撐盤轉(zhuǎn)動過程中不穩(wěn)定的可能性。

圖I是現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有的襯底支撐盤及其支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型一個實(shí)施例的襯底支撐結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4圖3所示的圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4所示的第一圓筒狀支撐體的第一突起的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是圖4所示的第二圓筒狀支撐體的第二突起的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)有的襯底支撐盤在轉(zhuǎn)動過程中不穩(wěn)定，容易飛出去。經(jīng)過發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，由于現(xiàn)有的襯底支撐盤的下方通常設(shè)置支撐柱，利用該支撐柱帶動襯底支撐盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動。具體地，請結(jié)合圖2所示的現(xiàn)有技術(shù)的襯底支撐盤及其支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖。襯底支撐盤12下方具有支撐柱14，所述支撐柱14的面積小于襯底支撐盤12的背面的面積。支撐柱14將襯底支撐盤12固定，并且襯底支撐盤12能夠在襯底支撐盤14的帶動下進(jìn)行轉(zhuǎn)動，所述轉(zhuǎn)動圍繞襯底支撐盤12和支撐柱14的相接觸的表面的中垂線進(jìn)行。在轉(zhuǎn)動過程中襯底支撐盤容易搖晃不穩(wěn)，并且在轉(zhuǎn)動的起始階段和結(jié)束階段，容易造成襯底支撐盤飛出的情況。并且由于支撐柱的存在也影響了對襯底支撐盤的加熱的均勻性。為了解決上述問題，本實(shí)用新型提出一種襯底支撐結(jié)構(gòu)，包括襯底支撐盤和圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體豎直設(shè)置，所述襯底支撐盤支撐于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端；所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端具有支撐件突起或支撐件凹槽，所述襯底支撐盤具有與對應(yīng)所述支撐件突起或支撐件凹槽相對應(yīng)的支撐盤凹槽或支撐盤突起，所述支撐件突起與支撐盤凹槽之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動或所述支撐件凹槽與支撐盤突起之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動，將所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。本實(shí)用新型所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)用于在半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔室中，所述半導(dǎo)體設(shè)備可以為沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備等，所述沉積設(shè)備可以為化學(xué)氣相沉積設(shè)備。本實(shí)用新型將以襯底支撐結(jié)構(gòu)應(yīng)用于MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔室為例進(jìn)行說明。為了更好地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，請參考圖3所示的本實(shí)用新型一個實(shí)施例的襯底支撐結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。襯底支撐結(jié)構(gòu)包括襯底支撐盤100和圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200用于支撐所述襯底支撐盤100，并且將襯底支撐盤100鎖緊。作為一個實(shí)施例，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200包括第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和與之配合的第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202。所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201嵌套于所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202內(nèi)。所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201能夠相對于所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202進(jìn)行轉(zhuǎn)動。為了能夠?qū)⒁r底支撐盤100鎖緊，第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和/或第二圓筒狀旋轉(zhuǎn) 體202的頂部設(shè)置有支撐件突起或支撐件凹槽。作為本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202的頂部均設(shè)置有支撐件突起，所述支撐件突起可以與對應(yīng)的所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201或所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202 —體成型或兩者可以相互分離。作為本實(shí)用新型的又一實(shí)施例，所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202的頂部均設(shè)置有支撐件凹槽，所述支撐件凹槽與對應(yīng)的所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202 —體成型或兩者可以相互分離。作為本實(shí)用新型的再一實(shí)施例，所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202中的一個上設(shè)置有支撐件突起，另一個上設(shè)置有支撐件凹槽，該支撐件突起或支撐件凹槽可以與對應(yīng)的圓筒狀旋轉(zhuǎn)體結(jié)合為一體或兩者可以相互分離。