專利名稱：一種三料柱氣相沉積爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及高溫爐技術領域，尤其涉及一種三料柱氣相沉積爐。
背景技術：
化學氣相沉積(CVI)是制造炭/炭復合材料的傳統(tǒng)工藝方法，它是將烴類氣體通入加熱爐內，在1000°c左右條件下，熱解炭在炭纖維表面不斷生長，最終使纖維編織體致密化形成炭纖維增強熱解炭基體復合材料。目前，制備炭/炭復合材料的常用設備為真空氣相沉積爐，這種爐型通常使用炭氈做成筒型用于保溫隔熱，但由于炭氈是軟質材料，不易制成要求的形狀，而且有污染，易癱軟，這就帶來了許多問題，如果一旦產生癱軟倒塌現象，便可能使軟炭氈與發(fā)熱體、三料柱之間的保溫材料相互碰撞，以至發(fā)生短路甚至破壞加熱電源，嚴重的可能造成災難性的后果。另外這種保溫炭氈的使用壽命較短，連續(xù)使用3個月后，容易沉炭變硬，使保溫效果降低，能耗增大，而且更換成本較高；并且還容易發(fā)生高溫脆化、掉沫而導致污染料柱及環(huán)境。

實用新型內容本實用新型針對現有技術的不足，提供一種保溫效果好、使用壽命長、操作簡便的一種三料柱氣相沉積爐，以降低能耗、節(jié)約成本、提高產品質量。本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下一種三料柱氣相沉積爐，包括圓筒形爐體，在所述爐體中，分別設有三個工作室，其特點在于，所述每個工作室包括從里到外依次設置的圓筒形沉積室、發(fā)熱體及保溫筒，所述保溫筒是泡沫炭材質。所述三個工作室呈等邊三角形設置。即所述三個工作室中心位置的連線構成一個等邊三角形。所述工作室的沉積室與發(fā)熱體及發(fā)熱體與保溫筒之間分別留有10—30毫米的間隙。所述保溫筒的壁厚是50— 90毫米。本實用新型的有益效果是由于在發(fā)熱體外側采用了泡沫炭保溫層，與現有技術相比，提高了氣相沉積爐的保溫效果，降低了能耗和成本，并且避免了對料柱的污染。其原因在于，泡沫炭是一種硬質多孔的炭材料，其密度低、多孔、質輕而硬，可以用于高達 1000j800°C的高溫爐保溫，并且由于泡沫炭是由炭基質組成的，在1000-3000°C高溫下使用無污染，易于安裝，保溫性能好，無揮發(fā)成份。因此使得本實用新型具有很好的保溫性能和長久的使用壽命，并且該保溫材料還便于加工和安裝。

圖1為本實用新型的結構示意圖。在圖1中，1、工作室；2、料柱；3、沉積室；4、發(fā)熱體；5、保溫筒；6、爐體。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。如圖1所示，一種三料柱氣相沉積爐，包括圓筒形爐體6，在所述爐體6中，分別設有三個工作室1，所述每個工作室1包括從里到外依次設置的圓筒形沉積室3、發(fā)熱體4及保溫筒5，所述保溫筒5是泡沫炭材質。本實用新型工作時，料柱2置于沉積室3中，所述料柱即為待加工的工件。其中每個工作室可以獨立控制工作。所述三個工作室1呈等邊三角形設置。所述工作室1的沉積室3與發(fā)熱體4及發(fā)熱體4與保溫筒5之間分別留有10— 30毫米的間隙。所述保溫筒5的壁厚是50— 90毫米。本實用新型的保溫筒5，其泡沫炭材料是以樹脂為粘結劑，加入多種殘?zhí)柯矢叩脑牧希涍^混碾、裝模成型、炭化處理、機械加工、組裝及表面增強等工序，再進行使用前的最后熱處理，即能夠適應工作溫度要求以上的最后處理，如保溫層工作溫度為1000°C，最適宜的最后處理溫度應該為1200°C以上。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種三料柱氣相沉積爐，包括圓筒形爐體，在所述爐體中，分別設有三個工作室，其特征在于，所述每個工作室包括從里到外依次設置的圓筒形沉積室、發(fā)熱體及保溫筒，所述保溫筒是泡沫炭材質。
2.根據權利要求1所述的三料柱氣相沉積爐，其特征在于，所述三個工作室呈等邊三角形設置。
3.根據權利要求1或2所述的三料柱氣相沉積爐，其特征在于，所述工作室的沉積室與發(fā)熱體及發(fā)熱體與保溫筒之間分別留有10—30毫米的間隙。
4.根據權利要求3所述的三料柱氣相沉積爐，其特征在于，所述保溫筒的壁厚是50— 90毫米。
專利摘要本實用新型涉及高溫爐技術領域，具體公開了一種三料柱氣相沉積爐，其包括圓筒形爐體，在所述爐體中，分別設有三個工作室，所述每個工作室包括從里到外依次設置的圓筒形沉積室、發(fā)熱體及保溫筒，所述保溫筒是泡沫炭材質。所述三個工作室的中心位置相互之間呈等邊三角形設置，所述工作室的沉積室與發(fā)熱體及發(fā)熱體與保溫筒之間分別留一定的間隙。與現有技術相比，本實用新型提高了氣相沉積爐的保溫效果，降低了能耗和成本，并且避免了對料柱的污染。
文檔編號C23C16/44GK202323015SQ20122007558
公開日2012年7月11日 申請日期2012年3月2日 優(yōu)先權日2012年3月2日
發(fā)明者劉廣達, 葉會禮, 王樹山, 趙啟民, 隋英華 申請人:煙臺魯航炭材料科技有限公司