專利名稱：：用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于平板顯示器(flatdisplay)的化學(xué)氣相沉積設(shè)備(chemicalvapordepositionapparatus),且更明確地說，涉及一種用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其具有簡化的結(jié)構(gòu)，有助于下腔室(lowerchamber)下方的空間的有效使用，且防止基座(susceptor)下垂。
背景技術(shù)：
：平才反顯示器廣泛用于個(gè)Ai更攜式終端(personalportableterminals),TV或計(jì)算機(jī)監(jiān)視器(computermonitors)。平板顯示器包含多個(gè)種類，例如液晶顯示器(liquidcrystaldisplays，LCDs)、等離子體顯示面板(plasmadisplaypanels，PDPs)和有機(jī)發(fā)光二極管(organiclightemittingdiodes,OLEDs)。關(guān)于平板顯示器，LCD是通過在上和下玻璃襯底的兩個(gè)薄片(sheets)之間注射液晶(其是介于固態(tài)與液態(tài)之間的中間物質(zhì))而形成的，且是使用一種光學(xué)切換現(xiàn)象(opticalswitchphenomenon)的裝置，其通過使用上玻璃襯底與下玻璃襯底之間的電極電壓差來改變液體分子的布置而產(chǎn)生亮度和暗度，而顯示數(shù)字或圖像。LCD廣泛用于電子裝置，例如電子時(shí)鐘、電子計(jì)算器、TV和膝上型計(jì)算機(jī)(laptops),且用于汽車和飛機(jī)的轉(zhuǎn)速計(jì)以及操作系統(tǒng)。通常，LCDTV的屏幕大小已有20到30英寸，而監(jiān)^L器的屏幕大小已有17英寸或更小。近來，消費(fèi)者更喜歡大于40英寸的大屏幕TV和20英寸的大屏幕監(jiān)視器。因此，LCD制造商需要生產(chǎn)更大的玻璃襯底。近來，大小為約2x2m的所謂的第8代玻璃襯底的大規(guī)模生產(chǎn)正在開發(fā)之中。LCD通過一系列工藝被制造出來且最終投入市場中，所述一系列工藝包含TFT工藝，其中反復(fù)進(jìn)行沉積、光刻(photolithography),蝕刻、化學(xué)氣相沉積；單元工藝，其用于組合上玻璃襯底與下玻璃襯底；以及模塊工藝，其用于完成產(chǎn)品。在化學(xué)氣相沉積工藝(其為許多工藝中的一種)中，通過外部高頻功率而以等離子體形式的具有高能量的基于硅的組合物離子通過電極從氣體分布面板(gasdistributionpanel)注射，且沉積在玻璃襯底上。在執(zhí)行化學(xué)氣相沉積工藝的腔室中執(zhí)行所述工藝。如將詳細(xì)描述，執(zhí)行化學(xué)氣相沉積工藝的腔室包含上腔室(叩perchamber)和下腔室。在上腔室中提供電極，且在下腔室中提供基座，基座上面加載經(jīng)受沉積的玻璃襯底。當(dāng)玻璃襯底加載在基座的上表面上時(shí)，將基座加熱到280。C到38(TC之間的溫度。接著，基座升高且布置成接近作為下電極的氣體分布面板。通過使用特富龍(Teflon)(其為絕緣部件)而與腔室絕緣的電極來施加功率。通過具有許多小孔的氣體分布面板來注射基于硅的組合物離子，使得玻璃襯底的沉積工藝得以執(zhí)行。如上文所述，第8代玻璃襯底的基座(其相對較重且較大)可能下垂。在此情況下，加載在基座的上表面上的玻璃襯底也可能下垂。當(dāng)玻璃襯底下垂時(shí)，沉積在玻璃襯底上的膜的均勻性可能降低，使得質(zhì)量變差。為了解決上述問題，本申請人申請了第2006-0011600號韓國專利申請案(尚未公布)，一種通過在基座下方單獨(dú)提供基座支撐件來防止基座下垂的技術(shù)。然而，對于在基座下方采用單獨(dú)的基座支撐件的化學(xué)氣相沉積設(shè)備來說，由于當(dāng)基座處于與用于支撐基座的軸(在下文稱為柱)隔開的位置處時(shí)使用了多個(gè)輔助軸，所以沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，且使得難以使用下腔室下方的空間。因此，需要一種經(jīng)改進(jìn)的結(jié)構(gòu)，其可簡化結(jié)構(gòu)、有助于下腔室下方的空間的有效使用，且防止基座的下垂。