仍然參考圖3并且結(jié)合圖4，圖4為圖3所示的圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的結(jié)構(gòu)示意圖。作為本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201的頂部設(shè)置有第一支撐件突起2011，兩者結(jié)合為一體；所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202的頂部設(shè)置有第二支撐件突起2021，兩者結(jié)合為一體。通過第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體201和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體202之間的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，使得所述第一支撐件突起2011能夠相對第二支撐件突起2021進(jìn)行運(yùn)動。當(dāng)所述第一支撐件突起2011相對于第二支撐件突起2021沿所述第一方向運(yùn)動時，能夠?qū)⒁r底支撐盤100鎖緊于圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200上；當(dāng)所述第一支撐件突起2011相對于第二支撐件突起2021沿所述第二方向運(yùn)動時，使得所述襯底支撐盤100與所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200松開，以便于將襯底支撐盤100與所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200分離。下面請參考圖4并結(jié)合圖5，圖5為圖4所示第一圓筒狀支撐體的第一突起的結(jié)構(gòu)示意圖。所述第一支撐件突起2011具有位于第二方向的第一側(cè)面2012，且所述第一側(cè)面2012朝向所述第一方向傾斜。本實(shí)施例中，所述第一支撐件突起2011的形狀為菱形。在其他的實(shí)施例中，所述第一支撐件突起2011的形狀還可以為梯形、長方形、三角形等。請參考圖4并結(jié)合圖6，圖6為圖4所示的第二圓筒狀支撐體的第二突起的結(jié)構(gòu)示意圖。所述第二支撐件突起2021具有位于第二方向的第二側(cè)面2022，且所述第二側(cè)面2022朝向第二方向傾斜。本實(shí)施例中，所述第二支撐件突起2021的形狀為菱形。在其他的實(shí)施例中，所述第一支撐件突起2011的形狀還可以為梯形、長方形、三角形等。圖4 圖6中詳細(xì)示出了圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200的結(jié)構(gòu)，為了實(shí)現(xiàn)將襯底支撐盤鎖定于圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200上，還需要在襯底支撐盤上對應(yīng)設(shè)置支撐盤凹槽或支撐盤突起。下面將對襯底支撐盤及其支撐盤凹槽或支撐盤突起的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。具體地，請參考圖3，襯底支撐盤100的上表面用于放置襯底，所述襯底支撐盤100的上方還具有與之對應(yīng)的噴淋頭(圖中未示出)，所述噴淋頭用于向所述襯底支撐盤100提供氣體。所述襯底支撐盤100的下表面(圖中未標(biāo)出)具有環(huán)狀凸緣102。作為一個實(shí)施例，所述環(huán)狀凸緣102環(huán)繞所述襯底支撐盤100的下表面的外側(cè)一周。所述環(huán)狀凸緣102可以與襯底支撐盤100 一體成型或兩者可以相互松開。本實(shí)施例中，所述環(huán)狀凸緣102與所述襯底支撐盤100一體成型。所述環(huán)狀凸緣102朝向圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200的一側(cè)設(shè)置有支撐盤凹槽或支撐盤突起。所述支撐盤凹槽或支撐盤突起固定于環(huán)狀凸緣102上。作為本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述環(huán)狀凸緣102上設(shè)置有支撐盤凹槽1021，該支撐盤凹槽1021的形狀和尺寸與圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200上的支撐件突起的形狀對應(yīng)，兩者配合將襯底支撐盤100固定于圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200上。本實(shí)施例中，所述支撐盤凹槽1021的形狀為等腰梯形。所述支撐盤凹槽1021與第 一支撐件突起2011和第二支撐件突起2021配合，所述第一支撐件突起2011與支撐盤凹槽1021構(gòu)成第一卡合結(jié)構(gòu)，所述第二支撐件突起2021與支撐盤凹槽1021構(gòu)成第二卡合結(jié)構(gòu)，第一支撐件突起2011與第二支撐件突起2021之間以及兩者與支撐盤凹槽1021相對運(yùn)動。當(dāng)所述第一支撐件突起2011相對所述襯底支撐盤100沿第一方向運(yùn)動時，所述第一卡合機(jī)構(gòu)卡合，反之，當(dāng)所述第一支撐件突起2011相對所述襯底支撐盤100沿第二方向運(yùn)動時，所述第一卡和機(jī)構(gòu)松開；當(dāng)所述第二支撐件突起2021相對所述襯底支撐盤100沿第二方向運(yùn)動時，所述第二卡合機(jī)構(gòu)卡合；反之，當(dāng)所述第二支撐件2021相對所述襯底支撐盤100沿第一方向運(yùn)動時，所述第二卡合機(jī)構(gòu)松開。當(dāng)所述第—和機(jī)構(gòu)和第二結(jié)構(gòu)均卡合時，所述襯底支撐盤100鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200上；當(dāng)所述第一卡合機(jī)構(gòu)和第二卡合機(jī)構(gòu)中有一個松開時，所述襯底支撐盤100從所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200上松開，從而能夠?qū)崿F(xiàn)襯底支撐盤100與所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體200的分離。在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上包括第一支撐件突起和第二支撐件突起，襯底支撐盤上設(shè)置有支撐件凹槽，所述第一支撐件突起還可以與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)用于限定所述第一支撐盤突起相對所述襯底支撐盤沿第一方向的運(yùn)動；所述第二支撐件突起與所述支撐盤凹槽構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)，所述卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐件突起相對所述襯底支撐盤沿所述第二方向運(yùn)動時卡合。