專利名稱：一種氣相沉積系統(tǒng)和冷卻水裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及工業(yè)制造領(lǐng)域，尤其涉及一種氣相沉積系統(tǒng)和冷卻水裝置。
背景技術(shù)：
在工業(yè)制造領(lǐng)域，冷卻水具有非常廣泛的應用，很多工藝過程均需要冷卻水的支持，用于進行設(shè)備冷卻和溫度控制等。以集成電路和太陽能電池制造領(lǐng)域中的低壓化學沉積 LPCVD(Low PressureChemical Vapor Deposition)工藝為例、在 LPCVD 工藝過程中，硅襯底放置于密封的石英爐管內(nèi)，爐管的爐口設(shè)有密封法蘭，法蘭與爐管之間設(shè)有密封圈，工藝氣體通過法蘭輸送到爐管內(nèi)。由于LPCVD爐管的溫度大多在700攝氏度左右，而爐管爐口起到密封作用的密封圈的耐溫能力又有限，所以需要給法蘭通冷卻水降溫以保護密封圈長時間使用而不發(fā)生質(zhì)變。而在LPCVD工藝中，部分工藝例如TE0S(Tetra Ethyl OrthoSilicat，正硅酸乙酯)氧化工藝等對法蘭溫度具有特別的要求。TEOS在常溫下為液態(tài)，極易在遇到低溫介質(zhì)時發(fā)生冷凝現(xiàn)象，從而產(chǎn)生很多的顆粒。進行LPCVD工藝時，通常通過加熱的方式來使TEOS 氣化后連接到石英爐管的密封法蘭上，然后再通過法蘭輸送到爐管。那么在這一過程中如果法蘭的溫度低于TEOS氣化時的溫度就極易在法蘭內(nèi)壁凝結(jié)成很多結(jié)晶物，這些結(jié)晶物極易脫落造成整個爐管的顆粒狀態(tài)一直很高從而影響到硅片的質(zhì)量。因此，法蘭溫度的控制對顆粒的產(chǎn)生和密封圈的使用壽命具有決定性的作用。然而，工藝過程中，法蘭所處的環(huán)境是在溫度極高和極低兩種情況下不停的轉(zhuǎn)換的，當承載硅片的裝置放置在爐管外面冷卻時，法蘭處于溫度極高的環(huán)境，即位于非工藝的高溫狀態(tài)；而當硅片位于真空狀態(tài)的爐管內(nèi)部進行工藝沉積時法蘭就處于較低的環(huán)境，即位于低溫狀態(tài)，因此，必須為法蘭提供的適當流量的冷卻水對法蘭進行冷卻，對法蘭溫度進行控制。然而，在實現(xiàn)上述冷卻過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題由于現(xiàn)有的冷卻水裝置通常僅包括一路供水管路，為法蘭提供冷卻水，不能夠根據(jù)法蘭的冷卻要求靈活調(diào)整提供法蘭的冷卻水流量，如果供水管路的冷卻水流量調(diào)的過大，雖然能夠滿足爐口密封圈的耐溫要求，提高密封圈的使用壽命，但如果對于TEOS氧化工藝，就可能造成 TEOS在法蘭內(nèi)壁的冷凝，形成顆粒，顆粒掉落會嚴重影響產(chǎn)品質(zhì)量；而如果冷卻水流量調(diào)的過小，雖然不會引起工藝氣體如TEOS的冷凝，保證產(chǎn)品質(zhì)量，但爐口密封圈的冷卻效果較差，極易使密封圈發(fā)生質(zhì)變，這樣即降低了密封圈的使用壽命，從而也增加了設(shè)備的保養(yǎng)頻率，大大降低生產(chǎn)效率。因此，冷卻水裝置如何能夠根據(jù)法蘭的冷卻要求靈活調(diào)整提供給法蘭的冷卻水流量，既能夠得到良好的冷卻效果，提高被冷卻物的使用壽命，又能夠避免工藝氣體的冷凝，保證產(chǎn)品質(zhì)量是一個需要解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例的一個主要目的在于，提供一種氣相沉積系統(tǒng)，能夠根據(jù)法蘭的冷卻要求靈活調(diào)整提供給法蘭的冷卻水流量。
為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案一種氣相沉積系統(tǒng)，包括設(shè)置在沉積爐管管口的密封法蘭和與所述法蘭相連接的冷卻水裝置；所述冷卻水裝置包括至少兩路供水管路，所述至少兩路供水管路中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置的流量控制管路，通過所述流量控制管路的開啟和關(guān)閉控制為所述法蘭提供的冷卻水的流量。