專利名稱：一種金屬化學(xué)蝕刻液及蝕刻方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及金屬化學(xué)蝕刻液及蝕刻方法。
背景技術(shù)：
化學(xué)蝕刻是通過化學(xué)反應(yīng)利用化學(xué)溶液的腐蝕作用將不需要的金屬快速溶解除 掉的過程?；瘜W(xué)蝕刻的基本流程為將初始金屬件進(jìn)行常規(guī)的清洗和除油使表面清潔，進(jìn)而 在其表面涂覆光固油墨，并按照加工圖樣進(jìn)行光固油墨的曝光，而后進(jìn)行顯影和二次固化 處理，再利用化學(xué)蝕刻溶液腐蝕暴露的金屬，待腐蝕過程結(jié)束后，再將表面的油墨用強堿性 溶液去掉，最后用水清洗干凈得到蝕刻加工后產(chǎn)品。目前已有的化學(xué)蝕刻液主要是針對專一的不銹鋼、銅或鋁合金等，尚未有可以同 時用于不銹鋼、銅和鋁合金的蝕刻液。專一的蝕刻液僅僅局限于同一種金屬材料的蝕刻加 工，無法同時使用一套設(shè)備進(jìn)行多種金屬的蝕刻，對設(shè)備資源造成了浪費。公開號為CN101173360的專利公開了 一種不銹鋼蝕刻液，主要包括三氯化鐵 400-600g/L,鹽酸2-5g/L，氟化氫銨12g/L，硫脲2. 5_5g/L，蝕刻促進(jìn)劑l_5g/L，再生劑 2-5g/L。該蝕刻劑只能適用于不銹鋼表面的蝕刻，如果用其作為銅表面的蝕刻，將會使底紋 過于粗糙，邊線毛邊嚴(yán)重，且蝕刻效率低；如果用其作為鋁合金表面的蝕刻將會使蝕刻后產(chǎn) 品底部發(fā)黑，底紋粗糙，邊線毛邊嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的蝕刻液只能專一的用于蝕刻某一種金屬的缺 陷，從而提供一種可以應(yīng)用于各種金屬表面蝕刻的金屬蝕刻液及蝕刻方法。本發(fā)明提供了一種金屬化學(xué)蝕刻液，包括氯化鐵、鹽酸、磷酸、硝酸、緩蝕劑和表面 活性劑，所述緩蝕劑為六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一種，所述表 面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉和十二烷基醇酰胺中的一種或兩種。本發(fā)明還提供了一種金屬化學(xué)蝕刻方法，該方法包括將金屬材料進(jìn)行噴淋蝕刻， 所述蝕刻液為本發(fā)明所述的蝕刻液。本發(fā)明得到的蝕刻液可以應(yīng)用于各種金屬表面的時刻，尤其是不銹鋼、銅和鋁合 金，由于可以用同一種蝕刻液對不同的金屬進(jìn)行蝕刻，可以節(jié)省設(shè)備。
具體實施例方式本發(fā)明提供了一種金屬化學(xué)蝕刻液，包括氯化鐵、鹽酸、磷酸、硝酸、緩蝕劑和表面 活性劑，所述緩蝕劑為六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一種，所述表 面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉和十二烷基醇酰胺中的一種或兩種。根據(jù)本發(fā)明所提供的化學(xué)蝕刻液，所述緩蝕劑能夠減緩金屬腐蝕的速率，改善蝕 刻后表面的平整度，減少側(cè)蝕量。表面活性劑能夠活化金屬表面易于蝕刻的進(jìn)行，降低側(cè)蝕 量。
根據(jù)本發(fā)明所提供的化學(xué)蝕刻液，優(yōu)選地，所述氯化鐵的含量為325-912g/L，所述 鹽酸的含量為80-180mL/L，所述磷酸的含量為80_220mL/L，所述硝酸的含量為75_150mL/ L，所述緩蝕劑的含量為50-800mg/L，所述表面活性劑的含量為l_200mg/L。根據(jù)本發(fā)明所述的化學(xué)蝕刻液，優(yōu)選地，所述氯化鐵的含量為543_760g/L，所述鹽 酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為100_140mL/L，所述硝酸的含量為75_130mL/L， 所述緩蝕添加劑的含量為50-400mg/L，所述表面活性劑的含量為80_200mg/L。根據(jù)本發(fā)明所述的化學(xué)蝕刻液，優(yōu)選地，所述氯化鐵的含量為651_912g/L，所述鹽 酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為80_140mL/L，所述硝酸的含量為90_150mL/L， 所述緩蝕添加劑的含量為200-500mg/L，所述表面活性劑的含量為50_100mg/L。根據(jù)本發(fā)明所述的化學(xué)蝕刻液，優(yōu)選地，所述氯化鐵的含量為326_M3g/L，所述鹽 酸的含量為100-180mL/L，所述磷酸的含量為100_220mL/L，所述硝酸的含量為75_100mL/ L，所述緩蝕添加劑的含量為300-800mg/L，所述表面活性劑的含量為l-100mg/L。