一種蝕刻機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及電子元器件蝕刻裝置，特別涉及一種蝕刻機。
【背景技術(shù)】
[0002]蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類，在化學蝕刻中是使用化學溶液，經(jīng)由化學反應(yīng)達到蝕刻的目的。化學蝕刻是將材料用化學反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻機常用于硅片、半導體、電路板、金屬制品蝕刻花紋等領(lǐng)域。
[0003]目前，市場上所見到的自動型化學蝕刻機是通過高壓噴淋及被蝕刻直線運動形成連續(xù)不間斷進料狀態(tài)進行對工作腐蝕以提高生產(chǎn)效率，但腐蝕不均勻，合格率低，腐蝕速度慢。另外，還有一種蝕刻機，一般采用人工或機械手將裝有被腐蝕硅片的籃筐放入蝕刻槽中，人工或機械手將籃筐上下或左右的震動方式作業(yè)，也常造成腐蝕不均勻，合格率低，腐蝕速度慢、清洗不均勻的問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]有鑒于此，本實用新型提出一種蝕刻機，以解決腐蝕不均勻和腐蝕速度慢的問題。
[0005]一方面，本實用新型提供了一種蝕刻機，在機箱內(nèi)設(shè)置有蝕刻槽和沖水槽，在機箱內(nèi)安裝有蝕刻槽自循環(huán)管路，在蝕刻槽內(nèi)設(shè)置有第一制冷盤管，在自循環(huán)管路中安裝有循環(huán)泵，自循環(huán)管路分別與蝕刻槽的上下端相連接。
[0006]進一步地，在自循環(huán)管路中安裝有閥門。
[0007]進一步地，在自循環(huán)管路中設(shè)置有第二制冷盤管。
[0008]進一步地，在機箱內(nèi)安裝有鼓泡管路，在沖水槽的底部設(shè)置有鼓泡裝置，在鼓泡裝置上開設(shè)有噴口，鼓泡管路與鼓泡裝置相連。
[0009]進一步地，在機箱內(nèi)安裝有噴淋管路，在沖水槽的上方安裝有噴淋嘴，噴淋嘴與噴淋管路相連。
[0010]進一步地，在機箱內(nèi)安裝有溢流管路，溢流管路與沖水槽相連。
[0011]進一步地，在機箱上方安裝有抽風系統(tǒng)，在機箱內(nèi)安裝有水槍和氣槍及排廢液管及排廢水管，排廢液管與蝕刻槽相連，排廢水管與沖水槽相連。
[0012]進一步地，在機箱內(nèi)安裝有驅(qū)動裝置和控制器，驅(qū)動裝置包括擺臂、擺動馬達、第二轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)馬達、鏈條、第一轉(zhuǎn)軸；籃筐上設(shè)置有第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸；第一轉(zhuǎn)軸套在第二轉(zhuǎn)軸內(nèi)，第二轉(zhuǎn)軸與擺動馬達連接，擺臂的兩端分別與第二轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸連接；旋轉(zhuǎn)馬達與第一轉(zhuǎn)軸連接，在第一轉(zhuǎn)軸上安裝有第一鏈輪，在第二旋轉(zhuǎn)軸上安裝有第二鏈輪，鏈條安裝在第一鏈輪和第二鏈輪上，在第二旋轉(zhuǎn)軸上安裝有第二齒輪，在第一旋轉(zhuǎn)軸上安裝有第一齒輪，第一齒輪和第二齒輪嚙合；控制器控制擺動馬達和旋轉(zhuǎn)馬達及旋轉(zhuǎn)循環(huán)泵旋轉(zhuǎn)。
[0013]本實用新型提供的一種蝕刻機，在機箱內(nèi)安裝有蝕刻槽自循環(huán)管路，在自循環(huán)管路中安裝有循環(huán)泵，循環(huán)泵使蝕刻槽內(nèi)的化學溶液上下循環(huán)對流，不僅可以使化學溶液對被腐蝕零件進行對流，加快腐蝕速度和提高腐蝕均勻性，而且可以使蝕刻槽內(nèi)的化學溶液上下溫度一致，提高腐蝕質(zhì)量，提高腐蝕均勻性。
[0014]為了進一步提高蝕刻槽內(nèi)的化學溶液上下溫度均勻，在自循環(huán)管路中設(shè)置有第二制冷盤管，使得自循環(huán)管路中的化學溶液與蝕刻槽的化學溶液溫度保持一致。