采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明實施例提供的氣相沉積系統(tǒng)，能夠根據(jù)法蘭的溫度要求，靈活調(diào)整提供給法蘭的冷卻水流量，只需根據(jù)實際情況預先設(shè)定每路供水管路的冷卻水流量，然后通過流量控制管路的開啟和關(guān)閉，為法蘭提供不同流量的冷卻水，當法蘭處于低溫狀態(tài)時，將全部或部分流量控制管路關(guān)閉，通過未關(guān)閉的流量控制管路和其他供水管路為法蘭提供較小流量的冷卻水，即能夠保證冷卻效果，又不會導致法蘭的溫度過低，造成工藝氣體的冷凝等后果，保證了產(chǎn)品質(zhì)量；而當法蘭處于高溫狀態(tài)時，將全部或部分流量控制管路開啟，通過開啟的流量控制管路和其他供水管路為法蘭提供較大流量的冷卻水， 保證了法蘭的實時溫度，提高了法蘭的使用壽命，這樣，也會減少設(shè)備的保養(yǎng)頻率，大大提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明實施例的另一個主要目的在于，提供一種冷卻水裝置，能夠根據(jù)被冷卻物的冷卻要求靈活調(diào)整提供給被冷卻物的冷卻水流量。為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案一種冷卻水裝置，包括至少兩路供水管路，所述至少兩路供水管路中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置的流量控制管路，通過所述流量控制管路的開啟和關(guān)閉控制為被冷卻物提供的冷卻水的流量。采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明實施例提供的冷卻水裝置，能夠根據(jù)被冷卻物的溫度要求，靈活調(diào)整提供給被冷卻物的冷卻水流量，只需根據(jù)實際情況預先設(shè)定每路供水管路的冷卻水流量，然后通過流量控制管路的開啟和關(guān)閉，為被冷卻物提供不同流量的冷卻水，即能夠保證冷卻效果，提高被冷卻物的使用壽命，也不會導致被冷卻物的溫度過低，造成工藝氣體的冷凝等后果。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明實施例提供的氣相沉積系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的冷卻水裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供的氣相沉積系統(tǒng)，如圖1所示，包括設(shè)置在沉積爐管管口的密封法蘭1和與法蘭1相連接的，為法蘭1提供冷卻水的冷卻水裝置2 ；其中，冷卻水裝置2包括至少兩路供水管路20，至少兩路的供水管路20中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置201的流量控制管路20A，冷卻水裝置2通過流量控制管路20A的開啟和關(guān)閉控制為法蘭1提供的冷卻水流量。本發(fā)明實施例提供的氣相沉積系統(tǒng)，工藝過程中，能夠根據(jù)法蘭1的溫度要求，通過冷卻水裝置2靈活調(diào)整提供給法蘭1的冷卻水流量。只需根據(jù)實際情況預先設(shè)定每路供水管路20的冷卻水流量，工藝過程中，能夠通過流量控制管路20A的開啟和關(guān)閉，為法蘭1 提供不同流量的冷卻水。當法蘭1處于低溫狀態(tài)時，將全部或部分流量控制管路20A關(guān)閉， 通過未關(guān)閉的流量控制管路20A和其他供水管路20為法蘭1提供較小流量的冷卻水，即能夠保證冷卻效果，不會導致法蘭1的溫度過低，造成法蘭1表面的工藝氣體的冷凝等后果， 保證了產(chǎn)品質(zhì)量；而當法蘭1處于高溫狀態(tài)時，將全部或部分流量控制管路20A開啟，通過開啟的流量控制管路20A和其他供水管路20為法蘭1提供較大流量的冷卻水，保證了法蘭 1的實時溫度，也就保證了與法蘭連接的密封圈的溫度范圍，提高了法蘭1和密封圈的使用壽命，這樣，也會減少設(shè)備的保養(yǎng)頻率，大大提高生產(chǎn)效率。工藝過程中，用戶可通過開關(guān)裝置201控制流量控制管路20A的開啟和關(guān)閉。開關(guān)裝置201可為氣動閥等裝置，這里不做限定。進一步地，每路供水管路20均設(shè)有用于設(shè)定和控制冷卻水流量的流量計202，可根據(jù)氣相沉積系統(tǒng)所進行的工藝過程的實際需求，通過流量計202預先設(shè)定工藝過程中通過每路供水管路20的冷卻水流量；在工藝過程中，還可根據(jù)實際情況，必要時通過流量計 202對通過每路供水管路20的冷卻水流量進行微調(diào)。