本發(fā)明得到的蝕刻液可以應(yīng)用于各種金屬基材的表面蝕刻，尤其是不銹鋼、銅和 鋁合金材料的表面蝕刻。下面主要分金屬基材為銅、不銹鋼和鋁合金來介紹一下本發(fā)明的 蝕刻液的蝕刻原理，其他金屬基材可以類推。金屬基材為銅，金屬化學(xué)蝕刻液與銅的蝕刻原理為2Fe3++Cu = = 2Fe2++Cu2.，2Cu+6HN03 = = 2Cu (NO3) 2+3H20+N0 個 +而2 個，Cu+2HC1 == CuC12+H2 個，3Cu+2H3P04 = = Cu3 (PO4) 2+3H2 個。由于鹽酸時還原性酸，同時Cu在金屬活動順序表中位于氫的后面，Cu在純HCl中 腐蝕很慢，單獨使用鹽酸不能對Cu進(jìn)行化學(xué)腐蝕。在鹽酸中加入氧化劑三氯化鐵，則對Cu 的腐蝕是很快的。Cu在HNO3中沒有鈍化現(xiàn)象，隨HNO3濃度的提高腐蝕速度也加快，HNO3常 用與HCl —起，在氧化劑的作用下對Cu能夠起到更好的腐蝕作用。H3PO4作為重要的輔助 腐蝕材料用于調(diào)節(jié)腐蝕速度和降低金屬的表面粗糙度。金屬為不銹鋼，金屬蝕刻液與不銹鋼的蝕刻原理為2Fe3++Fe = = 3Fe2+，4Fe+IOHNO3 = = 4Fe (NO3) 2+N20+5H20,Fe+2HC1 = = FeCl2+2HX2 個，3Fe+2H3P04 = = Fe3 (PO4) 2+3H2 個。Fe在鹽酸和硝酸中極易被腐蝕，為保證腐蝕后得到較好的底面效果，需要適當(dāng)添 加H3PO4和緩蝕劑以改善蝕刻后的底部效果；H3P04作為重要的輔助腐蝕材料用于調(diào)節(jié)腐蝕 速度和降低金屬的表面粗糙度。金屬為鋁合金，金屬化學(xué)蝕刻液與鋁合金的蝕刻原理為Fe3++3A1+6H+ = = Fe+3A13++3H2 個，2A1+6HC1 = = 2A1C13+3H2 個，2A1+6HN03 == 2A1 (NO3)3+3H2 個，2A1+2H3P04 = = 2A1P04+3H2 個。由于鹽酸中Cl_的強活化作用加上狗3+的強氧化性，藥液對鋁合金的腐蝕很快，為了得到更好的底面效果，需要在鹽酸中添加H3PO4和緩蝕劑。H3PO4作為重要的輔助腐蝕材 料用于調(diào)節(jié)腐蝕速度和降低金屬的表面粗糙度。添加少量的HNO3能夠提高藥液對于鋁材 的蝕刻速率。本發(fā)明還提供了一種金屬化學(xué)蝕刻方法，該方法包括將金屬基材進(jìn)行噴淋蝕刻， 所述蝕刻液為本發(fā)明所述的蝕刻液。根據(jù)本發(fā)明所提供的金屬化學(xué)蝕刻方法，所述金屬基材可以為本領(lǐng)域技術(shù)人員所 公知的各種金屬，優(yōu)選地，所述金屬基材為銅、不銹鋼和鋁合金中的一種。根據(jù)本發(fā)明所提供的金屬化學(xué)蝕刻方法，優(yōu)選地，所述金屬基材為銅，所述氯化鐵 的含量為543-760g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為100_140mL/L，所 述硝酸的含量為75-130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為50_400mg/L，所述表面活性劑的含 量為 80-200mg/L。根據(jù)本發(fā)明所提供的金屬化學(xué)蝕刻方法，優(yōu)選地，所述金屬基材為不銹鋼，所述氯 化鐵的含量為651-912g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為80_140mL/ L，所述硝酸的含量為90-150mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為200_500mg/L，所述表面活性 劑的含量為50-100mg/L。根據(jù)本發(fā)明所提供的金屬化學(xué)蝕刻方法，優(yōu)選地，所述金屬基材為鋁合金，所 述氯化鐵的含量為3^-543g/L，所述鹽酸的含量為100-180mL/L，所述磷酸的含量為 100-220mL/L,所述硝酸的含量為75_130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為300_800mg/L，所 述表面活性劑的含量為l-100mg/L。根據(jù)本發(fā)明所提供的金屬化學(xué)蝕刻方法，優(yōu)選地，所述蝕刻液的溫度為35-45°C。 當(dāng)溫度低于30°C時，蝕刻速度很慢，而蝕刻速率過慢會增大側(cè)蝕量，影響蝕刻精度。溫度高 于50°C時，蝕刻速率明顯加快，但氣體的揮發(fā)也大大增加，同時蝕刻過程也難于控制，并使 蝕刻后的表面粗糙度增加，宜使溫度控制在35-45°C范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明所提供的金屬化學(xué)蝕刻方法，優(yōu)選地，所述噴淋壓力為25-35kg/cm2。 