發(fā)明內(nèi)容為了解決上述和/或其它問題，本發(fā)明提供一種用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其具有簡化的結(jié)構(gòu)，有助于下腔室下方的空間的有效使用，且防止基座的下垂。根據(jù)本發(fā)明的一方面，用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括基座，其安裝在腔室中，能夠升高且具有上面加載平板顯示器的上表面；柱，其具有耦合到基座的后表面的中心區(qū)域的上端，和向下穿過所述腔室而暴露的下端，從而支撐所述基座，使其能夠升高；以及基座支撐件，其在所述腔室中耦合到所述柱，且允許上表面的至少一個(gè)區(qū)域接觸并支撐基座的后表面，從而從基座的下側(cè)支撐基座，以防止基座下垂?；渭ㄖ辽僖粋€(gè)單元支撐面板，以及輔助支撐墊(supportpad)，其耦合到所述至少一個(gè)單元支撐面板的上表面，且實(shí)質(zhì)上接觸并支撐基座的后表面。所述至少一個(gè)單元支撐面板是具有棒形狀的兩個(gè)單元支撐面板，且所述兩個(gè)單元支撐面板布置成相對于基座的后表面上的柱的中心軸彼此交叉，使得兩個(gè)單元支撐面板中的每一者的末端部分面向基座的角落。兩個(gè)單元支撐面板布置成以X形狀彼此重疊，且在兩個(gè)單元支撐面板中的每一者的上表面的兩端處提供輔助支撐墊。與兩個(gè)單元支撐面板的下部中所提供的第二輔助支撐塾的厚度相比，位于兩個(gè)單元支撐面板的上部中的第一單元支撐面板上所提供的第一輔助支撐墊的厚度較薄，且第一和第二輔助支撐墊的上端實(shí)質(zhì)上形成同一平坦表面。所述至少一個(gè)單元支撐面板是具有棒形狀的單個(gè)單元支撐面板，且所述單個(gè)單元支撐面板布置成在基座后表面上的柱的軸中心處彼此交叉，使得所述單個(gè)單元支撐面板的末端,分面向基座的角落。在單元支撐面板的中心區(qū)域處形成通孔(throughhole),在所述—通孔中插入所述柱，且止動(dòng)件(stopper)在徑向方向上/人所述柱向外延伸，以防止單元支撐面板向下移動(dòng)。沿所述通孔的圓周方向形成多個(gè)螺^"孔(screwholes),且在所述止動(dòng)件中的對應(yīng)于所述螺釘孔的位置處形成用于螺釘耦合的多個(gè)螺釘耦合部分。所述螺釘耦合部分是通過在徑向方向上將止動(dòng)件的外圓周表面切割成圓弧形狀而形成的切割部分。單元支撐面板和輔助支撐墊由陶瓷形成，且所述平板顯示.器是用于.液晶顯示器的大玻璃村底。圖1是展示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)的橫截面圖2是基座支撐件的平面圖3是圖2的基座支撐件的透視圖4是基座支撐件的分解透視圖5是#4居本發(fā)明另一實(shí)施例的用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的透浮見圖。具體實(shí)施例方式參考用于說明本發(fā)明的示范性實(shí)施例的附圖，以便充分理解本發(fā)明、其價(jià)值以及本發(fā)明的實(shí)施方案所賣現(xiàn)的目的。在下文中，將通過參考附圖闡釋本發(fā)明的示范性實(shí)施例來詳細(xì)描述本發(fā)明。圖式中的相同參考標(biāo)號表示相同元件。的結(jié)構(gòu)的橫截面圖。圖2是^^座支撐件的平面圖。圖3是圖2的基產(chǎn)支撐件的透視圖。圖4是基座支撐件的分解透視圖。平板顯示器G可以是液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)和有機(jī)發(fā)光二極管(0LED)中的任何一者。然而，在本實(shí)施例中，將用于LCD的大玻璃襯底視為平板顯示器G。術(shù)語"大"指示與第8代玻璃襯底的大小相對應(yīng)的大小。在以下描述內(nèi)容中，平板顯示器G被稱為玻璃襯底G。參看圖'1,根據(jù)本發(fā)明的用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備包含:上腔室10和下腔室20;電極30,其提供在上腔室10中，且向經(jīng)受沉積的玻璃襯底G注射沉積物質(zhì)，所述沉積物質(zhì)是預(yù)定的基于硅的化合物離子(siliconbasedcompoundion);基座50,其提供在下腔室20中，且上面加載玻璃襯底G;以及基座支撐件70,其從基座50的下側(cè)支撐基座50,以防止基座50下垂。