[0015]為了進一步提高腐蝕均勻性?；@筐在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下不僅可以繞第一旋轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)，而且可以繞第二旋轉(zhuǎn)軸公轉(zhuǎn)。如果將籃筐放入蝕刻槽中，大大提高了腐蝕均勻性和腐蝕速度。如果將籃筐放入沖水槽中，大大提高了沖洗均勻性和沖洗速度。驅(qū)動裝置上的擺動馬達驅(qū)動擺臂可以使籃筐在蝕刻槽和沖水槽中移動，提高腐蝕效率。
[0016]為了進一步提高沖洗均勻性和速度，在沖水槽的底部設(shè)置有鼓泡裝置，在鼓泡裝置上開設(shè)有噴口，氮氣從噴口噴出，加速沖洗娃片表面顆粒。在沖水槽的上方設(shè)置有噴淋嘴，噴淋嘴自頂部沖洗硅片表面殘余顆粒。
【附圖說明】
[0017]構(gòu)成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0018]圖1為本實用新型的蝕刻機結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為圖1的主視圖；
[0020]圖3為圖1的俯視圖；
[0021]圖4為圖1的A-A視圖；
[0022]圖5為圖4的驅(qū)動裝置示意圖；
[0023]圖6為本實用新型的蝕刻機原理示意圖。
【具體實施方式】
[0024]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本實用新型。
[0025]下面結(jié)合圖1至圖6，對本實用新型的優(yōu)選實施例作進一步詳細說明，
[0026]如圖1和圖3所示，一種蝕刻機，在機箱I內(nèi)設(shè)置有兩個蝕刻槽5和兩個沖水槽6及兩個驅(qū)動裝置，兩個蝕刻槽5和兩個沖水槽6及兩個驅(qū)動裝置左右布置，兩個蝕刻槽5與兩個沖水槽6前后布置，兩個驅(qū)動裝置分別位于兩個蝕刻槽5與兩個沖水槽6之間。如圖1和圖2所示，在機箱I上部還安裝有控制器2和抽風系統(tǒng)3。排風系統(tǒng)(排風壓力、風量根據(jù)實際情況或客戶要求設(shè)計)將設(shè)備內(nèi)揮發(fā)的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外(室外排放遵守國家環(huán)保要求)，避免擴散到室內(nèi)。排風系統(tǒng)3內(nèi)設(shè)有風量導流板，從而使排風效果達到最佳；排風口處設(shè)有手動調(diào)節(jié)風門300，操作人員可根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風量。為了方便蝕刻機移動，在機箱I底部還安裝有4個萬向腳輪(圖中未示出)。在機箱I的前方安裝有兩個折疊門4。
[0027]如圖3和圖4及圖6所示，為了提高腐蝕均勻性，在機箱I內(nèi)安裝有蝕刻槽5自循環(huán)管路11，在自循環(huán)管路11中安裝有循環(huán)泵13和閥門12，循環(huán)泵13采用美國astiPFD1210氣動隔膜泵，杜絕磁力泵低溫不啟動現(xiàn)象。自循環(huán)管路11分別與蝕刻槽5的上下端相連接。使蝕刻槽5內(nèi)的化學溶液上下連續(xù)循環(huán)或者下上連續(xù)循環(huán)或者上下、下上交替循環(huán)，不僅可以使化學溶液對被腐蝕零件進行對流，加快腐蝕速度和提高腐蝕均勻性，而且可以使蝕刻槽5內(nèi)的化學溶液上下溫度一致，提高腐蝕質(zhì)量。
[0028]在蝕刻槽5內(nèi)設(shè)置有第一制冷盤管14，第一制冷盤管14與制冷管路10相連接，制冷管路10與冷凍機組(圖中未示出)相連接。第一制冷盤管14采用進口哈氏合金C-276，管徑16mm，此材質(zhì)耐酸堿腐蝕，無需噴涂pfa圖層，導熱效果好，不怕撞擊破損表面，無人為破壞情況下，可以使用5年，轉(zhuǎn)動攪拌勻溫，冷凍機組采用5P美國谷輪壓縮機組，42平方冷凝器，降溫速度快，控溫精度± 1°C，壓縮機的啟停采用固態(tài)繼電器控制，啟動平穩(wěn)無波動，有效保護壓縮機壽命，同時減緩溫度波動。
[0029]為了進一步提高蝕刻槽5內(nèi)的化學溶液上下溫度均勻，也可以在自循環(huán)管路11中