進一步地，每路供水管路20的流量計202的下游還可設(shè)有用于檢測是否有水流量通過的流量傳感器203，每路供水管路20的供水穿過流量傳感器203供應給法蘭1。流量傳感器203能夠?qū)⒏袘降睦鋮s水流量的大小的信號傳送到主控設(shè)備以便工作人員進行實時監(jiān)控，既能對冷卻水的流量進行實時控制，更重要的是能夠防止產(chǎn)生安全事故。由于冷卻水中的雜質(zhì)及其他原因，工藝過程中，每路供水管路20可能會出現(xiàn)堵塞、泄露或者斷裂等情況，這樣將導致不能正常地為法蘭1提供冷卻水，不能及時降溫，這樣將可能造成設(shè)備損壞、與法蘭1連接的密封圈溫度過高而損壞，工藝氣體泄露等生產(chǎn)事故。因此，使用流量傳感器203能夠有效避免上述事故的發(fā)生。為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好的理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面通過具體實施例并結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例進行詳細描述。這里要注意的是，以下的具體實施例只是為了描述本發(fā)明，但不限于本發(fā)明。實施例一如圖2所示，本實施例提供的氣相沉積系統(tǒng)，包括法蘭1和冷卻水裝置2，其中，冷卻水裝置2包括供水管路2A和供水管路2B兩個供水管路，兩路供水管路中，供水管路2A 為流量控制管路；
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流量控制管路2A上依次設(shè)有手動閥門2A1、流量計2A2、開關(guān)裝置2A3和流量傳感器2A4 ；其中，開關(guān)裝置2A3為氣動閥；供水管路2B上依次設(shè)有手動閥門2B1、流量計2B2、針閥2B3和流量傳感器2B4 ；流量控制管路2A和供水管路2B與總?cè)胨谥g設(shè)有總閥30。具體的講，工藝過程中，流量控制管路2A可根據(jù)法蘭1的溫度的實際要求，通過氣動閥2A3進行管路供水的開啟和關(guān)閉。當法蘭1的溫度高時，冷卻水裝置2通過流量控制管路2A和供水管路2B同時供水，而當法蘭1的溫度低時，通過氣動閥2A3關(guān)閉流量控制管路2A，僅使用供水管路2B供水，既能保證被法蘭1的實時溫度，得到良好的冷卻效果，又能夠避免工藝氣體在法蘭表面的冷凝，保證產(chǎn)品質(zhì)量。其中，流量計2A2可以為浮子流量計或電子流量計等，用于設(shè)定和控制通過流量控制管路2A的冷卻水流量，流量傳感器2A4用于檢測管路中是否有水流量通過，并能夠?qū)⒏袘降睦鋮s水流量的大小的信號傳送到主控設(shè)備，以便工作人員進行實時監(jiān)控并及時作出相關(guān)的處理決定，能夠有效的避免產(chǎn)生安全事故。同樣，流量計2B2可以為浮子流量計或電子流量計等，用于設(shè)定和控制通過供水管路2B的冷卻水流量，流量傳感器2B4用于檢測管路中是否有水流量通過，并能夠?qū)⒏袘降睦鋮s水流量的大小的信號傳送到主控設(shè)備，以便工作人員進行實時監(jiān)控并及時作出相關(guān)的處理決定，能夠有效的避免產(chǎn)生安全事故。需要指出的是，由于法蘭1溫度高時打開流量控制管路2A，溫度低時關(guān)閉流量控制管路2A，因此通常情況下，使流量控制管路2A提供大流量的冷卻水，供水管路2B提供小流量的冷卻水。當然，流量控制管路2A和供水管路2B的流量不限于上述設(shè)定方式，可根據(jù)實際情況設(shè)置。另外，由于供水管路2B提供小流量的冷卻水，因此，在供水管路2B上的流量計2B2 和流量傳感器2B4之間設(shè)有針閥2B3，起到限流、調(diào)節(jié)流速的作用。進一步地，流量控制管路2A的入水口處設(shè)有手控閥門2A1，供水管路2B的入水口處同樣設(shè)有手控閥門2B1。設(shè)置手控閥門的作用是，當某一路供水管路出現(xiàn)故障或者需要進行清洗維修等或者暫時不使用該路供水管路時，將通過手控閥門將該路供水管路徹底關(guān)閉，方便進行拆卸修理等工作，而且并不影響其他的供水管路。在正常狀態(tài)下的工藝過程中，手控閥門2A1和2B1均處于打開狀態(tài)。另外，流量控制管路2A和供水管路2B均與供水總閥30連接，總閥30通常為手控閥門，用于控制整個冷卻水裝置的冷卻水的通入和關(guān)閉。