如圖1中所示，當(dāng)執(zhí)行沉積工藝時(shí)，上腔室IO和下腔室20彼此耦合。即，當(dāng)上腔室10借助單獨(dú)的升降設(shè)備耦合到下腔室20的上部分時(shí)，上腔室10和下腔室20形成單個(gè)主體。當(dāng)上腔室10和下腔室20形成單個(gè)主體，且在形成于所述單個(gè)主體中的沉積空間S中執(zhí)行沉積工藝時(shí)，沉積空間S與外界密封.，以便使沉積空間S維持在真空氣氛(vacuumatmosphere)中。電極30在水平方向上提供在上腔室10內(nèi)部。電極30包含氣體分布板31,其布置成面向下腔室20;以及后板32,其布置在氣體分布板31的后部，緩沖空間(bufferspace)B插在氣體分布板31與后板32之間。在氣體分布板31中形成處理得較精細(xì)的多個(gè)小孔(未圖示)。因此，在沉積過程期間，隨著基座50上升且布置成接近氣體分布板31數(shù)十毫米時(shí)，沉積物質(zhì)被注射穿過所述小孔，以沉積在玻璃襯底G的上表面上。"在后板(rearplate)32與上腔室10之間提供絕緣部件34,以防止后板32直接接觸將要電連接的上腔室10的外壁。絕緣部件34可由特富龍制造。在后板32周圍進(jìn)一步提供將后板32支撐到上腔室10的板支撐件(platesupport)33。在氣體分布板31與后板32之間提供懸吊支撐部件35。懸吊支撐部件35不僅防止緩沖空間B中的沉積物質(zhì)泄漏到外部，而且還支撐較重(重量為約400kg)的氣體分布板31,使其相對于后板32而懸吊。另外，懸吊支撐部件35在沿X軸、Y軸和Z軸中的至少一者的方向上補(bǔ)償在沉積工藝期間加熱到約200。C的氣體分布板31的熱膨脹。在上腔室10的上端中提供上板36。在上板36的上部分中提供用于將反應(yīng)氣體、清洗氣體或其它氣體供應(yīng)到沉積空間S中的氣體供應(yīng)部分(gassupplyportion)37。高頻功率部分(highfrequencypowerportion)38安裝在氣體供應(yīng)部分37周圍。高頻功率部分38通過連接線39電連接到電極30的后板32。在上腔室10的外壁的一側(cè)上進(jìn)一步提供用于加強(qiáng)下腔室20的側(cè)壁與上腔室10的側(cè)壁之間的厚度差的加強(qiáng)壁部分(reinforcementwallportion)40。下腔室20是實(shí)質(zhì)上針對玻璃襯底G執(zhí)行沉積工藝的部分。因此，沉積空間S實(shí)質(zhì)上形成于下腔室20中。襯底進(jìn)入部分20a形成于下腔室20'的外壁中，通過襯底進(jìn)入部分20a，—玻璃村底G借助預(yù)定的工作機(jī)械臂(workrobot)傳遞到襯底空間S中且從襯底空間S傳遞出來。襯底進(jìn)入部分20a通過耦合到襯底進(jìn)入部分20a附近的閘門閥(gatevalve)24而選擇性地打開或關(guān)閉。盡管未圖示，但在下腔室20中的下表面提供用于使沉積空間S中現(xiàn)有的氣體再次擴(kuò)散到沉積空間S中的氣體擴(kuò)散板(未圖示)?；?0水平布置在下腔室20中的沉積空間S中，且支撐所加載的玻璃襯底G?；?0通常以大于經(jīng)受沉積的玻璃襯底G的大小的結(jié)構(gòu)形成?；?0的上表面被制造為大致表面板，使得玻璃襯底G在水平狀態(tài)下精確加載。加熱器(未圖示)安裝在基座50中，以將基座50加熱到約280。C到38(TC的預(yù)定沉積溫度。在基座50中，進(jìn)一步提供用.于穩(wěn)固地支撐被加載或推出的玻璃襯底G的下表面的多個(gè)起it頂桿(liftpins)52，使得玻璃襯底G位于基座50的上表面上，以被加載或推出。起模頂桿52穿透基座50。當(dāng)基座50下降時(shí)，抵靠著下腔室20的下表面按壓起模頂桿52的下端，使得起模頂桿52的上端突出在基座50的上表面上方。因此，玻璃襯底G與基座50分離。相反，當(dāng)基座50升高時(shí)，起模頂桿52相對地向下移動(dòng)，使得玻璃襯底G緊密地接觸基座50的上表面。起模頂桿52在玻璃襯底G與基座50之間形成空間，使得機(jī)械臂(未圖示)可抓取加載在基座50上的玻璃襯底G。用于支撐基座50以使其升高的柱54進(jìn)一步耦合到基座50。