噴淋壓力需綜合考慮設(shè)備的壓力范圍和油墨的承受范圍，噴淋壓力增加將增加蝕刻的效率 并減小側(cè)蝕的大小，但壓力過高會對油墨造成過高的撞擊傷害，損壞邊緣的油墨，造成邊緣 的不齊，綜合考慮以上兩點，壓力控制在25-3^g/cm2范圍內(nèi)比較合適。下面通過具體的實例對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的描述。實施例11、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵120kg，鹽酸ML，磷酸20L，硝酸20L，六次甲基四胺 40g，十二烷基苯磺酸鈉16g，用水溶解得到總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在銅材產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部分， 經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油墨將 會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品圖案區(qū)域底紋較細(xì)，側(cè)蝕較小，邊線整齊。實施例2
5
1、制備蝕刻液制備200L蝕刻液氯化鐵110kg，鹽酸32 L，磷酸ML，硝酸沈L，乙二胺20g，十二 烷基醇酰胺Mg，用水溶解的到總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在銅材產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部分， 經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油墨將 會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品圖案區(qū)域底紋較細(xì)，側(cè)蝕較小，邊線整齊。實施例31、制備蝕刻液制備200L蝕刻液氯化鐵152kg，鹽酸16L，磷酸^L，硝酸15L，三乙醇胺40g，十七 酰胺40g，十二烷基苯磺酸鈉40g，用水溶解得到總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在銅材產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部分， 經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油墨將 會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品圖案區(qū)域底紋較細(xì)，側(cè)蝕較小，邊線整齊。實施例41、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵160kg，鹽酸ML，磷酸16L，硝酸20L，六次甲基四胺 40g，十二烷基苯磺酸鈉10g，用水溶解得到總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2 ；在不銹鋼產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋細(xì)膩，側(cè)蝕小，邊線整齊，尖角突出。實施例51、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵130kg，鹽酸16L，磷酸ML，硝酸18L，六次甲基四胺 40g,乙二胺20g，三乙醇胺10g，十二烷基苯磺酸鈉10g，十二烷基醇酰胺6g，用水溶解得到 總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在不銹鋼產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。
蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋細(xì)膩，側(cè)蝕小，邊線整齊，尖角突出。實施例61、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵18 ,鹽酸32L，磷酸^L，硝酸30L，六次甲基四胺 25g，乙二胺25g，三乙醇胺25g，十七酰胺25g，十二烷基苯磺酸鈉20g，用水溶解得到總量為 200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在不銹鋼產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋細(xì)膩，側(cè)蝕小，邊線整齊，尖角突出。