所述第一支撐件突起可以為柱狀結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型利用在襯底支撐盤與圓筒狀旋轉(zhuǎn)體之間的突起與凹槽之間配合，將襯底支撐盤鎖緊與圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，圖3僅以圓筒狀旋旋轉(zhuǎn)體上形成第一支撐件突起和第二支撐件突起、襯底支撐盤上對應(yīng)形成有支撐盤凹槽為例進(jìn)行說明，在實(shí)際中，只要能夠保證襯底支撐盤上的支撐盤突起或支撐盤凹槽在圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上具有對應(yīng)的支撐件凹槽或支撐件突起的情況下，襯底支撐盤上也可以形成支撐盤突起或同時形成有支撐盤突起和支撐盤凹槽，圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上可以形成支撐件凹槽或同時形成有支撐件凹槽和支撐件突起，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進(jìn)行靈活的選擇。并且，支撐件凹槽或支撐件突起的形狀、位置和分布可以其他的選擇，在此不作一一列舉。綜上，本實(shí)用新型的圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端具有支撐件突起或支撐件凹槽，通過與所述支撐件突起或支撐件凹槽配合的支撐盤凹槽或支撐盤突起，將所述支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上，從而與現(xiàn)有技術(shù)利用支撐柱將襯底支撐盤固定、襯底支撐盤不穩(wěn)定相比，支撐件突起與支撐盤凹槽的相互運(yùn)動或支撐件凹槽與支撐盤突起的相互運(yùn)動，使得襯底支撐盤與圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的位置關(guān)系更加穩(wěn)定，并且由于襯底支撐盤中部的下方?jīng)]有了原先的支撐柱，可以改善襯底支撐盤中部的加熱的均勻度；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成定位結(jié)構(gòu)，所 述定位結(jié)構(gòu)用于限定所述第一支撐盤突起或支撐盤凹槽相對所述襯底支撐盤沿第一方向的運(yùn)動；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)，所述卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐件突起或支撐件凹槽相對所述襯底支撐盤沿所述第二方向運(yùn)動時卡合。所述支撐結(jié)構(gòu)包括第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，通過調(diào)整第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上的第一突起和第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體上的第二突起之間的相對位置關(guān)系，使得支撐結(jié)構(gòu)分別能夠位于放松位置和鎖定位置，在放松位置時，能夠靈活的將轉(zhuǎn)盤放置于支撐結(jié)構(gòu)上或?qū)⑥D(zhuǎn)盤與支撐結(jié)構(gòu)松開，在鎖定位置時，能夠?qū)⑥D(zhuǎn)盤固定在支撐結(jié)構(gòu)上。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例披露如上，但本實(shí)用新型并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種襯底支撐結(jié)構(gòu)，包括襯底支撐盤和圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體豎直設(shè)置，所述襯底支撐盤支撐于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端；其特征在于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端具有支撐件突起或支撐件凹槽，所述襯底支撐盤具有與對應(yīng)所述支撐件突起或支撐件凹槽相對應(yīng)的支撐盤凹槽或支撐盤突起，所述支撐件突起與支撐盤凹槽之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動或所述支撐件凹槽與支撐盤突起之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動，將所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。
2.如權(quán)利要求I所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述支撐件突起或支撐件凹槽包括第一支撐件突起或支撐件凹槽和第二支撐件突起或支撐件凹槽，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽可以相對所述第二支撐件突起或支撐件凹槽運(yùn)動，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽相對所述第二支撐件突起或支撐件凹槽運(yùn)動沿第一方向運(yùn)動時，使得所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體；所述第一支撐件突起或支撐件凹槽相對所述第二支撐件突起或支撐件凹槽沿與第一方向相反的第二方向運(yùn)動時，使得所述襯底支撐盤從所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體松開。
3.如權(quán)利要求2所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述支撐盤凹槽或支撐盤突起固定于所述襯底支撐盤上。
4.如權(quán)利要求2所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成第一卡合結(jié)構(gòu)，所述第一卡合結(jié)構(gòu)在所述第一支撐件突起或支撐件凹槽相對所述襯底支撐盤沿第一方向運(yùn)動時卡合；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述襯底支撐盤上的支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成第二卡合結(jié)構(gòu)，所述第二卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐盤突起或支撐盤凹槽相對所述襯底支撐盤沿第二方向運(yùn)動時卡口 ο