柱54的上端固定到基座50的后表面的中心區(qū)域，且柱54的下端向下穿過下腔室20而暴露o基座50在下腔室20中的沉積空間S中上下移動(dòng)。也就是說，當(dāng)加載玻璃襯底G時(shí)，基座50沉積在下腔室20的下表面上。接著，當(dāng)加載碌璃襯底G且執(zhí)行沉積工藝時(shí)，基座50上升，使得玻璃襯底G可接近氣體^布板31。出于此目的，在耦合到基座50的柱54處，進(jìn)一步提供用于使基座50升高的升高模塊60。在升高模塊60使基座50升高時(shí)的過程中，柱54與下腔室20之間必須不產(chǎn)生空間。因此，在下腔室20的柱54穿過的區(qū)域中提供波紋管(bellowspipe)58,以包圍柱54的外表面。當(dāng)基座50下降時(shí)，波紋管58擴(kuò)張，且當(dāng)基座50上升時(shí)，波紋管58緊密地接觸基座50。如上文所述，第8代玻璃襯底的基座50相對較重且較大，使得下,可能發(fā)生。在此情況下，下垂可能發(fā)生在玻璃襯底G中。當(dāng)玻璃村底G下'垂時(shí)，沉積在玻璃襯底G上的膜的均勻性變差，使得玻璃襯底G的質(zhì)量變差。為了解決上述問題，需要一種防止基座50下垂的構(gòu)件，其為基座支撐件70。參看圖2到圖4詳細(xì)描述基座支撐件70。提供基座支撐件70,以防止基座50下垂。因此，在基座50下提供基座支撐件70。雖然在常規(guī)技術(shù)中，在與柱54分開提供的輔助軸(未圖示)處提供基座支撐件(未圖示)，但在本實(shí)施例中，基座支撐件70耦合到柱54。而且，基座支撐件70的上表面的至少一個(gè)區(qū)域接觸基座50的后表面，以從基座50的下表面支撐基座50，使得防止基座50的下垂?；渭?0包含第一和第二單元支撐面板71和72。第一和第二單元支撐面板71和72兩者都具有棒形狀，其具有預(yù)定厚度和寬度。第一單元支撐面板71布置在第二單元支撐面板72上方。由于本發(fā)明的正確范圍不限于此，所以可提供三個(gè)或更多數(shù)目的單元支撐面板。第一和第二通孔71a和72a分別形成于第一和第二單元支撐面板71和72的中心區(qū)域處，以將第一和第二單元支撐面板71和72耦合到柱54。第一和第二通孔71a和72a中的每一者的直徑大于柱54的上橫截面的直徑。因此，當(dāng)?shù)谝缓偷诙卧蚊姘?1和72的第一和第二通孔71a和72a被插在柱54周圍時(shí)，第一和第二單元支撐面板71和72容易耦合到柱54。在柱54處進(jìn)一步提供止動(dòng)件55,以預(yù)先設(shè)置第一和第二單元支撐面板71和72的安裝位置。止動(dòng)件55整體形成于柱54中，以在徑向方向上從柱54向外延伸，以防止插在柱54周圍的第一和第二單元支撐面板71和72向下移動(dòng)。當(dāng)?shù)谝缓偷诙卧蚊姘?1和72耦合到柱54，以位于止動(dòng)件55的上表面上時(shí)，由于第一和第二單元支撐面板71和72不可以任意移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)，所以需要用于將第一和第二單元支撐面板71和72固定到止動(dòng)件55的部件。所述部件可以是多個(gè)螺釘和螺母(未圖示)。沿第一和第二單元支撐面板71和72的第一和第二通孔71a和72a的圓周形成多個(gè)第一和第二螺釘孔71b和72b。在止動(dòng)件55中對應(yīng)于第一和第二螺4丁孔71b和72b的位置處形成多個(gè)螺由-耦合部分(screwcouplingportions)55a。雖然將第一和第二螺釘孔71b和72b處理成圓形孔，但螺釘耦合部分55a是通過在徑向方向上將止動(dòng)件55的外圓周表面向內(nèi)切割成圓弧形狀而形成的切割部分。因此，通過將螺釘插入第一和第二單元支撐面板71和72的第一和第二螺釘孔71b和72b中，以穿過螺釘耦合部分55a,且使螺釘在螺釘耦合部分55a的后表面處與螺母耦合，來將第一和第二單元支撐面板71和72固定到止動(dòng)件55。由于作為大型結(jié)構(gòu)的基座50布置在第一和第二單元支撐面板71和72的上表面上，以抵靠著止動(dòng)件55按壓第一和第二單元支撐面板71和72，所以第一和第二單元支撐面板71和72難以在柱54上任意旋轉(zhuǎn)。因此，在必要時(shí)去除螺釘耦合工作。