專利名稱：一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，具體涉及鍍膜腔體冷卻，以維持真空腔體溫度不致于散熱過多，使內(nèi)部加熱器不斷加熱節(jié)約能源。
背景技術：
現(xiàn)有濺鍍設備的鍍膜腔體冷卻皆采取同一溫度的冷卻源來冷卻，但大都忽略真空腔體并非主動發(fā)熱源，若使用同一溫度冷卻會發(fā)生腔體溫度低于室溫，此舉不利于內(nèi)部設置有加熱裝置的腔體，腔體無形中變成散熱裝置會使加熱源不斷的加熱以達到腔體內(nèi)熱平衡，不僅非常浪費能源同時增加加熱源加熱功率。

發(fā)明內(nèi)容
綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置。為了達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術方案是:
一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，包括真空汞、冷卻管路、儲水槽及水汞組成，冷卻水流經(jīng)真空汞后間接被加熱至一定溫度后流入儲水槽，同時儲水槽設有溫度計及液位傳感器，當溫度高于設定溫度時，冷卻水直接經(jīng)由電磁閥冷卻儲水槽內(nèi)部溫度；當液位傳感器動作時排水管排出多馀的水位使儲水槽保持一定的液位。儲水槽的冷卻水再經(jīng)由水汞流經(jīng)薄膜沈積設備腔體使腔體保持一定的溫度，此舉節(jié)省加熱冷卻水所需的能源，不需另外設置加熱系統(tǒng)。綜上所述本發(fā)明結(jié)構簡單、節(jié)省能源。具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步說明。請參閲圖I所示，一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其包括真空汞11、沈積設備腔體12、儲水槽13、水汞19及冷卻管路18所組成，儲水槽13設有溫度計14及液位傳感器15，冷卻管路設有電磁閥17，冷卻水經(jīng)由真空汞11被加熱至一定溫度后流入儲水槽13，儲水槽13設有溫度計14，當溫度超過設定時，冷卻水經(jīng)由電磁閥17直接流入儲水槽13冷卻其溫度；當液位傳感器15動作時排水管16排出多馀的水位使儲水槽13保持一定的液位。儲水槽13的冷卻水再經(jīng)由水汞19流經(jīng)薄膜沈積設備腔體12使腔體保持一定的溫度，此舉節(jié)省加熱冷卻水所需的能源，不需另外設置加熱系統(tǒng)。以上所述實例是對本發(fā)明技術方案的說明而非限制，所屬技術領域普通技術人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術而做的修改， 只要未超出本發(fā)明技術方案的思路和范圍，均應包含在本發(fā)明的權力要求范圍之內(nèi)。


圖1系為本發(fā)明結(jié)構示意圖主要元件符號說明
11...真空汞
12...沈積設備腔體
13...儲水槽
14...溫度計
15...液位傳感器
16...排水管
17...電磁閥
18...冷卻管路
19... 水萊
權利要求
1.一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其包括儲水槽、供水管路、水汞所組成。
2.根據(jù)權利要求1所述之一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其特徵在于儲水槽設有接溫度計及液位傳感器及排水管，儲水槽為不銹鋼材質(zhì)。
3.根據(jù)權利要求1所述之一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，其特徵在于冷卻水入口管路設有一水路電 磁閥。
全文摘要
本發(fā)明系提供一種薄膜沈積設備腔體冷卻水加熱裝置，通過真空汞產(chǎn)生的熱源藉由冷卻水帶走，間接加熱冷卻水使冷卻水維持一定的溫度回流至儲水槽，而儲水槽設有溫度計及液位傳感器，若溫度超過設定溫度則打開電磁閥使部分冷卻水流至儲水槽冷卻儲水槽溫度其保持一定溫度，而液位傳感器動作時，排水管會排除多馀的水位，儲水槽水經(jīng)過水汞流經(jīng)腔體冷卻管路使腔體保持在設定的溫度，不致于過低。因各子系統(tǒng)分別需要不同溫度的冷卻溫度，使用真空汞散熱溫度間接加熱冷卻水的方式使其回流冷卻腔體，勿需再設置加熱系統(tǒng)或另設一套冷卻裝置，對于設備制造成本及節(jié)約能源有相當?shù)男Ч?br> 文檔編號C23C14/54GK103215552SQ20121001960
公開日2013年7月24日 申請日期2012年1月23日 優(yōu)先權日2012年1月23日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司