5.如權(quán)利要求4所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件突起或支撐件凹槽為第一支撐件突起，所述第一支撐件突起具有位于第一方向一側(cè)的第一側(cè)面，所述第一側(cè)面向第一方向傾斜。
6.如權(quán)利要求4所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件突起，所述第二支撐件突起具有位于第二方向一側(cè)的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面向第二方向傾斜。
7.如權(quán)利要求5或6所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件突起或第二支撐件突起的形狀為三角形、菱形或梯形。
8.如權(quán)利要求4所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件突起或支撐件凹槽為第一支撐件凹槽，所述第一支撐件凹槽具有位于第一方向一側(cè)的第一側(cè)面，所述第一側(cè)面向第二方向傾斜。
9.如權(quán)利要求4所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件凹槽，所述第二支撐件凹槽具有位于第二方向一側(cè)的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面向第一方向傾斜。
10.如權(quán)利要求8或9所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件凹槽或第二支撐件凹槽的形狀為三角形、菱形或梯形。
11.如權(quán)利要求2所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)用于限定所述第一支撐盤突起或支撐盤凹槽相對所述襯底支撐盤沿第一方向的運(yùn)動；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述支撐盤凹槽或支撐盤突起構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)，所述卡合結(jié)構(gòu)在所述第二支撐件突起或支撐件凹槽相對所述襯底支撐盤沿所述第二方向運(yùn)動時卡合。
12.如權(quán)利要求11所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件突起，所述第二支撐件突起具有位于第二方向一側(cè)的側(cè)面，所述側(cè)面向第二方向傾斜。
13.如權(quán)利要求12所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二支撐件突起的形狀為三角形、菱形或梯形。
14.如權(quán)利要求11所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二支撐件突起或支撐件凹槽為第二支撐件凹槽，所述支撐件突起具有位于第一方向一側(cè)的側(cè)面，所述側(cè)面向第二方向傾斜。
15.如權(quán)利要求14所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述支撐件凹槽的形狀為三角形、菱形或梯形。
16.如權(quán)利要求11所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第一支撐件突起或支撐件凹槽為第一支撐件突起，所述第一支撐件突起的形狀矩形或柱狀。
17.如權(quán)利要求2至6、8至9、和11至16中任一項(xiàng)所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體包括第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體和與之配合的第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，所述第一支撐件突起或支撐件凹槽設(shè)置在所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽設(shè)置在所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。
18.如權(quán)利要求17所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體嵌套于第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。
19.如權(quán)利要求18所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體能夠相對所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動。
20.如權(quán)利要求17所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一支撐件突起或支撐件凹槽與所述第一圓筒狀旋轉(zhuǎn)體一體成型；所述第二支撐件突起或支撐件凹槽與所述第二圓筒狀旋轉(zhuǎn)體一體成型。
21.一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室，其特征在于，包括如權(quán)利要求I所述的襯底支撐結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種襯底支撐結(jié)構(gòu)和含有上述襯底支撐結(jié)構(gòu)的反應(yīng)腔室，所述襯底支撐結(jié)構(gòu)包括襯底支撐盤和圓筒狀旋轉(zhuǎn)體，所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體豎直設(shè)置，所述襯底支撐盤支撐于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端；所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體的頂端具有支撐件突起或支撐件凹槽，所述襯底支撐盤具有與對應(yīng)所述支撐件突起或支撐件凹槽相對應(yīng)的支撐盤凹槽或支撐盤突起，所述支撐件突起與支撐盤凹槽之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動或所述支撐件凹槽與支撐盤突起之間能夠進(jìn)行相對運(yùn)動，將所述襯底支撐盤鎖緊于所述圓筒狀旋轉(zhuǎn)體。本實(shí)用新型解決了放置襯底的襯底支撐盤在轉(zhuǎn)動過程中容易飛出去、轉(zhuǎn)動不穩(wěn)定的問題。
文檔編號C23C16/458GK202766617SQ20122042948
公開日2013年3月6日 申請日期2012年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月28日
發(fā)明者黃允文 申請人:光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司