如圖中所示，當(dāng)?shù)谝缓偷诙卧蚊姘?1和72耦合到柱54時(shí)，第一和第二單元支撐面板71和72布置成彼此交叉，即，成大致X形狀。第一和第二單元支撐面板71和72布置成X形狀更有效地防止了基座50的下垂。在第一和第二單元支撐面板71和72布置成X形狀的過程中，第一和第二單元支撐面板71和72的末端部分需要面向基座50的角落。實(shí)質(zhì)上接觸基座50的后表面且支撐在其上的第一和第二輔助支撐單元"和74分別提供在第一和第二單元支撐面板71和72的上表面上。與第二輔助支撐墊74的厚度相比，因?yàn)榈诙卧蚊姘?2布置在第一單元支撐面板71下，第一輔助支撐墊73的厚度較薄。然而，即使在第一和第二輔助支撐墊'73和74的厚度是不同時(shí)，第一和第二輔助支撐墊73和74的上端也必須形成同一平坦表面。在優(yōu)選實(shí)施例中，第一和第二輔助支撐墊73和74、第一和第二單元支撐面板71和72以及止動(dòng)件55都由陶資材料制造。陶資顯示出優(yōu)越的強(qiáng)度，且較少受到(如在本實(shí)施例中)在相對較高的溫度下操作的設(shè)備中的熱變形影響。然而,可使用顯示出優(yōu)越的強(qiáng)度且較少受到熱變形影響的任何材料(例如工程塑料)來代替陶瓷。在如上文所配置的用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的操作中，首先，通過升高模塊60,使基座50降低到下腔室20的下部分中。由機(jī)械臂(未圖示)轉(zhuǎn)移經(jīng)受沉積的玻璃襯底G,以穿過襯底進(jìn)入部分(substrateentrancepprtion)20a，而進(jìn)入且布置在基座50上方。起模頂桿52的上端從基座50的上表面突出預(yù)定高度。因此，機(jī)械臂將玻璃襯底G放置在起模頂桿52上，且接著機(jī)械臂被取出。當(dāng)取出機(jī)械臂時(shí)，襯底進(jìn)入部分20a關(guān)閉，且上腔室10和下腔室20的內(nèi)部維持在真空氣氛中。同時(shí)，以沉積所需的過程氣體Si比或麗3填充上腔室10和下腔室20。接下來，為了進(jìn)行沉積工藝，操作升高模塊60,以使基座50上升。接著，降低起模頂桿52,使得玻璃襯底G緊密地接觸且加載至基座60的上表面。當(dāng)基座50上升預(yù)定距離時(shí)，'升高模塊60的操作停止，且玻璃襯底G直接加載在氣體分布板31下方。此時(shí)，基座50已經(jīng)被加熱到約280i;到380。C的溫度。接著，通過由絕緣部件34絕緣的電極30施加功率。作為沉積材料的基于硅的化合物離子注射至形成有大量小孔的氣體分布板31，且基于硅的化合物離子到達(dá)玻璃襯底G,使得在玻璃襯底G上執(zhí)行沉積。在上述操作中，相對較重的基座50由基座50下方布置成以X形狀彼此重疊的第一和第二支撐面板71和72的基座支撐件70支撐，以便防止基座50下垂。因此，由于加載在基座50的上表面上的玻璃襯底G不會變形，所以可獲得優(yōu)越的沉積膜。根據(jù)本實(shí)施例，因?yàn)榭梢院喕慕Y(jié)構(gòu)來制造用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所以可節(jié)約成本，且與常規(guī)技術(shù)相比，可預(yù)期基座50的優(yōu)越的防下垂歲文應(yīng)。圖5是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的透視圖。在上文所述的實(shí)施例中，基座支撐件70形成于第一和第二單元支撐面板71和72的X形布置中。然而，如圖5所示，在基座50的后表面上的柱54的軸中心處提供單個(gè)單元支撐面板170。單元支撐面板170制造成整體X形狀，使得單元支撐面板170的末端部分面向基座50的角落。在此情況下，單元支撐面板170的末端部分中的每一者的上表面上所提供的輔助支撐墊173的高度都是相同的。基座支撐件(未圖示)可在此結(jié)4勿中形成。雖然已經(jīng)明確展示且參考本發(fā)明的示范性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，可在不脫離由所附權(quán)利要求書界定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，對本文作各種形式上和細(xì)節(jié)上的改變。