實施例71、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵80kg，鹽酸ML，磷酸36L，硝酸16L，六次甲基四胺 60g，十二烷基苯磺酸鈉lg，用水溶解得到總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在鋁合金產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋較細(xì)，側(cè)蝕較小，邊線整齊。實施例81、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵65kg，鹽酸36L，磷酸44L，硝酸20L，六次甲基四胺 50g,乙二胺50g，十二烷基苯磺酸鈉10g，用水溶解得到總量為200L的蝕刻液。2、蝕刻將蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在鋁合金產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋較細(xì)，側(cè)蝕較小，邊線整齊。實施例91、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將氯化鐵110kg，鹽酸20L，磷酸20L，硝酸^L，六次甲基四胺 100g，三乙醇胺60g，十二烷基苯磺酸鈉10g，十二烷基醇酰胺10g，用水溶解得到總量為 200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。
在鋁合金產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋較細(xì)，側(cè)蝕較小，邊線整齊。對比例11、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將三氯化鐵100kg，鹽酸800g，氟化氫銨2. 4kg，硫脲800g，蝕刻 促進(jìn)劑600g，再生劑600g，用水溶解得到200L的蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在銅材產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部分， 經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油墨將 會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋較細(xì)，邊線較整齊。效果與實施例1-3相比較差。對比例21、制備蝕刻液制備200L蝕刻液三氯化鐵100kg，鹽酸800g，氟化氫銨2. 4kg，硫脲800g，蝕刻促 進(jìn)劑600g，再生劑600g，用水溶解得到200L蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在鋁合金產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后產(chǎn)品表面較黑，出現(xiàn)有黑色沉積層，LOGO區(qū)域蝕刻后底部發(fā)麻，邊線有鋸齒 狀，側(cè)蝕嚴(yán)重，尖角側(cè)蝕嚴(yán)重形成圓角。效果較差，與實施例6-9所做產(chǎn)品差別較大。對比例31、制備蝕刻液制備200L蝕刻液將三氯化鐵100kg，鹽酸800g，氟化氫銨2. 4kg，硫脲800g，蝕刻 促進(jìn)劑600g，再生劑600g，用水溶解得到200L蝕刻液。2、蝕刻將上述蝕刻液加入蝕刻機，蝕刻液的溫度為40°C，噴淋壓力為30kg/cm2。在不銹鋼產(chǎn)品表面上噴涂上抗蝕刻油墨(光固化油墨)，用以遮避無需蝕刻的部 分，經(jīng)過曝光工序?qū)⑿枰g刻的圖案曝光在產(chǎn)品的表面，顯影后需要蝕刻圖案的部分的油 墨將會被褪掉，然后將產(chǎn)品放入蝕刻機，蝕刻完成后圖案就會顯現(xiàn)出來。蝕刻后的產(chǎn)品LOGO區(qū)域底紋細(xì)膩，側(cè)蝕小，邊線整齊，尖角突出；以三氯化鐵為主 的蝕刻藥液體系，對不銹鋼有很好的蝕刻作用；蝕刻效果與實施例4-6所做產(chǎn)品效果相似。
權(quán)利要求
1.一種金屬化學(xué)蝕刻液，其特征在于包括氯化鐵、鹽酸、磷酸、硝酸、緩蝕劑和表面活 性劑，所述緩蝕劑為六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一種，所述表面 活性劑為十二烷基苯磺酸鈉和十二烷基醇酰胺中的一種或兩種。
2.如權(quán)利要求1所述的金屬化學(xué)蝕刻液，其特征在于所述氯化鐵的含量為325-912g/ L，所述鹽酸的含量為80-180mL/L，所述磷酸的含量為80-220mL/L，所述硝酸的含量為 75-150mL/L，所述緩蝕劑的含量為50_800mg/L，所述表面活性劑的含量為l_200mg/L。