本實施例的氣相沉積系統(tǒng)還包括出水管路4，流量控制管路2A和供水管路2B供給法蘭1的冷卻水經(jīng)由出水管路4流出。出水管路4上設(shè)有出水閥門40，出水閥門40同樣起到方便維修拆卸等作用，當進行管路的維修時，通過關(guān)閉出水閥門40可查找管路泄露之處。在正常狀態(tài)下的工藝過程中，總閥30和出水閥門40均處于打開狀態(tài)。下面以LPCVD工藝為例，說明本實施例的工作過程及工作原理。同樣如圖2所示， 工藝過程之初，使總閥30、出水閥門40，手控閥門2A1和2B1以及針閥2B3均處于打開狀態(tài)， 并根據(jù)工藝要求和經(jīng)驗參數(shù)，通過流量計2A2設(shè)定流量控制管路2A的冷卻水流量，通過流量計2B2設(shè)定供水管路2B的冷卻水流量，其中，流量控制管路2A將提供大流量的冷卻水， 供水管路2B將提供相對小流量的冷卻水。工藝過程中，當未進行沉積過程時，承載硅片的裝置在爐管外面冷卻等時段，此時法蘭1處于非工藝的高溫狀態(tài)，稱為IDLE(閑置的)狀態(tài)；而當硅片位于真空狀態(tài)的爐管內(nèi)部進行工藝沉積時，法蘭1就處于工藝的低溫狀態(tài)，稱為RUN(工作)狀態(tài)。IDLE時，法蘭1處于非工藝的高溫狀態(tài)，此時使流量控制管路2A和供水管路2B同時工作，此時，流量控制管路2A的氣動閥2A3處于打開狀態(tài)，流量計2A2處于預先設(shè)定好的流量狀態(tài)，手控閥門2A1也處于打開狀態(tài)；同時供水管路2B的針閥2B3、流量計2B2和手控閥門2B1304也同時處于預先設(shè)定好的打開狀態(tài)。這樣，通過兩路供水管路為法蘭1提供較大流量的冷卻水，能夠達到良好的冷卻效果，保證了法蘭的實時溫度，也就是保證了密封圈的工作環(huán)境溫度，提高了密封圈的使用壽命，同時也保證了工藝進行的正常密封環(huán)境。RUN時，法蘭處于工藝低溫狀態(tài)，此時，通過氣動閥2A3將流量控制管路2A關(guān)閉，僅留下供水管路2B單獨工作。此時供水管路2B的針閥2B3、流量計2B2和手控閥門2B1處于預先設(shè)定好的打開狀態(tài)。其中，流量計2B2設(shè)定的流量為根據(jù)工藝要求和經(jīng)驗參數(shù)等預先設(shè)定的、保證法蘭不冷凝顆粒的冷卻水流量。這樣，既能達到良好的冷卻效果，又避免了流量過大導致的溫度過低而引起TEOS的冷凝，保證了加工的硅片的質(zhì)量。整個工藝過程中，流量控制管路2A的流量傳感器2A4和供水管路2B的流量傳感器2B4均用于實時監(jiān)測各自供水管路的流量情況，檢測是否有水流量通過，并能夠?qū)⒘髁啃盘杺魉徒o主控設(shè)備，使工作人員就可以實時知道各供水管路的流量狀況以及法蘭的工作狀態(tài)，以便及時作出相關(guān)的處理決定。相應地，本發(fā)明的實施例還提供了一種冷卻水裝置5，如圖3所示，包括至少兩路供水管路50，至少兩路的供水管路50中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置501的流量控制管路 50A,本發(fā)明實施例提供冷卻水裝置5通過流量控制管路50A的開啟和關(guān)閉控制為被冷卻物提供的冷卻水流量。進一步地，每路供水管路50均設(shè)有用于設(shè)定和控制冷卻水流量的流量計502，可根據(jù)氣相沉積系統(tǒng)所進行的工藝過程的實際需求，通過流量計502預先設(shè)定工藝過程中通過每路供水管路20的冷卻水流量；在工藝過程中，還可根據(jù)實際情況，必要時通過流量計 20對通過每路供水管路20的冷卻水流量進行微調(diào)。進一步地，每路供水管路50的流量計501的下游還可設(shè)有用于檢測是否有水流量通過的流量傳感器503。流量傳感器503能夠?qū)⒏袘降睦鋮s水流量的大小的信號傳送到主控設(shè)備以便工作人員進行實時監(jiān)控，既能對冷卻水的流量進行實時控制，能夠防止產(chǎn)生安全事故。本發(fā)明實施例提供的冷卻水裝置5，能夠根據(jù)被冷卻物的溫度要求，靈活調(diào)整提供給被冷卻物的冷卻水流量，只需根據(jù)實際情況預先設(shè)定每路供水管路的冷卻水流量，然后通過流量控制管路50A的開啟和關(guān)閉，為被冷卻物提供不同流量的冷卻水，即能夠保證冷卻效果，提高被冷卻物的使用壽命，也不會導致被冷卻物的溫度過低，造成工藝氣體的冷凝等后果。其中，本發(fā)明實施例提供的冷卻水裝置5，可采用本發(fā)明實施例一提供的氣相沉積系統(tǒng)中冷卻水裝置2的具體結(jié)構(gòu)，前文已經(jīng)進行了詳細說明，這里不再贅述。需要指出的是，本發(fā)明實施例冷卻水裝置為可用于前文所述的氣相沉積系統(tǒng)中和 LPCVD工藝中等、作為用來冷卻法蘭的冷卻水裝置。但是顯而易見地，本發(fā)明實施例提供的冷卻水裝置，不限于上述領(lǐng)域，還可以用于其它需要冷卻水的工藝領(lǐng)域，這里不做限定。