如上文所述，根據(jù)本發(fā)明，一種用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備具有簡化的結(jié)構(gòu)，有助于下腔室下方的空間的有效使用，且防止基座下垂。權(quán)利要求1.一種用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于其包括基座，其安裝在腔室中，能夠升高，且具有上面加載所述平板顯示器的上表面；柱，其具有耦合到所述基座的后表面的中心區(qū)域的上端，和向下穿過所述腔室而暴露的下端，從而支撐所述基座，使其能夠升高；以及基座支撐件，其在所述腔室中耦合到所述柱，且允許其上表面的至少一區(qū)域接觸并支撐所述基座的所述后表面，從而從所述基座的下側(cè)支撐所述基座，以防止所述基座下垂。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述基座支撐件包括至少一個(gè)單元支撐面板；以及輔助支撐墊，其耦合到所述至少一個(gè)單元支撐面板的上表面，且實(shí)質(zhì)上接觸并支撐所述基座的所述后表面。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個(gè)單元支撐面板是具有棒形狀的兩個(gè)單元支撐面板，且所述兩個(gè)單元支撐面板布置成相對于所述基座的所述后表面上的所述柱的中心軸而彼此交叉，使得所述兩個(gè)單元支撐面板的每一者的末端部分面向所述基座的角落。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述兩個(gè)單元支撐面板布置成以X形狀彼此重疊，且在所述兩個(gè)單元支撐面板的每一者的所述上表面的兩端處提供所述輔助支撐墊。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，與所述兩個(gè)單元支撐面板的下部分中所提供的第二輔助支撐墊的厚度相比，位于所述兩個(gè)單元支撐面板的上部分中的第一單元支撐面板上所提供的第一輔助支撐墊的厚度較薄，且所述第一和第二輔助支撐墊的上端實(shí)質(zhì)上形成同一平坦表面。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個(gè)單元支撐面板是具有棒形狀的單個(gè)單元支撐面板，且所述單個(gè)單元支撐面板布置成在所述基座的所述后表面上的所述柱的軸中心處彼此交叉，使得所述單個(gè)單元支撐面板的末端部分面向所述基座的角落。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，在所述單元支撐面板的中心區(qū)域處形成插入有所述柱的通孔，且止動(dòng)件在徑向方向上從所述柱向外延伸，以防止所述單元支撐面板向下移動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，沿所述通孔的圓周方向形成多個(gè)螺4丁孔，且在所述止動(dòng)件中對應(yīng)于所述螺^"孔的位置處形成用于螺釘耦合的多個(gè)螺釘耦合部分。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述螺釘耦合部貪是通過在徑向方向上將所述止動(dòng)件的外圓周表面向內(nèi)切割成圓弧形狀而形成的切割部分。10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述單元支撐面板和所述輔助支撐墊由陶瓷形成，且所述平板顯示器是用于液晶顯示器的大玻全文摘要本發(fā)明是關(guān)于一種用于平板顯示器的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包含基座，其安裝在腔室中，能夠升高，且具有上面加載平板顯示器的上表面；柱，其具有耦合到基座的后表面的中心區(qū)域的上端，和向下穿過腔室而暴露的下端，從而支撐基座，使其能夠升高；以及基座支撐件，其在腔室中耦合到柱，且允許上表面的至少一區(qū)域接觸并支撐基座的后表面，從而從基座的下側(cè)支撐基座，以防止基座下垂。文檔編號C23C16/458GK101285177SQ200810089798公開日2008年10月15日申請日期2008年4月10日優(yōu)先權(quán)日2007年4月10日發(fā)明者張祥來,李相琝申請人:Sfa工程股份有限公司