3.如權(quán)利要求1或2所述的金屬化學(xué)蝕刻液，其特征在于所述氯化鐵的含量為 543-760g/L,所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為100_140mL/L，所述硝酸 的含量為75-130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為50_400mg/L，所述表面活性劑的含量為 80-200mg/Lo
4.如權(quán)利要求1或2所述的金屬化學(xué)蝕刻液，其特征在于所述氯化鐵的含量為 651-912g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為80_140mL/L，所述硝酸的 含量為90-150mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為200_500mg/L，所述表面活性劑的含量為 50-100mg/L。
5.如權(quán)利要求1或2所述的金屬化學(xué)蝕刻液，其特征在于所述氯化鐵的含量為 326-543g/L,所述鹽酸的含量為100_180mL/L，所述磷酸的含量為100_220mL/L，所述緩蝕 添加劑的含量為300-800mg/L，所述表面活性劑的含量為l-100mg/L。
6.一種金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于將金屬基材進(jìn)行噴淋蝕刻，所述蝕刻液為權(quán) 利要求1所述的蝕刻液。
7.如權(quán)利要求6所述的金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于所述金屬基材為銅、不銹鋼和 鋁合金中的一種。
8.如權(quán)利要求6所述的金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于所述金屬基材為銅，所述氯化 鐵的含量為543-760g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為100_140mL/L， 所述硝酸的含量為75-130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為50_400mg/L，所述表面活性劑的 含量為 80-200mg/L。
9.如權(quán)利要求6所述的金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于所述金屬基材為不銹鋼， 所述氯化鐵的含量為651-912g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為 80-140mL/L,所述硝酸的含量為90_150mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為200_500mg/L，所述 表面活性劑的含量為50-100mg/L。
10.如權(quán)利要求6所述的金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于所述金屬基材為鋁合金， 所述氯化鐵的含量為3^-543g/L，所述鹽酸的含量為100-180mL/L，所述磷酸的含量為 100-220mL/L,所述硝酸的含量為75_130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為300_800mg/L，所 述表面活性劑的含量為l-100mg/L。
11.根據(jù)權(quán)利要求6-10任意一項所述的金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于所述蝕刻液 的溫度為35-45°C。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的金屬化學(xué)蝕刻方法，其特征在于，所述噴淋壓力為 25-35kg/cm2。
全文摘要
本發(fā)明提供一種金屬化學(xué)蝕刻液，該蝕刻液包括氯化鐵、鹽酸、磷酸、硝酸、緩蝕劑和表面活性劑，所述緩蝕劑為六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一種，所述表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉和十二烷基醇酰胺中的一種或兩種。本發(fā)明還提供了一種金屬化學(xué)蝕刻方法，該方法為將金屬基材進(jìn)行噴淋蝕刻，所述蝕刻液為本發(fā)明所述的蝕刻液。本發(fā)明得到的蝕刻液可以應(yīng)用于各種金屬表面的時刻，尤其是不銹鋼、銅和鋁合金，由于可以用同一種蝕刻液對不同的金屬進(jìn)行蝕刻，可以節(jié)省設(shè)備。
文檔編號C23F1/16GK102108512SQ20091018944
公開日2011年6月29日 申請日期2009年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月25日
發(fā)明者丁維清, 方鋒 申請人:比亞迪股份有限公司