以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
權(quán)利要求
1.一種氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括設(shè)置在沉積爐管管口的密封法蘭和與所述法蘭相連接的冷卻水裝置；所述冷卻水裝置包括至少兩路供水管路，所述至少兩路供水管路中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置的流量控制管路，通過所述流量控制管路的開啟和關(guān)閉控制為所述法蘭提供的冷卻水的流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，每路所述供水管路上均設(shè)有用于設(shè)定和控制冷卻水流量的流量計。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，每路所述供水管路的所述流量計的下游均設(shè)有用于檢測是否有水流量通過的流量傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻水裝置包括兩路供水管路，所述兩路供水管路中包括一路流量控制管路；所述流量控制管路上依次設(shè)有手動閥門、流量計、開關(guān)裝置和流量傳感器；所述兩路供水管路中除所述流量控制管路外的另一供水管路上依次設(shè)有手動閥門、流量計、針閥和流量傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，所述開關(guān)裝置為氣動閥。
6.一種冷卻水裝置，其特征在于，包括至少兩路供水管路，所述至少兩路供水管路中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置的流量控制管路，通過所述流量控制管路的開啟和關(guān)閉控制為被冷卻物提供的冷卻水的流量。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷卻水裝置，其特征在于，每路所述供水管路上均設(shè)有用于設(shè)定和控制冷卻水流量的流量計。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的冷卻水裝置，其特征在于，每路所述供水管路的所述流量計的下游均設(shè)有用于檢測是否有水流量通過的流量傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷卻水裝置，其特征在于，所述冷卻水裝置包括兩路供水管路，所述兩路供水管路中包括一路流量控制管路；所述流量控制管路上依次設(shè)有手動閥門、流量計、開關(guān)裝置和流量傳感器；所述兩路供水管路中除所述流量控制管路外的另一供水管路上依次設(shè)有手動閥門、流量計、針閥和流量傳感器。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的冷卻水裝置，其特征在于，所述開關(guān)裝置為氣動閥。
全文摘要
本發(fā)明的實施例公開了一種氣相沉積系統(tǒng)和冷卻水裝置，涉及工業(yè)制造領(lǐng)域，為能夠根據(jù)被冷卻物的冷卻要求靈活調(diào)整提供給被冷卻物的冷卻水流量而發(fā)明。所述氣相沉積系統(tǒng)，包括設(shè)置在沉積爐管管口的密封法蘭和與所述法蘭相連接的冷卻水裝置；所述冷卻水裝置包括至少兩路供水管路，所述至少兩路供水管路中包括至少一路設(shè)有開關(guān)裝置的流量控制管路，通過所述流量控制管路的開啟和關(guān)閉控制為所述法蘭提供的冷卻水的流量。本發(fā)明可用于工業(yè)制造等領(lǐng)域中。
文檔編號C23C16/52GK102234788SQ20101017201
公開日2011年11月9日 申請日期2010年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月7日
發(fā)明者黃辛庭 申請人:北大方正集團有限公司, 深圳方正微電子有限公司